專利名稱：光波導(dǎo)用樹脂組合物以及使用其的光波導(dǎo)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為構(gòu)成光波導(dǎo)的芯部的形成材料所使用的光波導(dǎo)用樹脂組合物以及使用該樹脂組合物的光波導(dǎo)。詳細(xì)地說，涉及容易通過堿顯影液形成芯圖案的光波導(dǎo)形成用樹脂組合物、以及使用該樹脂組合物的光波導(dǎo)。
背景技術(shù)：
光波導(dǎo)被裝入光波導(dǎo)器件、光集成電路、光布線基板等光器件中，在光通信、光信息處理、其它一般光學(xué)領(lǐng)域中被廣泛使用。光波導(dǎo)中，通常，作為光的通路的芯被形成為規(guī)定圖案，以覆蓋該芯的方式形成有下包層和外包層。
在將這些芯、下包層和外包層形成為規(guī)定圖案的情況下，通常，使用各種形成材料。例如，將上述芯形成圖案時，使用感光性高分子材料，如下述那樣形成芯。即，使用下述方法使用上述感光性高分子材料在下包層上形成涂膜層，隔著圖案薄膜對該涂膜層照射紫外線進(jìn)行曝光，接著，用溶劑類將未曝光部除去而將芯形成為圖案狀。這種芯形成方法簡便并且適合低成本化，但是，為了圖案化需要像上述那樣使用溶劑，作業(yè)上的安全和對環(huán)境的負(fù)擔(dān)成為問題。
基于這樣的背景，為了作為可以代替溶劑通過堿顯影液形成芯圖案的上述芯形成材料而使用，目前開發(fā)出了含有堿可溶性樹脂、光聚合引發(fā)劑和環(huán)氧樹脂的光固化性 熱固化性樹脂組合物作為堿顯影型光波導(dǎo)形成材料(參照專利文獻(xiàn)1)。
在使用這樣的成為堿顯影型光波導(dǎo)形成材料的光固化性 熱固化性樹脂組合物形成芯圖案后，通過熱固化使堿可溶性樹脂中的酸性官能團(tuán)羧基和環(huán)氧樹脂中的環(huán)氧基進(jìn)行酯化，由此期待耐熱性和耐濕性等可靠性的特性提高。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1 日本特開2005-338202號公報發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題
但是，上述專利文獻(xiàn)1記載等的作為光固化性·熱固化性樹脂組合物的構(gòu)成成分的環(huán)氧樹脂不具有作為酸性官能團(tuán)的羧基，對堿顯影液為不溶成分。因此，顯影后的堿顯影液中產(chǎn)生作為不溶成分的懸浮物、沉淀物等，作為顯影液的效率變壞，從溶液管理方面來看，批量生產(chǎn)性降低是課題。進(jìn)而，在使用產(chǎn)生了上述作為不溶成分的懸浮物、沉淀物的狀態(tài)的堿顯影液連續(xù)進(jìn)行顯影的情況下，產(chǎn)生懸浮物再附著到芯圖案表面而不能得到良好形狀的圖案的問題。
本發(fā)明是鑒于該情況而進(jìn)行的，其目的在于提供容易通過堿顯影液形成芯圖案、 能抑制此時堿顯影液的劣化并能期待生產(chǎn)率的提高的光波導(dǎo)用樹脂組合物以及使用該樹脂組合物的光波導(dǎo)。
權(quán)利要求
1. 一種光波導(dǎo)用樹脂組合物，其特征在于，以下述的(A)成分為主要成分，并含有用于其固化的下述(B)成分，(A)具有下述通式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元的堿可溶性樹脂，(B)光聚合引發(fā)劑， [化學(xué)式1]
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)用樹脂組合物，相對于光波導(dǎo)用樹脂組合物(除溶劑以外的固體成分)，上述(B)成分的含量為0.1 20重量％。
3.一種光波導(dǎo)，其特征在于，其具有基板和形成于該基板上的包層，在上述包層中形成有傳輸光信號的芯部，上述芯部是通過權(quán)利要求1或2所述的光波導(dǎo)用樹脂組合物形成的。
全文摘要
本發(fā)明提供光波導(dǎo)用樹脂組合物以及使用其的光波導(dǎo)，所述光波導(dǎo)用樹脂組合物容易通過堿顯影液形成芯圖案，能抑制此時堿顯影液的劣化并期待生產(chǎn)率的提高。光波導(dǎo)用樹脂組合物以具有下述通式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元的堿可溶性樹脂為主要成分，并含有用于其固化的光聚合引發(fā)劑。光波導(dǎo)具有基板(1)和形成于該基板(1)上的包層(2)，在上述包層(2)中形成有傳輸光信號的芯部(3)，由上述光波導(dǎo)用樹脂組合物形成上述芯部(3)。在下述式(1)中，R1、R2、R3是氫原子或甲基，彼此可以相同也可以不同；另外，R5、R6是氫原子或甲基，彼此可以相同也可以不同；另外，R4是而且，m+n+p＝1，并且m＞0，n＞0，p＞0。
文檔編號G02B1/04GK102540722SQ20111033991
公開日2012年7月4日 申請日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月5日
發(fā)明者平山智之, 藤澤潤一 申請人:日東電工株式會社