專利名稱：激光加工方法及其所形成的加工件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光加工方法及其所形成的加工件，特別是以一基板為加工件的激光加工方法及其所形成的加工件，加工后的該基板特別適用于背光模塊的導(dǎo)光板。
背景技術(shù)：
近來平面顯示器逐漸普及化，其中液晶顯示器的背光模塊的尺寸大小也向大尺寸邁進，液晶顯示器的背光模塊可分成直下式與側(cè)光式。采用直下式的方式鋪設(shè)背光模塊的光源需要較多的發(fā)光組件而較耗電；采用側(cè)光式的方式鋪設(shè)背光模塊的光源只需從液晶顯示器的其中一側(cè)提供光線，因此，離光源較近與離光源較遠的亮度若沒有適當?shù)奶幚?，則液晶顯示器的亮度會不均勻，特別所述不均勻是大尺寸面板所面臨的挑戰(zhàn)。側(cè)光式背光模塊的導(dǎo)光板的設(shè)計對于背光的輝度以及背光的均勻度有重要的影響，其中導(dǎo)光板上的網(wǎng)點的設(shè)計影響甚巨，好的設(shè)計則能夠提供較佳的背光的輝度與均勻度。請參閱圖la，其為現(xiàn)有技術(shù)中液晶顯示器的示意圖?，F(xiàn)有液晶顯示器10包含一背光模塊11與一液晶面板12。該背光模塊11包含一光源110、一光源反射板111、一導(dǎo)光板112、一底部反射板113、以及一棱鏡薄層114。在圖1a中，光源110所發(fā)出的光線13，14在導(dǎo)光板112中以全反射來傳遞，直到分別碰到在導(dǎo)光板112上的網(wǎng)點1120以及1121時，通過網(wǎng)點1120,1121的光學性質(zhì)(例如凹透鏡的特性)將光線13，14折射，而可均勻散射到該棱鏡薄層114,該棱鏡薄層114會將散射后的光聚集，以加強背光的輝度。在臺灣專利公告號1275878中，說明了蝕刻皺折網(wǎng)點的方法。請參閱圖lb，其為現(xiàn)有皺折網(wǎng)點的示意圖。首先，提供一金屬或壓克力材質(zhì)的基板21，然后提供一激光束至基板21上方，并重復(fù)照射基板21上的同一位置，以形成一皺折網(wǎng)點22，再通過移動激光束或移動基板，并利用激光束重復(fù)照射基板21，以依次在基板21的不同位置上均形成皺折網(wǎng)點22，而激光束可采用脈沖式激光，且激光束的波長選用依基板材質(zhì)而定。例如:當采用鋼材基板時，則可選用Nd-YAG激光。最后，將表面具有多個皺折網(wǎng)點22的基板21直接作為模仁20或再透過電鑄制程形成模仁，再利用注入透明材質(zhì)成形導(dǎo)光板，成形的方式可為射出成形、熱壓、或鑄造。在此現(xiàn)有技術(shù)中，各該皺折網(wǎng)點22的深度一致，對于要達成背光的高均勻性的目的而言，則需另外依賴皺折網(wǎng)點22在基板21上的疏密程度,然而即使離光源較近的皺折網(wǎng)點22排列較稀疏，且離光源較遠的皺折網(wǎng)點22排列較密，其亮度均勻的程度與輝度仍有很大的改善空間。在臺灣專利公開號201116902中，說明了現(xiàn)有的激光加工系統(tǒng)30。如圖1c所示，現(xiàn)有激光加工系統(tǒng)30包括一激光加工裝置31與一基板32。該激光加工裝置31包括一平臺單兀33、一光束掃描單兀34、一激光模塊35、以及一控制單兀36。在圖1c中，一加工單兀37包括一激光模塊35與一定位單兀38。該定位單兀38包括一光束掃描單兀34與一平臺單元33。激光加工裝置31用以在基板32的至少兩位置點PS1、PS2分別形成至少兩網(wǎng)點321、322，該至少兩網(wǎng)點321、322可用以成型一導(dǎo)光板(未顯示)。該至少兩網(wǎng)點321、322分別具有至少兩深度DA1、DA2，為了使采用該導(dǎo)光板的一背光模塊(未顯示)發(fā)出均勻的整面光線，該至少兩深度DA1、DA2可不相等。控制單元36分別根據(jù)該至少兩位置點PS1、PS2而設(shè)置至少兩加工參數(shù)Bll、B12，且分別根據(jù)該至少兩加工參數(shù)B11、B12而提供至少兩激光束LUl、LU2來形成該至少兩網(wǎng)點321、322。該至少兩加工參數(shù)B11、B12的每一(如Bll)包括一預(yù)定深度(如Dll)與一激光能量參數(shù)(如Ull)，且該至少兩網(wǎng)點321、322的每一(如321)具有一深度(如DAl)。該兩加工參數(shù)B11、B12的兩預(yù)定深度Dll、D12被設(shè)置成不相等而使該兩加工參數(shù)Bll、B12的兩激光能量參數(shù)Ul 1、U12被設(shè)置成不等效，且該兩加工參數(shù)BI 1、B12的該兩激光能量參數(shù)U11、U12被利用來使該兩網(wǎng)點321、322的兩深度DA1、DA2分別匹配于該兩加工參數(shù)B11、B12的該兩預(yù)定深度D11、D12。在圖1c中的激光能量參數(shù)Ull包括一設(shè)計脈沖功率Rl1、一設(shè)計脈沖頻率fll與一設(shè)計加工時間Q11。激光能量參數(shù)U12包括一設(shè)計脈沖功率R12、一設(shè)計脈沖頻率fl2與一設(shè)計加工時間Q12。當預(yù)定深度Dll與預(yù)定深度D12被設(shè)置成不相等時，設(shè)計脈沖功率R11、設(shè)計脈沖頻率fll與設(shè)計加工時間Qll被設(shè)置成不是完全分別等于設(shè)計脈沖功率R12、設(shè)計脈沖頻率f 12與設(shè)計加工時間Q12 (三對中至少一對不相等)，亦即激光能量參數(shù)Ul I被設(shè)置成不等效于激光能量參數(shù)U12。加工單元37響應(yīng)一控制訊號Al而提供該至少兩激光束LU1、LU2來分別形成該至少兩網(wǎng)點321、322?？刂茊卧?6分別根據(jù)該至少兩位置點PS1、PS2而設(shè)置該至少兩加工參數(shù)B11、B12，且根據(jù)該至少兩加工參數(shù)B11、B12而產(chǎn)生控制訊號Al?？刂朴嵦朅l包括一激光能量控制訊號SI與一位置控制訊號S2。激光能量控制訊號SI包括一位準訊號Sll與一脈沖訊號S12。位置控制訊號S2與該至少兩坐標PU、P12相關(guān)且包括一訊號S21與一訊號S22。激光模塊31根據(jù)激光能量控制訊號SI而產(chǎn)生至少兩激光束LA1、LA2。定位單元38響應(yīng)位置控制訊號S2與該至少兩激光束LA1、LA2而提供該至少兩激光束LU1、LU2。光束掃描單元34響應(yīng)訊號S21與該至少兩激光束LA1、LA2而提供該至少兩激光束LU1、LU2。平臺單元33承載基板32，且響應(yīng)訊號S22而帶動基板32。然而，在圖1c中的現(xiàn)有技術(shù)中，兩網(wǎng)點321、322散射光線的方向仍呈現(xiàn)對稱性，而無法形成非對稱性的光線散射的方向。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于現(xiàn)有技術(shù)的網(wǎng)點所導(dǎo)出的光線方向無法形成非對稱性的方向，本發(fā)明則提出一種激光加工方法，可使加工后的網(wǎng)點可導(dǎo)出非對稱性的光線方向，以在設(shè)計網(wǎng)點時增加設(shè)計上的選擇性，并且更可加強背光的均勻度與輝度。依據(jù)上述構(gòu)想，一種激光加工方法被提出，其包含下列步驟:提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域。施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束在該第一局部區(qū)域中具有一特定掃描速度分布以使該第一網(wǎng)點具有一特定深度分布。依據(jù)上述構(gòu)想，另一種激光加工方法被提出，其包含下列步驟:提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域。施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束的多個激光脈沖在該第一局部區(qū)域中具有一第一特定重疊率分布以使該第一網(wǎng)點具有一特定深度分布。依據(jù)上述構(gòu)想，另一種激光加工方法被提出，其包含下列步驟:提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域。施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束在該第一局部區(qū)域中具有一第一特定能量以及一第一特定掃描速度分布，以使該第一網(wǎng)點分別具有一第一孔徑以及一第一特定深度分布。依據(jù)上述構(gòu)想，一種激光加工方法被提出，其包含下列步驟:提供一加工件，該加工件具有一區(qū)域以供形成一第一網(wǎng)點。提供一第一激光束，其具有一特定變化模式。使該第一激光束在該加工件上形成該第一網(wǎng)點，以使該區(qū)域具有一特定特性分布。依據(jù)上述構(gòu)想，一種激光加工件被提出，其包含一網(wǎng)點，該網(wǎng)點形成在該激光加工件上并具有一區(qū)域、一第一表面、以及一第二表面。該第一表面形成在該區(qū)域上。該第二表面形成在該區(qū)域上，其中該第一表面的平均表面曲率大于該第二表面的平均表面曲率。本發(fā)明所提供的方法簡易且經(jīng)濟，依據(jù)本發(fā)明的激光加工方法所形成的網(wǎng)點提供了網(wǎng)點在設(shè)計上的多元性與彈性，而更能強化背光的輝度與均勻度。


