專利名稱：一種電極結(jié)構(gòu)、陣列基板及顯示設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及電子技術，尤其涉及一種電極結(jié)構(gòu)、陣列基板及顯示設備。
背景技術：
目前，在制作電容式接觸電極時，由于X方向和Y方向各包括兩個菱形電極，并且X 方向的兩個菱形電極相互導通，Y方向的兩個菱形電極相互導通，為實現(xiàn)電極的良好導通， 有如下兩種實現(xiàn)方式一種實現(xiàn)方式是將X方向的電極和Y方向的電極制作在不同的層中，如圖la、圖 Ib和圖Ic所示，圖Ia中為X方向的兩個菱形電極，在圖Ib中，覆蓋了一層絕緣層，在圖Ic 中，制作了 Y方向的兩個菱形電極。這樣既可以保證X方向的兩個菱形電極相互導通，Y方向的兩個菱形電極相互導通，也能夠保證X方向的兩個菱形電極與Y方向的兩個菱形電極之間絕緣良好。但是，通過這種方式制作電極時，需要分別為X方向電極和Y方向電極鍍兩層ΙΤ0，增加了制作和工藝的復雜性，制作成本也較高。另一種實現(xiàn)方式是在一層中制作X方向的電極和Y方向的電極，如圖2a、圖2b和圖2c所示，在圖加中，制作了 X方向的電極和Y方向的電極，其中X方向的電極已經(jīng)相互導通，Y方向的兩個電極未連接，在圖2b中，沉積一層絕緣層，在圖2c中，制作金屬橋連接Y 方向的兩個電極，金屬橋與X方向的電極之間通過絕緣層絕緣。通過這種方式制作電極，不再需要分別為X方向電極和Y方向電極鍍兩層ΙΤ0，但是，由于絕緣層具有一定厚度，所以由于厚度斷差的緣故，在絕緣層邊緣處的金屬橋容易發(fā)生斷線，導致Y方向的電極接觸不良， 同時，在制作金屬橋與X方向電極之間的絕緣層的時候，由于所保留的絕緣層面積很小，所以工藝難度也較大。
實用新型內(nèi)容本實用新型實施例提供一種電極結(jié)構(gòu)、陣列基板及顯示設備，以實現(xiàn)電極間的連接，提高產(chǎn)品的良率。本實用新型實施例提供一種電極結(jié)構(gòu)，包括基板，設置在所述基板上的絕緣層、 設置在所述絕緣層上的電極層，所述電極層包括至少兩個相互連接的第一方向電極和至少兩個未連接的第二方向電極；其中，所述電極結(jié)構(gòu)還包括連接橋，設置在所述電極層的相鄰電路層中，所述至少兩個第二方向電極分別通過導通孔和所述連接橋連接。本實用新型實施例還提供一種陣列基板，包括本實用新型實施例提供的電極結(jié)構(gòu)。本實用新型實施例還提供一種顯示設備，包括本實用新型實施例提供的電極結(jié)構(gòu)。本實用新型實施例提供一種電極結(jié)構(gòu)、陣列基板及顯示設備，通過導通孔的方式連接電極和連接橋，從而避免在絕緣層邊緣處連接橋發(fā)生斷線的問題，進而實現(xiàn)需要連接的電極間的良好接觸，提高了產(chǎn)品的良率，同時由于僅需要去除導通孔處的絕緣層，也便于工藝實現(xiàn)。
圖Ia-圖Ic為現(xiàn)有技術中電極結(jié)構(gòu)示意圖之一；圖加-圖2c為現(xiàn)有技術中電極結(jié)構(gòu)示意圖之二 ；圖3a和圖北為本實用新型實施例提供的電極結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例提供的另一種電極結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型實施例提供的電極制作方法流程圖；圖6a-圖6d為本實用新型實施例提供的電極制作過程中的狀態(tài)示意圖。
具體實施方式
