專利名稱:液晶顯示裝置的檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及顯示裝置領(lǐng)域,特別涉及一種液晶顯示裝置的檢測裝置。
背景技術(shù):
液晶顯示裝置具有由矩陣狀排列的顯示像素構(gòu)成的有效顯示區(qū)域,該有效顯示區(qū)域具有沿顯示像素的行方向延伸的多條掃描線以及沿所述顯示像素的列方向延伸的多條數(shù)據(jù)線。在這些掃描線與數(shù)據(jù)線的相交部分設(shè)置有開關(guān)元件以及與所述開關(guān)元件連接的像素電極,所述開關(guān)元件例如是薄膜晶體管(開關(guān)元件),所述開關(guān)元件能夠響應(yīng)提供給每條掃描線的信號并將來自數(shù)據(jù)線的信號發(fā)送給對應(yīng)的每個像素電極。這些掃描線和數(shù)據(jù)線引出到有效顯示區(qū)域的外圍部分(例如將引出的掃描線和數(shù)據(jù)線與驅(qū)動電路連接),通過在外圍部分輸入測試信號來檢測有效顯示區(qū)域所顯示出來畫面的品質(zhì)。這些掃描線、數(shù)據(jù)線以及其它的電路連接線通常統(tǒng)稱為信號線。由于隨著顯示像素的增加,在有效顯示區(qū)域及其外圍部分的掃描線和數(shù)據(jù)線等各種信號線的線寬越來越細(xì),而且間隔越來越小,因此斷線、短路等各種布線不良的情況也越來越多。因此,為了及時發(fā)現(xiàn)布線不良的情況,防止大規(guī)模不良發(fā)生以及不良品流入下一工序造成材料的浪費(fèi),在布線之后需要對掃描線、數(shù)據(jù)線以及其它的信號線進(jìn)行檢查,從而判斷是否存在布線不良的情況。目前,常用的一種液晶顯示裝置的檢測裝置包括若干短路棒(Shortingbar),利用所述短路棒分別將各信號線短路連接在一起,并在所述短路棒上輸入測試信號,再通過相應(yīng)的元件將所述測試信號傳輸?shù)接行э@示區(qū)域的掃描線及數(shù)據(jù)線上,進(jìn)而檢測有效顯示區(qū)域所顯示出來畫面的品質(zhì)。具體請參考圖1,其為現(xiàn)有液晶顯示裝置的檢測裝置的俯視示意圖。如圖1所示,檢測裝置10包括:三根短路棒101-1、101-2、101-3,六根信號線102-1、102-2、102-3、102-4、102-5、102-6,每根信號線通過接接觸孔103及連接金屬(未圖示)與其中一根短路棒電連接。在此,所述短路棒101-1、101-2、101-3利用形成液晶顯示裝置的掃描線及柵極的G金屬層形成,各短路棒之間通過后續(xù)形成的柵絕緣層予以隔離,所述信號線通過形成液晶顯示裝置的源極/漏極的S/D金屬層形成,因此短路棒需要通過接觸孔103與信號線電連接。詳細(xì)的,所述接觸孔103包括接觸孔103-1和103-2,例如,短路棒101-1的接觸孔103-2與信號線102-4的接觸孔103-1通過連接金屬(未圖示)電連接,從而使短路棒101-1與信號線102-4連接,其它短路棒和信號線的連接方式也與此類似。所述連接金屬一般為氧化銦錫(ITO)或者氧化銦鋅(IZO)。在液晶顯示器的制造工藝過程中,經(jīng)常會在短路棒101-1、101-2、101-3上聚集大量靜電,易于將接觸孔103處的ITO或IZO燒毀,這種接觸孔缺陷不僅使檢測裝置功能失效,而且使得電性測試不能進(jìn)行,就會認(rèn)為陣列基板出現(xiàn)不良現(xiàn)象,為避免陣列基板流入到下一制造流程可能導(dǎo)致材料的浪費(fèi),因此產(chǎn)品會做報廢處理。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種液晶顯示裝置的檢測裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中液晶顯示裝置的檢測裝置易于積聚大量靜電,從而造成各種破壞的問題。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供一種液晶顯示裝置的檢測裝置,包括:多根短路棒,所述多根短路棒之間通過半導(dǎo)體材料層連接;多根信號線,每根信號線與其中一根短路棒電連接??