專(zhuān)利名稱(chēng)：高隔離度cwdm薄膜濾光片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種濾光片，具體是指一種高隔離度CWDM薄膜濾光片。
背景技術(shù)：
薄膜濾光片，又分為薄膜吸收濾光片和薄膜干涉濾光片兩種。前者是在特定材料基材上，用化學(xué)浸蝕或真空蒸鍍方法形成單層薄膜，使本征吸收線(xiàn)正好位于需要的波長(zhǎng)處。 后者是在一定片基上，用真空鍍膜法交替形成具有一定厚度的高折射率或低折射率的金屬-介質(zhì)-金屬膜，或全介質(zhì)膜，構(gòu)成一種低級(jí)次的、多級(jí)串聯(lián)實(shí)心法布里-珀羅干涉儀。 目前，市場(chǎng)上的濾光片普遍存在著峰值透射率不高或者是次峰跟旁帶問(wèn)題嚴(yán)重的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)中的不足而提供一種高陡度通道平坦度濾光片，峰值透射率高、可以提高器件相鄰?fù)ǖ栏綦x度，將隔離度從25dB提高到46dB的高隔離度CWDM薄膜濾光片。本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)高隔離度CWDM薄膜濾光片，包括基板，基板的一面設(shè)有正面膜系，另一面設(shè)有反面膜系，所述的基板采用厚度為1毫米玻璃為基板，其表面平面度為光圈N < 3，局部光圈 ΔΝ< 0. 4，表面光潔度B = III ；所述的正面膜系為基于12個(gè)法布里-珀羅串聯(lián)Ns|HLHL
H8LHLHLHL HLHL H8LHLHLHL .........HLHL H8LHLHLHL HLHL H8LHLHLHL0. 2356H1. 3526L|No，
膜系中Ns表示基板，No表示空氣，L表示厚度為λ 0/4五氧化二鉭膜層，H表示厚度為 λ 0/4 二氧化硅膜層，中心波長(zhǎng)λ 0 = 1470-1610納米；所述的反面膜系為增透膜，所述的增透膜的膜層結(jié)構(gòu)如下
權(quán)利要求1. 一種高隔離度CWDM薄膜濾光片，包括基板(1)，基板(1)的一面設(shè)有正面膜系(2)， 另一面設(shè)有反面膜系(3)，其特征在于所述的基板(1)采用厚度為1毫米玻璃為基板，其表面平面度為光圈N< 3，局部光圈ΔΝ< 0.4，表面光潔度B = III ；所述的正面膜系(2)為基于 12 個(gè)法布里-珀羅串聯(lián)Ns IHLHL H8LHLHLHL HLHL H8LHLHLHL .........HLHLH8LHLHLHL HLHL H8LHLHLHL0. 2356H1. !35^L|No，膜系中Ns 表示基板(1)，No 表示空氣，L 表示厚度為λ 0/4五氧化二鉭膜層，H表示厚度為λ 0/4 二氧化硅膜層，中心波長(zhǎng)λ0 = 1470-1610納米；所述的反面膜系(3)為增透膜，所述的增透膜的膜層結(jié)構(gòu)如下
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高隔離度CWDM薄膜濾光片。高隔離度CWDM薄膜濾光片，包括基板(1)，基板(1)的一面設(shè)有正面膜系(2)，另一面設(shè)有反面膜系(3)，所述的基板(1)采用厚度為1毫米玻璃為基板，其表面平面度為光圈N＜3，局部光圈ΔN＜0.4，表面光潔度B＝III；所述的正面膜系(2)為基于12個(gè)法布里-珀羅串聯(lián)；所述的反面膜系(3)為增透膜。本實(shí)用新型通過(guò)法布里-珀羅腔數(shù)、串聯(lián)方式、連接層非規(guī)整控制等較好的解決高陡度濾光片通道平坦度問(wèn)題，透射率可以達(dá)到98%以上，通過(guò)此濾光片可以提高器件相鄰?fù)ǖ栏綦x度，將隔離度從25dB提高到46dB。
文檔編號(hào)G02B5/20GK202275171SQ20112029925
公開(kāi)日2012年6月13日 申請(qǐng)日期2011年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者王鵬飛, 范衛(wèi)星, 趙戰(zhàn)剛 申請(qǐng)人:奧普鍍膜技術(shù)(廣州)有限公司