專利名稱：組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光電技術(shù)領(lǐng)域，涉及光柵編碼器，特別是多縫基準(zhǔn)零線光柵，具體為一種組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵。
背景技術(shù)：
光柵編碼器是一種利用光-電轉(zhuǎn)換的傳感器件。增量式圓光柵編碼器用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)軸運(yùn)動(dòng)的速度、角度、角速度和角加速度。它們把這些物理量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸給顯示器和控制系統(tǒng)，顯示器和控制系統(tǒng)就可以顯示這些參量或根據(jù)這些量來(lái)控制驅(qū)動(dòng)裝置。有的場(chǎng)合，這種傳感器還要在旋轉(zhuǎn)一周或轉(zhuǎn)動(dòng)某一特定角度時(shí)輸出一個(gè)基準(zhǔn)零線信號(hào)。如圖1，現(xiàn)有獲取零線信號(hào)的辦法，是在組成光柵編碼器的動(dòng)光柵和靜光柵的柵線區(qū)，刻上一條寬度為1個(gè)光柵距的光縫，當(dāng)動(dòng)光柵和靜光柵上的光縫對(duì)準(zhǔn)時(shí)，通過(guò)這對(duì)光縫的光就會(huì)出現(xiàn)一個(gè)光能量極限。如果動(dòng)光柵和靜光柵上的光縫都是透光的，其它區(qū)不透光， 就會(huì)有一個(gè)光能量峰值，如果動(dòng)光柵上的光柵不透光，其它區(qū)透光，靜光柵的光縫透光，其它區(qū)不透光，則就有光能量谷值。這種光能量達(dá)到峰值或谷值的光照射到光電接收器上，就可以使光電接收器輸出零線電信號(hào)。由于受到光驅(qū)動(dòng)能量的驅(qū)動(dòng)，這種用一條光縫的基準(zhǔn)零線，只適用于光柵柵距較大的場(chǎng)合。當(dāng)光柵柵距過(guò)小，在一些情況下可能會(huì)出現(xiàn)1個(gè)光柵柵距的單光縫透過(guò)的光能量不足以有效地驅(qū)動(dòng)接受零線信號(hào)的光電接收器，不能使輸出有用的電信號(hào)時(shí)，就要考慮增加光縫來(lái)增加信號(hào)的光能量，以更有效集合達(dá)到光能量極限。多縫基準(zhǔn)零線光柵結(jié)構(gòu)是目前常采用的方案，國(guó)內(nèi)外均有采納。多縫基準(zhǔn)零線光柵是在光柵法線方向上有多條相間光縫，通過(guò)多光縫的光能迭加后送入光電接收器，光電接收器收到的達(dá)到光能量極限的光就是光信號(hào)，這時(shí)光電接收器就將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為有效地基準(zhǔn)零線電信號(hào)。這個(gè)位置只有一個(gè)光柵柵距寬，仍然相當(dāng)于單光縫輸出信號(hào)的寬度。光電接收器的電輸出與通過(guò)動(dòng)光柵和靜光柵的零線光縫掃描的光能量成正比，要獲得高能比的電信號(hào)，就要求光柵設(shè)計(jì)者設(shè)計(jì)出高光能比的基準(zhǔn)零線，使得動(dòng)光柵和靜光柵處在基準(zhǔn)零線信號(hào)位置時(shí)，光信號(hào)能量盡量高，偏離信號(hào)位置時(shí)，通過(guò)這對(duì)零線組的光能量盡量的低， 也就是這種基準(zhǔn)零線的光能比要高。有關(guān)多縫基準(zhǔn)零線光柵編碼器技術(shù)在專利1)200320110700. 3 ； 2)200320120401. 