一種光學(xué)鄰近矯正裝置及矯正方法
【專利摘要】一種光學(xué)鄰近矯正裝置和矯正方法，通過在現(xiàn)有的矯正裝置中加入圖形預(yù)處理模塊，對關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形進(jìn)行疊加處理，并判斷出是否存在重疊錯誤，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中由于該重疊錯誤的判斷程序而導(dǎo)致的光刻版錯誤或報(bào)廢問題，大大節(jié)省了工藝時間，降低了工藝成本。
【專利說明】—種光學(xué)鄰近矯正裝置及矯正方法
【技術(shù)領(lǐng)域】[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工業(yè)中的光刻制程，尤其涉及對一種光學(xué)鄰近矯正(Optical Proximity Correction, 0PC)的裝置及方法。
【背景技術(shù)】[0002]光刻技術(shù)是集成電路制造工藝發(fā)展的驅(qū)動力，也是其中最復(fù)雜的技術(shù)之一。相對于其他的單個制造技術(shù)來說，光刻對芯片性能的提高有著革命性的貢獻(xiàn)。在光刻工藝開始之前，集成電路的結(jié)構(gòu)會先通過特定的設(shè)備復(fù)制到一塊較大(相對于生產(chǎn)用的硅片來說)名為掩膜的石英玻璃片上，然后通過光刻設(shè)備產(chǎn)生特定波長的光(如波長為248nm的紫外光)將掩膜上集成電路的結(jié)構(gòu)復(fù)制到生產(chǎn)芯片所用的硅片上。電路結(jié)構(gòu)在從掩膜復(fù)制到硅片過程中，會產(chǎn)生失真，尤其是到了 0.18um及以下制造工藝階段，如果不去改正這種失真的話會造成整個制造技術(shù)的失敗。所述失真的原因主要是光學(xué)鄰近效應(yīng)(Optical ProximityEffect, ΟΡΕ)，即由于投影曝光系統(tǒng)是一個部分相干光成像系統(tǒng)，理想像的強(qiáng)度頻譜幅值沿各向有不同的分布，但由于衍射受限及成像系統(tǒng)的非線性濾波造成的嚴(yán)重能量損失，導(dǎo)致空間像發(fā)生園化和收縮的效應(yīng)。[0003]要改正這種失真，半導(dǎo)體業(yè)界的普遍做法是利用預(yù)先在掩膜上進(jìn)行結(jié)構(gòu)補(bǔ)償?shù)姆椒?，這種方法叫做光學(xué)鄰近修正(OPC)方法。OPC的基本思想是:對集成電路設(shè)計(jì)的圖形進(jìn)行預(yù)先的修改，使得修改補(bǔ)償?shù)牧空媚軌蜓a(bǔ)償曝光系統(tǒng)造成的OPE效應(yīng)。因此，使用經(jīng)過OPC的圖形做成的掩膜，通過光刻以后，在晶片上就能得到最初想要的電路結(jié)構(gòu)。[0004]一般在做集成電路的器件圖形設(shè)計(jì)時，除了對電路功能起作用的關(guān)鍵器件圖形(main pattern)外，還會加入一些起到電路匹配作用的虛擬器件圖形(dummy pattern)。這些虛擬器件會因?yàn)椴煌钠ヅ渥饔枚霾煌脑O(shè)計(jì):有些虛擬器件是為了防止刻蝕時出現(xiàn)刻蝕不足或刻蝕過度而增加的，比如在金屬層中的金屬線密度不足就需要在這些關(guān)鍵的金屬線之間增加一些金屬虛擬線，以增加金屬的密度。另外一些則是考慮到在做光刻工藝時，光的反射與衍射對照成關(guān)鍵圖形的不同位置的光環(huán)境不同，通過增加虛擬器件，使這些關(guān)鍵器件的四周情況大致相當(dāng)，避免因曝光而影響到關(guān)鍵圖形的尺寸。[0005]現(xiàn)有的OPC過程中，對于main pattern和dummy pattern是作為兩層不同的層(layer)進(jìn)行優(yōu)化的，然而由于dummy pattern在設(shè)計(jì)時，容易因計(jì)算公式的錯誤(即針對dummy的錯誤應(yīng)用)設(shè)計(jì)出不符合實(shí)際需要的dummy,此時dummy pattern就會與mainpattern有重疊的部分。這種重疊部分會導(dǎo)致OPC優(yōu)化得到的光刻板上曝光圖形的嚴(yán)重錯誤，有時甚至需要重新更換光刻板，即耗時，又增加了整個工藝的成本。[0006]而由于OPC程序?qū)ain pattern和dummy pattern是分開計(jì)算的，因此依靠現(xiàn)有的OPC工藝是無法檢測出這種重疊錯誤。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]有鑒于此，本發(fā)明提出了一種光學(xué)鄰近效應(yīng)的矯正裝置和矯正方法，用以彌補(bǔ)現(xiàn)有的OPC處理過程中，可能產(chǎn)生的因虛擬器件圖形設(shè)計(jì)不當(dāng)而導(dǎo)致的關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形的重疊錯誤。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的目的提出的一種光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置，該矯正裝置在現(xiàn)有的光學(xué)臨近效應(yīng)矯正裝置的基礎(chǔ)上，增加了一個圖形預(yù)處理模塊，該圖形預(yù)處理模塊包括圖形疊加單元、輸出單元和判斷單元，所述圖形疊加單元對一關(guān)鍵器件圖形和一虛擬器件圖形進(jìn)行疊加并將疊加圖形通過所述輸出單元輸出給所述判斷單元。