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述半導(dǎo)體材料層為非晶硅層或者多晶硅層??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述多根短路棒位于半導(dǎo)體材料層的下層??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述液晶顯示裝置包括TFT器件,所述TFT器件為底柵結(jié)構(gòu),從下至上依次包括:柵極、柵極絕緣層、有源層、源極/漏極??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述半導(dǎo)體材料層和所述有源層為同一材料,并且是在同一工藝步驟中形成的??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述短路棒和所述柵極為同一材料,并且是在同一工藝步驟中形成的??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述多根短路棒位于半導(dǎo)體材料
層的上層。可選的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述液晶顯示裝置包括TFT器件,所述TFT器件為底柵結(jié)構(gòu),從下至上依次包括:柵極、柵極絕緣層、有源層、源極/漏極??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述短路棒和所述源極/漏極為同一材料,并且是在同一工藝步驟中形成的。可選的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述信號線為掃描線,通過透明導(dǎo)電層將所述掃描線跨接至所述短路棒??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述信號線為數(shù)據(jù)線,通過透明導(dǎo)電層將所述數(shù)據(jù)線跨接至所述短路棒??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述信號線為掃描線,通過透明導(dǎo)電層將所述掃描線跨接至所述短路棒??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述信號線為數(shù)據(jù)線,通過透明導(dǎo)電層將所述數(shù)據(jù)線跨接至所述短路棒。可選的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,位于兩根短路棒之間、且位于連接信號線與短路棒的透明導(dǎo)電層正下方的區(qū)域,不設(shè)置半導(dǎo)體材料層??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,所述透明導(dǎo)電層通過接觸孔分別與短路棒及信號線連接??蛇x的,在所述的液晶顯示裝置的檢測裝置中,控制同種顏色像素的數(shù)據(jù)線連接至同一短路棒。在本發(fā)明提供的液晶顯示裝置的檢測裝置中,通過半導(dǎo)體材料層連接多根短路棒,當(dāng)短路棒上聚集有靜電時,將通過導(dǎo)通的半導(dǎo)體材料層予以釋放,從而可避免由于大量靜電積聚所造成的不良影響。