8 ；3) 200320120402. 2 ；4) 200320120403. 7 ；中已有記載。特征是基準(zhǔn)零線由多條寬度為1個(gè)光柵距的光縫組成，光縫之間的間隔區(qū)和周邊區(qū)的透光性與光縫的透光性相反，所述多縫基準(zhǔn)零線有一條對(duì)稱或沒(méi)有對(duì)稱軸構(gòu)成。如圖2，其工作原理是由發(fā)光器件發(fā)射的光信號(hào)，經(jīng)過(guò)動(dòng)光柵和靜光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)，設(shè)動(dòng)光柵和靜光柵上各有五個(gè)等距狹縫，動(dòng)光柵狹縫編號(hào)A、B、C、D、E，靜光柵狹縫編號(hào)a、b、c、d、e，各狹縫依次按A_e — 0 ； —AB-de — 0 — ABC-cde —......— ABCDE-abcde ；五個(gè)等距狹縫按1條狹縫一2條狹縫…—5條狹縫，逐一對(duì)準(zhǔn)，0表示光能切斷(遮光)，A-e表示A號(hào)(動(dòng)光柵)與e號(hào)(靜光柵)的光狹縫對(duì)齊，透出一條狹縫光，AB-de表示A、B號(hào)(動(dòng)光柵)的光縫與的d、e號(hào)(靜光柵)的光狹縫對(duì)齊，透出二條狹縫光，動(dòng)光柵和靜光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)穿過(guò)光縫的光將經(jīng)過(guò)對(duì)齊、切斷、對(duì)齊…發(fā)射出明一暗一明變化的光開關(guān)信號(hào)，形成多個(gè)由小到大的光能尖縫，在 ABCDE — abcde處，動(dòng)靜光柵的五個(gè)狹縫完全對(duì)齊，也就是動(dòng)靜光柵狹縫五條光縫完全吻合，形成一個(gè)最高的尖峰就是主峰，其它的低于這個(gè)最高峰的稱為次峰，一個(gè)主峰與多個(gè)次峰組成了光能的原始信號(hào)，主峰信號(hào)由光電接收器接收并輸入放大器，構(gòu)成零線位置脈沖。它的特點(diǎn)是利用光能的逐級(jí)迭加，逐漸增加透光強(qiáng)度，在零線位置處的光能最大， 光能信號(hào)出現(xiàn)高峰，即主峰。在主峰出電壓變化幅度也最大，足以提供光電轉(zhuǎn)換驅(qū)動(dòng)的能量，這時(shí)放大器能夠發(fā)出穩(wěn)定的位置脈沖。但是上述方案也存在一定的問(wèn)題光信號(hào)由多縫隙光的逐一迭加而成，多縫基準(zhǔn)零線光柵采用多條法向同位權(quán)的光縫每條光縫在空間都是平行的，都可以相互吻合，在靜光柵的任意光縫與動(dòng)光柵的任意光縫相遇時(shí)，都會(huì)出現(xiàn)一次光能尖峰，即次峰。只有當(dāng)動(dòng)光柵和靜光柵的光縫完全吻合時(shí)，才會(huì)出現(xiàn)光能最高峰，即主峰。因光能信號(hào)是以開關(guān)形式出現(xiàn)，中間有光能的間斷現(xiàn)象，形成多個(gè)光能小尖峰的零線信號(hào)。次峰信號(hào)將形成噪聲，對(duì)零脈沖的輸出影響很大，低頻時(shí)光能幅度大，小尖峰很容易沖出零位區(qū)，一旦沖出，將在接近零位處，出現(xiàn)多個(gè)零線脈沖，造成位置信號(hào)出錯(cuò)。因此光能次峰影響了編碼器運(yùn)行的穩(wěn)定性，所以在多縫零線光柵的系統(tǒng)中，都希望次峰盡量的低，主峰盡量的高。目前采用的降低次峰的辦法采用不等距的光柵夾縫，次峰雖然得到抑制，但是次峰不能消除。此方法還不是很理想。