[0009]優(yōu)選的，所述圖形疊加單元在進(jìn)行圖形疊加后，還包括對疊加圖形的分層上色，該分層上色分為當(dāng)疊加圖形中有重疊部分時，則將疊加圖形分為只包括關(guān)鍵器件圖形的第一色、只包括虛擬器件圖形的第二色和包括重疊區(qū)域的第三色；當(dāng)疊加圖形中沒有重疊部分時，則將疊加圖形表不為同一顏色。
[0010]優(yōu)選的，所述判斷單元根據(jù)該疊加圖形的上色情況，得出是否存在重疊的判斷結(jié)
果O
[0011]優(yōu)選的，光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置進(jìn)一步包括報(bào)警單元，當(dāng)所述判斷單元的判斷結(jié)果為存在重疊時，該報(bào)警單元發(fā)出一提示警報(bào)，以提示人員停止光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正。
[0012]優(yōu)選的，所述關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形為CAD格式文件或GDS格式文件。
[0013]同時，根據(jù)本發(fā)明的目的提出的一種光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正方法，該方法使用上述任意一項(xiàng)所述的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置對一目標(biāo)圖形進(jìn)行矯正，包括步驟:
[0014]根據(jù)工藝規(guī)格確定光刻工藝參數(shù)；
[0015]根據(jù)所述光刻工藝參數(shù)確定光學(xué)鄰近矯正模型，建立光學(xué)鄰近矯正的運(yùn)算程序；
[0016]對關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形進(jìn)行疊加處理，并對疊加后的圖形進(jìn)行是否有重置的判斷；
[0017]對上述判斷結(jié)果為否的疊加圖形進(jìn)行所述光學(xué)鄰近矯正的運(yùn)算程序，得到該疊加圖形的矯正圖形。
[0018]優(yōu)選的，當(dāng)所述判斷結(jié)果為是時，進(jìn)一步包括步驟:
[0019]通過警報(bào)提示人員停止所述光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正，
[0020]重新設(shè)計(jì)虛擬器件圖形，并重復(fù)上述圖形疊加處理步驟及判斷步驟，直至該虛擬器件圖形與所述關(guān)鍵器件圖形沒有重疊為止。
[0021]優(yōu)選的，所述關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形進(jìn)行疊加處理進(jìn)一步包括對疊加后的圖形進(jìn)行分層上色的處理，該分層上色處理分為:當(dāng)疊加圖形中有重疊部分時，則將疊加圖形分為只包括關(guān)鍵器件圖形的第一色、只包括虛擬器件圖形的第二色和包括重疊區(qū)域的第三色；當(dāng)疊加圖形中沒有重疊部分時，則將疊加圖形表示為同一顏色。
[0022]本發(fā)明提出的光學(xué)鄰近矯正裝置和矯正方法中，通過在現(xiàn)有的矯正裝置中加入圖形預(yù)處理模塊，對關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形進(jìn)行疊加處理，并判斷出是否存在重疊錯誤，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中由于該重疊錯誤的判斷程序而導(dǎo)致的光刻版錯誤或報(bào)廢問題，大大節(jié)省了工藝時間，降低了工藝成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0024]圖1是本發(fā)明的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置中圖形預(yù)處理模塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2A-2D是以金屬層為例在圖形疊加處理過程中的示意圖。
[0026]圖3是本發(fā)明的光學(xué)鄰近矯正方法的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]如【背景技術(shù)】中描述的,在現(xiàn)有的OPC處理過程中，由于對于main pattern和dummypattern是視為不同層次的優(yōu)化，從單層來看，每一層都會被認(rèn)為符合設(shè)計(jì)，設(shè)備很難檢測出main pattern和dummy pattern出現(xiàn)重疊錯誤的情況。然而由于dummy在計(jì)算時容易因應(yīng)用的不同而產(chǎn)生設(shè)計(jì)錯誤，因此往往會在OPC處理完后才發(fā)現(xiàn)main pattern與dummypattern有重疊的現(xiàn)象。從而導(dǎo)致光刻板的曝光圖形不合格，嚴(yán)重時需要更換光刻板，使工藝的時間拉長并且成本增加。
