專利名稱：網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及薄膜晶體管液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件及其制造方法。
背景技術(shù)：
TFT-LCD (薄膜晶體管液晶顯不器，Thin film transistor liquid crystaldisplay)是液晶顯示器的一種，它使用薄膜晶體管技術(shù)改善影像品質(zhì)，被廣泛應(yīng)用在電視、平面顯示器及投影機(jī)上。目前，市場對TFT-LCD的性能要求朝著高對比度、高亮度、低色偏、快速響應(yīng)、廣視角等特點發(fā)展?，F(xiàn)有技術(shù)中的廣視角橫向電場型(In-plane Switching mode, IPS) TFT-LCD成為主流廣視角TFT-1XD技術(shù)之一，其公共電極和像素電極制作在同一個TFT基板上，利用橫向電場驅(qū)動公共電極與像素電極，可以使液晶分子在平面上轉(zhuǎn)動，因而大幅增加水平視角和垂直視角，故具有廣視角、高對比度、高亮度等優(yōu)點。對電極排列結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)可以達(dá)到優(yōu)選的橫向電場效果，進(jìn)而增大視角以及透光率。現(xiàn)有技術(shù)中，一種頗具代表性的雙柵極掃描線IPS-TFT-LCD的電極排列結(jié)構(gòu)之一為梳齒狀，如圖1A和圖1B所示。圖1A所示的結(jié)構(gòu)包括:TFT側(cè)基板100，制作于TFT側(cè)基板100上的柵極線101，與柵極線101相交的公共電極線102和數(shù)據(jù)線103，制作于柵極線101與數(shù)據(jù)線103交疊處的TFT結(jié)構(gòu)104，以及梳齒狀(comb teeth)的透明公共電極106和像素電極107，像素電極107與透明公共電極106均呈梳齒狀或交指狀，兩者的梳齒交錯排列，TFT結(jié)構(gòu)104的源極電連接數(shù)據(jù)線103，漏極104a通過過孔105電連接的像素電極107。圖1B所示的結(jié)構(gòu)包括:TFT側(cè)基板110，制作于TFT側(cè)基板110上的柵極線111，平行于柵極線111的公共電極線112，與柵極線111相交的數(shù)據(jù)線113，制作于柵極線111與數(shù)據(jù)線113交疊處的TFT結(jié)構(gòu)114以及透明公共電極116和像素電極117，TFT結(jié)構(gòu)114的源極電連接數(shù)據(jù)線113，漏極114a通過過孔115電連接的像素電極117，像素電極117與透明公共電極116均呈梳齒狀或交指狀，兩者的梳齒交錯排列。從圖1A和IB中可以看出，上述兩種結(jié)構(gòu)，公共電極線都只有一個方向的延伸，或沿數(shù)據(jù)線方向縱向延伸，或沿柵極線方向橫向延伸，當(dāng)雙柵極線驅(qū)動每個TFT結(jié)構(gòu)時,在特殊畫面時，公共電極線容易受到其他信號的影響而產(chǎn)生橫向或縱向的串?dāng)_(crosstalk)現(xiàn)象，使得像素修正，影響顯示效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件及其制造方法，改善公共電極線的串?dāng)_問題，提高液晶顯示器件的顯示性能。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件，包括:柵極線；
平行于所述柵極線的第一公共電極線；與所述柵極線和第一公共電極線相交的數(shù)據(jù)線和第二公共電極線；處于所述柵極線與數(shù)據(jù)線交疊處的TFT結(jié)構(gòu)；與所述第一公共電極線和第二公共電極線電連接的梳齒狀的透明公共電極，其梳齒具有沿所述柵極線方向延伸且交疊于所述柵極線上的橫杠部分和沿所述數(shù)據(jù)線方向延伸的齒狀部分，所述齒狀部分包括分別交疊于所述數(shù)據(jù)線和第二公共電極線上的第一齒狀部分和位于所述第二公共電極線與數(shù)據(jù)線之間且連接所述橫杠部分的第二齒狀部分；梳齒狀的像素電極，其梳齒與所述透明公共電極的梳齒交錯排列。進(jìn)一步的，所述柵極線為雙柵極線結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步的，所述透明公共電極和像素電極為氧化銦錫或氧化銦鋅。進(jìn)一步的，所述透明公共電極重疊于所述第二公共電極線的第一齒狀部分通過過孔與所述第一公共電極線和第二公共電極線電連接。進(jìn)一步的，所述像素電極的梳齒通過過孔與所述TFT結(jié)構(gòu)的漏極電連接。相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造方法，包括:在一基板上形成柵極線以及平行于所述柵極線的第一公共電極線；在所述基板上形成與所述柵極線和第一公共電極線相交且的數(shù)據(jù)線和第二公共電極線；在所述基板的柵極線與數(shù)據(jù)線交疊處形成TFT結(jié)構(gòu)；在所述基板上形成梳齒交錯排列的像素電極以及透明公共電極，其中，所述透明公共電極與所述第一公共電極線和第二公共電極線電連接，所述透明公共電極的梳齒具有沿所述柵極線方向延伸且交疊于所述柵極線上的橫杠部分和沿所述數(shù)據(jù)線方向延伸的齒狀部分，所述齒狀部分包括分別交疊于所述數(shù)據(jù)線和第二公共電極線上的第一齒狀部分和位于所述第二公共電極線與數(shù)據(jù)線之間且連接所述橫杠部分的第二齒狀部分。