圖1a為現(xiàn)有液晶顯不器的不意圖；圖1b為現(xiàn)有皺折網(wǎng)點的示意圖；圖1c為現(xiàn)有激光加工系統(tǒng)；圖2a為本發(fā)明第一較佳實施例的激光加工系統(tǒng)的示意圖；圖2b為本發(fā)明第一較佳實施例的激光加工方法的流程圖；圖2c為本發(fā)明第一網(wǎng)點與第二網(wǎng)點縱剖面的示意圖；圖2d為本發(fā)明導(dǎo)光板的俯視示意圖；圖3a為本發(fā)明第二較佳實施例的激光加工系統(tǒng)的示意圖；圖3b為本發(fā)明第二較佳實施例的激光加工方法的流程圖；圖3c為本發(fā)明第一網(wǎng)點與第二網(wǎng)點縱剖面的示意圖；圖3d為本發(fā)明導(dǎo)光板的俯視示意圖；圖4a為本發(fā)明第三較佳實施例的激光加工系統(tǒng)的示意圖；圖4b為本發(fā)明第三較佳實施例的激光加工方法的流程圖；圖4c為本發(fā)明第三較佳實施例大小不同的洞的示意圖；圖4d為本發(fā)明第一網(wǎng)點與第二網(wǎng)點縱剖面的示意圖；圖4e為本發(fā)明導(dǎo)光板的俯視示意圖；圖5a為本發(fā)明激光加工方法的流程圖；以及圖5b為經(jīng)本發(fā)明激光加工方法所形成的激光加工件。附圖標號說明10:液晶顯示器11:背光模塊12:液晶面板13，14:光源所發(fā)出的光線110:光源111:光源反射板112:導(dǎo)光板 113:底部反射板
114:棱鏡薄層1120,1121:網(wǎng)點20:模仁21:基板22:皺折網(wǎng)點30:現(xiàn)有激光加工系統(tǒng)31:激光加工裝置32:基板33:平臺單元34:光束掃描單元35:激光模塊36:控制單元37:加工單元38:定位單元LA1，LU1，LA2，LU2:激光束PS1，PS2:位置點321，322:網(wǎng)點DAl，DA2:深度Bll，B12:加工參數(shù)Ull, U12:激光能量參數(shù)PlI，P12:坐標Dll, D12:預(yù)定深度RlI，R12:設(shè)計脈沖功率fll，Π2:設(shè)計脈沖頻率Q11，Q12:設(shè)計加工時間Al:控制訊號S1:激光能量控制訊號S2:位置控制訊號Sll:位準訊號S12:脈沖訊號S21，S22:訊號40，50，60:激光加工系統(tǒng)41，51，61:激光加工裝置42，52，62:基板43，53，63:平臺單元44, 54,64:光束掃描單兀45, 55,65:激光模塊46，56，66:控制單元47，57，67:加工單元48，58，68:定位單元PS31，PS51，PS71:第一位置LA4，LU4，LA6，LU6:第二激光束 LA3，LU3，LA5，LU5:第一激光束PS32, PS52, PS72:第二位置PS41，PS61, PS81:第三位置PS42, PS62, PS82:第四位置DA3，DA5, DA7:第一深度DA4，DA6，DA8:第二深度421，521，621:第一網(wǎng)點422，522，622:第二網(wǎng)點P31，P51，P71:預(yù)定第一位置RG2, RG4, RG6:第二局部區(qū)域RGl，RG3, RG5:第一局部區(qū)域P32，P52，P72:預(yù)定第二位置P41，P61，P81:預(yù)定第三位置P42，P62，P82:預(yù)定第四位置D31，D41，D51，D61，D71，D81:預(yù)定深度SD3, SD4, SD5, SD6, SD7, SD8:掃描速度分布SD31, SD41, SD71, SD81:預(yù)定低速 SD32，SD42, SD72, SD82:預(yù)定高速掃描速度掃描速度U21, U22, U31, U32, U41, U42:激光 R31，R41，R51，R61，R71，R81:設(shè)計能量參數(shù)脈沖功率f31, f41, f51, f61, f71, f81:設(shè)計脈沖 Q31, Q41, Q51, Q61, Q71, Q81:設(shè)計頻率加工時間A2，A3，A4:控制訊號S3，S5，S7:激光能量控制訊號S4，S6，S8:移動控制訊號 S31，S51，S71:位準訊號
S32，S52，S72:脈沖訊號49，59，69:導(dǎo)光板S43，S63，S83:速度控制訊號DT5，DT6:預(yù)定重疊率分布RG12，RG22:高速掃描區(qū)域RGil, RG21:低速掃描區(qū)域423，424，425，523，524，525，623，624，S41, S42, S61, S62, S81, S82:位置控625:網(wǎng)點制訊號RG31，RG41:高重疊率分布區(qū)域RG32，RG42:低重疊率分布區(qū)域LPl, LP2，LP3，LP4:激光脈沖RG51，RG61:高能量分布區(qū)域RG52，RG62:低能量分布區(qū)域70:激光加工件71:網(wǎng)點72:區(qū)域73,4211,4221,5211,5221,6211,6221:第一表面74,4212,4222,5212,5222,6212,6222:第二表面DA31, DA51, DA71:第三深度SFl，SF2, SF3:平面LPD2，LPD4:第二脈沖重疊率LPDl，LPD3:第一脈沖重疊率HSl, HS2:孔徑Hl，H2:洞
具體實施例方式請參照本發(fā)明的附圖來閱讀下面的詳細說明，其中本發(fā)明的附圖是以舉例說明的方式，來介紹本發(fā)明各種不同的實施例，并供了解如何實現(xiàn)本發(fā)明。本發(fā)明較佳實施例提供了充足的內(nèi)容，以供本領(lǐng)域的技術(shù)人員來實施本發(fā)明所公開的較佳實施例，或?qū)嵤┮辣景l(fā)明所描述的內(nèi)容所衍生的較佳實施例。須注意的是，該些實施例彼此間并不互斥，且部分實施例可與其它一個或多個實施例作適當結(jié)合，以形成新的較佳實施例，亦即本發(fā)明的實施并不局限于以下所描述的較佳實施例。請參閱圖2a，其為本發(fā)明第一較佳實施例的激光加工系統(tǒng)40的示意圖。激光加工系統(tǒng)40包括一激光加工裝置41與一基板42。該激光加工裝置41包括一平臺單元43、一光束掃描單元44、一激光模塊45、以及一控制單元46。在圖2a中，一加工單元47包括一激光模塊45與一定位單兀48。該定位單兀48包括一光束掃描單兀44與一平臺單兀43。該基板42包含一第一局部區(qū)域RGl。例如，該基板42更包含至少一第二局部區(qū)域RG2。激光加工裝置41用以在該第一局部區(qū)域RGl中形成一第一網(wǎng)點421。例如，激光加工裝置41更用以在至少一第二局部區(qū)域RG2中形成至少一第二網(wǎng)點422。該第一網(wǎng)點421與該至少一第二網(wǎng)點422可用以成型一導(dǎo)光板(未顯示)。例如，在該第一局部區(qū)域RGl中僅僅具有該第一網(wǎng)點421，且在該第二局部區(qū)域RG2中僅僅具有該第二網(wǎng)點422。第一網(wǎng)點421與第二網(wǎng)點422的形狀從縱剖面來看并非對稱性的，第一網(wǎng)點421與第二網(wǎng)點422分別具有一第一深度DA3與一第二深度DA4,而且為了使米用該導(dǎo)光板的一背光模塊(未顯不)發(fā)出均勻的整面光線，第一深度DA3與第二深度DA4可不相等。第一局部區(qū)域RGl包含一第一位置PS31與一第二位置PS32，第二局部區(qū)域RG2包含一第三位置PS41與一第四位置PS42?？刂茊卧?6根據(jù)各自的第一局部區(qū)域RGl以及第二局部區(qū)域RG2而設(shè)置第一加工參數(shù)B21與第二加工參數(shù)B22，且根據(jù)各自的第一加工參數(shù)B21、第二加工參數(shù)B22而提供第一激光束LU3、 以及第二激光束LU4以形成各自的第一網(wǎng)點421以及第二網(wǎng)點422。第一加工參數(shù)B21包括一預(yù)定深度D31、一激光能量參數(shù)U21、一預(yù)定第一位置P31、一預(yù)定第二位置P32、以及一預(yù)定掃描速度分布SD3，預(yù)定掃描速度分布SD3包括一預(yù)定低速掃描速度SD31以及一預(yù)定高速掃描速度SD32。