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的問(wèn)題是一條光縫的基準(zhǔn)零線只適用于光柵柵距較大的場(chǎng)合，現(xiàn)有的多縫基準(zhǔn)零線光柵的光能次峰會(huì)影響編碼器運(yùn)行的穩(wěn)定性，需要一種新的多縫零線光柵結(jié)構(gòu)，次峰盡量的低，主峰盡量的高。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵，包括靜光柵和動(dòng)光柵，基準(zhǔn)零線由法線基準(zhǔn)零線光縫與至少一段圓弧曲線光縫組成，圓弧曲線光縫的圓弧半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，動(dòng)光柵與靜光柵的對(duì)應(yīng)光縫相對(duì)應(yīng)，所述法線基準(zhǔn)零線光縫與圓弧曲線光縫相交，且兩者的位置呈法線關(guān)系，法線基準(zhǔn)零線光縫和圓弧曲線光縫的寬度與基準(zhǔn)零線光柵一個(gè)光柵距的光縫寬度相同?；鶞?zhǔn)零線設(shè)有多條圓弧曲線光縫，所有圓弧曲線光縫具有不同的圓弧半徑，所述圓弧半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，所有圓弧曲線光縫的中點(diǎn)交匯于法線基準(zhǔn)零線光縫的端點(diǎn)?；鶞?zhǔn)零線由法線基準(zhǔn)零線光縫與至少一圓環(huán)曲線光縫組成，圓環(huán)曲線光縫的直徑等于法線基準(zhǔn)零線光縫的長(zhǎng)度，動(dòng)光柵與靜光柵的對(duì)應(yīng)光縫相對(duì)應(yīng)，所述法線基準(zhǔn)零線光縫位于圓環(huán)曲線光縫的直徑位置，法線基準(zhǔn)零線光縫和圓環(huán)曲線光縫的寬度與基準(zhǔn)零線光柵的光縫寬度相同?；鶞?zhǔn)零線設(shè)有多條圓環(huán)曲線光縫，所有圓環(huán)曲線光縫具有不同的半徑，所述半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，所有圓環(huán)曲線光縫相交，且交點(diǎn)為法線基準(zhǔn)零線光縫的端點(diǎn)。如圖4，根據(jù)圓定律“過(guò)不在同一直線上的三點(diǎn)確定一圓”和一段圓弧確定圓心的方法在圓弧上任意取四點(diǎn)，兩兩之間作中垂線，而中垂線的交點(diǎn)就是圓心。也就是說(shuō)，圓弧上至少有三點(diǎn)就可以確定圓心，因?yàn)槿齻€(gè)點(diǎn)兩兩之間可以作兩條中垂線，中垂線的交點(diǎn)就是圓心。因?yàn)槿啥蔚劝霃?，弧長(zhǎng)相等的圓弧，只要圓心重合，即兩段圓弧重合，所以取兩段等半徑，弧長(zhǎng)相等的圓弧，圓弧上至少有三點(diǎn)重合，如起點(diǎn)，終點(diǎn)和中間任意一點(diǎn)，則兩段圓弧重合。本實(shí)用新型在動(dòng)光柵進(jìn)入靜光柵的柵區(qū)后，動(dòng)光柵與靜光柵上非對(duì)應(yīng)的兩條圓曲線光縫只相交，不重合，兩光縫間只出現(xiàn)光點(diǎn)，即兩圓曲線交點(diǎn)，不出現(xiàn)圓曲線光，也就是光縫不重合。又因各圓曲線光縫均交于基準(zhǔn)零線光縫，所以，在動(dòng)光柵進(jìn)入靜光柵光縫未完全吻合時(shí)，光能最小，為多個(gè)相交的小光點(diǎn)，且不減小，不間斷，滿足了偏離信號(hào)位置時(shí)，光能最小的原則。當(dāng)動(dòng)光柵與靜光柵上對(duì)應(yīng)的圓曲線光縫相交的同時(shí)，動(dòng)、靜光柵的各對(duì)應(yīng)光縫，也就是法線基準(zhǔn)零線光縫與圓環(huán)曲線光縫也都同時(shí)重合，多光縫光能同時(shí)迭加，光能出現(xiàn)最大值，形成光能主峰。