圖1是現(xiàn)有液晶顯示裝置的檢測裝置的俯視示意圖;圖2是本發(fā)明實(shí)施例一的液晶顯示裝置的檢測裝置的俯視示意圖;圖3是圖2所示的檢測裝置沿AA’方向的剖視示意圖;圖4是本發(fā)明實(shí)施例二的液晶顯示裝置的檢測裝置的剖視示意圖;圖5a 5j是本發(fā)明的第三實(shí)施例液晶顯示裝置的檢測裝置的形成方法的剖視示意圖;圖6是圖2所示的檢測裝置沿BB’方向的剖視示意圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明提供的液晶顯示裝置的檢測裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式,僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。第一實(shí)施例本實(shí)施例提供了一種液晶顯示裝置的檢測裝置,包括:多根短路棒,所述多根短路棒之間通過半導(dǎo)體材料層連接;多根信號線,每根信號線與其中一根短路棒電連接。具體的,請參考圖2,其為本發(fā)明實(shí)施例一的液晶顯示裝置的檢測裝置20的俯視示意圖。如圖2所示,本實(shí)施例中,示意性的示出了三根短路棒,分別為短路棒201-1、短路棒201-2、短路棒201-3,短路棒201-1、短路棒201-2、短路棒201-3之間通過半導(dǎo)體材料層202連接,即所述三條短路棒都是和半導(dǎo)體材料層202直接接觸的,并且半導(dǎo)體材料層202是連續(xù)的;以及六根數(shù)據(jù)線,分別為數(shù)據(jù)線203-1、數(shù)據(jù)線203-2、數(shù)據(jù)線203-3、數(shù)據(jù)線
203-4、數(shù)據(jù)線203-5、數(shù)據(jù)線203-6,其中,數(shù)據(jù)線203-1和數(shù)據(jù)線203-4是控制紅色像素的數(shù)據(jù)線并且與短路棒201-1連接,數(shù)據(jù)線203-2和數(shù)據(jù)線203-5是控制綠色像素的數(shù)據(jù)線并且與短路棒201-2連接,數(shù)據(jù)線203-3和數(shù)據(jù)線203-6是控制藍(lán)色像素的數(shù)據(jù)線并且和短路棒201-3連接,即控制同種顏色像素的數(shù)據(jù)線連接至同一短路棒上,以方便對液晶顯示器不同顏色的畫面檢測,本實(shí)施例中只示出了六根數(shù)據(jù)線,但并不限于此。本實(shí)施例中,液晶顯示裝置還包括連接至所述檢測裝置20的多根掃描線,優(yōu)選的,所述多根掃描線中的奇數(shù)線和一條短路棒連接,所述多根掃描線中的偶數(shù)線和另一條短路棒連接,并且所述奇數(shù)線和偶數(shù)線分別通過所述兩條短路棒傳輸信號控制奇數(shù)線和偶數(shù)線上的TFT的通斷。所述掃描線也是通過接觸孔和對應(yīng)的短路棒連接的。在本實(shí)施例中,當(dāng)短路棒201-1和/或短路棒201-2和/或短路棒201-3和/或掃描線連接的短路棒上聚集有較大的靜電時,比如靜電電壓至1500伏特時,則短路棒之間會經(jīng)由半導(dǎo)體材料層202導(dǎo)通,靜電將通過導(dǎo)通的半導(dǎo)體材料層202予以釋放,從而可避免由于大量靜電積聚對短路棒所造成的擊傷。如果只是在普通檢測程序中,比如短路棒通電至20伏特用于檢測,則短路棒之間是互相斷路的,不影響本檢測裝置的正常工作。在本實(shí)施例中,所述半導(dǎo)體材料層可以為非晶硅層或者多晶硅層等。
在本實(shí)施例中,信號線還可以通過透明導(dǎo)電層跨接至短路棒,比如數(shù)據(jù)線通過透明導(dǎo)電層跨接至短路棒,在此,所述用語“跨接”指信號線與短路棒之間無上下位置關(guān)系的重迭,通過透明導(dǎo)電層將兩者予以連接。具體的,如,數(shù)據(jù)線203-1通過透明導(dǎo)電層204-1跨接至短路棒201-1上,其中,數(shù)據(jù)線203-1上設(shè)置有接觸孔205-12,短路棒201-1上設(shè)置有接觸孔205-11,透明導(dǎo)電層204-1通過接觸孔205-12與數(shù)據(jù)線203-1連接,透明導(dǎo)電層