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件及其制造方法，交疊于數(shù)據(jù)線的第一公共電極線和交疊于柵極線的第二公共電極線相交，梳齒狀的透明公共電極與第一公共電極線和第二公共電極線交叉并電連接，形成了網(wǎng)狀的公共電極排列結(jié)構(gòu)，在柵極線驅(qū)動時，該網(wǎng)狀的公共電極排列結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)縱向(數(shù)據(jù)線方向)和橫向(柵極線方向)的網(wǎng)狀電流傳導(dǎo)，降低縱向和橫向的串?dāng)_現(xiàn)象，提高液晶顯示器器件的顯示性能。


圖1A是現(xiàn)有技術(shù)的一種雙柵極掃描線IPS-TFT-1XD的結(jié)構(gòu)示意圖；圖1B是現(xiàn)有技術(shù)的另一種雙柵極掃描線IPS-TFT-1XD的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明一實施例的網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明一實施例的網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造工藝流程圖；圖4A至4D是本發(fā)明一實施例的網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造工藝中的器件結(jié)構(gòu)俯視圖。
具體實施例方式以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明提出的網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件及其制造方法作進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖2所示，本發(fā)明提供一種網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件，包括:柵極線201 ；平行于所述柵極線201的第一公共電極線202 ；與所述柵極線201和第一公共電極線202相交的數(shù)據(jù)線203和第二公共電極線204 ；處于所述柵極線201與數(shù)據(jù)線203交疊處的TFT結(jié)構(gòu)205 ；與所述第一公共電極線202和第二公共電極線204電連接的梳齒狀的透明公共電極207，其梳齒具有沿所述柵極線201方向延伸且交疊于所述柵極線201上的橫杠部分207a以及沿所述數(shù)據(jù)線203方向延伸的齒狀部分，所述齒狀部分包括分別交疊于所述數(shù)據(jù)線203和第二公共電極線204上的第一齒狀部分207b和位于所述第二公共電極線204與數(shù)據(jù)線203之間且連接所述橫杠部分207a的第二齒狀部分207c ;以及與所述透明公共電極207的梳齒交錯排列的梳齒狀的像素電極208。本實施例中，所述柵極線201為雙柵極線結(jié)構(gòu)，由于源極驅(qū)動器成本比柵極驅(qū)動器成本高，所以減少數(shù)據(jù)線的數(shù)量會降低驅(qū)動器的成本，具有雙柵極線(dual gate)的液晶顯示器通過減少一半數(shù)量的數(shù)據(jù)線，增加一倍數(shù)量的柵極線來降低成本。本實施例中，所述像素電極208和透明公共電極207可以采用氧化銦錫或氧化銦鋅等透明材料制造，透明公共電極207重疊于所述第二公共電極線204的第一齒狀部分207b通過過孔206b與所述第一公共電極線202和第二公共電極線204電連接；像素電極208通過過孔206a與所述TFT結(jié)構(gòu)205的漏極205a電連接；TFT結(jié)構(gòu)205的源極一般與數(shù)據(jù)線203 —體成型，柵極一般與柵極線201 —體成型。在本發(fā)明的其他實施例中，為了增大存儲電容，進(jìn)一步提高液晶顯示器的顯示質(zhì)量，還可在透明公共電極207交疊于所述柵極線201上的橫杠部分207a處設(shè)置存儲電容，同時不會降低液晶顯示器的開口率。其中，柵極線201作為存儲電容的下極板，透明公共電極207作為存儲電容的上極板，在柵極線201形成之后且透明公共電極207形成之前可以在橫杠部分207a對應(yīng)的柵極線201上預(yù)留絕緣層(例如柵極絕緣層、鈍化層等)以作為存儲電容的介質(zhì)。