第二加工參數(shù)B22包括一預(yù)定深度D41、一激光能量參數(shù)U22、一預(yù)定第一位置P41、一預(yù)定第二位置P42、以及一預(yù)定掃描速度分布SD4，預(yù)定掃描速度分布SD4包括一預(yù)定低速掃描速度SD41以及一預(yù)定高速掃描速度SD32。且第一網(wǎng)點421具有一深度DA3，第二網(wǎng)點422具有一深度DA4。第一加工參數(shù)B21的預(yù)定深度D31與第二加工參數(shù)B22的預(yù)定深度D32被設(shè)置成相等而使第一加工參數(shù)B21的激光能量參數(shù)U21以及第二加工參數(shù)B22的激光能量參數(shù)U22被設(shè)置成等效，且第一加工參數(shù)B21的激光能量參數(shù)U21與第二加工參數(shù)B22的激光能量參數(shù)U22被利用來使第一網(wǎng)點421的深度DA3與第二網(wǎng)點422的深度DA4分別匹配于第一加工參數(shù)B21的預(yù)定深度D31以及第二加工參數(shù)B22的預(yù)定深度D41。在另一較佳實施例中，第一加工參數(shù)B21的預(yù)定深度D31與第二加工參數(shù)B22的預(yù)定深度D32可被設(shè)置成不相等。在圖2a中的激光能量參數(shù)U21包括一設(shè)計脈沖功率R31、一設(shè)計脈沖頻率f31與一設(shè)計加工時間Q31。激光能量參數(shù)U22包括一設(shè)計脈沖功率R41、一設(shè)計脈沖頻率f41與一設(shè)計加工時間Q41。在一較佳實施例中，當預(yù)定深度D31與預(yù)定深度D41被設(shè)置成相等時，設(shè)計脈沖功率R31、設(shè)計脈沖頻率f31與設(shè)計加工時間Q31被設(shè)置成完全分別等于設(shè)計脈沖功率R41、設(shè)計脈沖頻率f41與設(shè)計加工時間Q41。在一較佳實施例中，第一激光束LU3形成第一網(wǎng)點421后,然后第二激光束LU4形成第二網(wǎng)點422。在另一較佳實施例中,第一激光束LU3與第二激光束LU4可同時分別形成第一網(wǎng)點421與第二網(wǎng)點422。在一較佳實施例中，第一激光束與第二激光束的掃描速度可設(shè)定為先使用預(yù)定低速掃描速度SD31、SD41再使用預(yù)定高速掃描速度SD32、SD42，或先使用預(yù)定高速掃描速度SD32、SD42，再使用預(yù)定低速掃描速度SD31、SD41，其中預(yù)定低速掃描速度SD31與SD41可設(shè)定成相等或不相等，預(yù)定高速掃描速度SD32與SD42亦可設(shè)定成相等或不相等。加工單元47響應(yīng)一控制訊號A2而提供第一激光束LU3與第二激光束LU4來形成各自的第一網(wǎng)點421與第二網(wǎng)點422?？刂茊卧?6根據(jù)第一位置PS31、第二位置PS32而設(shè)置第一加工參數(shù)BI I，根據(jù)第三位置PS41、第四位置PS42而設(shè)置第二加工參數(shù)B12，且根據(jù)第一加工參數(shù)Bll與第二加工參數(shù)B12而產(chǎn)生控制訊號A2。控制訊號A2包括一激光能量控制訊號S3與一移動控制訊號S4。激光能量控制訊號S3包括一位準訊號S31與一脈沖訊號S32。移動控制訊號S4與預(yù)定第一位置P31、預(yù)定第二位置P32、預(yù)定第三位置P41、預(yù)定第四位置P42相關(guān)，且包括一位置控制訊號S41、一位置控制訊號S42、以及一速度控制訊號S43，速度控制訊號S43可控制第一激光束LU3或/及第二激光束LU4的掃描速度。激光模塊45根據(jù)激光能量控制訊號S3而產(chǎn)生第一激光束LA3與第二激光束LA4。定位單兀48響應(yīng)移動控制訊號S4與該第一激光束LA3、第二激光束LA4而提供分別與第一激光束LA3、第二激光束LA4對應(yīng)的第一激光束LU3、第二激光束LU4。光束掃描單元44響應(yīng)位置控制訊號S41、速度控制訊號S43、第一激光束LA3、以及第二激光束LA4而提供第一激光束LU3、第二激光束LU4。平臺單元43承載基板42，且響應(yīng)位置控制訊號S42而帶動基板42。請參閱圖2b，其為本發(fā)明第一較佳實施例激光加工方法的流程圖。在步驟S201中，提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域RGl。在步驟S202中，施加一第一激光束LU3至該第一局部區(qū)域RG1，以在該第一局部區(qū)域RGl中形成一第一網(wǎng)點421，其中該第一激光束LU3在該第一局部區(qū)域RGl中具有一特定掃描速度分布以使該第一網(wǎng)點421具有一特定深度分布。該加工件例如為基板42，或是為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一。例如，在該第一局部區(qū)域RGl中僅僅具有該第一網(wǎng)點421。在本發(fā)明第一較佳實施例中,例如,第一激光束LU3或第二激光束LU4每秒所輸出的能量是固定的，且與該加工件的平面SFl垂直。例如，該第一激光束LU3在一第一時段中被施加至該第一局部區(qū)域RGl以形成該第一網(wǎng)點421 ;在一第一時段中，激光能量控制訊號S3被保持且移動控制訊號S4使該特定掃描速度分布被形成。當?shù)谝患す馐鳯U3與第二激光束LU4依次加工時，則激光加工的步驟如下:施加該第一激光束LU3于該第一位置PS31。由慢到快移動該第一激光束LU3至該第二位置PS32。停止該第一激光束LU3，以形成該第一網(wǎng)點421。施加一第二激光束LU4于該第三位置PS41。由慢到快移動該第二激光束LU4至該第四位置PS42。停止該第二激光束LU4以形成該第二網(wǎng)點422。例如，在該第二局部區(qū)域RG2中僅僅具有該第二網(wǎng)點422。請參閱圖2c，其為本發(fā)明第一網(wǎng)點421與第二網(wǎng)點422縱剖面的示意圖。在一較佳實施例中，從縱剖面來看第一網(wǎng)點421與第二網(wǎng)點422的形狀相同，并且對于每個網(wǎng)點，相對于有極值深度的位置，縱剖面的兩側(cè)是非對稱性的。該第一局部區(qū)域RGl包括一低速掃描區(qū)域RGll以及一高速掃描區(qū)域RG12，該第二局部區(qū)域RG2包括一低速掃描區(qū)域RG21以及一高速掃描區(qū)域RG22。例如,該特定掃描速度分布包括一第一掃描速度和一第二掃描速度。該第一激光束LU3以該第一掃描速度在該低速掃描區(qū)域RGll中加工，且以該第二掃描速度在該高速掃描區(qū)域RG12中加工,其中該第二掃描速度大于該第一掃描速度。該第一激光束LU3在該低速掃描區(qū)域RGll的中造成該特定深度分布具有一第一最大深度，且在該高速掃描區(qū)域RG12中造成該特定深度分布具有一第三深度DA31，其中該第一最大深度大于該第三深度DA31。第一深度DA3等于該第一激光束LU3在該低速掃描區(qū)域RGll所造成的最大深度。該第二激光束LU4在該低速掃描區(qū)域RG21所造成的最大深度大于在該高速掃描區(qū)域RG22所造成的深度，其中第二深度DA4等于該第二激光束LU4在該低速掃描區(qū)域RG21所造成的最大深度。在另一較佳實施例中，從縱剖面來看第一網(wǎng)點421與第二網(wǎng)點422的形狀可不相同并且是非對稱性的，掃描速度分布可以相同，也可以不同，依照網(wǎng)點設(shè)計的需求而定。在另一較佳實施例中，利用第一較佳實施例的激光加工方法，該加工件更被加工而具有至少一第三網(wǎng)點，且該至少一第三網(wǎng)點的縱剖面是對稱的。請參閱圖2d,其為本發(fā)明導(dǎo)光板49俯視的不意圖。導(dǎo)光板49包含第一網(wǎng)點421、第二網(wǎng)點422、以及至少網(wǎng)點423、424、425，第一位置PS31與第二位置PS32的相對關(guān)系可被任意改變，第一位置PS41與第二位置PS42的相對關(guān)系亦可被任意改變，亦即第一位置PS31，PS41指向第二位置PS32，PS42的方向可被任意改變，第一位置PS31指向第二位置PS32的方向與第一位置PS41指向第二位置PS42的方向可為相同方向(例如第一網(wǎng)點421的指向DIR與第二網(wǎng)點422的指向DIR)或不同方向(例如網(wǎng)點423、424、425的指向DIR)，此可依照光學仿真的結(jié)果來設(shè)計，或可根據(jù)實際量測導(dǎo)光板49的光均勻度的結(jié)果來做適當?shù)男拚?。