專利名稱：正型感光性樹脂組成物及其形成圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法。特別是提供一種使用在半導(dǎo)體集積回路組件及薄膜電晶體(以下簡稱TFT)的液晶顯示組件制造中，耐裂縫性佳的正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法。
背景技術(shù)：
在基板上形成如液晶顯示組件回路或半導(dǎo)體積體回路等微細回路圖案的絕緣膜或者導(dǎo)電性金屬膜上，均勻地涂布光阻組成物，并于指定形狀的光罩下進行曝光顯影，可制得所需形狀的圖案。接著，將形成圖案的光阻膜作為光罩除去金屬膜或絕緣膜后，再除去殘留的光阻膜，即可在基板上形成微細回路。根據(jù)光阻組成物在曝光部分或光阻膜部分的可溶或不溶性，光阻組成物可分為正型光阻和負型光阻兩類。日本特公平2-51499專利文獻揭露一種正型感光性樹脂組成物，該組成物包含一由間-甲酚、對-甲酚及二甲苯酚的混合物與醛類縮合而得的酚醛清漆樹脂及一醌二迭氮化合物，于應(yīng)用上具有高感度及高殘膜率等優(yōu)點，然而，根據(jù)近幾年的需求，其所形成的圖案有耐熱性差的問題且已無法達到標(biāo)準(zhǔn)。因此，相較于前述感光性樹脂組成物，日本特開2007-304592專利文獻揭露使用如下列結(jié)構(gòu)式所表示的酚醛清漆樹脂作為感光性樹脂組成物，可于基板上形成耐熱性佳的圖案，然而，其所形成的圖案卻有耐裂縫性不佳的問題；
(式中，1 表示11、-0!1或-013，11為3 20的整數(shù))。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要目的在于提供一種正型感光性樹脂組成物，特別是提供一種使用在半導(dǎo)體集積回路組件及薄膜電晶體(以下簡稱TFT)的液晶顯示組件制造中，耐裂縫性佳的正型感光性樹脂組成物。本發(fā)明另一目的在于提供一種使用前述正型感光性樹脂組成物形成圖案的方法。為滿足前述目的，本發(fā)明涉及一種正型感光性樹脂組成物，包含酚醛清漆樹脂 (A)、含環(huán)氧丙烷基(oxetanyl)的環(huán)氧樹脂(B)、鄰萘醌二迭氮磺酸類酯化物(C)以及溶劑 (D)，其中，該酚醛清漆樹脂(A)包含羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)，該羥基型酚醛清漆樹脂 (A-I)由羥基苯甲醛類化合物與芳香族羥基化合物縮合而得，且基于酚醛清漆樹脂(A)IOO重量份，該羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)的使用量為30 100重量份。如前所述正型感光性樹脂組成物，其中，該羥基苯甲醛類化合物是選自羥基苯甲醛化合物、二羥基苯甲醛化合物、三羥基苯甲醛化合物及羥基烷基苯甲醛化合物所組成的群組。如前所述正型感光性樹脂組成物，其中，該羥基苯甲醛化合物是選自鄰-羥基苯甲醛、間-羥基苯甲醛及對-羥基苯甲醛所組成的群組。如前所述正型感光性樹脂組成物，其中，該二羥基苯甲醛化合物是選自2，3- 二羥基苯甲醛、2，4- 二羥基苯甲醛、2，5- 二羥基苯甲醛、3，4- 二羥基苯甲醛及3，5- 二羥基苯甲醛所組成的群組。如前所述正型感光性樹脂組成物，其中，該三羥基苯甲醛化合物是選自2，3，4-三羥基苯甲醛、2，4，5-三羥基苯甲醛、2，4，6-三羥基苯甲醛、3，4，5-三羥基苯甲醛所組成的群組。如前所述正型感光性樹脂組成物，其中，該羥基烷基苯甲醛化合物是選自包括鄰-羥甲基苯甲醛、間-羥甲基苯甲醛及對-羥甲基苯甲醛所組成的群組。如前所述正型感光性樹脂組成物，其中，基于酚醛清漆樹脂(A) 100重量份，含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)的使用量為5 40重量份，鄰萘醌二迭氮磺酸類酯化物(C)的使用量為1 100重量份，溶劑(D)的使用量為500 2000重量份。本發(fā)明的一種圖案形成方法，是將如前所述的正型感光性樹脂組成物涂布于基板，再依序施予預(yù)烤、曝光、顯影及后烤處理，據(jù)此于該基板形成圖案。本發(fā)明一種薄膜電晶體陣列基板，包含如前所述的圖案。本發(fā)明一種液晶顯示組件，包含所述薄膜電晶體陣列基板。本發(fā)明中，以(甲基)丙烯酸表示丙烯酸及/或甲基丙烯酸，同樣地，以(甲基) 丙烯酸酯表示丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯；以(甲基)丙烯?；硎颈；?或甲基丙烯?；灰?甲基)丙烯酰氧基表示丙烯酰氧基及/或甲基丙烯酰氧基。以下逐一對本發(fā)明各組成做詳細的說明。<正型感光性樹脂組成物> [酚醛清漆樹脂(A)]
