專利名稱:一種液晶顯示面板及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種液晶顯示面板及其制作方法。
背景技術(shù):
近年來,信息通訊技術(shù)的迅速發(fā)展,提高了對(duì)各種類型的顯示設(shè)備的需求。目前常見的顯示設(shè)備有陰極射線管顯示器,液晶顯示器(Liquid CrystalDisplay, IXD),等離子體顯示器,電致發(fā)光顯示器和真空熒光顯示器等。其中LCD以其高清晰度、真彩視頻顯示、 外觀輕薄、耗電量少、無輻射等優(yōu)點(diǎn)而逐漸成為顯示設(shè)備發(fā)展的主流。LCD通常包括用于顯示畫面的液晶顯示面板和用于向液晶顯示面板提供信號(hào)的電路部份。該液晶顯示面板通常包括第一基板和第二基板,它們通過框膠彼此粘接并由間隙隔開,而液晶材料注入到第一基板和第二基板之間的間隙中。所述第一基板例如為薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT)陣列基板,其上面形成有多條柵極線和多條信號(hào)線,其中多條柵極線相互平行且以固定的間隔彼此分開,并沿著第一方向延伸,而多條信號(hào)線也相互平行且以固定的間隔彼此分開,并沿著基本上垂直于第一方向的第二方向延伸;所述TFT陣列基板上還包括通過所述柵極線和信號(hào)線的相互交叉限定出的多個(gè)像素區(qū)域,設(shè)置在每個(gè)像素區(qū)域中的多個(gè)像素電極,以及與像素電極連接的薄膜晶體管(TFT);所述TFT能夠響應(yīng)提供給相應(yīng)的每條柵極線的信號(hào)而將來自相應(yīng)的信號(hào)線的信號(hào)發(fā)送給對(duì)應(yīng)的每個(gè)像素電極,進(jìn)而控制液晶分子的轉(zhuǎn)向。所述第二基板例如為濾色片基板,其上形成有黑色矩陣層(BlackMatrix),用于防止在像素區(qū)域以外的面板區(qū)域中的光泄漏;濾色片層(R,G,B),用于有選擇地傳輸具有預(yù)定波長的光;和公共電極層,用于和像素電極一起對(duì)液晶分子施加電壓。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種液晶顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖所示,該液晶顯示面板包括顯示區(qū)域A(Active area,如圖中標(biāo)號(hào)110所示)和顯示區(qū)域外圍的非顯示區(qū)域 P (Peripheral area,即邊框區(qū)域120),其中,液晶顯示面板邊緣120a和顯示區(qū)域A邊界 IlOa之間的部分為非顯示區(qū)域P (即邊框區(qū)域120)。非顯示區(qū)域P通常設(shè)置驅(qū)動(dòng)IC、與所述驅(qū)動(dòng)IC連接的掃描線引線和數(shù)據(jù)線引線,以及公共電極引線(common引線或com引線)。隨著對(duì)顯示設(shè)備小型化的需求日益增加,液晶顯示面板向著窄邊框的發(fā)展,即顯示區(qū)域A周邊的非顯示區(qū)域P尺寸越來越小,其中各種引線在數(shù)量和材料不變的前提下,為了在更窄的區(qū)域內(nèi)布局,現(xiàn)有技術(shù)中采用的最普遍的方式是邊框區(qū)域采用雙層邊框掃描線走線,即第一邊框掃描線121與一部分的薄膜晶體管的柵極相連,位于該層第一邊框掃描線121上方的第二邊框掃描線122與剩余的薄膜晶體管的柵極相連。但是,在實(shí)際生產(chǎn)過程中,采用這種方式制作的液晶顯示面板邊框雖然窄了,但是這種液晶顯示面板容易出現(xiàn)橫向條紋顯示不均的情況。
發(fā)明內(nèi)容
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本發(fā)明實(shí)施例提供一種液晶顯示面板及其制作方法,解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問題, 在使液晶顯示面板邊框窄化的前提下,提高了液晶顯示面板的顯示效果。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明實(shí)施例提供了如下技術(shù)方案一種液晶顯示面板,包括第一基板,該第一基板的表面上具有一顯示區(qū)域和一邊框區(qū)域,所述邊框區(qū)域包圍所述顯示區(qū)域,所述顯示區(qū)域上具有多個(gè)呈陣列式分布的像素區(qū)域,每個(gè)像素區(qū)域包括一薄膜晶體管,所述像素區(qū)域中,同一行薄膜晶體管的柵極通過一柵極線相連,同一列薄膜晶體管的源極通過一信號(hào)線相連,還包括制作于所述邊框區(qū)域的第一邊框掃描線,所述第一邊框掃描線與所述柵極線在同一光刻步驟中形成,且所述第一邊框掃描線通過相應(yīng)的柵極線與部分薄膜晶體管的柵極相連,以控制該部分薄膜晶體管的開關(guān);覆蓋于所述第一邊框掃描線上的第一介質(zhì)層;位于所述第一介質(zhì)層表面上的第二邊框掃描線,所述第二邊框掃描線通過剩余的柵極線與剩余薄膜晶體管的柵極相連,以控制其余薄膜晶體管的開關(guān);其中,所述第一邊框掃描線與第二邊框掃描線的制作材料為同一種金屬。優(yōu)選的,所述第一邊框掃描線和第二邊框掃描線沿著所述顯示區(qū)域的邊緣,間隔式分布于所述邊框區(qū)域。優(yōu)選的,所述第一邊框掃描線和第二邊框掃描線的寬度相同。優(yōu)選的,所述第一邊框掃描線通過第一換層結(jié)構(gòu)與所述部分薄膜晶體管對(duì)應(yīng)的柵極線相連,所述第二邊框掃描線通過第二換層結(jié)構(gòu)與所述剩余薄膜晶體管對(duì)應(yīng)的柵極線相連。優(yōu)選的,還包括覆蓋于所述第二邊框掃描線表面上的第二介質(zhì)層;其中,所述第一換層結(jié)構(gòu)包括貫穿所述第一邊框掃描線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第一插塞;貫穿所述第一邊框掃描線對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第二
插塞;連接所述第一插塞和第二插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第一邊框掃描線與相應(yīng)的柵極線電性相連。優(yōu)選的,所述第二換層結(jié)構(gòu)包括貫穿所述第二邊框掃描線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層的第三插塞;貫穿所述第二邊框掃描線對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第四