滿足了動(dòng)光柵和靜光柵處在基準(zhǔn)零線信號(hào)位置時(shí)，光信號(hào)能量盡量高，實(shí)現(xiàn)了高光能比基準(zhǔn)零線。本實(shí)用新型提出一種組合形單主峰零線光柵，組合中的任何一種光柵的基準(zhǔn)零線的光能量的次峰都降低到最低，實(shí)現(xiàn)了無(wú)次峰零線脈沖，組合形單主峰基準(zhǔn)零線光柵結(jié)構(gòu)在增加了光能的同時(shí)，有效地消除了次峰。組合形單主峰光柵由法線基準(zhǔn)零線光縫和圓環(huán)曲線光縫組成，其中法線基準(zhǔn)零線光縫作為主峰光柵，圓環(huán)曲線光縫作為輔助光柵。本實(shí)用新型為組合式基準(zhǔn)零線光柵具有如下優(yōu)點(diǎn)1.利用圓定律和一段圓弧確定圓心的方法，使幾段圓曲線光縫相交與重合，實(shí)現(xiàn)高光能比的零位信號(hào)輸出；2.本實(shí)用新型為組合式基準(zhǔn)零線光柵，通過(guò)多個(gè)互相相切的基準(zhǔn)零線光縫組合， 達(dá)到不間斷的增加受光面積，傳遞重迭的光能量。使零線光柵的光能連續(xù)的變化，保證了零線信號(hào)的安全發(fā)出，同時(shí)有效地消除了原多縫基準(zhǔn)零線光柵光電轉(zhuǎn)換的次峰信號(hào)；3.本實(shí)用新型在原多縫零線光柵迭加原理的基礎(chǔ)上，通過(guò)設(shè)計(jì)的圓弧型/圓環(huán)型基準(zhǔn)零線光縫與法線基準(zhǔn)零線光縫位置分布，產(chǎn)生不間斷的連續(xù)的光能信號(hào)，在零線位置處光能達(dá)到最大，而離開零線位置時(shí)，光能信號(hào)盡量的小，徹底消除了因多狹縫光柵切斷一接通的光能中途突起又切斷的間斷發(fā)射造成的光縫與光谷，即多縫現(xiàn)象，保證了多狹縫無(wú)次峰零線脈沖的可靠輸出，本實(shí)用新型不產(chǎn)生次峰噪聲信號(hào)；4.本實(shí)用新型的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是曲線光縫的采光量比直線型要大，因?yàn)閮牲c(diǎn)之間， 最短的距離是直線，所以兩點(diǎn)之間，圓曲線的長(zhǎng)度大于直線的長(zhǎng)度，所以圓曲線的采光量大于直線的采光量。當(dāng)動(dòng)、靜光柵的各對(duì)應(yīng)光縫同時(shí)重合時(shí)，多光縫光能同時(shí)迭加，光能達(dá)到的最大值比直線型還要大，保證光信號(hào)能量很高，實(shí)現(xiàn)了高光能比基準(zhǔn)零線；由于本實(shí)用新型在取消了次峰信號(hào)的同時(shí)，仍保留了多縫基準(zhǔn)零線光柵的光迭加的特性，同時(shí)也提高了零線光柵的頻帶寬度，低頻特性得到了改善。

[0026]圖1為現(xiàn)有的用一條光縫作為基準(zhǔn)零線的光柵。圖2為現(xiàn)有多縫基準(zhǔn)零線光柵的原理示意圖。圖3為本實(shí)用新型多圓環(huán)曲線光縫的原理示意圖。圖4為本實(shí)用新型所依照的圓定律示意圖。圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例1的光柵結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例1的動(dòng)、靜光柵的狹縫透光情況的變化過(guò)程。圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例2的光柵結(jié)構(gòu)示意圖。圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例2的動(dòng)、靜光柵的狹縫透光情況的變化過(guò)程。