204-1又通過接觸孔205-11與短路棒201-1連接,從而實(shí)現(xiàn)了使得數(shù)據(jù)線203-1與短路棒201-1電連接。同樣的,數(shù)據(jù)線203-2、203-3、203-4、203-5和203-6也是通過透明導(dǎo)電層跨接至對應(yīng)的短路棒上,此處不再贅述。通過利用透明導(dǎo)電層將一信號線與一短路棒連接,避免了信號線與短路棒之間產(chǎn)生交疊,由于信號線與短路棒的交疊處易于產(chǎn)生擊穿,由此,通過透明導(dǎo)電層將一信號線與一短路棒連接,將極大的提高檢測裝置20的可靠性。在本發(fā)明中,所述液晶顯示裝置的檢測裝置2中所述短路棒201-1、201-2、201_3可以位于所述半導(dǎo)體材料層202的上層,也可以位于所述半導(dǎo)體材料層202的下層。在本實(shí)施例中,所述短路棒201-1、201-2、201-3位于所述半導(dǎo)體材料層202的上層,具體的請參考圖3,圖3為本發(fā)明第一實(shí)施方式的圖2所示結(jié)構(gòu)沿著AA’截面的剖視圖。如圖3所示,在基板LI上形成有短路棒201-1、201-2、201-3,所述短路棒201-1、201-2、201-3通過半導(dǎo)體材料層202連接在一起,并且所述短路棒201-1、201-2、201-3位于半導(dǎo)體材料層202的上層。在本發(fā)明中,液晶顯示裝置還包括數(shù)據(jù)線203-1,所述數(shù)據(jù)線203-1連接至短路棒201-1上,具體的,短路棒201-1的上部的第二絕緣層02內(nèi)設(shè)置有接觸孔205-11,所述接觸孔205-11露出短路棒201-1 ;同時,數(shù)據(jù)線203-1的上部的第一絕緣層01和第二絕緣層02內(nèi)設(shè)置有接觸孔205-12,所述接觸孔205-12露出數(shù)據(jù)線203-1 ;在第二絕緣層02的上方還設(shè)置有透明導(dǎo)電層204-1,所述透明導(dǎo)電層204-1通過接觸孔205-11和接觸孔205-12將所述數(shù)據(jù)線203-1連接至短路棒201-1上,短路棒201-1可向數(shù)據(jù)線203-1傳輸檢測信號。本實(shí)施例中只以數(shù)據(jù)線203-1為列做具體說明,所述短路棒還和液晶顯示裝置的掃描線電連接,具體的也可以通過在絕緣層中設(shè)置接觸孔,在此不再詳細(xì)描述。第二實(shí)施例本實(shí)施例提供的液晶顯示裝置的檢測裝置,短路棒位于半導(dǎo)體材料的下層,具體的請參考圖4,圖4為本發(fā)明第二實(shí)施方式剖視圖。參考圖4,在基板LI上設(shè)置有短路棒21、22和23,所述短路棒21、22和23通過半導(dǎo)體材料層24連接在一起,并且所述短路棒21、22和23位于所述半導(dǎo)體材料層24的下層。在本發(fā)明中,液晶顯示裝置還包括數(shù)據(jù)線25,所述數(shù)據(jù)線25連接至短路棒21上,具體的,短路棒21的上部的半導(dǎo)體材料層24和絕緣層03內(nèi)設(shè)置有接觸孔27,所述接觸孔27露出短路棒21 ;同時,數(shù)據(jù)線25的上部的絕緣層03設(shè)置有接觸孔28,所述接觸孔28露出數(shù)據(jù)線25 ;在絕緣層03的上方還設(shè)置有透明導(dǎo)電層26,所述透明導(dǎo)電層26通過接觸孔27和接觸孔28將所述數(shù)據(jù)線25連接至短路棒21上,短路棒21可向數(shù)據(jù)線25傳輸檢測信號。在本發(fā)明中,所述短路棒通過半導(dǎo)體材料層連接在一起,即各條短路棒是互相分開的,但是半導(dǎo)體材料層是連通的,并且各條短路棒也是和半導(dǎo)體材料層直接接觸的。當(dāng)在短路棒是施加低電壓如20V的檢測信號時,所述短路棒和現(xiàn)有技術(shù)中的短路棒一樣,正常工作沒有任何影響;當(dāng)某條或者某多條短路棒上的靜電壓大于一定程度時,比如1500V時,則短路棒之間會經(jīng)由半導(dǎo)體材料層導(dǎo)通,從而避免靜電放電,保護(hù)器件結(jié)構(gòu)不受靜電的擊傷。在本發(fā)明中,信號線如數(shù)據(jù)線或者掃描線根據(jù)需要連接至不同的短路棒,所述信號線和短路棒的連接可以通過在絕緣層中設(shè)置接觸孔實(shí)現(xiàn),所述短路棒可以通過接觸孔和對應(yīng)的信號線電連接,從而向信號線傳輸檢測信號。