插塞;連接所述第三插塞和第四插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第二邊框掃描線與相應(yīng)的柵極線電性相連。優(yōu)選的,所述導(dǎo)電連線與所述薄膜晶體管的像素電極制作于同一導(dǎo)電層上。優(yōu)選的,所述導(dǎo)電連線的制作材料為氧化銦錫。優(yōu)選的,所述第一邊框掃描線和第二邊框掃描線的制作材料為鉬、鉻或鋁。優(yōu)選的,還包括制作于所述邊框區(qū)域的第一邊框數(shù)據(jù)線,所述第一邊框數(shù)據(jù)線與所述柵極線在同一光刻步驟中形成,所述第一介質(zhì)層位于所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方;
位于所述第一介質(zhì)層表面上的第二邊框數(shù)據(jù)線,所述第二邊框數(shù)據(jù)線與所述信號(hào)線在同一光刻步驟中形成,所述第二介質(zhì)層位于所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方;其中,所述第一邊框數(shù)據(jù)線通過相應(yīng)的信號(hào)線與部分薄膜晶體管的源極相連,所述第二邊框數(shù)據(jù)線通過剩余的信號(hào)線與剩余薄膜晶體管的源極相連。優(yōu)選的,所述第一邊框數(shù)據(jù)線與第二邊框數(shù)據(jù)線的制作材料為同一種金屬,且二者的寬度相同。優(yōu)選的,所述第一邊框數(shù)據(jù)線通過第三換層結(jié)構(gòu)與所述部分薄膜晶體管的源極對(duì)應(yīng)的信號(hào)線相連。優(yōu)選的,所述第三換層結(jié)構(gòu)包括貫穿所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第五插塞;貫穿所述第一邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層的第六插塞;連接所述第五插塞和第六插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第一邊框數(shù)據(jù)線與相應(yīng)的信號(hào)線電性相連。優(yōu)選的,所述第二邊框數(shù)據(jù)線通過第四換層結(jié)構(gòu)與所述剩余薄膜晶體管的源極對(duì)應(yīng)的信號(hào)線相連。優(yōu)選的,所述第四換層結(jié)構(gòu)包括貫穿所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層的第七插塞;貫穿所述第二邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層的第八插塞;連接所述第七插塞和第八插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第二邊框數(shù)據(jù)線與相應(yīng)的信號(hào)線電性相連。本發(fā)明實(shí)施例還公開了一種液晶顯示面板制作方法,該液晶顯示面板包括第一基板,該第一基板的表面上具有一顯示區(qū)域和一邊框區(qū)域,所述邊框區(qū)域包圍所述顯示區(qū)域, 所述顯示區(qū)域上具有多個(gè)呈陣列式分布的像素區(qū)域,每個(gè)像素區(qū)域包括一薄膜晶體管,該薄膜晶體管用于控制與其對(duì)應(yīng)的像素區(qū)域的顯示狀態(tài),包括在所述第一基板上形成第一邊框掃描線和柵極線,所述第一邊框掃描線和柵極線與所述薄膜晶體管的柵極在同一光刻步驟中形成,同一行薄膜晶體管的柵極通過一柵極線相連;在所述第一邊框掃描線和柵極線的表面上形成第一介質(zhì)層;在所述第一介質(zhì)層表面上形成第二邊框掃描線,所述第二邊框掃描線與所述薄膜晶體管的源極、漏極以及所述信號(hào)線在同一光刻步驟中形成;其中,所述第一邊框掃描線與第二邊框掃描線的制作材料為同一種金屬。優(yōu)選的,還包括在所述第二邊框掃描線表面上形成第二介質(zhì)層;在所述第一邊框掃描線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分第一邊框掃描線材料,得到所述第一通孔;在所述第一邊框掃描線對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分柵極線材料,得到所述第二通孔;在所述第二邊框掃描線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分第二邊框掃描線材料,得到所述第三通孔;
在所述第二邊框掃描線對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分柵極線材料,得到所述第四通孔;其中,所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔是在同一光刻步驟中形成的;在所述第二介質(zhì)層表面上形成導(dǎo)電連線,以連接所述第一通孔和第二通孔,以及所述第三通孔和第四通孔,形成第一插塞、第二插塞、第三插塞和第四插塞,使所述第一邊框掃描線與部分柵極線電性相連,所述第二邊框掃描線與剩余的柵極線電性相連,所述導(dǎo)電連線與所述薄膜晶體管的像素電極制作于同一導(dǎo)電層上。優(yōu)選的,還包括在形成所述第一邊框掃描線和柵極線的同一光刻步驟中,形成第一邊框數(shù)據(jù)線;在形成所述第二邊框掃描線和信號(hào)線的同一光刻步驟中,形成第二邊框數(shù)據(jù)線;在形成所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔的同一光刻步驟中,形成以下通孔結(jié)構(gòu)在所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成第五通孔,以暴露出部分第一邊框數(shù)據(jù)線材料;在所述第一邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層上形成第六通孔,以暴露出部分信號(hào)線材料;在所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層上形成第七通孔,以暴露出部分第二邊框數(shù)據(jù)線材料;在所述第二邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層上形成第八通孔,以暴露出部分信號(hào)線材料;在形成第一插塞、第二插塞、第三插塞和第四插塞的同一過程中,通過所述導(dǎo)電連線連接所述第五通孔和第六通孔、同時(shí)連接所述第七通孔和第八通孔,形成第五插塞、第六插塞、第七插塞和第八插塞,使所述第一邊框數(shù)據(jù)線與部分薄膜晶體管的源極電性相連,所述第二邊框數(shù)據(jù)線與剩余的薄膜晶體管的源極電性相連。