專利名稱：平行光曝光機(jī)的同向開合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種開合裝置，尤其涉及一種平行光曝光機(jī)的同向開合裝置。
背景技術(shù)：
曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。開合裝置是平行曝光機(jī)的一個主要部件，目前在平行光曝光的開合系統(tǒng)中采用的是用一個元器件(汽缸)帶動開合機(jī)構(gòu)，來實(shí)現(xiàn)打開和關(guān)閉，這樣機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)在曝光過程中就會產(chǎn)生曝光不均勻性的后果，如圖1所示。因此，有必要對現(xiàn)有的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置進(jìn)行改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，能夠同時實(shí)現(xiàn)不同開合機(jī)構(gòu)的打開和關(guān)閉，提高曝光的均勻性和生產(chǎn)率。本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是提供一種平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，包括底座和汽缸，所述汽缸固定在底座上，所述汽缸通過開合機(jī)構(gòu)和遮光板相連，所述底座上設(shè)有通光口，其中，所述汽缸包括第一汽缸和第二汽缸，所述第一汽缸和第二汽缸分別通過開合機(jī)構(gòu)和遮光板相連。上述的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，其中，所述第一汽缸和第二汽缸為無桿汽缸。上述的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，其中，所述遮光板的大小大于通光口的大小。本實(shí)用新型對比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果本實(shí)用新型提供的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，采用第一汽缸和第二汽缸帶動各自的開合機(jī)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)不同開合機(jī)構(gòu)的打開和關(guān)閉，提高曝光的均勻性和生產(chǎn)率。

圖1為現(xiàn)有平行光曝光機(jī)的同向開合裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型平行光曝光機(jī)的同向開合裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1底座 2汽缸3通光口4遮光板 5第一汽缸 6第二汽缸
具體實(shí)施方式
[0014]
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)ー步的描述。圖2為本實(shí)用新型平行光曝光機(jī)的同向開合裝置結(jié)構(gòu)示意圖。請參見圖2，本實(shí)用新型提供的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置包括底座I和汽缸， 所述汽缸固定在底座I上，所述汽缸通過開合機(jī)構(gòu)和遮光板4相連，所述底座I上設(shè)有通光 ロ 3,其中,所述汽缸包括第一汽缸5和第二汽缸6,所述第一汽缸5和第二汽缸6分別通過開合機(jī)構(gòu)和遮光板4相連。本實(shí)用新型提供的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，第一汽缸5和第二汽缸6優(yōu)選為無桿汽缸；所述遮光板4的大小大于通光ロ 3的大小，以便保證遮光板4能夠完全覆蓋住通光ロ，保證曝光效果。綜上所述，本實(shí)用新型提供的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，采用第一汽缸5和第二汽缸6帶動各自的開合機(jī)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)不同開合機(jī)構(gòu)的打開和關(guān)閉，提高曝光的均勻性和生產(chǎn)率。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例掲示如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的修改和完善，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.ー種平行光曝光機(jī)的同向開合裝置,包括底座(I)和汽缸，所述汽缸固定在底座(I) 上，所述汽缸通過開合機(jī)構(gòu)和遮光板(4)相連，所述底座(I)上設(shè)有通光ロ(3)，其特征在于，所述汽缸包括第一汽缸(5)和第二汽缸(6),所述第一汽缸(5)和第二汽缸(6)分別通過開合機(jī)構(gòu)和遮光板(4)相連。
2.如權(quán)利要求I所述的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，其特征在于，所述第一汽缸(5) 和第二汽缸(6)為無桿汽缸。
3.如權(quán)利要求I或2所述的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，其特征在于，所述遮光板(4)的大小大于通光ロ(3)的大小。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，包括底座和汽缸，所述汽缸固定在底座上，所述汽缸通過開合機(jī)構(gòu)和遮光板相連，所述底座上設(shè)有通光口，其中，所述汽缸包括第一汽缸和第二汽缸，所述第一汽缸和第二汽缸分別通過開合機(jī)構(gòu)和遮光板相連。本實(shí)用新型提供的平行光曝光機(jī)的同向開合裝置，采用第一汽缸和第二汽缸帶動各自的開合機(jī)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)不同開合機(jī)構(gòu)的打開和關(guān)閉，提高曝光的均勻性和生產(chǎn)率。
文檔編號G03F7/20GK202339475SQ20112047586
公開日2012年7月18日 申請日期2011年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月25日
發(fā)明者牛實(shí)利 申請人:無錫旭電科技有限公司