在本發(fā)明第一較佳實施例中，具體的數(shù)據(jù)例如該第一局部區(qū)域RGl及該第二局部區(qū)域RG2的最大半徑為50微米。該第一局部區(qū)域RGl及該第二局部區(qū)域RG2的第一最大深度為5微米。該第一局部區(qū)域RGl與該第二局部區(qū)域RG2之間的距離不小于該第一局部區(qū)域RGl的最大半徑或該第二局部區(qū)域RG2的最大半徑，其中形成該第一網(wǎng)點421或該第二網(wǎng)點422的平均時間為I毫秒。請參閱圖3a，其為本發(fā)明第二較佳實施例激光加工系統(tǒng)50的示意圖。第二較佳實施例的激光加工系統(tǒng)50與第一較佳實施例的激光加工系統(tǒng)40相類似，不同的地方在于加工參數(shù)，另外，加工方法亦有差別。激光加工系統(tǒng)50包括一激光加工裝置51與一基板52。該激光加工裝置51包括一平臺單元53、一光束掃描單元54、一激光模塊55、以及一控制單兀56。在圖3a中，一加工單兀57包括一激光模塊55與一定位單兀58。該定位單兀58包括一光束掃描單元54與一平臺單元53。該基板52包含至少一第一局部區(qū)域RG3與一第二局部區(qū)域RG4。激光加工裝置51用以在各自的第一局部區(qū)域RG3以及至少一第二局部區(qū)域RG4形成一第一網(wǎng)點521以及至少一第二網(wǎng)點522，第一網(wǎng)點521以及該至少一第二網(wǎng)點522可用以成型一導(dǎo)光板(未顯示)。第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522的形狀從縱剖面來看并非對稱性的，第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522分別具有一第一深度DA5與一第二深度DA6，而且為了使米用該導(dǎo)光板的一背光模塊(未顯不)發(fā)出均勻的整面光線，第一深度DA5與第二深度DA6可不相等。第一局部區(qū)域RG3包含一第一位置PS51與一第二位置PS52,第二局部區(qū)域RG4包含一第三位置PS61與一第四位置PS62。控制單元56根據(jù)各自的第一局部區(qū)域RG3以及第二局部區(qū)域RG4而設(shè)置第一加工參數(shù)B31與第二加工參數(shù)B32，且根據(jù)各自的第一加工參數(shù)B31、第二加工參數(shù)B32而提供第一激光束LU5、以及第二激光束LU6以形成各自的第一網(wǎng)點521以及第二網(wǎng)點522。第一加工參數(shù)B31與第二加工參數(shù)B32的每一(如B31)包括一預(yù)定深度(如D51)、一激光能量參數(shù)(如U31)、一預(yù)定第一位置(如P51)、一預(yù)定第二位置(如P52)、一預(yù)定掃描速度分布(如SD5)、以及一預(yù)定重疊率分布(如DT5)，且第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522的每一(如521)具有一深度(如DA5)。第一加工參數(shù)B31的預(yù)定深度D51與第二加工參數(shù)B32的預(yù)定深度D52被設(shè)置成相等而使第一加工參數(shù)B31的激光能量參數(shù)U31以及第二加工參數(shù)B32的激光能量參數(shù)U32被設(shè)置成等效，且第一加工參數(shù)B31的激光能量參數(shù)U31與第二加工參數(shù)B32的激光能量參數(shù)U32被利用來使第一網(wǎng)點521的深度DA5與第二網(wǎng)點522的深度DA6分別匹配于第一加工參數(shù)321的預(yù)定深度D51以及第二加工參數(shù)B32的預(yù)定深度 D61。在圖3a中的激光能量參數(shù)U31包括一設(shè)計脈沖功率R51、一設(shè)計脈沖頻率f51與一設(shè)計加工時間Q51。激光能量參數(shù)U32包括一設(shè)計脈沖功率R61、一設(shè)計脈沖頻率f61與一設(shè)計加工時間Q61。在一較佳實施例中，當預(yù)定深度D51與預(yù)定深度D61被設(shè)置成相等時，設(shè)計脈沖功率R51、設(shè)計脈沖頻率f51與設(shè)計加工時間Q51被設(shè)置成完全分別等于設(shè)計脈沖功率R61、設(shè)計脈沖頻率f61與設(shè)計加工時間Q61。在一較佳實施例中，第一激光束LU5形成第一網(wǎng)點521后,然后第二激光束LU6形成第二網(wǎng)點522。在另一較佳實施例中,第一激光束LU5與第二激光束LU6可同時分別形成第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522。在一較佳實施例中，第一激光束LU5與第二激光束LU6的預(yù)定重疊率分布DT5、DT6可設(shè)定為由緊密到稀疏，或為由稀疏到緊密，其中預(yù)定重疊率分布DT5與DT6可設(shè)定成相等或不相等。
在一較佳實施例中，當?shù)谝患す馐鳯U5或第二激光束LU6的掃描速率由慢到快時，激光能量參數(shù)U31與U32可設(shè)定為相同。在另一較佳實施例中，當?shù)谝患す馐鳯U5或第二激光束LU6的掃描速度固定時，激光能量參數(shù)U31與U32中的設(shè)計脈沖頻率f51與f61可設(shè)定為相等或不相等。加工單元57響應(yīng)一控制訊號A3而提供第一激光束LU5與第二激光束LU6來形成各自的第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522?？刂茊卧?6根據(jù)第一位置PS51、第二位置PS52而設(shè)置第一加工參數(shù)B31，根據(jù)第三位置PS61、第四位置PS62而設(shè)置第二加工參數(shù)B32，且根據(jù)第一加工參數(shù)B31與第二加工參數(shù)B32而產(chǎn)生控制訊號A3。控制訊號A3包括一激光能量控制訊號S5與一移動控制訊號S6。激光能量控制訊號S5包括一位準訊號S51與一脈沖訊號S52。移動控制訊號S6與預(yù)定第一位置P51、預(yù)定第二位置P52、預(yù)定第三位置P61、預(yù)定第四位置P62相關(guān)，且包括一位置控制訊號S61與一位置控制訊號S62、以及一速度控制訊號S63，速度控制訊號S63可控制第一激光束LU5或/及第二激光束LU6的掃描速度。激光模塊55根據(jù)激光能量控制訊號S5而產(chǎn)生第一激光束LA5與第二激光束LA6。定位單兀58響應(yīng)移動控制訊號S6與該第一激光束LA5、第二激光束LA6而提供分別與第一激光束LA5、第二激光束LA6對應(yīng)的第一激光束LU5、第二激光束LU6。光束掃描單元54響應(yīng)位置控制訊號S61、速度控制訊號S63、第一激光束LA5、以及第二激光束LA6而提供第一激光束LU5、第二激光束LU6。平臺單元53承載基板52，且響應(yīng)訊號S52而帶動基板52。請參閱圖3b，其為本發(fā)明第二較佳實施例激光加工方法的流程圖。在步驟S301中，提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域。在步驟S302中，施加一第一激光束LU5至該第一局部區(qū)域RG3，以在該第一局部區(qū)域RG3中形成一第一網(wǎng)點521，其中該第一激光束LU5的多個激光脈沖在該第一局部區(qū)域RG3中具有一第一特定重疊率分布以使該第一網(wǎng)點521具有一特定深度分布。該加工件例如為基板52，或是為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一。在本發(fā)明第二較佳實施例中，例如，第一激光束LU5或第二激光束LU6每秒所輸出的能量是固定的，且與該加工件的平面SF2垂直。該第二激光束LU6的多個激光脈沖具有一第二特定重疊率分布。當?shù)谝患す馐鳯U5與第二激光束LU6依次加工時，則激光加工的步驟如下:施加該第一激光束LU5于該第一位置PS51。移動該第一激光束LU5至該第二位置PS52，其中該第一激光束LU5施加到該第一局部區(qū)域RG3的該第一特定重疊率分布系由緊密到稀疏。停止該第一激光束LU5，以形成該第一網(wǎng)點521。施加一第二激光束LU6于該第三位置PS61。移動該第二激光束LU6至該第四位置PS62，其中該第二激光束LU6施加到該第二局部區(qū)域RG4的該第二特定重疊率分布系由緊密到稀疏。停止該第二激光束LU6,以形成一第二網(wǎng)點522。請參閱圖3c，其為本發(fā)明第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522縱剖面的示意圖。