專利名稱：紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光學(xué)投影系統(tǒng)，該系統(tǒng)用于紅外半實(shí)物仿真裝置中，更特別地，涉及一種使用數(shù)字微鏡器件(DMD)的3 12 μ m紅外寬波段投影系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著紅外成像系統(tǒng)在軍事偵察、告警、跟蹤制導(dǎo)以及工業(yè)檢測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，其性能指標(biāo)也在不斷提高，從而對(duì)紅外成像系統(tǒng)測(cè)試設(shè)備提出了更高的要求。近年來，基于DMD的紅外半實(shí)物仿真系統(tǒng)，能夠模擬目標(biāo)和背景的紅外輻射，并且產(chǎn)生的紅外圖像具有高的分辨率和對(duì)比度，能用于高性能紅外成像系統(tǒng)性能測(cè)試和場(chǎng)景仿真試驗(yàn)?；贒MD的紅外半實(shí)物仿真系統(tǒng)由以下幾部分組成光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)投影系統(tǒng)、DMD驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)。當(dāng)確定了光學(xué)照明系統(tǒng)和DMD型號(hào)時(shí)，光學(xué)投影系統(tǒng)決定了仿真系統(tǒng)投射出來的目標(biāo)紅外圖像的質(zhì)量。因此，光學(xué)投影系統(tǒng)的性能決定了紅外半實(shí)物仿真系統(tǒng)的性能。3 12 μ m紅外寬波段半實(shí)物仿真系統(tǒng)能對(duì)中波紅外和長(zhǎng)波紅外成像系統(tǒng)進(jìn)行仿真測(cè)試，比單波段的紅外半實(shí)物仿真系統(tǒng)有較大的優(yōu)勢(shì)。目前，已有的紅外雙波段或者寬波段半實(shí)物仿真系統(tǒng)，也能對(duì)中波紅外和長(zhǎng)波紅外成像系統(tǒng)進(jìn)行仿真測(cè)試，但是，其雙波段紅外圖像是由兩片DMD形成的紅外圖像經(jīng)過半反半透鏡合成產(chǎn)生的，整個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且兩片DMD產(chǎn)生的紅外圖像很難對(duì)準(zhǔn)重疊，導(dǎo)致紅外半實(shí)物仿真系統(tǒng)產(chǎn)生的模擬目標(biāo)紅外圖像分辨率和對(duì)比度低。另外，已有的紅外雙波段或者寬波段半實(shí)物仿真系統(tǒng)，在-40°C +60°C溫度范圍內(nèi)使用，需要對(duì)紅外投影系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)焦才能得到清晰的紅外圖像，導(dǎo)致系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜。為了提高3 12 μ m紅外寬波段半實(shí)物仿真系統(tǒng)的分辨率和對(duì)比度，必須突破傳統(tǒng)的使用兩片DMD來構(gòu)建投影系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思路。但是，只使用一片DMD來構(gòu)建投影系統(tǒng)，必須解決3 12 μ m紅外寬波段消色差和消熱差的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決現(xiàn)有DMD的紅外半實(shí)物仿真系統(tǒng)由兩片DMD組成，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、產(chǎn)生的模擬目標(biāo)紅外圖像分辨率和對(duì)比度低，并且在-40°C +60°C溫度范圍需要調(diào)焦才能獲得清晰圖像的問題，提供一種紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)。紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括DMD模塊和3 12 μ m 紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)；所述DMD模塊包括微透鏡陣列靶面和DMD芯片保護(hù)窗口 ； 所述3 12 μ m紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)包括投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭和光學(xué)系統(tǒng)的出瞳；所述投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭包括第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片和第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片；其特征是，所述DMD模塊將接收的數(shù)字圖像經(jīng)DMD 模塊內(nèi)的微透鏡陣列靶面和DMD芯片保護(hù)窗口后轉(zhuǎn)換為紅外圖像，然后將所述紅外圖像輸出至3 12 μ m紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)，投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭將紅外圖像投影到光學(xué)系統(tǒng)的出瞳；所述第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前表面、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面和第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面為六次非球面。本發(fā)明的有益效果一、本發(fā)明所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)采用一臺(tái)紅外半實(shí)物仿真測(cè)試設(shè)備就能對(duì)中波紅外和長(zhǎng)波紅外成像系統(tǒng)進(jìn)行仿真測(cè)試，可以在-40°C +60°C溫度范圍內(nèi)正常工作，既能在實(shí)驗(yàn)室使用，又能在室外使用，便于紅外成像系統(tǒng)的戶外測(cè)試。該系統(tǒng)在3 12 μ m波長(zhǎng)范圍內(nèi)和-40°C +60°C溫度范圍內(nèi)工作時(shí)，能實(shí)現(xiàn)免調(diào)焦功能，既避免了由于調(diào)焦而存在運(yùn)動(dòng)環(huán)節(jié)對(duì)仿真測(cè)試系統(tǒng)精度的影響，又能簡(jiǎn)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，從而大大提高仿真測(cè)試系統(tǒng)的可靠性，保證其高精度長(zhǎng)時(shí)間正常工作。