本實用新型實施例提供一種電極結(jié)構(gòu)、陣列基板及顯示設備，通過導通孔的方式連接電極和連接橋，從而避免在絕緣層邊緣處連接橋發(fā)生斷線的問題，進而實現(xiàn)需要連接的電極間的良好接觸，提高了產(chǎn)品的良率，同時由于僅需要去除導通孔處的絕緣層，也便于工藝實現(xiàn)。參照圖3a和圖北，其中，圖北為圖3a在AA方向的截面圖，本實用新型實施例提供的電極結(jié)構(gòu)包括基板301，設置在基板301上的絕緣層302、設置在絕緣層302上的電極層，電極層包括至少兩個相互連接的第一方向電極303和至少兩個未連接的第二方向電極304 ；該電極結(jié)構(gòu)還包括連接橋305，設置在電極層的相鄰電路層中，至少兩個第二方向電極304分別通過導通孔306和連接橋305連接。在第一方向電極303和第二方向電極304垂直時，可以將第一方向電極303稱為X 方向電極303，將第二方向電極304稱為Y方向電極304，本實用新型實施例以二者垂直為例進行說明，本領域技術人員可以將本實用新型實施例提供的技術方案擴展至二者不垂直的情況中進行應用。由于該連接橋305是設置在電極層的相鄰電路層中，并通過導通孔306連接Y方向電極304，而不需要連接橋305進行彎曲，所以既實現(xiàn)了將X方向電極303和Y方向電極 304設置在同一層中，又解決了連接橋305由于絕緣層邊緣的斷差問題導致的接觸不良，提高了產(chǎn)品的良率。其中，本實用新型實施例中的X方向電極303和Y方向電極304可以采用氧化銦錫電極，基板301可以采用玻璃基板。本實用新型實施例中所說的電極層的相鄰電路層，是指與電極層相離最近的電路層，該電路層通常情況下與電極層絕緣。在該電極結(jié)構(gòu)上，還可以根據(jù)實際需要進行進一步的加工制作，例如覆蓋鈍化層 307。具體實施時，可以在制作電極層后，在需要搭橋的地方制作絕緣層，再在該絕緣層上制作連接橋305，再通過導通孔306的方式將連接橋305和Y方向電極304連接起來，其具體結(jié)構(gòu)如圖4所示。進一步的，為了減小工藝復雜度，連接橋305可以設置在絕緣層與基板之間，即設置在該電極結(jié)構(gòu)的最底層，由于Metal Trace(金屬線)就設置在這一層，所以，若使用金屬材料制作連接橋305，可以在制作Metal Trace的同時制作出連接橋305。連接橋305可以使用金屬制作，也可以使用氧化銦錫制作，在本實用新型實施例中，將金屬制作的連接橋305稱為金屬橋，將氧化銦錫制作的連接橋305稱為氧化銦錫橋。為了保證Y方向電極304與連接橋305的接觸良好，導通孔306以及連接橋的大小在不影響外觀視覺效果的前提下，盡量制作的較大，從而保證Y方向電極304與連接橋305 的接觸良好。通常，當連接橋為金屬橋時，導通孔的直徑可以設置為5um-15um，當設置為IOum 左右時較佳；當連接橋為氧化銦錫橋時，導通孔的直徑為20um-100um較佳。為進一步保證Y方向電極304與連接橋305的接觸良好，可以適當選取合適的電極的厚度，即在制作X方向電極和Y方向電極時，使得X方向電極和Y方向電極的厚度大于或等于150埃，這樣能夠在保證Y方向電極304與連接橋305接觸良好的同時這樣能夠?qū)㈦姌O結(jié)構(gòu)做得很薄，也利于做小尺寸的Touch Sensor (觸摸傳感器)，并有利于通過導通孔 306使得Y方向電極304與連接橋305導通。在本實用新型實施例中，絕緣層可以采用氧化硅、氮化硅或樹脂來制作，即，絕緣層具體為氧化硅層、氮化硅層或樹脂層。如圖5所示，本實用新型實施例提供的電極結(jié)構(gòu)的實現(xiàn)方法包括如下步驟步驟S501、在基板制作金屬橋，該金屬橋可以與Metal Trace設置在同一層，如圖 6a所示；步驟S502、在基板上覆蓋絕緣層，如圖6b所示，所覆蓋的絕緣層的厚度可以根據(jù)所需電容的大小來設定；步驟S503、在金屬橋上的相應位置制作導通孔，如圖6c所示；步驟S504、制作兩個相互連接的X方向電極和兩個未連接的Y方向電極，Y方向電極均通過導通孔連接金屬橋，如圖6d所示； 步驟S505、覆蓋鈍化層。