在一較佳實施例中，從縱剖面來看第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522的形狀相同，并且對于每個網(wǎng)點，相對于有極值深度的位置，縱剖面的兩側(cè)是非對稱性的，該第一局部區(qū)域RG3包括一高重疊率分布區(qū)域RG31以及一低重疊率分布區(qū)域RG32，該第二局部區(qū)域RG4包括一高重疊率分布區(qū)域RG41以及一低重疊率分布區(qū)域RG42。例如，該第一特定重疊率分布包括一第一脈沖重疊率LPD1、LPD3和一第二脈沖重疊率LPD2、LPD4。如圖3c所示，該第一激光束LU5以該第一脈沖重疊率LPDl在該高重疊率分布區(qū)域RG31中加工，且以該第二脈沖重疊率LPD2在該低重疊率分布區(qū)域RG32中加工，其中該第一脈沖重疊率LPDl大于該第二脈沖重疊率LPD2。第一激光束LU5在高重疊率分布區(qū)域RG31中所形成的激光脈沖LPl的第一脈沖重疊率LPDl大于在低重疊率分布區(qū)域RG32中所形成的激光脈沖LP2的第二脈沖重疊率LPD2，第二激光束LU6在高重疊率分布區(qū)域RG41中所形成的激光脈沖LP3的第一脈沖重疊率LPD3大于在低重疊率分布區(qū)域RG42中所形成的激光脈沖LP4的第二脈沖重疊率LPD4。該第一激光束LU5在高重疊率分布區(qū)域RG31中造成該特定深度分布具有一第二最大深度，且在該低重疊率分布區(qū)域RG32中造成該特定深度分布具有一第三深度DA51，其中該第二最大深度大于該第三深度DA51。第一深度DA5等于該第一激光束LU5在高重疊率分布區(qū)域RG31所造成的第二最大深度。該第二激光束LU6在高重疊率分布區(qū)域RG41所造成的最大深度大于該低重疊率分布區(qū)域RG42所造成的深度，其中第二深度DA6等于該第二激光束LU6在高重疊率分布區(qū)域RG41所造成的最大深度。在另一較佳實施例中，從縱剖面來看第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522的形狀可不相同并且是非對稱性的，依照網(wǎng)點設(shè)計的需求而定。在另一較佳實施例中，利用第二較佳實施例的激光加工方法，該加工件更被加工而具有至少一第三網(wǎng)點，且該至少一第三網(wǎng)點的縱剖面是對稱的。請參閱圖3d,其為本發(fā)明導(dǎo)光板59俯視的不意圖。導(dǎo)光板59包含第一網(wǎng)點521、第二網(wǎng)點522、以及至少網(wǎng)點523、524、525。請同時參考圖3a與圖3d，第一位置PS51與第二位置PS52的相對關(guān)系可被任意改變，第一位置PS61與第二位置PS62的相對關(guān)系亦可被任意改變，亦即第一位置PS51，PS61指向第二位置PS52，PS62的方向可被任意改變，第一位置PS51指向第二位置PS52的方向與第一位置PS61指向第二位置PS62的方向可為相同方向(例如第一網(wǎng)點521與第二網(wǎng)點522的指向DIR)或不同方向(例如網(wǎng)點523、524、525的指向DIR)，此可依照光學仿真的結(jié)果來設(shè)計，或可根據(jù)實際量測導(dǎo)光板59的光均勻度的結(jié)果來做適當?shù)男拚?。在本發(fā)明第二較佳實施例中，具體的數(shù)據(jù)例如該第一局部區(qū)域RG3及該第二局部區(qū)域RG4的最大半徑為50微米。該第一局部區(qū)域RG3及該第二局部區(qū)域RG4的第二最大深度為5微米。該第一局部區(qū)域RG3與該第二局部區(qū)域RG4之間的距離不小于該第一局部區(qū)域RG3的最大半徑或該第二局部區(qū)域RG4的最大半徑，其中形成該第一網(wǎng)點521或該第二網(wǎng)點522的平均時間為I毫秒。請參閱圖4a，其為本發(fā)明第三較佳實施例激光加工系統(tǒng)60的示意圖。不同的是當施加激光束在不同一網(wǎng)點上時，激光的功率不相同。激光加工系統(tǒng)60包括一激光加工裝置61與一基板62。該激光加工裝置61包括一平臺單元63、一光束掃描單元64、一激光模塊65、以及一控制單元66。在圖4a中，一加工單元67包括一激光模塊65與一定位單元68。該定位單元68包括一光束掃描單元64與一平臺單元63。該基板62包含一第一局部區(qū)域RG5。例如，該基板62更包含至少一第二局部區(qū)域RG6。激光加工裝置61用以在該第一局部區(qū)域RG5中形成一第一網(wǎng)點621。例如，激光加工裝置61更用以在至少一第二局部區(qū)域RG6形成至少一第二網(wǎng)點622。該第一網(wǎng)點621與該至少一第二網(wǎng)點422可用以成型一導(dǎo)光板(未顯示)。第一網(wǎng)點621的形狀從縱剖面來看并非對稱性的，第二網(wǎng)點622的形狀從縱剖面來看亦非對稱性。第一網(wǎng)點621與第二網(wǎng)點622分別具有一第一深度DA7與一第二深度DA8，而且為了使采用該導(dǎo)光板的一背光模塊(未顯示)發(fā)出均勻的整面光線，第一深度DA7與第二深度DA8可不相等。第一局部區(qū)域RG5包含一第一位置PS71與一第二位置PS72，第二局部區(qū)域RG6包含一第三位置PS81與一第四位置PS82。控制單元66根據(jù)各自的第一局部區(qū)域RG5以及第二局部區(qū)域RG6而設(shè)置第一加工參數(shù)B41與第二加工參數(shù)B42，且根據(jù)各自的第一加工參數(shù)B41、第二加工參數(shù)B42而提供第一激光束LU7、以及第二激光束LU8以形成各自的第一網(wǎng)點621以及第二網(wǎng)點622。第一加工參數(shù)B41包括一預(yù)定深度D71、一激光能量參數(shù)U41、一預(yù)定掃描速度分布SD7、一預(yù)定第一位置P71、以及一預(yù)定第二位置P72，預(yù)定掃描速度分布SD7包括一預(yù)定低速掃描速度SD71以及一預(yù)定高速掃描速度SD72。第二加工參數(shù)B42包括一預(yù)定深度D81、一激光能量參數(shù)U42、一預(yù)定掃描速度分布SD8、一預(yù)定第一位置P81、以及一預(yù)定第二位置P82，預(yù)定掃描速度分布SD8包括一預(yù)定低速掃描速度SD81以及一預(yù)定高速掃描速度SD82。第一網(wǎng)點621具有一深度DA7，第二網(wǎng)點622具有一深度DA8。第一加工參數(shù)B41的激光能量參數(shù)U41以及第二加工參數(shù)B42的激光能量參數(shù)U42被設(shè)置成不等效。激光能量參數(shù)U41包括一設(shè)計功率R71、一設(shè)計脈沖頻率f71與一設(shè)計加工時間Q71。激光能量參數(shù)U42包括一設(shè)計功率R81、一設(shè)計脈沖頻率f81與一設(shè)計加工時間Q81。在一較佳實施例中，第一激光束LU7形成第一網(wǎng)點621后，然后第二激光束LU8形成第二網(wǎng)點622。在另一較佳實施例中，第一激光束LU7與第二激光束LU8可同時分別形成第一網(wǎng)點621與第二網(wǎng)點622。在一較佳實施例中，第一激光束LU7與第二激光束LU8的設(shè)計功率R71與R81設(shè)定成不相等。加工單元67響應(yīng)一控制訊號A4而提供第一激光束LU7與第二激光束LU8來形成各自的第一網(wǎng)點621與第二網(wǎng)點622?？刂茊卧?6根據(jù)第一位置PS71、第二位置PS72而設(shè)置第一加工參數(shù)B41，根據(jù)第三位置PS81、第四位置PS82而設(shè)置第二加工參數(shù)B42，且根據(jù)第一加工參數(shù)B41與第二加工參數(shù)B42而產(chǎn)生控制訊號A4?？刂朴嵦朅4包括一激光能量控制訊號S7與一移動控制訊號S8。激光能量控制訊號S7包括一位準訊號S71與一脈沖訊號S72。移動控制訊號S8與預(yù)定第一位置P71、預(yù)定第二位置P72、預(yù)定第三位置P81、預(yù)定第四位置P82相關(guān)，且包括一位置控制訊號S81與一位置控制訊號S82、以及一速度控制訊號S83，速度控制訊號S83可控制第一激光束LU7或/及第二激光束LU8的掃描速度。激光模塊65根據(jù)激光能量控制訊號S7而產(chǎn)生第一激光束LA7與第二激光束LA8。定位單兀68響應(yīng)移動控制訊號S8與該第一激光束LA7、第二激光束LA8而提供分別與第一激光束LA7、第二激光束LA8對應(yīng)的第一激光束LU7、第二激光束LU8。光束掃描單元64響應(yīng)位置控制訊號S81、速度控制訊號S83、第一激光束LA7、以及第二激光束LA8而分別提供第一激光束LU7、第二激光束LU8。平臺單元63承載基板62，且響應(yīng)訊號S62而帶動基板62。