與現(xiàn)有技術(shù)相比,上述技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明實(shí)施例提供的液晶顯示面板,通過采用相同的金屬材料制成雙層邊框掃描線,從而使在設(shè)計(jì)時(shí),只要將雙層掃描線的線寬、厚度等設(shè)計(jì)成相同就行,并且,由于顯影刻蝕條件相同,在刻蝕后,雙層掃描線的寬度更趨于一致,從而使刻蝕得到的雙層掃描線的電阻更接近,從而避免了橫向條紋顯示不均勻的情況,在使液晶顯示面板邊框窄化的前提下, 提高了液晶顯示面板的顯示效果。此外,本發(fā)明實(shí)施例中雙層邊框掃描線均采用換層設(shè)計(jì)連接到顯示區(qū)的柵極線上,即雙層邊框掃描線的結(jié)構(gòu)及其與柵極線的連接方式相同,從而進(jìn)一步減小了雙層邊框掃描線間的電阻差,使雙層邊框掃描線的電阻更趨于一致,進(jìn)而使液晶顯示面板的橫向條紋顯示會(huì)更加均勻。
通過附圖所示,本發(fā)明的上述及其它目的、特征和優(yōu)勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按實(shí)際尺寸等比例縮放繪制附圖,重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的主旨。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中液晶顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖2本發(fā)明實(shí)施例公開的液晶顯示面板部分邊框區(qū)域的放大圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例公開的液晶顯示面板a-a’切割線的剖面圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例公開的液晶顯示面板b_b’切割線的剖面圖;圖5為本發(fā)明實(shí)施例公開的液晶顯示面板c-c’切割線的剖面圖;圖6-圖9為本發(fā)明另一實(shí)施例公開的液晶顯示面板制作方法的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明,但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣,因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。其次,本發(fā)明結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述,在詳述本發(fā)明實(shí)施例時(shí),為便于說明,表示裝置件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大,而且所述示意圖只是示例,其在此不應(yīng)限制本發(fā)明保護(hù)的范圍。此外,在實(shí)際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。正如背景技術(shù)部分所述,現(xiàn)有技術(shù)中的雙層掃描線的窄邊框液晶顯示面板的顯示效果不好,易出現(xiàn)橫向條紋顯示不均的問題。發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn),出現(xiàn)這種問題的原因是,現(xiàn)有技術(shù)中為了減小掃描線電阻,雙層掃描線的材料不同,為了使橫向條紋顯示更均勻,就必須使雙層掃描線的電阻盡量相同,因此,在設(shè)計(jì)時(shí)雙層掃描線的寬度是不同的,如第一邊框掃描線采用一種金屬或多種金屬的組合層,第二邊框掃描線采用另一種金屬或其它多種金屬的組合,由于光刻和刻蝕工藝的限制,即最終得到的線寬可能與掩膜版設(shè)計(jì)的線寬存在偏差,從而導(dǎo)致在后續(xù)刻蝕過程中,得到的掃描線的寬度容易出現(xiàn)偏差,難以保證兩層掃描線的電阻差在誤差允許的范圍內(nèi),也就難以避免橫向條紋顯示不均的情況。而且,現(xiàn)有技術(shù)中的雙層掃描線的材料和線寬都不同,在線寬的設(shè)計(jì)上也存在一定難度,加之線寬的設(shè)計(jì)還要考慮工藝情況,因此雙層掃描線之間必然會(huì)必然會(huì)出現(xiàn)電阻差,也就是說,在理論上和實(shí)際生產(chǎn)上,采用現(xiàn)有技術(shù)的工藝制作出的窄邊框液晶顯示面板,出現(xiàn)橫向條紋顯示不均是不可避免的?;诖?,本發(fā)明實(shí)施例公開了一種液晶顯示面板,其結(jié)構(gòu)圖如圖2-圖5所示,圖2 為該液晶顯示面板部分邊框區(qū)域的放大圖,圖3為圖2中a-a’切割線的剖面圖,圖4為圖 2中b-b’切割線的剖面圖,圖5為圖2中c-c’切割線的剖面圖。如圖2所示,該液晶顯示面板包括第一基板,該第一基板的表面上具有一顯示區(qū)域310和一邊框區(qū)域320,所述邊框區(qū)域320包圍所述顯示區(qū)域310,所述顯示區(qū)域310上具有多個(gè)呈陣列式分布的像素區(qū)域,每個(gè)像素區(qū)域包括一薄膜晶體管,所述像素區(qū)域中,同一行薄膜晶體管330的柵極通過一柵極線340相連,同一列薄膜晶體管330的源極通過一信號(hào)線350相連,并且,每一薄膜晶體管的漏極分別連接有一像素電極60。需要說明的是,本實(shí)施例中“同一行” “同一列”的描述,并不能限定柵極線和信號(hào)線的方向,柵極線和信號(hào)線的方向是隨著液晶顯示面板的放置方向而定的,本實(shí)施例中的“同一行” “同一列”的描述,僅是以液晶顯示面板的放置方式為其正常使用時(shí)的放置方式為例進(jìn)行說明。結(jié)合圖2-圖5,該液晶顯示面板還包括制作于所述邊框區(qū)域320的第一邊框掃描線324,該第一邊框掃描線3M時(shí)沿著上述矩形顯示區(qū)域的邊緣制作的,該第一邊框掃描線3M與所述柵極線340在同一光刻步驟中形成,即二者制作在同一金屬層上,且所述第一邊框掃描線3M通過相應(yīng)的柵極線340與部分薄膜晶體管的柵極相連,以控制該部分薄膜晶體管的開關(guān);覆蓋于所述第一邊框掃描線3M上的第一介質(zhì)層326,該第一介質(zhì)層3 可與顯示區(qū)域310薄膜晶體管的柵極上方的介質(zhì)層為同一介質(zhì)層;位于所述第一介質(zhì)層3 表面上的第二邊框掃描線328,所述第二邊框掃描線3 通過剩余的柵極線340與剩余薄膜晶體管的柵極相連,以控制其余薄膜晶體管的開關(guān)。