二、本發(fā)明所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)只用一片DMD來實(shí)現(xiàn)3 12 μ m寬波段半實(shí)物仿真系統(tǒng)，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，大大降低了對(duì)裝調(diào)精度的要求，容易集成為便攜式的仿真測(cè)試系統(tǒng)，非常利于武器裝備中的紅外成像系統(tǒng)戶外仿真測(cè)試；另外，由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，也能降低設(shè)備研制成本。采用一片DMD，解決了消色差和消熱差的問題； 同時(shí)，被測(cè)系統(tǒng)由中波紅外系統(tǒng)更換為長(zhǎng)波紅外系統(tǒng)，或者由長(zhǎng)波紅外系統(tǒng)更換為中波紅外系統(tǒng)時(shí)，投影系統(tǒng)無需調(diào)節(jié)像面位置；在-40°C +60°C溫度范圍內(nèi)使用，無需調(diào)節(jié)像面位置，即實(shí)現(xiàn)了免調(diào)焦功能。
圖1為本發(fā)明所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)中微透鏡陣列靶面和DMD芯片保護(hù)窗口的示意圖；圖3為本發(fā)明所述的本發(fā)明所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)的投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭的示意圖。圖中1、DMD模塊，2、投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭，3、光學(xué)出瞳，1-1、微透鏡陣列靶面，1-2、 DMD芯片保護(hù)窗口，2-1、第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片，2-2、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片，2-3、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片，2-4、第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片，1-2-1、DMD芯片保護(hù)窗口的前表面，1-2-2、 DMD芯片保護(hù)窗口的后表面，2-1-1、第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前表面，2-1-2、第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面；2-2-1、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前表面，2-2-2、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面，2-3-1、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前表面，2-3-2、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面，2-4-1、第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前表面，2-4-2、第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面。
具體實(shí)施例方式具體實(shí)施方式
一、結(jié)合圖1至圖3說明本實(shí)施方式，紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括將數(shù)字圖像轉(zhuǎn)換為紅外圖像的DMD模塊1和3 12 μ m紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)；其中，數(shù)字微鏡器件DMD模塊包括微鏡陣列靶面1_1、DMD芯片保護(hù)窗口 1_2，DMD芯片保護(hù)窗口 1-2是在3 12 μ m波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有高透過率的紅外材料。DMD模塊在使用黑體照明時(shí)，可以將通過電路輸入的數(shù)字圖像轉(zhuǎn)換為相同場(chǎng)景的紅外圖像輸出。3 12 μ m紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)包括投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭2 第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片一 2-1、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-2、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片、第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-4，3 12 μ m紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)可以將DMD產(chǎn)生的紅外圖像投影到光學(xué)出3。所述第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前表面2-1-1、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面 2-2-2、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面2-3-2和第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面2-4-2為六次非球面。本實(shí)施方式所述DMD模塊1中的DMD芯片保護(hù)窗口 1_2為具有高透過率的紅外材料。所述高透過率的紅外材料可以為ZnSe、ZnS或Ge。本實(shí)施方式所述的第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-1和第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-3的材料為aiS。所述第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-2的材料為第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-4的材料為Ge。