[0028]本發(fā)明根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，在現(xiàn)有的OPC校正設(shè)備中加入了圖形的預(yù)處理模塊，專門對main pattern和dummy pattern進(jìn)行是否存在重疊錯誤的檢測,確保在OPC優(yōu)化完之后，得到的光刻板不會因?yàn)閙ain pattern和dummy pattern的重疊錯誤而發(fā)生報(bào)廢的情況。同時本發(fā)明對現(xiàn)有的OPC工藝步驟也進(jìn)行了調(diào)整，在OPC工藝中加入了圖形的預(yù)處理步驟，一旦發(fā)現(xiàn)有重疊錯誤的圖形，則發(fā)出警報(bào)信息，提醒人員重新設(shè)計(jì)dummy pattern,從而減少因main pattern和dummy pattern的重疊錯誤而帶來的光刻板報(bào)廢問題。
[0029]請參見圖1，圖1是本發(fā)明的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置中圖形預(yù)處理模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。由于本發(fā)明是在現(xiàn)有的OPC裝置的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，在此只對本發(fā)明的創(chuàng)新點(diǎn)做出描述，其它作為OPC已有的部件將不再描述。
[0030]如圖1所示，該圖形預(yù)處理模塊10包括圖形疊加單元11、輸出單元12和判斷單元13。圖形疊加單元11用以對關(guān)鍵器件圖形(main pattern)和虛擬器件圖形(dummypattern)進(jìn)行疊加，該圖形疊加單元11比如是一種具有圖形數(shù)據(jù)處理能力的CPU或GPU,通過識別main pattern或dummy pattern中器件圖形,生成將兩者疊加后的圖形。其中該main pattern和dummy pattern可以是CAD格式文件或GDS格式文件。
[0031]進(jìn)一步的，該圖形疊加單元11還可以對疊加后的圖形進(jìn)行分層上色處理，以表示疊加圖形在各個位置處具體布局。該分層上色分處理可以為:當(dāng)疊加圖形中有重疊部分時，則將疊加圖形分為只包括關(guān)鍵器件圖形的第一色、只包括虛擬器件圖形的第二色和包括重疊區(qū)域的第三色；當(dāng)疊加圖形中沒有重疊部分時，則將疊加圖形表示為同一顏色。其中第一色和第二色可以是同種顏色，也可以是不同顏色，但這兩個顏色必須與第三色不同。
[0032]以金屬層為例，請參見圖2A至2D，該圖2A至2D表示的是金屬層在圖形疊加處理過程中的示意圖。其中圖2A是金屬層的main pattern,即關(guān)鍵金屬線21的分布圖形，圖2B是該金屬層對應(yīng)的dummy pattern,即虛擬金屬線22的分布圖形，圖2C是將main pattern和dummy pattern疊加之后的圖形,可以看到此時main pattern與dummy pattern具有重疊的部分23，圖2D是對重疊圖形進(jìn)行分層上色處理之后的圖形，此時重疊部分23被標(biāo)示成與單純的關(guān)鍵金屬線21和虛擬金屬線22不一樣的顏色(圖中以陰影線表示)。
[0033]圖形疊加單元11得到疊加圖形之后，通過輸出單元12輸出給所述判斷單元13。該判斷單元13根據(jù)疊加圖形的上色情況，判斷是否有重疊部分。當(dāng)然該判斷單元13也可以設(shè)計(jì)成具有自行圖形處理能力的器件，此時則不需要上述圖形疊加單元11對該疊加圖形進(jìn)行任何處理，直接依賴判斷單元13的圖形處理，得出判斷結(jié)果。
[0034]進(jìn)一步的，光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置還可以包括一個報(bào)警單元14，當(dāng)所述判斷單元13的判斷結(jié)果為存在重疊時，該報(bào)警單元14發(fā)出一提示警報(bào)，以提示人員停止光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正。而當(dāng)疊加圖形為正常圖形時，該報(bào)警單元14則可以通知光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置進(jìn)行下一步的操作。這樣一來就可以實(shí)現(xiàn)自動在線操作，從而避免了人員需要時刻呆在設(shè)備旁進(jìn)行觀察的不必要勞動，節(jié)省了人力。