圖9為本實(shí)用新型實(shí)施例3的光柵結(jié)構(gòu)示意圖。圖10為本實(shí)用新型實(shí)施例3的動(dòng)、靜光柵的狹縫透光情況的變化過(guò)程。圖11為本實(shí)用新型反例的光柵結(jié)構(gòu)示意圖。圖12為本實(shí)用新型反例的動(dòng)、靜光柵的狹縫透光情況的變化過(guò)程。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵，包括靜光柵和動(dòng)光柵，靜光柵是靜止的，動(dòng)光柵采用光柵盤，是運(yùn)動(dòng)的。基準(zhǔn)零線由法線基準(zhǔn)零線光縫與至少一段圓弧曲線光縫組成， 圓弧曲線光縫的圓弧半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，動(dòng)光柵與靜光柵的對(duì)應(yīng)光縫相對(duì)應(yīng)，所述法線基準(zhǔn)零線光縫與圓弧曲線光縫相交，且兩者的位置呈法線關(guān)系，法線基準(zhǔn)零線光縫和圓弧曲線光縫的寬度與基準(zhǔn)零線光柵一個(gè)光柵距的光縫1寬度相同。進(jìn)一步的，基準(zhǔn)零線設(shè)有多條圓弧曲線光縫，所有圓弧曲線光縫具有不同的圓弧半徑，所述圓弧半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，所有圓弧曲線光縫的中點(diǎn)交匯于法線基準(zhǔn)零線光縫的端點(diǎn)。另一種方式是基準(zhǔn)零線由法線基準(zhǔn)零線光縫與至少一圓環(huán)曲線光縫組成，圓環(huán)曲線光縫的直徑等于法線基準(zhǔn)零線光縫的長(zhǎng)度，動(dòng)光柵與靜光柵的對(duì)應(yīng)光縫相對(duì)應(yīng)，所述法線基準(zhǔn)零線光縫位于圓環(huán)曲線光縫的直徑位置，法線基準(zhǔn)零線光縫和圓環(huán)曲線光縫的寬度與基準(zhǔn)零線光柵的光縫寬度相同。進(jìn)一步的，如圖3，在法線基準(zhǔn)零線兩端點(diǎn)所在的兩個(gè)半徑2、3所包容的區(qū)域u內(nèi)，這里的半徑是動(dòng)光柵的半徑，區(qū)域u即靜光柵光照區(qū)域，基準(zhǔn)零線設(shè)有多條圓環(huán)曲線光縫，所有圓環(huán)曲線光縫具有不同的半徑，所述半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，所有圓環(huán)曲線光縫相交，且交點(diǎn)為法線基準(zhǔn)零線光縫的端點(diǎn)。下面結(jié)合具體的實(shí)施例來(lái)說(shuō)明本實(shí)用新型。實(shí)施例1組合形基準(zhǔn)零線光柵結(jié)構(gòu)如圖5，基準(zhǔn)零線光柵由一個(gè)圓環(huán)型基準(zhǔn)零線光縫5和一寬度為一個(gè)光柵距的法線基準(zhǔn)零線光縫4組成。圖6顯示了動(dòng)、靜光柵的狹縫透光情況的變化過(guò)程，從上到下分別表示在動(dòng)光柵轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，基準(zhǔn)零線光柵的光能發(fā)生變化的過(guò)程，光能量的大小與透光面積成正比，圖中透光面積從上到下逐漸變大，相反從下到上透光面積逐漸減小。當(dāng)動(dòng)光柵與靜光柵的光縫隙完全吻合時(shí)，此時(shí)光能幅值達(dá)到最大，形成光能峰值，光電接收器接收到的光信號(hào)與附圖相同，電信號(hào)輸入放大器，經(jīng)過(guò)放大構(gòu)成編碼器的零線位置脈沖。