本實(shí)施方式所述的第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-1的前表面2-1-1和第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-1的后表面2-1-2、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-2的前表面2-2-1和第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-2的后表面2-2-2、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-3的前表面2_3_1和第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-3的后表面2-3-2與第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-4的前表面2_4_1和第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-4的后表面2-4-2鍍有增透膜。本實(shí)施方式所述的光學(xué)系統(tǒng)的出瞳3位于投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭2外部，并且光學(xué)系統(tǒng)的出瞳3與第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-4的距離大于50mm。本實(shí)施方式所述的3 12 μ m紅外寬波段投影系統(tǒng)的設(shè)計(jì)過程通過求解初級(jí)像差理論中的色差平衡方程組和熱差平衡方程組，確定光學(xué)系統(tǒng)的初始結(jié)構(gòu)，然后利用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件kmax或Code V等，優(yōu)化系統(tǒng)的高級(jí)像差。在3 12 μ m波長(zhǎng)范圍內(nèi)選取多個(gè)波長(zhǎng)，在-40°C +60°C溫度范圍內(nèi)，每間隔10°C選擇一個(gè)溫度點(diǎn)，建立多重結(jié)構(gòu)。為了滿足系統(tǒng)在3 12 μ m波長(zhǎng)范圍內(nèi)和-40°C +60°C溫度范圍內(nèi)消色差和消熱差，實(shí)現(xiàn)免調(diào)焦功能，選擇ZnSe、ZnS和Ge三種紅外材料制作透鏡，并將幾個(gè)透鏡的面型設(shè)置為高次非球面， 保持每個(gè)結(jié)構(gòu)的后工作距值一致，進(jìn)行像差優(yōu)化設(shè)計(jì)。每個(gè)紅外透鏡的兩個(gè)表面都鍍?cè)鐾改?，要求? 12 μ m波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透過率大于90%。為了保證照明系統(tǒng)的安裝空間，必須將DMD保護(hù)窗口 1-2和紅外光學(xué)鏡片一 2_1 之間的距離優(yōu)化到合適值，該值根據(jù)照明系統(tǒng)的尺寸而定，確保照明系統(tǒng)和投影系統(tǒng)不相互遮擋。為了方便與被測(cè)紅外成像系統(tǒng)進(jìn)行光瞳的對(duì)接，投影系統(tǒng)的光學(xué)出瞳3必須在第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-4之外的一段距離，該距離由被測(cè)紅外成像系統(tǒng)與紅外半實(shí)物仿真系統(tǒng)的安裝對(duì)接方式?jīng)Q定，使投影系統(tǒng)的光學(xué)出瞳3與被測(cè)紅外成像系統(tǒng)的入瞳在同一位置即可。最終得到的3 12 μ m紅外寬波段消熱差免調(diào)焦投影系統(tǒng)，在3 12 μ m波長(zhǎng)范圍內(nèi)和-40°C +60°C溫度范圍內(nèi)，不調(diào)節(jié)像面位置，其均方根彌散斑半徑可以控制在艾里斑半徑范圍內(nèi)，確保投影系統(tǒng)具有高成像質(zhì)量。
具體實(shí)施方式
二、結(jié)合圖1說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式為具體實(shí)施方式
一所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)的實(shí)施例系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)如下工作波段3 12 μ m;焦距250mm;視場(chǎng)角4° ；出瞳直徑70mm;出瞳距250mm;分辨率優(yōu)于 0.2mrad ；根據(jù)上述技術(shù)指標(biāo)，選用的DMD分辨率為IOMX 768，每個(gè)DMD尺寸為13. 68 μ m。由初級(jí)像差理論，通過求解色差平衡方程組和熱差平衡方程組，得到投影系統(tǒng)的初始結(jié)構(gòu)。 為了消除3 12 μ m寬波段色差引起的高級(jí)像差，一方面選用三種能透過3 12 μ m紅外線的鏡片材料進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，能較好地降低光學(xué)系統(tǒng)色差，另一方面，將多個(gè)鏡片面型設(shè)置為能加工的高次非球面，增加系統(tǒng)的優(yōu)化參數(shù)，便于優(yōu)化系統(tǒng)的像差。在光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化過程中，選取3 12 μ m內(nèi)的多個(gè)波長(zhǎng)，，在_40°C +60°C溫度范圍內(nèi)每隔10°c選擇一個(gè)溫度點(diǎn)，建立多重結(jié)構(gòu)，在不調(diào)節(jié)像面位置的前提下，對(duì)光學(xué)鏡片參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，最終得到的投影系統(tǒng)的均方根彌散斑半徑達(dá)到衍射極限，說明在上述技術(shù)指標(biāo)下，光學(xué)投影系統(tǒng)已經(jīng)達(dá)到衍射極限，能夠滿足高性能紅外成像系統(tǒng)性能測(cè)試和場(chǎng)景仿真試驗(yàn)的要求。經(jīng)過以上設(shè)計(jì)，最終得到的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù)如表1所示。其中，第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-1材料為&!S、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-2 材料為第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-3材料為&!S、第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片2-4的材料為 Ge，第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前鏡面2-1-1、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面2-2-2、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面2-3-2和第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的后表面2-4-2均為六次非球面。每個(gè)紅外鏡片的兩個(gè)表面都鍍?cè)鐾改?，? 12 μ m波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透過率大于90%。本實(shí)施方式中所述的鏡片表面是非球面，至于哪些鏡片的表面是非球面，可選擇的組合方式很多。具體選擇哪些鏡面作為非球面，需要滿足以下條件能使紅外半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)在3 12 μ m波長(zhǎng)范圍內(nèi)和-40°C +60°C溫度范圍內(nèi)，免調(diào)焦的條件下，得到高的成像質(zhì)量。表 權(quán)利要求