[0035]請參見圖3，圖3是本發(fā)明的光學(xué)鄰近矯正方法的流程示意圖。如圖所示，該修正方法包括步驟:
[0036]Sll:根據(jù)工藝規(guī)格，確定光刻工藝參數(shù)。由于生產(chǎn)不同的半導(dǎo)體器件，所使用到的光刻工藝具有很大差別，即使在同一半導(dǎo)體器件在制作過程中，也需要進(jìn)行多道光刻工藝，比如TO (有源區(qū)層次)，GT (柵氧層次)，An (金屬連線層次)等。在這些不同層次上進(jìn)行的光刻工藝，所使用到的工藝規(guī)格都不相同，因此先要根據(jù)所需要實(shí)現(xiàn)的器件功能確定半導(dǎo)體器件的工藝規(guī)格，并根據(jù)工藝要求，確定圖形的特征尺寸。
[0037]在得到工藝規(guī)格之后，還需要確定光刻工藝的具體參數(shù)，所述光刻工藝具體參數(shù)包括曝光光路的光學(xué)參數(shù)、光刻膠的材料參數(shù)以及刻蝕工藝的化學(xué)參數(shù)。所述曝光光路的光學(xué)參數(shù)主要指光路的數(shù)值孔徑、縮放倍率以及曝光光源等具體參數(shù)。所述光刻膠的材料參數(shù)主要是指光刻膠材料的分辨率、曝光速率、光敏度等具體參數(shù)。所述刻蝕工藝的化學(xué)參數(shù)主要是指刻蝕劑的酸堿性以及化學(xué)性質(zhì)等具體參數(shù)。由于制作不同等級特征尺寸所采用到的光刻工藝不同，因此需要對光刻工藝參數(shù)有個明確的定位。
[0038]S12:根據(jù)所述光刻工藝參數(shù)確定光學(xué)鄰近修正模型，建立光學(xué)鄰近修正的運(yùn)算程序。在確定完光刻工藝參數(shù)后，可以進(jìn)行OPC建模。建模的基本流程如下:首先是在標(biāo)片上放置預(yù)先設(shè)計(jì)的測試圖形，收集到一組真實(shí)光刻晶片的數(shù)據(jù)。然后使用同樣的測試圖形，利用OPC建模工具進(jìn)行模擬，如果摸以得到的圖形尺寸與相對應(yīng)的真實(shí)晶片數(shù)據(jù)能夠很好的符合，那么就可以認(rèn)為在這樣一個有限的樣品空間(sampling space)中，模擬得到的模型能夠很好的描述整個曝光系統(tǒng)和化學(xué)效應(yīng)，因此就能用來定量在預(yù)知情況下的OPE效應(yīng)，從而可以用來進(jìn)行0PC。在工廠端，由于廠家在多數(shù)情況下會對自家生產(chǎn)的產(chǎn)品工藝建有相應(yīng)的數(shù)據(jù)庫，因此建模過程也可簡化為調(diào)取數(shù)據(jù)的過程，只需輸入相對應(yīng)的數(shù)據(jù)模型，就能調(diào)取到所需的OPC模型。
[0039]在建完OPC模型后，還需要編寫OPC處理的程序，以用于將適用的圖形進(jìn)行OPC處理。
[0040]S13:對關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形進(jìn)行疊加處理，并對疊加后的圖形進(jìn)行是否有重疊的判斷。
[0041]該步驟通過上述的圖形預(yù)處理模塊完成。具體操作時，人員可以手動輸入關(guān)鍵器件圖形數(shù)據(jù)和虛擬器件圖形數(shù)據(jù)，或者選擇讓圖形預(yù)處理模塊自動加載這些數(shù)據(jù)。通常關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形依據(jù)客戶的實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)計(jì)，并以CAD格式文件或GDS格式文件的形式存在。
[0042]然后通過圖形疊加單元將兩幅圖疊加到一起，疊加時需要按照器件實(shí)際位置進(jìn)行匹配。疊加完成后，對疊加圖形進(jìn)行分層上色處理，如果存在重疊部分，利用顏色標(biāo)識表示出來。具體的上色方法可參照上述器件描述中的方法，在此不再贅述。
[0043]之后通過判斷單元對上述疊加圖形進(jìn)行判斷，得出是否有重疊部分的判斷結(jié)果。
[0044]S14:對上述判斷結(jié)果為否的疊加圖形進(jìn)行所述光學(xué)鄰近矯正的運(yùn)算程序，得到該疊加圖形的矯正圖形。該步驟中，可以通過報(bào)警裝置自動執(zhí)行，即當(dāng)判斷單元的判斷結(jié)果為疊加圖形中沒有出現(xiàn)重疊部分時，該判斷單元通知報(bào)警裝置按正常的OPC矯正步驟執(zhí)行運(yùn)算程序。也可以通過人員得知判斷結(jié)果之后，利用手工切換到正常的OPC矯正程序上。
[0045]而當(dāng)該判斷單元判斷出上述疊加圖形中存在重疊部分時，則立即通知報(bào)警程序進(jìn)行報(bào)警，人員在得到該報(bào)警信息后，可以根據(jù)疊加圖形重疊區(qū)域出現(xiàn)的位置，對dU_ypattern進(jìn)行修正或重新設(shè)計(jì),然后將新的dummy pattern與main pattern重復(fù)執(zhí)行上述圖形疊加處理步驟，直至判斷單元得出的判斷結(jié)果為疊加圖形中沒有重疊部分為止。