如圖所示,所述第一邊框掃描線3M和第二邊框掃描線3 沿著所述顯示區(qū)域310 的邊緣,間隔式分布于所述邊框區(qū)域320。在形成雙層掃描線后,與一柵極驅(qū)動(dòng)電路連接,即可通過第一邊框掃描線3M和第二邊框掃描線3 來控制柵極線340的掃描時(shí)序,進(jìn)而控制液晶分子的轉(zhuǎn)向。本實(shí)施例中,所述第一邊框掃描線324與第二邊框掃描線328的制作材料為同一種金屬,優(yōu)選為金屬鉬、鉻或鋁。由于本實(shí)施例中的雙層邊框掃描線采用同樣的金屬材料,因此在設(shè)計(jì)時(shí),為了使雙層掃描線的電阻保持一致,第一邊框掃描線3M和第二邊框掃描線3 的寬度、厚度等即可設(shè)計(jì)為相同的,可使雙層邊框掃描線的橫截面積趨于一致,由于采用相同的金屬材料制成,電阻率相同,所以面電阻及掃描線的電阻均趨于一致。并且,由于顯影刻蝕條件相同,在刻蝕后,雙層掃描線的寬度更趨于一致,從而使刻蝕得到的雙層掃描線的電阻更接近,從而在一定程度上避免了橫向條紋顯示不均勻的情況,在使液晶顯示面板邊框窄化的前提下, 提高了液晶顯示面板的顯示效果。另外,由于第二邊框掃描線324與柵極線340是制作于不同的金屬層上的,因此, 第二邊框掃描線3M必須通過一換層結(jié)構(gòu)與柵極線340相連,本實(shí)施例中為了進(jìn)一步降低雙層邊框掃描線間的電阻差,第一邊框掃描線3M與柵極線340之間也通過一換層結(jié)構(gòu)相連,即,本實(shí)施例中第一邊框掃描線3M通過第一換層結(jié)構(gòu)與所述部分薄膜晶體管對(duì)應(yīng)的柵極線340相連,第二邊框掃描線3 通過第二換層結(jié)構(gòu)與所述剩余薄膜晶體管對(duì)應(yīng)的柵極線340相連。具體的,如圖3所示,第一換層結(jié)構(gòu)包括貫穿所述第一邊框掃描線3M上方區(qū)域的第一介質(zhì)層326的第一插塞373 ;貫穿所述第一邊框掃描線3M對(duì)應(yīng)的柵極線340上方的第一介質(zhì)層3 的第二插塞 372 ;連接所述第一插塞373和第二插塞372的導(dǎo)電連線371,以使所述第一邊框掃描線 324與相應(yīng)的柵極線340電性相連。另外,由于第二邊框掃描線324與柵極線340制作于不同的金屬層上,因此,為了制作第二換層結(jié)構(gòu),還需在所述第二邊框掃描線3 表面上覆蓋上第二介質(zhì)層341,該第二介質(zhì)層341 —般與顯示區(qū)域的保護(hù)層制作于同一介質(zhì)層上。該第二換層結(jié)構(gòu)包括
貫穿所述第二邊框掃描線3 上方區(qū)域的第二介質(zhì)層341的第三插塞376 ;貫穿所述第二邊框掃描線3 對(duì)應(yīng)的柵極線340上方的第一介質(zhì)層3 和第二介質(zhì)層;341的第四插塞375 ;連接所述第三插塞376和第四插塞375的導(dǎo)電連線374,以使所述第二邊框掃描線 328與相應(yīng)的柵極線340電性相連。所述導(dǎo)電連線與所述薄膜晶體管的像素電極60制作于同一導(dǎo)電層上,一般情況下像素電極60多采用氧化銦錫制作,即本實(shí)施例中所述導(dǎo)電連線(包括導(dǎo)電連線371和導(dǎo)電連線374)的制作材料為氧化銦錫。本實(shí)施例中雙層邊框掃描線均采用換層結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)連接到顯示區(qū)的柵極線上,即雙層邊框掃描線的結(jié)構(gòu)及其與柵極線的連接方式相同,連接材料也相同,由于第一邊框掃描線也增加了換層結(jié)構(gòu),從而進(jìn)一步減小了雙層邊框掃描線間的電阻差,使雙層邊框掃描線的電阻更趨于一致,進(jìn)而使液晶顯示面板的橫向條紋顯示會(huì)更加均勻。在傳統(tǒng)液晶顯示面板制作過程中,將雙層邊框掃描線設(shè)計(jì)為不同材料和不同寬度,是基于減小掃描線電阻考慮的,而本實(shí)施例中采用同一種材料制作雙層邊框掃描線,并且雙層邊框掃描線均采用換層結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),經(jīng)實(shí)際檢測發(fā)現(xiàn),本實(shí)施例中的掃描線的電阻的大小較現(xiàn)有技術(shù)中并未增大過多,完全能夠滿足實(shí)際生產(chǎn)的需求,而本實(shí)施例的顯示效果則遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于現(xiàn)有技術(shù)中的液晶顯示面板。另外,該液晶顯示面板還包括與所述第一基板相對(duì)設(shè)置的第二基板,以及設(shè)置于所述第一基板和第二基板之間的液晶層,所述第一基板和第二基板優(yōu)選為玻璃基板。并且,第一基板除包括以上公開的結(jié)構(gòu)外,還包括公共電極、背向液晶層一面上的第一偏光片等結(jié)構(gòu);第二基板包括,朝向液晶層的一面上的由紅、綠、藍(lán)濾色器組成的濾色層、位于紅、綠、藍(lán)濾色層之間的黑色矩陣,所述黑色矩陣可將紅、綠、藍(lán)濾色層相互隔離,以及背向液晶層一面上的第二偏光片等。本發(fā)明另一實(shí)施例中公開的液晶顯示面板的結(jié)構(gòu)與上一實(shí)施例不同的是,本實(shí)施例中的液晶顯示面板不僅將邊框掃描線設(shè)置為雙層結(jié)構(gòu),還可將邊框數(shù)據(jù)線設(shè)置為雙層結(jié)構(gòu),以減小數(shù)據(jù)線邊框的寬度。本實(shí)施例中的液晶顯示面板還包括制作于所述邊框區(qū)域的第一邊框數(shù)據(jù)線,所述第一邊框數(shù)據(jù)線與所述柵極線在同一光刻步驟中形成,所述第一介質(zhì)層位于所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方;位于所述第一介質(zhì)層表面上的第二邊框數(shù)據(jù)線,所述第二邊框數(shù)據(jù)線與所述信號(hào)線在同一光刻步驟中形成,所述第二介質(zhì)層位于所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方;其中,所述第一邊框數(shù)據(jù)線通過相應(yīng)的信號(hào)線與部分薄膜晶體管的源極相連,所述第二邊框數(shù)據(jù)線通過剩余的信號(hào)線與剩余薄膜晶體管的源極相連。