本發(fā)明正型感光性樹脂組成物酚醛清漆樹脂(A)包含羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)，并可選擇性地進一步包含其他酚醛清漆樹脂(A-2)。該羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)是由羥基苯甲醛類化合物與芳香族羥基化合物，在酸性催化劑存在下經(jīng)縮合反應(yīng)而得。其中，羥基苯甲醛類化合物的具體例為鄰-羥基苯甲醛、間-羥基苯甲醛、對-羥基苯甲醛等羥基苯甲醛化合物；2，3- 二羥基苯甲醛、2，4- 二羥基苯甲醛、2，5- 二羥基苯甲醛、3，4- 二羥基苯甲醛、3，5- 二羥基苯甲醛等之二羥基苯甲醛化合物；2，3，4-三羥基苯甲醛、2，4，5-三羥基苯甲醛、2，4，6-三羥基苯甲醛、3，4，5-三羥基苯甲醛等三羥基苯甲醛化合物；鄰-羥甲基苯甲醛、間-羥甲基苯甲醛、對-羥甲基苯甲醛等羥基烷基苯甲醛化合物。該羥基苯甲醛類化合物可單獨一種使用或混合復(fù)數(shù)種使用。其中，以鄰-羥基苯甲醛、 間-羥基苯甲醛、對-羥基苯甲醛、2，3- 二羥基苯甲醛、2，4- 二羥基苯甲醛、3，4- 二羥基苯甲醛、2，3，4-三羥基苯甲醛為較佳。
本發(fā)明與該羥基苯甲醛類化合物縮合反應(yīng)的芳香族羥基化合物的具體例為苯酚(phenol)；間-甲酚(m-cresol)、對-甲酚(p-cresol)、鄰-甲酚(o-cresol)等之甲酚(cresol)類；2，3-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、3，4-二甲苯酚等二甲酚 (xylenol)類；間-乙基苯酚、對-乙基苯酚、鄰-乙基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、2，3，5-三乙基苯酚、4-第三丁基苯酚、3-第三丁基苯酚、2-第三丁基苯酚、2-第三丁基-4-甲基苯酚、2-第三丁基-5-甲基苯酚、6-第三丁基-3-甲基苯酚等之烷基苯酚(alkyl phenol)類； 對-甲氧基苯酚、間-甲氧基苯酚、對-乙氧基苯酚、間-乙氧基苯酚、對丙氧基苯酚、間-丙氧基苯酚等烷氧基苯酚(alkoxy phenol)類；鄰-異丙烯基苯酚、對-異丙烯基苯酚、2_甲基-4-異丙烯基苯酚、2-乙基-4-異丙烯基苯酚等異丙烯基苯酚(isopropenyl phenol) 類；苯基苯酚(phenyl phenol)等芳基苯酚(aryl phenol)類；4，4’ - 二羥基聯(lián)苯、雙酚A、 間-苯二酚(resorcinol)、對-苯二酚(hydroquinone) U, 2, 3-苯三酚(pyrogallol)等多羥基苯(polyhydroxyphenol)類等。前述芳香族羥基化合物可單獨一種使用或混合復(fù)數(shù)種使用。其中，以鄰-甲酚、間-甲酚、對-甲酚、2，5-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、2，3，5-三甲基苯酚等為較佳。前述酸性催化劑的具體例如鹽酸、硫酸、甲酸、醋酸、草酸、對甲苯磺酸等?；诜尤┣迤針渲?A) 100重量份，羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)的使用量通常為 30 100重量份，較佳為40 100重量份，更佳為50 100重量份。若羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)使用量低于30重量份時，則感光性樹脂組成物所形成的圖案容易有裂縫產(chǎn)生及殘膜率低下的問題。其他酚醛清漆樹脂(A-2)，一般是由前述芳香族羥基化合物及非羥基苯甲醛類等醛類，在前述酸性催化劑存在下經(jīng)縮合反應(yīng)而得。其中，非羥基苯甲醛等醛類的具體例為甲醛、多聚甲醛(paraformaldehyde)、 三聚甲醛(trioxane)、乙醛、丙醛、丁醛、三甲基乙醛、丙烯醛(acrolein)、丁烯醛 (crotonaldehyde)、環(huán)己酸(cyclo hexanealdehyde)、呋喃甲酸(furfural)、呋喃基丙烯醛(furylacrolein)、苯甲醛、對苯二甲醛(terephthal aldehyde)、苯乙醛、α -苯基丙醛、 β-苯基丙醛、鄰-甲基苯甲醛、間-甲基苯甲醛、對-甲基苯甲醛、鄰-氯苯甲醛、間-氯苯甲醛、對-氯苯甲醛、肉桂醛等。前述醛類可單獨一種使用或混合復(fù)數(shù)種使用。其中，以甲醛為較佳。前述羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)與其他酚醛清漆樹脂(Α-2)，皆可使用單一種類的酚醛清漆樹脂，亦可混合兩種或兩種以上不同種類酚醛清漆樹脂。[含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)]
本發(fā)明正型感光性樹脂中含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)是由不飽和羧酸單體(bl)、含環(huán)氧丙烷基化合物( )及其他不飽和單體(舊)所共聚合而得。其中