相應(yīng)的，如圖3所示，本發(fā)明還提供一種網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造方法，包括以下步驟:SI，在一基板上形成柵極線以及平行于所述柵極線的第一公共電極線；S2，在所述基板上形成與所述柵極線和第一公共電極線相交的數(shù)據(jù)線和第二公共電極線；S3，在所述基板的柵極線與數(shù)據(jù)線交疊處形成TFT結(jié)構(gòu)；S4，在所述基板上形成梳齒交錯排列的像素電極以及透明公共電極，其中，所述透明公共電極與所述第一公共電極和第二公共電極電連接，所述透明公共電極的梳齒具有沿所述柵極線方向延伸且交疊于所述柵極線上的橫杠部分和沿所述數(shù)據(jù)線方向延伸的齒狀部分，所述齒狀部分包括分別交疊于所述數(shù)據(jù)線和第二公共電極線上的第一齒狀部分和位于所述第二公共電極線與數(shù)據(jù)線之間且連接所述橫杠部分的第二齒狀部分。以下結(jié)合附圖4A 4D對本發(fā)明提出的網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造方法作進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖4A所示，在步驟SI中，在基板200上通過濺射或蒸發(fā)的方式沉積第一金屬材料薄膜(未圖示)，然后，通過等離子增強化學(xué)氣相沉積的方式在所述第一金屬材料薄膜上沉積柵絕緣層以及一定厚度的光刻膠膜，通過柵極掩模板使所述光刻膠膜曝光并顯影，形成光刻膠圖形；接著，刻蝕柵絕緣層、第一金屬材料薄膜，去除多余光刻膠層，形成柵極線201、第一公共電極線202以及與柵極線一體電連接的柵極(未圖示)；本實施例中，柵極線201為雙柵極線結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，基板200為玻璃、石英或塑料等絕緣材質(zhì)。第一金屬材料層可以為諸如Mo、Cr、W、T1、Ta、Mo、Al、或Cu的單層膜，或者為選自Cr、W、T1、Ta、Mo、Al或Cu中兩種或者多種的任意組合所構(gòu)成的復(fù)合膜。柵絕緣層的材質(zhì)為氧化物、氮化物或氧氮化合物。如圖4B所示，在步驟S2中，在包含柵極線201以及第一公共電極線202的基板200上，沉積一定厚度的第二金屬材料薄膜，通過數(shù)據(jù)線掩模板形成與柵極線201和第一公共電極線202相交的數(shù)據(jù)線203以及第二公共電極線204，第二公共電極線204與第一公共電極線202交叉，形成了網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)的雛形。如圖4B所示，在步驟S2中形成數(shù)據(jù)線203以及第二公共電極線204的同時可以一并形成步驟S3中的位于柵極線201與數(shù)據(jù)線203交疊處的TFT結(jié)構(gòu)205，包括形成TFT結(jié)構(gòu)205的源極和漏極205a以及源極與漏極205a之間的溝道。其中，TFT結(jié)構(gòu)205的源極與數(shù)據(jù)線203 —體成型。如圖4C所示，在形成TFT結(jié)構(gòu)205之后，在包含所述形成TFT結(jié)構(gòu)205的基板200的整個表面上形成鈍化層(未圖示)，所述鈍化層為氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或有機(jī)材料。然后通過鈍化層掩模板，在所述鈍化層中形成露出TFT結(jié)構(gòu)205部分漏極205a的過孔206a以及露出部分第一公共電極線202和部分第二公共電極線204的過孔206b。如圖4D所示，在步驟S4中，在所述鈍化層上沉積一定厚度的氧化銦錫或氧化銦鋅透明導(dǎo)電材料，采用像素電極掩模板形成梳齒狀的像素電極208和梳齒狀的透明公共電極207，所述像素電極208通過所述過孔206a與所述TFT結(jié)構(gòu)205的漏極205a電連接。所述像素電極208的梳齒與所述透明公共電極207的梳齒交錯排列，所述透明公共電極207具有沿所述柵極線201方向延伸且交疊于所述柵極線201上的橫杠部分207a以及沿所述數(shù)據(jù)線203方向延伸的齒狀部分，所述齒狀部分包括分別交疊于所述數(shù)據(jù)線203和第二公共電極線204上的第一齒狀部分207b和位于所述第二公共電極線204與數(shù)據(jù)線203之間且連接所述橫杠部分207a的第二齒狀部分207c。透明公共電極207交疊于所述第二公共電極線204的第一齒狀部分207a通過過孔206b與所述第一公共電極線202和第二公共電極線204電連接。此時，在第二公共電極線204與第一公共電極線202交叉的基礎(chǔ)上，透明公共電極207的梳齒進(jìn)一步與第二公共電極線204、第一公共電極線202交叉，形成了網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)。需要說明的是，本發(fā)明其他實施例中，第一公共電極線202也可不與柵極線201同一掩模板工藝形成，第二公共電極線204也可不與數(shù)據(jù)線203同一掩模板工藝形成。綜上所述，本發(fā)明的網(wǎng)狀電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件及其制造方法，交疊于數(shù)據(jù)線的第一公共電極線和交疊于柵極線第二公共電極線相交，梳齒狀的透明公共電極與第一公共電極線和第二公共電極線交叉并電連接，形成了網(wǎng)狀的電極排列結(jié)構(gòu)，在柵極線驅(qū)動時，該網(wǎng)狀的電極排列結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)縱向(數(shù)據(jù)線方向)和橫向(柵極線方向)的網(wǎng)狀電流傳導(dǎo)，降低縱向和橫向的串?dāng)_現(xiàn)象，提高液晶顯示器器件的顯示性能。