也就是說,上一實(shí)施例中的第一邊框掃描線與本實(shí)施例中的第一邊框數(shù)據(jù)線是制作在同一金屬層上的,且第二邊框掃描線與本實(shí)施例中的第二邊框數(shù)據(jù)線是制作在同一金屬層上的。另外,需要說明的是,由于本實(shí)施例中的第二邊框數(shù)據(jù)線與信號(hào)線位于同一金屬層上,因此,可以在制作時(shí)直接將第二邊框數(shù)據(jù)線與對(duì)應(yīng)的信號(hào)線連接起來,而由于第一邊框數(shù)據(jù)線與信號(hào)線不是位于同一金屬層上,因此必須通過換層結(jié)構(gòu)將第一邊框數(shù)據(jù)線與對(duì)應(yīng)的信號(hào)線進(jìn)行連接,這樣就需要通過一第三換層結(jié)構(gòu),將第一邊框數(shù)據(jù)線與所述部分薄膜晶體管的源極對(duì)應(yīng)的信號(hào)線相連。具體的,該第三換層結(jié)構(gòu)包括貫穿所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第五插塞;貫穿所述第一邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層的第六插塞;連接所述第五插塞和第六插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第一邊框數(shù)據(jù)線與相應(yīng)的信號(hào)線電性相連。當(dāng)然,為了減小雙層邊框數(shù)據(jù)線間的電阻差,也可以采用與上一實(shí)施例類似的方式,也可通過一第四換層結(jié)構(gòu),將第二邊框數(shù)據(jù)線與對(duì)應(yīng)的信號(hào)線相連,該第四換層結(jié)構(gòu)與上一實(shí)施例中的第一邊框掃描線與柵極線的連接方式類似,包括貫穿所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層的第七插塞;貫穿所述第二邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層的第八插塞;連接所述第七插塞和第八插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第二邊框數(shù)據(jù)線與相應(yīng)的信號(hào)線電性相連。并且,本實(shí)施例中對(duì)該雙層邊框數(shù)據(jù)線的材料不做具體限定,雙層邊框數(shù)據(jù)線的制作材料可以相同,也可以不同,如果相同,即可與上一實(shí)施例中的掃描線類似,采用金屬鉬、鉻或鋁,如果不同,可與現(xiàn)有技術(shù)中的雙層掃描線的設(shè)置類似。本實(shí)施例中為了減小雙層邊框數(shù)據(jù)線間的電阻差,優(yōu)選雙層邊框數(shù)據(jù)線的制作材料為同一種金屬,且二者的寬度相同。另外,為了減少作業(yè)工序,本實(shí)施例中的導(dǎo)電連線可與上一實(shí)施例中的導(dǎo)電連線制作于同一導(dǎo)電層上,即與所述薄膜晶體管的像素電極制作于同一導(dǎo)電層上,制作材料優(yōu)選為氧化銦錫。需要說明的是,通常情況下,將所述柵極線和與其相連的邊框掃描線統(tǒng)稱為掃描線,將信號(hào)線和與其相連的邊框數(shù)據(jù)線統(tǒng)稱為數(shù)據(jù)線。本實(shí)施例中的液晶顯示面板的掃描線和數(shù)據(jù)線均采用雙層走線結(jié)構(gòu),由于掃描線一般位于液晶顯示面板左右兩側(cè),數(shù)據(jù)線一般位于液晶顯示面板下方,不僅減小了液晶顯示面板左右兩側(cè)的邊框區(qū)域的寬度,也減小了液晶顯示面板上下兩側(cè)的邊框區(qū)域的寬度, 所述“上、下、左、右”的方向是指液晶顯示面板正常使用時(shí)的方向。本實(shí)施例中的液晶顯示面板不僅減小了掃描線區(qū)域的寬度,也減小了數(shù)據(jù)線區(qū)域的寬度,并且由于雙層結(jié)構(gòu)采用同樣的金屬材料,且均采用了換層結(jié)構(gòu)與顯示區(qū)域相連接, 從而使雙層掃描線的電阻差很小,且雙層數(shù)據(jù)線的電阻差也很小,從而使橫向條紋和縱向條紋顯示都更均勻,即在使液晶顯示面板邊框窄化的前提下,提高了液晶顯示面板的顯示效果。與第一個(gè)裝置實(shí)施例相對(duì)應(yīng),本發(fā)明另一實(shí)施例公開了相應(yīng)的液晶顯示面板的制作方法,其各步驟的剖面圖如圖6-圖9所示,該液晶顯示面板包括第一基板,該第一基板的表面上具有一顯示區(qū)域310和一邊框區(qū)域320,所述邊框區(qū)域320包圍所述顯示區(qū)域310, 所述顯示區(qū)域310上具有多個(gè)呈陣列式分布的像素區(qū)域,每個(gè)像素區(qū)域包括一薄膜晶體管,該薄膜晶體管用于控制與其對(duì)應(yīng)的像素區(qū)域的顯示狀態(tài),該方法包括以下步驟步驟1 如圖6所示,在所述第一基板上形成第一邊框掃描線3 和柵極線340, 所述第一邊框掃描線3M和柵極線340與所述薄膜晶體管的柵極331在同一光刻步驟中形成,同一行薄膜晶體管的柵極331通過一柵極線340相連;具體的,可采用化學(xué)氣相淀積CVD或物理氣相淀積PVD等方式,先在第一基板上沉積一金屬層,之后在該金屬層上旋涂光刻膠層,為了保證曝光精度,還可在光刻膠層和金屬層之間形成抗反射層(圖中未示出),以減少不必要的反射;之后采用具有第一邊框掃描線 324、柵極線340以及所述薄膜晶體管的柵極331圖形的掩膜版對(duì)光刻膠層進(jìn)行曝光,在所述光刻膠層表面上形成第一邊框掃描線324、柵極線340以及所述薄膜晶體管的柵極331圖案,之后以具有第一邊框掃描線324、柵極線340以及所述薄膜晶體管的柵極331圖案的光刻膠層為掩膜,采用干法刻蝕或濕法腐蝕的方式去除多余的金屬層材料,形成第一邊框掃描線324、柵極線340以及所述薄膜晶體管的柵極331。需要強(qiáng)調(diào)的是,本實(shí)施例中第一邊框掃描線324與對(duì)應(yīng)的柵極線340之間并未直接連接在一起,而是具有一缺口 370。步驟2 在所述第一邊框掃描線3M和柵極線340的表面上形成第一介質(zhì)層326 ;如圖6所示,采用CVD、PECVD、等離子體增強(qiáng)的化學(xué)氣相淀積HDP或PVD等方式, 在第一邊框掃描線324、柵極線340以及所述薄膜晶體管的柵極331表面上覆蓋第一介質(zhì)層 326,該第一介質(zhì)層3 優(yōu)選為氮化硅層。