不飽和羧酸單體(bl)的具體例為丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸及肉桂酸等不飽和一元羧酸類；馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸、 檸康酸酐等不飽和二元羧酸(酐)類；3價以上的不飽和多價羧酸(酐)類等等。其中，以丙烯酸、甲基丙烯酸為較佳。該不飽和羧酸單體(bl)可單獨一種使用或混合復(fù)數(shù)種使用。含環(huán)氧丙烷基化合物(b2)的具體例為3-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷 (3-[(meth) acryloyloxy- methyl] oxetane)、3_ (甲基)丙烯酰氧甲基 _3_ 乙基環(huán)氧丙烷、3_(甲基)丙烯酰氧甲基-2-甲基環(huán)氧丙烷、3-(甲基)丙烯酰氧甲基-2-三氟甲基環(huán)氧丙烷、3_(甲基)丙烯酰氧甲基-2-五氟乙基環(huán)氧丙烷、3_(甲基)丙烯酰氧甲基-2-苯基環(huán)氧丙烷、3_(甲基)丙烯酰氧甲基_2，2-二氟環(huán)氧丙烷、3-(甲基)丙烯酰氧甲基_2，2，4-三氟環(huán)氧丙烷、3_(甲基)丙烯酰氧甲基_2，2，4，4-四氟環(huán)氧丙烷、3-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、3_(甲基)丙烯酰氧乙基-3-乙基環(huán)氧丙烷、2-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、3_(甲基)丙烯酰氧乙基-2-三氟甲基環(huán)氧丙烷、3-(甲基)丙烯酰氧乙基-2-五氟乙基環(huán)氧丙烷、3-(甲基)丙烯酰氧乙基-2-苯基環(huán)氧丙烷、2，2-二氟-3-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、3_(甲基)丙烯酰氧乙基_2，2，4-三氟環(huán)氧丙烷、3-(甲基)丙烯酰氧乙基-2，2，4，4-四氟環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、2-甲基-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、3-甲基-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、4-甲基-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、2_(甲基)丙烯酰氧甲基-2-三氟甲基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基-3-三氟甲基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基-4-三氟甲基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基-2-五氟乙基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基-3-五氟乙基環(huán)氧丙烷、2_(甲基)丙烯酰氧甲基-4-五氟乙基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基-2-苯基環(huán)氧丙烷、2_(甲基)丙烯酰氧甲基-3-苯基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基-4-苯基環(huán)氧丙烷、2，3-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、2，4-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、3，3-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、2，4-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、3，4-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、4，4-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧甲基環(huán)氧丙烷、2_(甲基)丙烯酰氧甲基_3，3，4-三氟環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基-3，4，4-三氟環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧甲基_3，3，4，4-四氟環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、2_(甲基)丙烯酰氧乙基-2-甲基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-4-甲基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-2-三氟甲基環(huán)氧丙烷、2-(甲基) 