第三實(shí)施例本發(fā)明提供的液晶顯示裝置的檢測裝置,可以單獨(dú)形成也可以和所述液晶顯示裝置的顯示像素一起形成,本實(shí)施例提供的液晶顯示裝置的檢測裝置是和液晶顯示裝置的顯示像素一起形成的,具體的請參考圖2以及5a至5j,圖2是本實(shí)施例的俯視圖,5a至5j為本發(fā)明第三實(shí)施方式的檢測裝置的形成步驟的沿圖2中AA截面所示的剖視圖。首先,如圖5a所示,提供玻璃基板LI。接著,如圖5b所不,在所述玻璃基板LI上形成第一金屬層L2,通過光刻、刻蝕所述第一金屬層L2,形成掃描線、TFT的柵極,圖5b所示僅為本實(shí)施例檢測裝置的形成步驟,并沒有示出以上所述掃描線和TFT的柵極等。如圖5c所示,形成柵絕緣層L3,所述柵絕緣層L3覆蓋所述第一金屬層L2。如圖5d所示,形成半導(dǎo)體材料層202,所述半導(dǎo)體材料層202覆蓋所述柵絕緣層L3。該半導(dǎo)體材料層L4與液晶顯示裝置的有源層為同一材料層,在此,通過同一工藝步驟同時形成。如圖5e所示,光刻及刻蝕所述半導(dǎo)體材料層202,以去除后續(xù)將位于兩根短路棒之間、且位于連接數(shù)據(jù)線與短路棒的透明導(dǎo)電層正下方的區(qū)域的部分半導(dǎo)體材料層。在此,請參考圖2,即去除短路棒201_1和短路棒201-2之間并且位于透明導(dǎo)電層204-1正下方的部分半導(dǎo)體材料層及短路棒201-2和短路棒201-3之間并且位于透明導(dǎo)電層204-1正下方的部分半導(dǎo)體材料層。在此,可相應(yīng)參考圖2中的206-1、206-2、206-3、206-4、206-5、206-6所指的位置。同時,所述光刻及刻蝕半導(dǎo)體材料層202的步驟還同時形成液晶顯示裝置的有源層。如圖,5f所示,形成第二金屬層L4,所述第二金屬層L4覆蓋所述半導(dǎo)體材料層202及露出的部分柵絕緣層L3。如圖5g所示,光刻及刻蝕所述第二金屬層L4,形成短路棒201-1、202-2、201_3。同時,通過該第二金屬層L4可形成液晶顯示裝置的數(shù)據(jù)線、源極和漏極,在圖5g中只示意出數(shù)據(jù)線203-1。在本實(shí)施例中,先去除位于兩根短路棒之間、且位于連接信號線與短路棒的透明導(dǎo)電層正下方的區(qū)域的部分半導(dǎo)體材料層,再形成短路棒201-1、201-2、201-3。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中,也可以先成短路棒201-1、201-2、201-3,再去除位于兩根短路棒之間、且位于連接信號線與短路棒的透明導(dǎo)電層正下方的區(qū)域的部分半導(dǎo)體材料層。本申請對此不做限制。如圖5h所示,形成鈍化層L5,所述鈍化層L5覆蓋短路棒201-1、201-2、201_3及部分露出的柵絕緣層L3、數(shù)據(jù)線203-1。如圖5i所示,光刻及刻蝕所述鈍化層L5,以形成接觸孔205-11,露出短路棒201_1的部分。同時,還光刻及刻蝕所述鈍化層L5及柵絕緣層L3,形成接觸孔205-12,露出數(shù)據(jù)線203-1的部分。在本實(shí)施例中,所述接觸孔205-12是通過同時光刻及刻蝕所述鈍化層L5及柵絕緣層L3而形成的。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中,也可以在形成柵絕緣層L3之后,形成半導(dǎo)體材料層202之前,先對所述柵絕緣層L3執(zhí)行光刻及刻蝕工藝,露出數(shù)據(jù)線203-1的部分;在形成鈍化層L5之后,再對鈍化層L5進(jìn)行光刻及刻蝕工藝,最終形成接觸孔205-12,即通過兩步光刻及刻蝕工藝形成接觸孔205-12,上述接觸孔的形成可以采取現(xiàn)有技術(shù)中的任一種方式,本申請對此并不限定。最后,如圖5j所示,形成透明導(dǎo)電層204-1,所述透明導(dǎo)電層204_1通過接觸孔
