專利名稱：感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖的形成方法及印刷電路板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖的形成方法及印刷電路板的制造方法。
背景技術(shù)：
以往在印刷電路板的制造領(lǐng)域中，如下的感光性元件被人們熟知，該感光性元件通過在支持膜上形成作為用于蝕刻或鍍覆等的抗蝕劑材料的感光性樹脂組合物或者包含該感光性樹脂組合物的感光性樹脂組合物層，并用保護(hù)膜覆蓋感光性樹脂組合物層來獲得。使用感光性元件的情況，印刷電路板例如可以如下進(jìn)行制造。首先，在電路形成用基板上層壓感光性元件的感光性樹脂組合物層。此時(shí)，感光性樹脂組合物層的與接觸支持膜的面相反側(cè)的面密合于電路形成用基板的應(yīng)形成電路的面。因此，在剝離保護(hù)膜的同時(shí)進(jìn)行。接著，通過膜狀掩模等曝光成圖像狀(圖案狀)后，用顯影液除去未曝光部，形成抗蝕圖。接著，以該抗蝕圖為掩模實(shí)施蝕刻或鍍覆處理而形成電路圖案，最終從基板上剝離除去固化部分。在這種印刷電路板的制造方法中，作為除去感光性元件的未曝光部的顯影液，通常只要在一定程度上具有溶解或分散感光性樹脂組合物層的能力就可以使用。從環(huán)境性和安全性的角度考慮，使用碳酸鈉水溶液或碳酸氫鈉水溶液等的堿顯影液現(xiàn)在正成為主流。 使用的感光性樹脂組合物要求優(yōu)異的隆起可靠性，即在曝光后不會(huì)被顯影液或水洗的噴射壓力破壞的隆起性。作為該隆起可靠性優(yōu)異的感光性樹脂組合物提出了包含雙官能或三官能單體的感光性樹脂組合物(參照例如專利文獻(xiàn)1 5)。專利文獻(xiàn)1 國(guó)際公開第01/0擬958號(hào)小冊(cè)子專利文獻(xiàn)2 特開2000-214583號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 特許第3251446號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 特開2005-31639號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 特許第3199600號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
然而，對(duì)于包含雙官能單體的感光性樹脂組合物，隆起可靠性不一定充分；并且， 對(duì)于包含三官能單體的感光性樹脂組合物，得到的固化膜往往硬而脆。本發(fā)明鑒于上述情況而完成，其目的在于提供可以形成具有充分的機(jī)械強(qiáng)度和柔
3軟性的固化膜、隆起可靠性足夠優(yōu)異的感光性樹脂組合物以及使用該組合物的感光性元件、抗蝕圖的形成方法及印刷電路板的制造方法。本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，該組合物為含有(A)粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物及(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物，(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物。[化1]
權(quán)利要求
1. 一種感光性樹脂組合物，該組合物為含有(A)粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物及(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物，所述(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物； R1 OR2 O
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，具有由所述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物為由下述通式( 表示的光聚合性化合物；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述Z為由下述通式C3)或(4)表示的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)；
4.一種感光性元件，具有支持膜以及形成在該支持膜上的包含權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物的感光性樹脂組合物層。
5.一種抗蝕圖的形成方法，在電路形成用基板上層疊權(quán)利要求4所述的感光性元件的感光性樹脂組合物層，對(duì)該感光性樹脂組合物層以圖像狀照射活性光線而使曝光部發(fā)生光固化，然后除去曝光部以外的部分。
6.一種印刷電路板的制造方法，包括如下工序?qū)τ谕ㄟ^權(quán)利要求5所述的抗蝕圖的形成方法形成了抗蝕圖的電路形成用基板進(jìn)行蝕刻或鍍覆而形成電路圖案。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，該組合物為含有(A)粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物及(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物，所述(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物。式(1)中，R1和R2分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基，L1和L2分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～6的亞烷基，m和n分別獨(dú)立地表示以m和n的總和為0～50的方式選擇的0～50的整數(shù)。
文檔編號(hào)G03F7/09GK102393604SQ201110349459
公開日2012年3月28日 申請(qǐng)日期2007年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月13日
發(fā)明者味岡芳樹, 小柳浩二, 渡邊滿明 申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社