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件，其特征在于，包括: 柵極線； 平行于所述柵極線的第一公共電極線； 與所述柵極線和第一公共電極線相交的數(shù)據(jù)線和第二公共電極線； 處于所述柵極線與數(shù)據(jù)線交疊處的TFT結(jié)構(gòu)； 與所述第一公共電極線和第二公共電極線電連接的梳齒狀的透明公共電極，其梳齒具有沿所述柵極線方向延伸且交疊于所述柵極線上的橫杠部分和沿所述數(shù)據(jù)線方向延伸的齒狀部分，所述齒狀部分包括分別交疊于所述數(shù)據(jù)線和第二公共電極線上的第一齒狀部分和位于所述第二公共電極線與數(shù)據(jù)線之間且連接所述橫杠部分的第二齒狀部分； 梳齒狀的像素電極，其梳齒與所述透明公共電極的梳齒交錯排列。
2.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件，其特征在于，所述柵極線為雙柵極線結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件，其特征在于，所述透明公共電極和像素電極為氧化銦錫或氧化銦鋅。
4.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)狀電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件，其特征在于，所述透明公共電極重疊于所述第二公共電極線上的第一齒狀部分通過過孔與所述第一公共電極線和第二公共電極線電連接。
5.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)狀電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件，其特征在于，所述像素電極的梳齒通過過孔與所述TFT結(jié)構(gòu)的漏極電連接。
6.一種網(wǎng)狀電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造方法，其特征在于，包括: 在一基板上形成柵極線以及平行于所述柵極線的第一公共電極線； 在所述基板上形成與所述柵極線和第一公共電極線相交的數(shù)據(jù)線和第二公共電極線.在所述基板的柵極線與數(shù)據(jù)線交疊處形成TFT結(jié)構(gòu)； 在所述基板上形成梳齒交錯排列的像素電極以及透明公共電極，其中，所述透明公共電極與所述第一公共電極線和第二公共電極線電連接，所述透明公共電極的梳齒具有沿所述柵極線方向延伸且交疊于所述柵極線上的橫杠部分和沿所述數(shù)據(jù)線方向延伸的齒狀部分，所述齒狀部分包括分別交疊于所述數(shù)據(jù)線和第二公共電極線上的第一齒狀部分和位于所述第二公共電極線與數(shù)據(jù)線之間且連接所述橫杠部分的第二齒狀部分。
7.如權(quán)利要求6所述的網(wǎng)狀電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造方法，其特征在于，所述柵極線為雙柵極線。
8.如權(quán)利要求6所述的網(wǎng)狀電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造方法，其特征在于，所述透明公共電極和像素電極為氧化銦錫或氧化銦鋅。
9.如權(quán)利要求6所述的網(wǎng)狀電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造方法，其特征在于，所述透明公共電極重疊于所述第二公共電極的第一齒狀部分通過過孔與所述第一公共電極線和第二公共電極線電連接。
10.如權(quán)利要求6所述的網(wǎng)狀電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件的制造方法，其特征在于，所述像素電極的梳齒通過過孔與所述TFT結(jié)構(gòu)的漏極電連接。
全文摘要
本發(fā)明提供一種網(wǎng)狀公共電極結(jié)構(gòu)液晶顯示器件及其制造方法，交疊于數(shù)據(jù)線的第一公共電極線和交疊于柵極線第二公共電極線相交，梳齒狀的透明公共電極與第一公共電極線和第二公共電極線交叉并電連接，形成了網(wǎng)狀的公共電極排列結(jié)構(gòu)，在顯示驅(qū)動時，該網(wǎng)狀的公共電極排列結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)縱向(數(shù)據(jù)線方向)和橫向(柵極線方向)的網(wǎng)狀電流傳導(dǎo)，降低串?dāng)_現(xiàn)象，提高液晶顯示器器件的顯示性能。
文檔編號G02F1/1343GK103163701SQ20111042537
公開日2013年6月19日 申請日期2011年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月16日
發(fā)明者曹兆鏗 申請人:上海中航光電子有限公司