205-12與數(shù)據(jù)線203-1連接,透明導(dǎo)電層204-1又通過接觸孔205-11與短路棒201-1連接,從而實(shí)現(xiàn)了使得數(shù)據(jù)線203-1與短路棒201-1電連接。在此,需說明的是,所述形成透明導(dǎo)電層204-1的步驟包括:先形成一透明導(dǎo)電材料層,所述透明導(dǎo)電材料層覆蓋于整塊玻璃基板之上;接著,對該透明導(dǎo)電材料層進(jìn)行光刻及刻蝕工藝,從而形成透明導(dǎo)電層204-1,同時,通過該透明導(dǎo)電材料層還形成液晶顯示裝置的像素電極。需說明的是,在本實(shí)施例中,所述數(shù)據(jù)線203-1、203-2、203-3、203-4、203-5、203-6通過第二金屬層L4形成,并且通過透明導(dǎo)電層連接至相應(yīng)的短路棒,進(jìn)而短路棒可以向所述數(shù)據(jù)線傳輸檢測信號,進(jìn)行畫面檢測。連接數(shù)據(jù)線的短路棒的數(shù)量為三根,分別為短路棒201-1、201-2、201-3,該三根短路棒的檢測信號分別為R、G、B,控制同種顏色像素的數(shù)據(jù)線連接至同一短路棒,如控制紅色像素的數(shù)據(jù)線連接至短路棒201-1,可檢測紅色畫面。有關(guān)短路棒與數(shù)據(jù)線的連接方式為現(xiàn)有技術(shù),本申請對此不再贅述。其次,液晶顯示裝置的多條掃描線也可以連接至短路棒。優(yōu)選的,所述多條掃描線中的奇數(shù)線和一條短路棒連接,所述多根掃描線中的偶數(shù)線和另一條短路棒連接,并且所述奇數(shù)線和偶數(shù)線分別通過所述兩條短路棒傳輸信號控制奇數(shù)線和偶數(shù)線上的TFT的通斷。所述掃描線也是通過接觸孔和對應(yīng)的短路棒連接的。具體的,第一金屬層L2刻蝕形成多條掃描線,并且在所述掃描線和掃描線對應(yīng)的短路棒的上層的柵絕緣層L3和鈍化層L5形成有過孔,再通過刻蝕透明導(dǎo)電材料層形成導(dǎo)電橋接結(jié)構(gòu),通過連接所述過孔將所述掃描線和短路棒電連接。此外,在本實(shí)施例中,將位于兩根短路棒之間、且位于連接信號線與短路棒的透明導(dǎo)電層正下方的區(qū)域的部分半導(dǎo)體材料層去除,或者說,位于兩根短路棒之間、且位于連接信號線與短路棒的透明導(dǎo)電層正下方的區(qū)域不設(shè)置半導(dǎo)體材料層,其目的是,防止通過半導(dǎo)體材料層、短路棒及透明導(dǎo)電層形成頂柵結(jié)構(gòu),從而造成漏電流,即在有效釋放短路棒上聚集的靜電的同時,保證了檢測裝置20的可靠性。為了進(jìn)一步說明將位于兩根短路棒之間、且位于連接信號線與短路棒的透明導(dǎo)電層正下方的區(qū)域的部分不設(shè)置半導(dǎo)體材料層。在本實(shí)施例中,同時給出了圖6,其為圖2所述的檢測裝置沿BB’方向的剖視示意圖。如圖6所示,在半導(dǎo)體材料層204-3未覆蓋區(qū)域,雖然位于兩根短路棒之間,但是,該區(qū)域同樣設(shè)置半導(dǎo)體材料層202。進(jìn)一步的,正是主要通過這些位于兩根短路棒時間,但并未被半導(dǎo)體材料層204-3覆蓋的區(qū)域的半導(dǎo)體材料層202將各短路棒上聚集的靜電電荷予以釋放。
同時,需說明的是,通過上述工藝,同時形成了液晶顯示裝置的TFT器件,所述TFT器件為底柵結(jié)構(gòu),從下至上依次包括:柵極、柵極絕緣層、有源層、源極/漏極。上述描述僅是對本發(fā)明較佳實(shí)施例的描述,并非對本發(fā)明范圍的任何限定,本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾,均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,包括: 多根短路棒,分別與液晶顯示裝置的信號線電連接; 所述多根短路棒之間通過半導(dǎo)體材料層連接。
2.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料層為非晶硅層或者多晶硅層。