[0046]綜上所述，本發(fā)明提出的一種光學(xué)鄰近矯正裝置和矯正方法，通過在現(xiàn)有的矯正裝置中加入圖形預(yù)處理模塊，對關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形進(jìn)行疊加處理，并判斷出是否存在重疊錯誤，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中由于該重疊錯誤的判斷程序而導(dǎo)致的光刻版錯誤或報(bào)廢問題，大大節(jié)省了工藝時間，降低了工藝成本。
[0047]對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置，其特征在于:所述光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置包括一圖形預(yù)處理模塊，該圖形預(yù)處理模塊包括圖形疊加單元、輸出單元和判斷單元，所述圖形疊加單元對一關(guān)鍵器件圖形和一虛擬器件圖形進(jìn)行疊加并將疊加圖形通過所述輸出單元輸出給所述判斷單元。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置，其特征在于:所述圖形疊加單元在進(jìn)行圖形疊加后，還包括對疊加圖形的分層上色，該分層上色分為當(dāng)疊加圖形中有重疊部分時，則將疊加圖形分為只包括關(guān)鍵器件圖形的第一色、只包括虛擬器件圖形的第二色和包括重疊區(qū)域的第三色；當(dāng)疊加圖形中沒有重疊部分時，則將疊加圖形表示為同一顏色。
3.如權(quán)利要求2所述的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置，其特征在于:所述判斷單元根據(jù)該疊加圖形的上色情況，得出是否存在重疊的判斷結(jié)果。
4.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置，其特征在于:光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置進(jìn)一步包括報(bào)警單元，當(dāng)所述判斷單元的判斷結(jié)果為存在重疊時，該報(bào)警單元發(fā)出一提示警報(bào)，以提示人員停止光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正。
5.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置，其特征在于:所述關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形為CAD格式文件或GDS格式文件。
6.一種光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正方法，該方法使用權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正裝置對一目標(biāo)圖形進(jìn)行矯正，其特征在于包括步驟: 根據(jù)工藝規(guī)格確定光刻工藝參數(shù)； 根據(jù)所述光刻工藝參數(shù)確定光學(xué)鄰近矯正模型，建立光學(xué)鄰近矯正的運(yùn)算程序； 對關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形進(jìn)行疊加處理，并對疊加后的圖形進(jìn)行是否有重疊的判斷； 對上述判斷結(jié)果為否的疊加圖形進(jìn)行所述光學(xué)鄰近矯正的運(yùn)算程序，得到該疊加圖形的矯正圖形。
7.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正方法，其特征在于:當(dāng)所述判斷結(jié)果為是時，進(jìn)一步包括步驟: 通過警報(bào)提示人員停止所述光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正， 重新設(shè)計(jì)虛擬器件圖形，并重復(fù)上述圖形疊加處理步驟及判斷步驟，直至該虛擬器件圖形與所述關(guān)鍵器件圖形沒有重疊為止。
8.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正方法，其特征在于:所述關(guān)鍵器件圖形和虛擬器件圖形進(jìn)行疊加處理進(jìn)一步包括對疊加后的圖形進(jìn)行分層上色的處理，該分層上色處理分為:當(dāng)疊加圖形中有重疊部分時，則將疊加圖形分為只包括關(guān)鍵器件圖形的第一色、只包括虛擬器件圖形的第二色和包括重疊區(qū)域的第三色；當(dāng)疊加圖形中沒有重疊部分時，則將疊加圖形表不為同一顏色。
【文檔編號】G03F1/36GK103576442SQ201210261737
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2012年7月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月26日
【發(fā)明者】陳潔, 王謹(jǐn)恒, 萬金垠, 張雷 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司