實(shí)施例2[0044]組合形基準(zhǔn)零線光柵結(jié)構(gòu)如圖7，基準(zhǔn)零線光柵由兩個(gè)半徑不等的半圓環(huán)形基準(zhǔn)零線光縫7、8和一寬度為一個(gè)光柵距的法線基準(zhǔn)零線光縫6組成，小半圓貼著大半圓，因?yàn)槿绻“雸A在大半圓之中，而不是貼著大半圓，中間會(huì)有光能的間斷現(xiàn)象，形成多個(gè)光能小尖峰的零線信號(hào)。次峰信號(hào)將形成噪聲，對(duì)零脈沖的輸出影響很大，低頻時(shí)光能幅度大，小尖峰很容易沖出零位區(qū)，一旦沖出，將在接近零位處，出現(xiàn)多個(gè)零線脈沖。在圓心法線方向有一寬度為一個(gè)光柵距的法線基準(zhǔn)零線光縫6。圖8顯示了動(dòng)、靜光柵的狹縫透光情況的變化過(guò)程，從上到下分別表示在動(dòng)光柵轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，圖中透光面積從上到下逐漸變大，相反從下到上透光面積逐漸減小。當(dāng)動(dòng)光柵與靜光柵的光縫隙完全吻合時(shí)，此時(shí)光能幅值達(dá)到最大，形成光能峰值，光電接收器接收到的光信號(hào)與附圖相同，電信號(hào)輸入放大器，經(jīng)過(guò)放大構(gòu)成編碼器的零線位置脈沖。實(shí)施例3組合形基準(zhǔn)零線光柵結(jié)構(gòu)如圖9，基準(zhǔn)零線光柵由兩個(gè)半徑不等的圓環(huán)型基準(zhǔn)零線光縫10、11和一寬度為一個(gè)光柵距的法線基準(zhǔn)零線光縫9組成，小圓貼著大圓。因?yàn)槿绻A在大圓之中，而不貼著大圓，中間會(huì)有光能的間斷現(xiàn)象，形成多個(gè)光能小尖峰的零線信號(hào)。次峰信號(hào)將形成噪聲，對(duì)零脈沖的輸出產(chǎn)生影響，低頻時(shí)仍有小尖峰沖出零位區(qū)，一旦沖出，將出現(xiàn)次峰零線脈沖。在圓心法線方向有一寬度為一個(gè)光柵距的光縫9。圖10顯示了動(dòng)、靜光柵的狹縫透光情況的變化過(guò)程，從上到下分別表示在動(dòng)光柵轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，零線光柵的光能發(fā)生變化的過(guò)程，光能量的大小與透光面積成正比，圖中透光面積從上到下逐漸變大， 相反從下到上透光面積逐漸減小。當(dāng)動(dòng)光柵與靜光柵的光縫隙完全吻合時(shí)，此時(shí)光能幅值達(dá)到最大，形成光能峰值，光電接收器接收到的光信號(hào)與附圖相同，電信號(hào)輸入放大器，經(jīng)過(guò)放大構(gòu)成編碼器的零線位置脈沖。反例.實(shí)施例2和3均表明了在設(shè)有多條曲線光縫的情況下，曲線光縫之間要求相貼，如圖11所示為圓弧光縫不相交的情況，組合型基準(zhǔn)零線光柵由兩個(gè)半徑不等的圓環(huán)型基準(zhǔn)零線光縫13、14和一寬度為一個(gè)光柵距的法線基準(zhǔn)零線光縫12組成，小圓在大圓之中，而不貼著大圓。圖12顯示了動(dòng)、靜光柵的狹縫透光情況的變化過(guò)程，從上到下分別表示在動(dòng)光柵轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，零線光柵的光能發(fā)生變化的過(guò)程，光能量的大小與透光面積成正比。圖中透光面積從上到下逐漸變大，但是變化過(guò)程中間出現(xiàn)了光點(diǎn)減少的現(xiàn)象，也就是光面積減小，因?yàn)閳A弧光縫不相交的時(shí)候透光會(huì)出現(xiàn)不連續(xù)的情況，出現(xiàn)光能的間斷現(xiàn)象，形成多個(gè)光能小尖峰的零線信號(hào)。次峰信號(hào)將形成噪聲，對(duì)零脈沖的輸出產(chǎn)生影響，低頻時(shí)仍有小尖峰沖出零位區(qū)，一旦沖出，將出現(xiàn)次峰零線脈沖。