請參閱圖4b，其為本發(fā)明第三較佳實施例激光加工方法的流程圖。在步驟S401中，提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域RG5。在步驟S402中，施加一第一激光束LU7至該第一局部區(qū)域RG5，以在該第一局部區(qū)域RG5中形成一第一網(wǎng)點621，其中該第一激光束LU7在該第一局部區(qū)域RG5中具有一第一特定能量以及一第一特定掃描速率分布，以使該第一網(wǎng)點621分別具有一第一孔徑以及一第一特定深度分布。該加工件例如為基板62,或是為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一。在本發(fā)明第三較佳實施例中，例如，第一激光束LU7或第二激光束LU8每秒所輸出的能量是不同的，且與加工件的平面SF3垂直，也就是說激光功率R71與R81在一加工期間內(nèi)是不同的。請參閱圖4c，其為本發(fā)明第三較佳實施例大小不同的洞的示意圖。當?shù)谝患す馐鳯U7以激光功率R71在第一位置PS71加工時，在基板62上形成具有該第一孔徑HSl的洞Hl。當該第二激光束LU8以激光功率R81在第三位置PS81加工時，在基板62上形成具有該第二孔徑HS2的洞H2。在第三較佳實施例中，激光功率R71大于激光功率R81，因此第一孔徑HSl會大于第二孔徑HS2，洞Hl的深度極值也會大于洞H2的深度極值。該第二激光束LU8在該第二局部區(qū)域RG6中具有一第二特定能量以及一第二特定掃描速率分布。當?shù)谝患す馐鳯U7與第二激光束LU8依次加工時，則激光加工的步驟如下:施加該第一激光束LU7于該第一位置PS71以形成具有該第一孔徑HSl的洞H1。移動該第一激光束LU7至該第二位置PS72，其中該第一激光束LU7所施加的能量為該第一特定能量，該第一激光束LU7以慢到快的速度從第一位置PS71移動到第二位置PS72。停止該第一激光束LU7,以形成一第一網(wǎng)點621。施加第二激光束LU8于該第三位置PS81以形成具有一第二孔徑HS2的洞H2。移動該第二激光光LU8束至該第四位置PS82，其中該第二激光束LU8所施加的能量為一第二特定能量，該第二激光束LU8以慢到快的速度從第三位置PS81移動到第四位置PS82。停止該第二激光束LU8，以形成一第二網(wǎng)點PS622。請參閱圖4d，其為本發(fā)明第一網(wǎng)點621與第二網(wǎng)點622縱剖面的示意圖。在一較佳實施例中，從縱剖面來看第一網(wǎng)點621與第二網(wǎng)點622的形狀不相同，并且對于每個網(wǎng)點，相對于極值深度的位置，縱剖面的兩側(cè)是非對稱性的，該第一局部區(qū)域RG5包括一高能量分布區(qū)域RG51以及一低能量分布區(qū)域RG52，該第二局部區(qū)域RG6包括一高能量分布區(qū)域RG61以及一低能量分布區(qū)域RG62。如圖4d所示，該第一激光束LU7以該第一特定能量對該第一網(wǎng)點621加工，且以一預(yù)定低速描速率SD71在該高能量分布區(qū)域RG51加工，并且以一預(yù)定高速掃描速率SD72在該低能量分布區(qū)域RG52中加工。該第二激光束LU8以該第二特定能量對該第二網(wǎng)點622加工，且以一預(yù)定低速描速率SD81在該高能量分布區(qū)域RG61加工，并且以一預(yù)定高速掃描速率SD72在該低能量分布區(qū)域RG62中加工。該第一激光束LU7在高能量分布區(qū)域RG51中造成該特定深度分布具有一第三最大深度，且在該低能量分布區(qū)域RG62中造成該特定深度分布具有一第三深度DA71，其中該第三最大深度大于該第三深度DA71。第一深度DA7等于該第一激光束LU7在高能量分布區(qū)域RG61所造成的第三最大深度，該第二激光束LU8在高能量分布區(qū)域RG61所造成的最大深度DA8大于該低能量分布區(qū)域RG62所造成的深度。從圖4d可知,第一深度DA7大于第二深度DA8,第一孔徑HSl亦大于第二孔徑HS2。在另一較佳實施例中，從縱剖面來看第一網(wǎng)點621與第二網(wǎng)點622的形狀可不相同并且是非對稱性的，依照網(wǎng)點設(shè)計的需求而定。在另一較佳實施例中，利用第三較佳實施例的激光加工方法，該加工件更被加工而具有至少一第三網(wǎng)點，且該至少一第三網(wǎng)點的縱剖面是對稱的。請參閱圖4e,其為本發(fā)明導(dǎo)光板68俯視的不意圖。導(dǎo)光板68包含第一網(wǎng)點621、第二網(wǎng)點622、以及至少網(wǎng)點623、624、625。請同時參考圖4a與圖4e，第一位置PS71與第二位置PS72的相對關(guān)系可被任意改變，第一位置PS81與第二位置PS82的相對關(guān)系亦可被任意改變，亦即第一位置PS71，PS81指向第二位置PS72，PS82的方向可被任意改變，第一位置PS71指向第二位置PS72的方向與第一位置PS71指向第二位置PS82的方向可為相同方向(例如第一網(wǎng)點621與第二網(wǎng)點622的指向DIR)或不同方向(例如網(wǎng)點623、624、625的指向DIR)，此可依照光學仿真的結(jié)果來設(shè)計，或可根據(jù)實際量測導(dǎo)光板68的光均勻度的結(jié)果來做適當?shù)男拚?。請參閱圖5a，其為本發(fā)明激光加工方法的流程圖。在步驟S501中，提供一加工件，該加工件具有一區(qū)域以供形成一第一網(wǎng)點。在步驟S502中，提供一第一激光束，其具有一特定變化模式。在步驟S503中，使該第一激光束于該加工件上形成該第一網(wǎng)點，以使該區(qū)域具有一特定特性分布。該特定變化模式如本發(fā)明第一、第二、以及第三實施例所示，其包括該第一激光束的一特定掃描速度分布、一特定重疊率分布、以及一特定能量的至少其中之一。該特定特性分布包括一特定深度分布以及一特定重疊率分布。例如，該特定變化模式包括一第一模式、一第二模式和一第三模式的至少其中之一。該第一激光束在一特定時段中被施加至該區(qū)域以形成該第一網(wǎng)點，以使該區(qū)域具有該特定特性分布。該特定時段包括一第一子時段、一第二子時段和一第三子時段的至少其中之一。該第一激光束包括一第一子光束、一第二子光束和一第三子光束的至少其中之一，其中該第一子光束、該第二子光束和該第三子光束分別與該第一子時段、該第二子時段和該第三子時段對應(yīng)。利用該第一較佳實施例的方法，該第一子光束被形成。利用該第二較佳實施例的方法，該第二子光束被形成。利用該第三較佳實施例的方法，該第三子光束被形成。例如，該特定重疊率分布表示在該區(qū)域中僅僅具有該第一網(wǎng)點。例如，該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一。例如，當該特定變化模式僅僅具有該第一模式時，該特定變化模式如在第一實施例中所述。該第一激光束LU3的一特定掃描速度分布藉由速度控制訊號S43來控制，以使該第一激光束LU3以該第一掃描速度在該低速掃描區(qū)域RGll中加工，且以該第二掃描速度在該高速掃描區(qū)域RG12中加工，其中該第二掃描速度大于該第一掃描速度。該特定特性分布例如該第一激光束LU3在該低速掃描區(qū)域RGl I所造成的最大深度大于該第一激光束LU3在該高速掃描區(qū)域RG12所造成的深度。例如，當該特定變化模式僅僅具有該第二模式時，該特定變化模式如在第二實施例中所述。該第一激光束LU5的一特定重疊率分布包括該第一脈沖重疊率LPDl、LPD3和該第二脈沖重疊率LPD2、LPD4，該第一激光束LU5以該第一脈沖重疊率LPDl在該高重疊率分布區(qū)域RG31中加工，且以該第二脈沖重疊率LPD2在該低重疊率分布區(qū)域RG32中加工。該特定特性分布例如該第一脈沖重疊率LPDl大于該第二脈沖重疊率LPD2，以及該第一激光束LU5在高重疊率分布區(qū)域RG31中所造成的最大深度大于該第一激光束LU5在低重疊率分布區(qū)域RG32中所造成的深度。例如，當該特定變化模式僅僅具有該第三模式時，該特定變化模式如在第三實施例中所述。該第一激光束LU7以該第一特定能量對該第一網(wǎng)點621加工，且以一預(yù)定低速描速率SD71在該高能量分布區(qū)域RG51中加工，并且以一預(yù)定高速掃描速率SD72在該低能量分布區(qū)域RG52中加工。該特定特性分布例如該第一激光束LU7在高能量分布區(qū)域RG51中所造成的最大深度大于該第一激光束LU7在低能量分布區(qū)域RG52中所造成的深度。請參閱圖5b，其為經(jīng)本發(fā)明激光加工方法所形成的激光加工件70。在一實施例中，激光加工件70包含一網(wǎng)點71，形成于該激光加工件70上并具有一區(qū)域72、一第一表面73、以及一第二表面74。