本實用新型實施例還提供一種陣列基板，該陣列基板包括本實用新型實施例提供的電極結(jié)構(gòu)。本實用新型實施例還提供一種顯示設備，該顯示設備包括本實用新型實施例提供的電極結(jié)構(gòu)。本實用新型實施例提供一種電極結(jié)構(gòu)、陣列基板及顯示設備，通過導通孔的方式連接電極和連接橋，從而避免在絕緣層邊緣處連接橋發(fā)生斷線的問題，進而實現(xiàn)需要連接的電極間的良好接觸，提高了產(chǎn)品的良率，同時由于僅需要去除導通孔處的絕緣層，也便于工藝實現(xiàn)。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權利要求1.一種電極結(jié)構(gòu)，包括基板，設置在所述基板上的絕緣層、設置在所述絕緣層上的電極層，所述電極層包括至少兩個相互連接的第一方向電極和至少兩個未連接的第二方向電極；其特征在于，所述電極結(jié)構(gòu)還包括連接橋，設置在所述電極層的相鄰電路層中，所述至少兩個第二方向電極分別通過導通孔和所述連接橋連接。
2.如權利要求1所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接橋設置在所述絕緣層與所述基板之間。
3.如權利要求1所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接橋具體為金屬橋或氧化銦錫橋。
4.如權利要求3所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，當所述連接橋為金屬橋時，所述導通孔的直徑為5um-15um。
5.如權利要求3所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，當所述連接橋為氧化銦錫橋時，所述導通孔的直徑為20um-100um。
6.如權利要求1所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一方向電極和所述第二方向電極的厚度大于或等于150埃。
7.如權利要求1所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絕緣層為氧化硅層、氮化硅層或樹月旨層。
8.如權利要求1所述的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一方向電極和所述第二方向電極均為氧化銦錫電極。
9.一種陣列基板，其特征在于，包括如權利要求1-8任一所述的電極結(jié)構(gòu)。
10.一種顯示設備，其特征在于，包括如權利要求1-8任一所述的電極結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型公開了一種電極結(jié)構(gòu)、陣列基板及顯示設備，涉及電子技術，該電極結(jié)構(gòu)包括基板，設置在所述基板上的絕緣層、設置在所述絕緣層上的電極層，所述電極層包括至少兩個相互連接的第一方向電極和至少兩個未連接的第二方向電極；該電極結(jié)構(gòu)還包括連接橋，設置在所述電極層的相鄰電路層中，所述至少兩個第二方向電極分別通過導通孔和所述連接橋連接。由于通過導通孔的方式連接電極和連接橋，從而避免在絕緣層邊緣處連接橋發(fā)生斷線的問題，進而實現(xiàn)需要連接的電極間的良好接觸，提高了產(chǎn)品的良率，同時由于僅需要去除導通孔處的絕緣層，也便于工藝實現(xiàn)。
文檔編號G02F1/1343GK202093286SQ20112019014
公開日2011年12月28日 申請日期2011年6月8日 優(yōu)先權日2011年6月8日
發(fā)明者王海生, 胡明 申請人:北京京東方光電科技有限公司