權(quán)利要求1.組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵，包括靜光柵和動(dòng)光柵，其特征是基準(zhǔn)零線由法線基準(zhǔn)零線光縫與至少一段圓弧曲線光縫組成，圓弧曲線光縫的圓弧半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，動(dòng)光柵與靜光柵的對(duì)應(yīng)光縫相對(duì)應(yīng)，所述法線基準(zhǔn)零線光縫與圓弧曲線光縫相交，且兩者的位置呈法線關(guān)系，法線基準(zhǔn)零線光縫和圓弧曲線光縫的寬度與基準(zhǔn)零線光柵一個(gè)光柵距的光縫寬度相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵，其特征是基準(zhǔn)零線設(shè)有多條圓弧曲線光縫，所有圓弧曲線光縫具有不同的圓弧半徑，所述圓弧半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，所有圓弧曲線光縫的中點(diǎn)交匯于法線基準(zhǔn)零線光縫的端點(diǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵，其特征是基準(zhǔn)零線由法線基準(zhǔn)零線光縫與至少一圓環(huán)曲線光縫組成，圓環(huán)曲線光縫的直徑等于法線基準(zhǔn)零線光縫的長(zhǎng)度， 動(dòng)光柵與靜光柵的對(duì)應(yīng)光縫相對(duì)應(yīng)，所述法線基準(zhǔn)零線光縫位于圓環(huán)曲線光縫的直徑位置，法線基準(zhǔn)零線光縫和圓環(huán)曲線光縫的寬度與基準(zhǔn)零線光柵的光縫寬度相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵，其特征是基準(zhǔn)零線設(shè)有多條圓環(huán)曲線光縫，所有圓環(huán)曲線光縫具有不同的半徑，所述半徑不大于法線基準(zhǔn)零線光縫長(zhǎng)度的一半，所有圓環(huán)曲線光縫相交，且交點(diǎn)為法線基準(zhǔn)零線光縫的端點(diǎn)。
專利摘要組合形多縫基準(zhǔn)零線光柵，包括靜光柵和動(dòng)光柵，基準(zhǔn)零線由法線基準(zhǔn)零線光縫與至少一段圓弧/圓環(huán)曲線光縫組成，動(dòng)光柵與靜光柵的對(duì)應(yīng)光縫相對(duì)應(yīng)，所述法線基準(zhǔn)零線光縫與圓弧/圓環(huán)曲線光縫相交，且兩者的位置呈法線關(guān)系，法線基準(zhǔn)零線光縫和圓弧曲線光縫的寬度與基準(zhǔn)零線光柵一個(gè)光柵距的光縫寬度相同。本實(shí)用新型多縫基準(zhǔn)零線光柵的光能量的次峰降低到最低，實(shí)現(xiàn)了無(wú)次峰零線脈沖，在增加了光能的同時(shí)，有效地消除了次峰，實(shí)現(xiàn)高光能比的零位信號(hào)輸出，保留了多縫基準(zhǔn)零線光柵的光迭加的特性，同時(shí)也提高了零線光柵的頻帶寬度，低頻特性得到了改善。
文檔編號(hào)G02B27/44GK202003095SQ201120108320
公開日2011年10月5日 申請(qǐng)日期2011年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月14日
發(fā)明者黃浩 申請(qǐng)人:南京中科天文儀器有限公司