第一表面73形成于該區(qū)域72上，第二表面74形成于該區(qū)域72上，其中該第一表面73的平均表面曲率大于該第二表面74的平均表面曲率，不同的平均表面曲率可造成在該區(qū)域72中具有不對稱的導(dǎo)光指向性以及對稱的導(dǎo)光指向性的其中之一，以提供多樣選擇性的網(wǎng)點以及增加網(wǎng)點在設(shè)計上的彈性。在一實施例中，該激光加工件70更包含多個網(wǎng)點，例如在圖2c中，網(wǎng)點421在第一表面4211的平均表面曲率大于第二表面4212的平均表面曲率，網(wǎng)點422在第一表面4221的平均表面曲率大于第二表面4222的平均表面曲率。同樣地，在圖3c中，網(wǎng)點521在第一表面5211的平均表面曲率大于第二表面5212的平均表面曲率，網(wǎng)點522在第一表面5221的平均表面曲率大于第二表面5222的平均表面曲率。在圖4c中，網(wǎng)點621在第一表面6211的平均表面曲率大于第二表面6212的平均表面曲率，網(wǎng)點622在第一表面6221的平均表面曲率大于第二表面6222的平均表面曲率。實施例1.一種激光加工方法，其包含下列步驟:提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域。施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束在該第一局部區(qū)域中具有一特定掃描速度分布以使該第一網(wǎng)點具有一特定深度分布。2.如實施例1所述的方法，其中該第一局部區(qū)域包含一第一位置以及一第二位置，該加工件更具有一第二局部區(qū)域，該第二局部區(qū)域包含一第三位置以及一第四位置，該方法更包含下列步驟:施加該第一激光束于該第一位置。由慢到快移動該第一激光束至該第二位置。停止該第一激光束，以形成該第一網(wǎng)點。施加一第二激光束于該第三位置。由慢到快移動該第二激光束至該第四位置。停止該第二激光束，以形成一第二網(wǎng)點。3.如實施例1 2所述的方法,其中該加工件為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一。該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一。該第一局部區(qū)域包括一低速掃描區(qū)域以及一高速掃描區(qū)域。該特定掃描速度分布包括一第一掃描速度和一第二掃描速度。該第一激光束以該第一掃描速度在該低速掃描區(qū)域加工，且以該第二掃描速度在該高速描區(qū)域，其中該第二掃描速度大于該第一掃描速度。該第一激光束在該低速掃描區(qū)域造成該特定深度分布具有一第一最大深度，以及在該高速掃描區(qū)域造成該特定深度分布具有一第一深度，其中該第一最大深度大于該第一深度。該激光束每秒所輸出的能量是固定的。該激光束與該加工件的一平面垂直。4.一種激光加工方法，其包含下列步驟:提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域。施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束的多個激光脈沖在該第一局部區(qū)域中具有一第一特定重疊率分布以使該第一網(wǎng)點具有一特定深度分布。5.如實施例4所述的方法，其中該第一局部區(qū)域包含一第一位置以及一第二位置，該加工件更具有一第二局部區(qū)域，該第二局部區(qū)域包含一第三位置以及一第四位置，該方法更包含下列步驟:施加該第一激光束于該第一位置。移動該第一激光束至該第二位置，其中該第一激光束施加到該第一局部區(qū)域的該第一特定重疊率分布系由緊密到稀疏。停止該第一激光束，以形成該第一網(wǎng)點。施加一第二激光束于該第三位置。移動該第二激光束至該第四位置，其中該第二激光束施加到該第二局部區(qū)域的一第二特定重疊率分布系由緊密到稀疏。停止該第二激光束，以形成一第二網(wǎng)點。6.如實施例4 5所述的方法,其中該加工件為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一。該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一。該第一局部區(qū)域包括一高重疊率分布區(qū)域以及一低重疊率分布區(qū)域，該第一特定重疊率分布包括一第一脈沖重疊率以及一第二脈沖重疊率。該第一激光束以該第一脈沖重疊率在該高重疊率分布區(qū)域加工，且以該第二脈沖重疊率在該低重疊率分布區(qū)域加工，其中該第一脈沖重疊率大于該第二脈沖重疊率。該第一激光束在高重疊率分布區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一最大深度，且在該低重疊率分布區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一深度，其中該第一最大深度大于該第一深度。該激光束每秒所輸出的能量是固定的。該激光束與該加工件的一平面垂直。7.如實施例4 6所述的方法，其中該第一局部區(qū)域及該第二局部區(qū)域的最大半徑為50微米。該第一局部區(qū)域及該第二局部區(qū)域的最大深度為5微米。該第一局部區(qū)域與該第二局部區(qū)域之間的距離不小于該第一局部區(qū)域的最大半徑或該第二局部區(qū)域的最大半徑。形成該第一網(wǎng)點或該第二網(wǎng)點的平均時間為I毫秒。8.一種激光加工方法，其包含下列步驟:提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域。施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束在該第一局部區(qū)域中具有一第一特定能量以及一第一特定掃描速度分布，以使該第一網(wǎng)點分別具有一第一孔徑以及一第一特定深度分布。9.如實施例8所述的方法，其中該第一局部區(qū)域包含一第一位置以及一第二位置，該加工件更具有一第二局部區(qū)域，該第二局部區(qū)域包含一第三位置以及一第四位置，該方法更包含下列步驟:施加該第一激光束于該第一位置以形成具有該第一孔徑的洞。移動該第一激光束至該第二位置，其中該第一激光束所施加的能量為一第一特定能量，該第一激光束以慢到快的速度從該第一位置移動到該第二位置。停止該第一激光束，以形成一第一網(wǎng)點。施加一第二激光束于該第三位置以形成具有一第二孔徑的洞。移動該第二激光束至該第四位置，其中該第二激光束所施加的能量為一第二特定能量，該第二激光束以慢到快的速度從該第三位置移動到該第四位置。停止該第二激光束，以形成一第二網(wǎng)點。10.如實施例8 9所述的方法,其中該加工件為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一。該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一。該第一局部區(qū)域包括一高能量分布區(qū)域以及一低能量分布區(qū)域，其中該第一特定能量與該第二特定能量不同。該第一激光束在該高能量分布區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一最大深度，且在該低能量分布區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一深度，其中該第一最大深度大于該第一深度。該激光束每秒所輸出的能量是可變動的。該激光束與該加工件的一平面垂直。11.一種激光加工方法，其包含下列步驟:提供一加工件，該加工件具有一區(qū)域以供形成一第一網(wǎng)點。提供一第一激光束，其具有一特定變化模式。使該第一激光束于該加工件上形成該第一網(wǎng)點，以使該區(qū)域具有一特定特性分布。12.如實施例11所述的方法，其中該特定變化模式包括該第一激光束的一特定掃描速度分布、一特定重疊率分布、以及一特定能量分布的至少其中之一。該特定特性分布包括一特定深度分布以及一特定重疊率分布。該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一。