步驟3 在所述第一介質(zhì)層3 表面上形成第二邊框掃描線328,所述第二邊框掃描線328與所述薄膜晶體管的源極332、漏極333以及信號(hào)線350在同一光刻步驟中形成;其中,所述第一邊框掃描線3M與第二邊框掃描線3 的制作材料為同一種金屬, 優(yōu)選為金屬鉬,且第一邊框掃描線324與第二邊框掃描線328的寬度和厚度均相同。如圖7所示,具體為,在第一介質(zhì)層3 表面上形成金屬層,之后采用光刻工藝得到具有第二邊框掃描線328、薄膜晶體管的源極332、漏極333以及信號(hào)線350圖形的光刻膠層,以該光刻膠層為掩膜,采用刻蝕工藝去除多余的金屬層材料,得到第二邊框掃描線 328、薄膜晶體管的源極332、漏極333以及信號(hào)線350,其中,因第二邊框掃描線3 與柵極線340不是制作于同一金屬層上,因此,第二邊框掃描線3 與對(duì)應(yīng)的柵極線340之間也沒有連接在一起。為了使邊框掃描線與對(duì)應(yīng)的柵極線電性相連,該方法還包括以下步驟步驟4 在所述第二邊框掃描線3 表面上形成第二介質(zhì)層341 ;具體的,參見圖8,在該第一基板表面制作一第二介質(zhì)層341,覆蓋第二邊框掃描線328、薄膜晶體管的源極332、漏極333以及信號(hào)線350,第二介質(zhì)層341優(yōu)選為氮化硅層。步驟5 在所述第一邊框掃描線3M上方區(qū)域的第一介質(zhì)層3 和第二介質(zhì)層341 上形成過孔,以暴露出部分第一邊框掃描線材料,得到第一通孔323 ;在所述第一邊框掃描線3M對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層3 和第二介質(zhì)層 341上形成過孔,以暴露出部分柵極線材料,得到所述第二通孔321 ;在所述第二邊框掃描線3 上方區(qū)域的第二介質(zhì)層341上形成過孔,以暴露出部分第二邊框掃描線材料,得到所述第三通孔327 ;在所述第二邊框掃描線3 對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分柵極線材料,得到所述第四通孔329 ;其中,所述第一通孔323、第二通孔321、第三通孔327和第四通孔3 是在同一光刻步驟中形成的;
具體的,先采用光刻工藝,形成具有第一通孔323、第二通孔321、第三通孔327和第四通孔329圖形的光刻膠層,之后采用干法刻蝕工藝去除未被光刻膠層覆蓋的第一介質(zhì)層3 和第二介質(zhì)層341材料,形成上述過孔,之后采用化學(xué)清洗工藝等去除該光刻膠層, 得到第一通孔323、第二通孔321、第三通孔327和第四通孔329。步驟6 如圖9所示,在所述第二介質(zhì)層341表面上形成導(dǎo)電連線374和371,以連接所述第一通孔323和第二通孔321,以及所述第三通孔327和第四通孔329,形成第一插塞373、第二插塞371、第三插塞376和第四插塞375,使所述第一邊框掃描線3 與部分柵極線電性相連,所述第二邊框掃描線3 與剩余的柵極線電性相連,所述導(dǎo)電連線374和 371與所述薄膜晶體管的像素電極60制作于同一導(dǎo)電層上。具體的,采用CVD、PECVD、HDP或PVD等工藝在第二介質(zhì)層341表面上形成一導(dǎo)電層,導(dǎo)電材料填充各通孔,得到第一插塞373、第二插塞371、第三插塞376和第四插塞375, 之后采用光刻工藝和刻蝕工藝,去除未被光刻膠覆蓋的導(dǎo)電層材料,形成所述導(dǎo)電連線374 和371以及薄膜晶體管的像素電極60。采用上述方法制備的液晶顯示面板中雙層掃描線的電阻差很小,從而避免了橫向條紋顯示不均勻的情況,在使液晶顯示面板邊框窄化的前提下,提高了液晶顯示面板的顯示效果。與上述第二個(gè)裝置實(shí)施例相對(duì)應(yīng),本發(fā)明另一實(shí)施例公開了相應(yīng)的液晶顯示面板的制作方法,與上一實(shí)施例不同的是,該方法中還要形成雙層邊框數(shù)據(jù)線,因此,還包括以下步驟在形成所述第一邊框掃描線和柵極線的同一光刻步驟中,形成第一邊框數(shù)據(jù)線;在形成所述第二邊框掃描線和信號(hào)線的同一光刻步驟中,形成第二邊框數(shù)據(jù)線。需要說明的是,與上述裝置實(shí)施例相對(duì)應(yīng),這里的第一邊框數(shù)據(jù)線可通過一換層結(jié)構(gòu)與相應(yīng)的信號(hào)線相連,第二邊框數(shù)據(jù)線可以與相應(yīng)的信號(hào)線直接相連,也可以具有一缺口,之后通過換層結(jié)構(gòu)將第二邊框數(shù)據(jù)線與相應(yīng)的信號(hào)線連接,這里不做具體限定,本實(shí)施例中優(yōu)選為后者,下面以雙層邊框數(shù)據(jù)線均采用換層結(jié)構(gòu)為例對(duì)該方法進(jìn)行說明,該方法還包括在形成所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔的同一光刻步驟中,形成以下通孔結(jié)構(gòu)在所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成第五通孔,以暴露出部分第一邊框數(shù)據(jù)線材料;在所述第一邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層上形成第六通孔,以暴露出部分信號(hào)線材料;在所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層上形成第七通孔,以暴露出部分第二邊框數(shù)據(jù)線材料;在所述第二邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層上形成第八通孔,以暴露出部分信號(hào)線材料;在形成第一插塞、第二插塞、第三插塞和第四插塞的同一過程中,通過所述導(dǎo)電連線連接所述第五通孔和第六通孔、同時(shí)連接所述第七通孔和第八通孔,形成第五插塞、第六插塞、第七插塞和第八插塞,使所述第一邊框數(shù)據(jù)線與部分薄膜晶體管的源極電性相連,所述第二邊框數(shù)據(jù)線與剩余的薄膜晶體管的源極電性相連。以上的導(dǎo)電連線與上一實(shí)施例中的導(dǎo)電連線位于同一導(dǎo)電層上,優(yōu)選為氧化銦錫層。需要說明的是,上述液晶顯示面板中,為了避免邊框掃描線和邊框數(shù)據(jù)線中的信號(hào)傳遞,影響顯示區(qū)域的正常顯示,靠近顯示區(qū)域邊緣的最內(nèi)側(cè)的第一邊框掃描線與顯示區(qū)域邊緣的間隔,是大于相鄰兩第一邊框掃描線間的間隔的,且最內(nèi)側(cè)第二邊框掃描線與顯示區(qū)域邊緣的間隔,也是大于相鄰兩第二邊框掃描線間的間隔的,邊框數(shù)據(jù)線亦同。