專利名稱：正型感光性樹脂組合物及永久抗蝕劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及含有特定的環(huán)氧硅氧烷化合物的正型感光性樹脂組合物、以及使用了該正型感光性樹脂組合物的永久抗蝕劑。
背景技術(shù)：
在薄膜晶體管(以下，記為“TFT”)型液晶顯示元件、磁頭元件、集成電路元件、固體攝像元件等電子部件中，通常為了使層狀地配置的布線之間絕緣而設(shè)有層間絕緣膜。作為形成層間絕緣膜的材料，用于獲得所需圖案形狀的エ序數(shù)少而且具有充分的平坦性的材料是優(yōu)選的，因此廣泛使用感放射線性樹脂組合物(參照專利文獻(xiàn)1)。上述電子部件中的例如TFT型液晶顯示元件經(jīng)由在上述的層間絕緣膜上形成透明電極膜并進(jìn)一歩在其上形成液晶取向膜的エ序來制造，因此層間絕緣膜會(huì)暴露在透明電極膜的形成エ序中的高溫條件下、或者會(huì)暴露在電極的圖案形成所使用的抗蝕劑的剝離液中，因此需要對(duì)這些有充分的耐性。另外通過制造エ序形成的層間絕緣膜有時(shí)還會(huì)暴露于干式蝕刻，需要有對(duì)干式蝕刻的充分的耐性(參照專利文獻(xiàn)2)。另外近年，在TFT型液晶顯示元件中，在大畫面化、高高度化、高精細(xì)化、高速應(yīng)答化、薄型化等動(dòng)向中，作為在其中使用的層間絕緣膜形成用組合物，在高感度、形成的層間絕緣膜為低介電常數(shù)、高透射率等方面，需要比以往更高的性能。作為絕緣性、耐熱性、耐溶劑性、干式蝕刻耐性等優(yōu)異、可形成微細(xì)的圖案的層間絕緣膜材料，開發(fā)了含有具有羧基的聚硅氧烷化合物和感光性重氮醌(diazoquinone)化合物的正型感光性組合物(參照專利文獻(xiàn)；3)，還已知含有含環(huán)氧基的環(huán)狀硅氧烷化合物的組合物，但由于顯影エ序中的顯影容限(margin)(顯影時(shí)間為最適合的時(shí)間的寬度)小，因此就算顯影時(shí)間僅輕微過量，也易于在所形成的圖案與基板之間浸透顯影液而產(chǎn)生剝離，因此需要嚴(yán)格控制顯影時(shí)間，在產(chǎn)品的成品率方面存在問題。另ー方面，已知連結(jié)了具有環(huán)氧基的環(huán)狀硅氧烷化合物的化合物(參照專利文獻(xiàn) 4)，但未知含有這樣的化合物的正型感光性樹脂組合物。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2001-3M822號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2005-345757號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2010-101957號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特表2001-513117號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明的目的在于提供正型感光性樹脂組合物，其在高耐熱性、高耐溶劑性、高透射率和低介電常數(shù)的層間絕緣膜的形成中是適宜的，且在顯影エ序中具有即使超過了最適顯影時(shí)間也依然能夠形成良好的圖案形狀這樣的大顯影容限。用于解決問題的方法本發(fā)明人鑒于上述情況而深入研究，結(jié)果達(dá)成了本發(fā)明。即，本發(fā)明提供正型感光性樹脂組合物，其含有作為基礎(chǔ)樹脂的具有羧基和/或酚性羥基的聚硅氧烷化合物、作為感光性成分的感光性重氮醌化合物、和有機(jī)溶剤，其特征在干，含有環(huán)氧硅氧烷化合物，所述環(huán)氧硅氧烷化合物為將下述通式(1)所示的基團(tuán)彼此、 或者下述通式(1)所示的基團(tuán)與下述通式( 所示的基團(tuán)用從在1分子中具有2 4個(gè)乙烯基的化合物中去除了乙烯基而成的殘基進(jìn)行連結(jié)而得到的環(huán)氧硅氧烷化合物。
權(quán)利要求
1. 一種正型感光性樹脂組合物，其含有作為基礎(chǔ)樹脂的具有羧基和/或酚性羥基的聚硅氧烷化合物、作為感光性成分的感光性重氮醌化合物、和有機(jī)溶剤，其特征在干，含有環(huán)氧硅氧烷化合物，所述環(huán)氧硅氧烷化合物為將下述通式(1)所示的基團(tuán)彼此、 或者下述通式(1)所示的基團(tuán)與下述通式( 所示的基團(tuán)用從在1分子中具有2 4個(gè)乙烯基的化合物中去除了乙烯基而成的殘基進(jìn)行連結(jié)而得到的環(huán)氧硅氧烷化合物，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其中，進(jìn)ー步含有下述通式C3)所示的烷基硅烷化合物與下述通式(4)所示的芳基硅烷化合物的水解縮合物，
3. ー種永久抗蝕劑，其由權(quán)利要求1或2所述的正型感光性樹脂組合物得到。
全文摘要
本發(fā)明提供正型感光性樹脂組合物，其含有作為基礎(chǔ)樹脂的具有羧基和/或酚性羥基的聚硅氧烷化合物、作為感光性成分的感光性重氮醌化合物、和有機(jī)溶劑，其特征在于，含有環(huán)氧硅氧烷化合物，所述環(huán)氧硅氧烷化合物為將下述通式(1)所示的基團(tuán)彼此、或者下述通式(1)所示的基團(tuán)與下述通式(2)所示的基團(tuán)用從在1分子中具有2～4個(gè)乙烯基的化合物中去除了乙烯基而成的殘基進(jìn)行連結(jié)而得到的。(式中，R1表示可以相同也可以不同的碳原子數(shù)為1～4的烷基或碳原子數(shù)為6～10的芳基，E表示具有環(huán)氧基的基團(tuán)，a表示2～5的數(shù)。)(式中，b表示使a-b+1成為0～4的數(shù)的2～6的數(shù)，R1、E和a與上述通式(1)意義相同)。
文檔編號(hào)G03F7/075GK102566279SQ20111037838
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月25日
發(fā)明者小林純, 尾見仁一, 森田博, 竹之內(nèi)宏美 申請(qǐng)人:株式會(huì)社艾迪科