丙烯酰氧乙基-3-三氟甲基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-4-三氟甲基環(huán)氧丙烷、 2-(甲基)丙烯酰氧乙基-2-五氟乙基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-3-五氟乙基環(huán)氧丙烷、2_(甲基)丙烯酰氧乙基-4-五氟乙基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-2-苯基環(huán)氧丙烷、2_(甲基)丙烯酰氧乙基-3-苯基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-4-苯基環(huán)氧丙烷、2，3-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、2，4-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、3，3-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、3，4-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、4，4-二氟-2-(甲基)丙烯酰氧乙基環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基-3，3，4-三氟環(huán)氧丙烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基_3，4，4-三氟環(huán)氧丙烷、2-(甲基) 丙烯酰氧乙基-3，3，4，4-四氟環(huán)氧丙烷、(甲基)丙烯酸環(huán)丁酯等。含環(huán)氧丙烷基化合物 (b2)可單獨一種使用或混合復(fù)數(shù)種使用。 其他不飽和單體(b3)的具體例為(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、 (甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸二級丁酯、(甲基)丙烯酸三級丁酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、馬來酸二乙酯(diethyl maleate)、富馬酸二乙酯(diethyl fumarate)、衣康酸二乙酯(diethyl itaconate)、(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、苯乙烯、α -甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯、對-甲基苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯等。其中，以苯乙烯、甲基丙烯酸三級丁酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊酯、丙烯酸二環(huán)戊氧基乙酯、對-甲氧基苯乙烯較佳。其他不飽和單體(b3) 可單獨一種使用或混合復(fù)數(shù)種使用。本發(fā)明的含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)，在合成時所使用的溶劑，一般較常用者為
乙二醇單丙基醚、二乙二醇二甲基醚、四氫呋喃、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙酸甲氧基乙酯、乙酸乙氧基乙酯、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁基醚、丙二醇單甲基醚醋酸酯、丙二醇單乙基醚醋酸酯、丙二醇單丙基醚醋酸酯、甲乙酮與丙酮。其中，以二乙二醇二甲基醚、丙二醇單甲基醚醋酸酯為較佳。前述溶劑可單獨一種使用或混合復(fù)數(shù)種使用。本發(fā)明的含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)，在合成時所使用的起始劑，一般為自由基形聚合起始劑，其具體例如2，2’ -偶氮雙異丁腈(2，2’ -azobisiso- butyronitrile)、 2，2，-偶氮雙(2，4- 二甲基戊腈)[2，2，-azobis (2，4-dimethylvaleronitrile)]、 2，2’ -偶氮雙甲氧基_2，4-二甲基戊腈)等偶氮(azo)化合物；過氧化二苯甲酰 (benzoylperoxide)等過氧化合物?；诜尤┣迤針渲?A) 100重量份，含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)的使用量通常為 5 40重量份，較佳為7 35重量份，更佳為10 30重量份。由于含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)可與羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)于后烤時形成較緊密的結(jié)構(gòu)，故不易產(chǎn)生裂縫或起皺。當(dāng)含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)的使用量介于5 40重量份時，則可于基板上形成耐裂縫性佳的圖案。[鄰萘醌二迭氮磺酸類酯化物(C)]