同時(shí),為避免邊框掃描線和邊框數(shù)據(jù)線中的信號(hào)傳遞受到外界環(huán)境的影響,最外側(cè)的第一邊框掃描線與邊框區(qū)域邊緣的間隔,是大于相鄰兩第一邊框掃描線間的間隔的, 且最外層第二邊框掃描線與邊框區(qū)域邊緣的間隔,也是大于相鄰兩第二邊框掃描線間的間隔的,邊框數(shù)據(jù)線亦同。以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上,然而并非用以限定本發(fā)明。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下,都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾,或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此, 凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
1權(quán)利要求
1.一種液晶顯示面板,包括第一基板,該第一基板的表面上具有一顯示區(qū)域和一邊框區(qū)域,所述邊框區(qū)域包圍所述顯示區(qū)域,所述顯示區(qū)域上具有多個(gè)呈陣列式分布的像素區(qū)域,每個(gè)像素區(qū)域包括一薄膜晶體管,所述像素區(qū)域中,同一行薄膜晶體管的柵極通過一柵極線相連,同一列薄膜晶體管的源極通過一信號(hào)線相連,其特征在于,還包括制作于所述邊框區(qū)域的第一邊框掃描線,所述第一邊框掃描線與所述柵極線在同一光刻步驟中形成,且所述第一邊框掃描線通過相應(yīng)的柵極線與部分薄膜晶體管的柵極相連, 以控制該部分薄膜晶體管的開關(guān);覆蓋于所述第一邊框掃描線上的第一介質(zhì)層;位于所述第一介質(zhì)層表面上的第二邊框掃描線,所述第二邊框掃描線通過剩余的柵極線與剩余薄膜晶體管的柵極相連,以控制其余薄膜晶體管的開關(guān);其中,所述第一邊框掃描線與第二邊框掃描線的制作材料為同一種金屬。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第一邊框掃描線和第二邊框掃描線沿著所述顯示區(qū)域的邊緣,間隔式分布于所述邊框區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第一邊框掃描線和第二邊框掃描線的寬度相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第一邊框掃描線通過第一換層結(jié)構(gòu)與所述部分薄膜晶體管對(duì)應(yīng)的柵極線相連,所述第二邊框掃描線通過第二換層結(jié)構(gòu)與所述剩余薄膜晶體管對(duì)應(yīng)的柵極線相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述液晶顯示面板,其特征在于,還包括覆蓋于所述第二邊框掃描線表面上的第二介質(zhì)層;其中,所述第一換層結(jié)構(gòu)包括貫穿所述第一邊框掃描線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第一插塞; 貫穿所述第一邊框掃描線對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第二插塞;連接所述第一插塞和第二插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第一邊框掃描線與相應(yīng)的柵極線電性相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第二換層結(jié)構(gòu)包括 貫穿所述第二邊框掃描線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層的第三插塞;貫穿所述第二邊框掃描線對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第四插塞;連接所述第三插塞和第四插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第二邊框掃描線與相應(yīng)的柵極線電性相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述液晶顯示面板,其特征在于,所述導(dǎo)電連線與所述薄膜晶體管的像素電極制作于同一導(dǎo)電層上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述液晶顯示面板,其特征在于,所述導(dǎo)電連線的制作材料為氧化銦錫。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第一邊框掃描線和第二邊框掃描線的制作材料為鉬、鉻或鋁。
10.根據(jù)權(quán)利要求6-9任一項(xiàng)所述液晶顯示面板,其特征在于,還包括制作于所述邊框區(qū)域的第一邊框數(shù)據(jù)線,所述第一邊框數(shù)據(jù)線與所述柵極線在同一光刻步驟中形成,所述第一介質(zhì)層位于所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方;位于所述第一介質(zhì)層表面上的第二邊框數(shù)據(jù)線,所述第二邊框數(shù)據(jù)線與所述信號(hào)線在同一光刻步驟中形成,所述第二介質(zhì)層位于所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方;其中,所述第一邊框數(shù)據(jù)線通過相應(yīng)的信號(hào)線與部分薄膜晶體管的源極相連,所述第二邊框數(shù)據(jù)線通過剩余的信號(hào)線與剩余薄膜晶體管的源極相連。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第一邊框數(shù)據(jù)線與第二邊框數(shù)據(jù)線的制作材料為同一種金屬,且二者的寬度相同。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第一邊框數(shù)據(jù)線通過第三換層結(jié)構(gòu)與所述部分薄膜晶體管的源極對(duì)應(yīng)的信號(hào)線相連。