1.紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括DMD模塊(1)和3 12 μ m紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)；所述DMD模塊(1)包括微透鏡陣列靶面(1_1)和 DMD芯片保護(hù)窗口(1-2)；所述3 12 μ m紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)包括投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭( 和光學(xué)系統(tǒng)的出瞳(3)；所述投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭( 包括第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片0-1)、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片0-2)、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片(2- 和第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片0-4)；其特征是，所述DMD模塊(1)將接收的數(shù)字圖像經(jīng)DMD模塊(1)內(nèi)的微透鏡陣列靶面(1-1)和DMD芯片保護(hù)窗口(1-2)后轉(zhuǎn)換為紅外圖像，然后將所述紅外圖像輸出至3 12 μ m紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)，投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭( 將紅外圖像投影到光學(xué)系統(tǒng)的出瞳(3)；所述第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前表面0-1-1)、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片(2- 的后表面0-2-2)、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片(2- 的后表面(2-3- 和第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片0-4)的后表面(2-4- 為六次非球面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，其特征在于，所述DMD模塊(1)中的DMD芯片保護(hù)窗口(1-2)為具有高透過率的紅外材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，其特征在于，所述高透過率的紅外材料為ZnSe、ZnS或Ge。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，其特征在于，所述第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片(2-1)和第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片(2- 的材料為SiS;所述第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片0-2)的材料為&ι%，第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片(2-4)的材料為Ge。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，其特征在于，第一長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片的前表面0-1-1)和后表面0-1-2)、第二長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片0-2)的前表面(2-2-1)和后表面0-2-2)、第三長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片0-3)的前表面 (2-3-1)和后表面0-3-2)，以及第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片(2-4)的前表面(2-4-1)和后表面 (2-4-2)均鍍有增透膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，其特征在于，光學(xué)系統(tǒng)的出瞳(3)與第四長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片0-4)的距離大于50mm。
全文摘要
紅外寬波段消熱差免調(diào)焦半實(shí)物仿真投影系統(tǒng)，涉及一種光學(xué)投影系統(tǒng)領(lǐng)域。它解決現(xiàn)有DMD的紅外半實(shí)物仿真系統(tǒng)由兩片DMD組成，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜以及需要調(diào)焦才能獲得清晰圖像的問題，該系統(tǒng)包括DMD模塊和3～12μm紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)；DMD模塊包括微透鏡陣列靶面和DMD芯片保護(hù)窗口；3～12μm紅外寬波段長(zhǎng)后工作距光學(xué)系統(tǒng)包括投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭和光學(xué)系統(tǒng)的出瞳；投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭包括四個(gè)長(zhǎng)波紅外光學(xué)鏡片；所述DMD模塊將接收的數(shù)字圖像經(jīng)DMD模塊內(nèi)的微透鏡陣列靶面和DMD芯片保護(hù)窗口后轉(zhuǎn)換為紅外圖像，然后將紅外圖像輸出至投影系統(tǒng)光學(xué)鏡頭后投影到光學(xué)系統(tǒng)的出瞳，本系統(tǒng)適用于紅外半實(shí)物仿真裝置。
文檔編號(hào)G02B13/18GK102368112SQ20111033615
公開日2012年3月7日 申請(qǐng)日期2011年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月31日
發(fā)明者孫強(qiáng), 張建忠, 楊樂, 王健, 郭幫輝 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所