3.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述多根短路棒位于半導(dǎo)體材料層的下層。
4.如權(quán)利要求3所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述液晶顯示裝置包括TFT器件,所述TFT器件為底柵結(jié)構(gòu),從下至上依次包括:柵極、柵極絕緣層、有源層、源極/漏極。
5.如權(quán)利要求4所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述短路棒和所述柵極為同一材料,并且是在同一工藝步驟中形成;所述半導(dǎo)體材料層和所述有源層為同一材料,并且是在同一工藝步驟中形成。
6.如權(quán)利要求5所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述信號線為掃描線,通過透明導(dǎo)電層將所述掃描線跨接至所述短路棒。
7.如權(quán)利要求5所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述信號線為數(shù)據(jù)線,通過透明導(dǎo)電層將所述數(shù)據(jù)線跨接至所述短路棒。
8.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述多根短路棒位于半導(dǎo)體材料層的上層。
9.如權(quán)利要求8所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述液晶顯示裝置包括TFT器件,所述TFT器件為底柵結(jié)構(gòu),從下至上依次包括:柵極、柵極絕緣層、有源層、源極/漏極。
10.如權(quán)利要求9所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料層和所述有源層為同一材料,并且是在同一工藝步驟中形成;所述短路棒和所述源極/漏極為同一材料,并且是在同一工藝步驟中形成的。
11.如權(quán)利要求10所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述信號線為掃描線,通過透明導(dǎo)電層將所述掃描線跨接至所述短路棒。
12.如權(quán)利要求10所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述信號線為數(shù)據(jù)線,通過透明導(dǎo)電層將所述數(shù)據(jù)線跨接至所述短路棒。
13.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,位于兩根短路棒之間、且位于連接信號線與短路棒的透明導(dǎo)電層正下方的區(qū)域,不設(shè)置半導(dǎo)體材料層。
14.如權(quán)利要求6、7、11、12中的任一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,所述透明導(dǎo)電層通過接觸孔分別與短路棒及數(shù)據(jù)線或者掃描線電連接。
15.如權(quán)利要求7或12任一所述的液晶顯示裝置的檢測裝置,其特征在于,控制同種顏色像素的數(shù)據(jù)線連接至同一短路棒。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種液晶顯示裝置的檢測裝置,包括多根短路棒,分別與液晶顯示裝置的信號線電連接;所述多根短路棒之間通過半導(dǎo)體材料層連接。通過半導(dǎo)體材料層連接的多根短路棒,當(dāng)短路棒上聚集有靜電時,將通過導(dǎo)通的半導(dǎo)體材料層予以釋放,從而可避免由于大量靜電積聚所造成的不良影響。
文檔編號G02F1/1362GK103163668SQ20111042302
公開日2013年6月19日 申請日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月15日
發(fā)明者梁艷峰 申請人:武漢天馬微電子有限公司