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第三換層結(jié)構(gòu)包括 貫穿所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層的第五插塞;貫穿所述第一邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層的第六插塞; 連接所述第五插塞和第六插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第一邊框數(shù)據(jù)線與相應(yīng)的信號(hào)線電性相連。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第二邊框數(shù)據(jù)線通過第四換層結(jié)構(gòu)與所述剩余薄膜晶體管的源極對(duì)應(yīng)的信號(hào)線相連。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述液晶顯示面板,其特征在于,所述第四換層結(jié)構(gòu)包括 貫穿所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層的第七插塞;貫穿所述第二邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層的第八插塞; 連接所述第七插塞和第八插塞的導(dǎo)電連線,以使所述第二邊框數(shù)據(jù)線與相應(yīng)的信號(hào)線電性相連。
16.一種液晶顯示面板制作方法,該液晶顯示面板包括第一基板,該第一基板的表面上具有一顯示區(qū)域和一邊框區(qū)域,所述邊框區(qū)域包圍所述顯示區(qū)域,所述顯示區(qū)域上具有多個(gè)呈陣列式分布的像素區(qū)域,每個(gè)像素區(qū)域包括一薄膜晶體管,該薄膜晶體管用于控制與其對(duì)應(yīng)的像素區(qū)域的顯示狀態(tài),其特征在于,包括在所述第一基板上形成第一邊框掃描線和柵極線,所述第一邊框掃描線和柵極線與所述薄膜晶體管的柵極在同一光刻步驟中形成,同一行薄膜晶體管的柵極通過一柵極線相連;在所述第一邊框掃描線和柵極線的表面上形成第一介質(zhì)層;在所述第一介質(zhì)層表面上形成第二邊框掃描線,所述第二邊框掃描線與所述薄膜晶體管的源極、漏極以及所述信號(hào)線在同一光刻步驟中形成;其中,所述第一邊框掃描線與第二邊框掃描線的制作材料為同一種金屬。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其特征在于,還包括 在所述第二邊框掃描線表面上形成第二介質(zhì)層;在所述第一邊框掃描線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分第一邊框掃描線材料,得到所述第一通孔;在所述第一邊框掃描線對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分柵極線材料,得到所述第二通孔;在所述第二邊框掃描線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分第二邊框掃描線材料,得到所述第三通孔;在所述第二邊框掃描線對(duì)應(yīng)的柵極線上方的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成過孔,以暴露出部分柵極線材料,得到所述第四通孔;其中,所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔是在同一光刻步驟中形成的;在所述第二介質(zhì)層表面上形成導(dǎo)電連線,以連接所述第一通孔和第二通孔,以及所述第三通孔和第四通孔,形成第一插塞、第二插塞、第三插塞和第四插塞,使所述第一邊框掃描線與部分柵極線電性相連,所述第二邊框掃描線與剩余的柵極線電性相連,所述導(dǎo)電連線與所述薄膜晶體管的像素電極制作于同一導(dǎo)電層上。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法,其特征在于,還包括 在形成所述第一邊框掃描線和柵極線的同一光刻步驟中,形成第一邊框數(shù)據(jù)線; 在形成所述第二邊框掃描線和信號(hào)線的同一光刻步驟中,形成第二邊框數(shù)據(jù)線; 在形成所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔的同一光刻步驟中,形成以下通孔結(jié)構(gòu)在所述第一邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層上形成第五通孔,以暴露出部分第一邊框數(shù)據(jù)線材料;在所述第一邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層上形成第六通孔,以暴露出部分信號(hào)線材料;在所述第二邊框數(shù)據(jù)線上方區(qū)域的第二介質(zhì)層上形成第七通孔,以暴露出部分第二邊框數(shù)據(jù)線材料;在所述第二邊框數(shù)據(jù)線對(duì)應(yīng)的信號(hào)線上方的第二介質(zhì)層上形成第八通孔,以暴露出部分信號(hào)線材料;在形成第一插塞、第二插塞、第三插塞和第四插塞的同一過程中,通過所述導(dǎo)電連線連接所述第五通孔和第六通孔、同時(shí)連接所述第七通孔和第八通孔,形成第五插塞、第六插塞、第七插塞和第八插塞,使所述第一邊框數(shù)據(jù)線與部分薄膜晶體管的源極電性相連,所述第二邊框數(shù)據(jù)線與剩余的薄膜晶體管的源極電性相連。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種液晶顯示面板及其制作方法,包括制作于邊框區(qū)域的第一邊框掃描線,第一邊框掃描線與柵極線在同一光刻步驟中形成,且第一邊框掃描線通過相應(yīng)的柵極線與部分薄膜晶體管的柵極相連;覆蓋于第一邊框掃描線上的第一介質(zhì)層;位于第一介質(zhì)層表面上且通過剩余的柵極線與剩余薄膜晶體管的柵極相連的第二邊框掃描線;其中,第一邊框掃描線與第二邊框掃描線的制作材料為同一種金屬。本發(fā)明中的雙層掃描線的線寬、厚度等可設(shè)計(jì)成相同,且由于顯影刻蝕條件相同,刻蝕后,雙層掃描線的寬度更趨于一致,從而使雙層掃描線的電阻更接近,從而避免了橫向條紋顯示不均勻的情況,在使液晶顯示面板邊框窄化的前提下,提高了液晶顯示面板的顯示效果。
文檔編號(hào)G02F1/1362GK102360145SQ20111029736
公開日2012年2月22日 申請(qǐng)日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者何基強(qiáng), 李林, 林建偉, 洪勝寶, 胡君文, 謝凡, 陳曉彬 申請(qǐng)人:信利半導(dǎo)體有限公司