本發(fā)明正型感光性樹脂組成物的感光性物質(zhì)采用鄰萘醌二迭氮磺酸類酯化物(C)，該酯化物(C)沒有特別的限制，可選用經(jīng)常使用者，其中，較佳為鄰萘醌二迭氮磺酸與羥基化合物的酯化物，更佳者為鄰萘醌二迭氮磺酸與多元羥基化合物的酯化物，且前述酯化物可完全酯化或部份酯化；該鄰萘醌二迭氮磺酸的具體例為鄰萘醌二迭氮-4-磺酸、鄰萘醌二迭氮-5-磺酸、鄰萘醌二迭氮-6-磺酸等。前述羥基化合物的種類如下所列
(一)羥基二苯甲酮類化合物，其具體例為2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，4，4’ -三羥基二苯甲酮、2，4，6-三羥基二苯甲酮、2，3，4，4’ -四羥基二苯甲酮、2，2’，4，4’ -四羥基二苯甲酮、2，3’，4，4’，6-五羥基二苯甲酮、2，2’，3，4，4’ -五羥基二苯甲酮、2，2’，3，4，5’ -五羥基二苯甲酮、2，3’，4，5，5’ -五羥基二苯甲酮、2，3，3’，4，4，，5，-六羥基二苯甲酮等。( 二)一般式(I )所表示的羥基芳基化合物
權(quán)利要求
1.一種正型感光性樹脂組成物，其特征在于，包含如下組分酚醛清漆樹脂(A)；含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)；鄰萘醌二迭氮磺酸類酯化物(C)；以及溶劑⑶；其中，該酚醛清漆樹脂(A)包含羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)，該羥基型酚醛清漆樹脂 (A-I)由羥基苯甲醛類化合物與芳香族羥基化合物縮合而得，且基于酚醛清漆樹脂(A)IOO 重量份，該羥基型酚醛清漆樹脂(A-I)的使用量為30 100重量份。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該羥基苯甲醛類化合物是選自羥基苯甲醛化合物、二羥基苯甲醛化合物、三羥基苯甲醛化合物及羥基烷基苯甲醛化合物所組成的群組。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該羥基苯甲醛化合物是選自鄰-羥基苯甲醛、間-羥基苯甲醛及對-羥基苯甲醛所組成的群組。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該二羥基苯甲醛化合物是選自2，3- 二羥基苯甲醛、2，4- 二羥基苯甲醛、2，5- 二羥基苯甲醛、3，4- 二羥基苯甲醛及3，5- 二羥基苯甲醛所組成的群組。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該三羥基苯甲醛化合物是選自2，3，4-三羥基苯甲醛、2，4，5-三羥基苯甲醛、2，4，6-三羥基苯甲醛、3，4，5-三羥基苯甲醛所組成的群組。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于，該羥基烷基苯甲醛化合物是選自鄰-羥甲基苯甲醛、間-羥甲基苯甲醛及對-羥甲基苯甲醛所組成的群組。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于，基于酚醛清漆樹脂 (A) 100重量份，含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)的使用量為5 40重量份，鄰萘醌二迭氮磺酸類酯化物(C)的使用量為1 100重量份，溶劑(D)的使用量為500 2000重量份。
8.一種圖案形成方法，其特征在于，將權(quán)利要求1 7中任一權(quán)利要求所述的正型感光性樹脂組成物涂布于基板，再依序施予預(yù)烤、曝光、顯影及后烤處理，據(jù)此于該基板形成圖案。
9.一種薄膜電晶體陣列基板，包含權(quán)利要求8所述的圖案。
10.一種液晶顯示組件，包含權(quán)利要求9所述的薄膜電晶體陣列基板。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法。特別是提供一種耐裂縫性佳的正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法。前述樹脂組成物包含酚醛清漆樹脂(A)、含環(huán)氧丙烷基的環(huán)氧樹脂(B)、鄰萘醌二迭氮磺酸類酯化物(C)以及溶劑(D)，其中，該酚醛清漆樹脂(A)包含羥基型酚醛清漆樹脂(A-1)，該羥基型酚醛清漆樹脂(A-1)由羥基苯甲醛類化合物與芳香族羥基化合物縮合而得。
文檔編號G02F1/1368GK102566273SQ201110346718
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月18日
發(fā)明者施俊安, 陳凱民 申請人:奇美實業(yè)股份有限公司