13.一種激光加工件，其包含一網(wǎng)點，該網(wǎng)點形成于該激光加工件上并具有一區(qū)域、一第一表面、以及一第二表面。該第一表面形成于該區(qū)域上。該第二表面形成于該區(qū)域上，其中該第一表面的平均表面曲率大于該第二表面的平均表面曲率。14.如實施例13所述的激光加工件，其中該區(qū)域具有不對稱的導(dǎo)光指向性。綜上所述，本發(fā)明的說明與實施例已詳細描述，但是其并非用來限制本發(fā)明，凡本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神與范圍之下，應(yīng)當可做各種變化與修飾，其應(yīng)仍屬于本發(fā)明專利的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種激光加工方法，其特征在于，包含下列步驟: 提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域；以及 施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束在該第一局部區(qū)域中具有一特定掃描速度分布以使該第一網(wǎng)點具有一特定深度分布。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，該第一局部區(qū)域包含一第一位置以及一第二位置，該加工件更具有一第二局部區(qū)域，該第二局部區(qū)域包含一第三位置以及一第四位置，該方法更包含下列步驟: 施加該第一激光束于該第一位置； 由慢到快移動該第一激光束至該第二位置； 停止該第一激光束，以形成該第一網(wǎng)點； 施加一第二激光束于該第三位置； 由慢到快移動該第二激光束至該第四位置；以及 停止該第二激光束，以形成一第二網(wǎng)點。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，其中: 該加工件為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一； 該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一； 該第一局部區(qū)域包括一低速掃描區(qū)域以及一高速掃描區(qū)域，該特定掃描速度分布包括一第一掃描速度和一第二掃描速度； 該第一激光束以該第一掃描速度在該低速掃描區(qū)域加工，且以該第二掃描速度在該高速掃描區(qū)域加工，其中該第二掃描速度大于該第一掃描速度； 該第一激光束在該低速掃描區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一最大深度，且在該高速掃描區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一深度，其中該第一最大深度大于該第一深度； 該激光束每秒所輸出的能量是固定的；以及 該激光束與該加工件的一平面垂直。
4.一種激光加工方法，其特征在于，包含下列步驟: 提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域；以及 施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束的多個激光脈沖在該第一局部區(qū)域中具有一第一特定重疊率分布以使該第一網(wǎng)點具有一特定深度分布。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，該第一局部區(qū)域包含一第一位置以及一第二位置，該加工件更具有一第二局部區(qū)域，該第二局部區(qū)域包含一第三位置以及一第四位置，該方法更包含下列步驟: 施加該第一激光束于該第一位置； 移動該第一激光束至該第二位置，其中該第一激光束施加到該第一局部區(qū)域的該第一特定重疊率分布系由緊密到稀疏； 停止該第一激光束，以形成該第一網(wǎng)點； 施加一第二激光束于該第三位置；移動該第二激光束至該第四位置，其中該第二激光束施加到該第二局部區(qū)域的一第二特定重疊率分布系由緊密到稀疏；以及停止該第二激光束，以形成一第二網(wǎng)點。
6.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，其中: 該加工件為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一； 該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一； 該第一局部區(qū)域包括一高重疊率分布區(qū)域以及一低重疊率分布區(qū)域，該第一特定重疊率分布包括一第一脈沖重疊率以及一第二脈沖重疊率； 該第一激光束以該第一脈沖重疊率在該高重疊率分布區(qū)域加工，且以該第二脈沖重疊率在該低重疊率分布區(qū)域加工，其中該第一脈沖重疊率大于該第二脈沖重疊率； 該第一激光束在高重疊率分布區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一最大深度，且在該低重疊率分布區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一深度，其中該第一最大深度大于該第一深度； 該激光束每秒所輸出的能量是固定的；以及 該激光束與該加工件的一平面垂直。
7.一種激光加工方法，其特征在于，包含下列步驟: 提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域；以及 施加一第一激光束至該第一局部 區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束在該第一局部區(qū)域中具有一第一特定能量以及一特定掃描速度分布，以使該第一網(wǎng)點分別具有一第一孔徑以及一第一特定深度分布。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，該第一局部區(qū)域包含一第一位置以及一第二位置，該加工件更具有一第二局部區(qū)域，該第二局部區(qū)域包含一第三位置以及一第四位置，該方法更包含下列步驟: 施加該第一激光束于該第一位置以形成具有該第一孔徑的洞； 移動該第一激光束至該第二位置，其中該第一激光束所施加的能量為該第一特定能量，該第一激光束以慢到快的速度從該第一位置移動到該第二位置； 停止該第一激光束，以形成一第一網(wǎng)點； 施加一第二激光束于該第三位置以形成具有一第二孔徑的洞； 移動該第二激光束至該第四位置，其中該第二激光束所施加的能量為一第二特定能量，該第二激光束以慢到快的速度從該第三位置移動到該第四位置；以及停止該第二激光束，以形成一第二網(wǎng)點。
9.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，其中: 該加工件為一鋼模、模仁、以及導(dǎo)光板的其中之一； 該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一； 該第一局部區(qū)域包括一高能量分布區(qū)域以及一低能量分布區(qū)域，其中該第一特定能量與該第二特定能量不同； 該第一激光束在該高能量分布區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一最大深度，且在該低能量分布區(qū)域中造成該特定深度分布具有一第一深度，其中該第一最大深度大于該第一深度；以及該激光束與該加工件的一平面垂直。
10.一種激光加工方法，其特征在于，包含下列步驟: 提供一加工件，該加工件具有一區(qū)域以供形成一第一網(wǎng)點； 提供一第一激光束，其具有一特定變化模式；以及 使該第一激光束于該加工件上形成該第一網(wǎng)點，以使該區(qū)域具有一特定特性分布。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，其中: 該特定變化模式包括該第一激光束的一特定掃描速度分布、一特定重疊率分布、以及一特定能量的至少其中之一； 該特定特性分布包括一特定深度分布以及一特定重疊率分布；以及 該特定深度分布是對稱深度分布和非對稱深度分布的其中之一。
12.一種激光加工件，其特征在于，包含: 一網(wǎng)點，形成于該激光加工件上并具有: 一區(qū)域； 一第一表面，形成于該區(qū)域上；以及 一第二表面，形成于該區(qū)域上，其中該第一表面的平均表面曲率大于該第二表面的平均表面曲率。
13.如權(quán)利要求12所述的激光加工件，其特征在于，該區(qū)域具有不對稱的導(dǎo)光指向性以及對稱的導(dǎo)光指向性的其中之一。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種激光加工方法，其包含下列步驟提供一加工件，該加工件具有一第一局部區(qū)域。施加一第一激光束至該第一局部區(qū)域，以在該第一局部區(qū)域中形成一第一網(wǎng)點，其中該第一激光束的多個激光脈沖在該第一局部區(qū)域中具有一第一特定重疊率分布以使該第一網(wǎng)點具有一特定深度分布。
文檔編號G02F1/13357GK103212785SQ20121003097
公開日2013年7月24日 申請日期2012年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月20日
發(fā)明者黃永祥, 楊舜涵, 李玉麟 申請人:豪晶科技股份有限公司