專利名稱：光學(xué)掃描裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)掃描裝置，尤其涉及從兩側(cè)利用扭桿支撐具有鏡反射面的鏡部， 并使該鏡部以該扭桿為軸擺動，從而使由上述鏡反射面反射的光進(jìn)行掃描的光學(xué)掃描裝置。
背景技術(shù)：
以往，已知有如下光學(xué)掃描裝置，具備具有使入射光反射的反射面的可動板；可轉(zhuǎn)動地軸支撐可動板的扭梁；以及對扭梁作用扭轉(zhuǎn)方向的驅(qū)動力的驅(qū)動部，為了抑制轉(zhuǎn)動時(shí)反射面的變形，在包含可動板與扭梁的連接部分附近的背面形成有肋(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-128116號公報(bào)
可是，在上述的專利文獻(xiàn)I記載的結(jié)構(gòu)中，雖然反射面的變形能夠修正，但存在應(yīng)力集中在肋結(jié)構(gòu)的周邊而容易產(chǎn)生破損的問題。另外，即使沒達(dá)到破損的程度，但由于在肋結(jié)構(gòu)的周邊反復(fù)施加應(yīng)力，因此還存在產(chǎn)生材料疲勞而導(dǎo)致性能劣化的問題。發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種光學(xué)掃描裝置，能夠緩和施加于鏡部的應(yīng)力，減少破損和材料疲勞。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一個(gè)方式的光學(xué)掃描裝置從兩側(cè)利用扭桿50支撐具有鏡反射面10的鏡部40 43，并使該鏡部以該扭桿50為軸X擺動，從而使由上述鏡反射面10反射的光進(jìn)行掃描，其特征在于，上述鏡部40 43在通過上述鏡反射面10的中心且垂直于上述軸X的垂直軸Y和上述鏡反射面10的端點(diǎn)的交點(diǎn)與上述扭桿50之間，具有緩和由上述扭桿50的扭轉(zhuǎn)運(yùn)動產(chǎn)生的應(yīng)力的應(yīng)力緩和區(qū)域20、22 24。
另外，上述應(yīng)力緩和區(qū)域20、22 24優(yōu)選具有從上述扭桿50向上述鏡反射面10逐漸擴(kuò)展的平面形狀。
另外，上述應(yīng)力緩和區(qū)域20、22 24的端部21不包含角部。
另外，上述應(yīng)力緩和區(qū)域20、22 24也可以是具有狹縫30 38的結(jié)構(gòu)。
另外,上述狹縫30 38也可以配置成關(guān)于上述軸X對稱。
另外，上述狹縫30 38也可以具有多個(gè)。
另外，上述狹縫30 38也可以具有偶數(shù)個(gè)。
另外，上述狹縫30 38也可以具有圓弧狀的形狀。
另外，在上述鏡反射面10的背面優(yōu)選形成有肋11。
另外，上述狹縫3 0 38優(yōu)選與上述肋11隔開距離設(shè)置。
另外，上述扭桿50也可以設(shè)置于上述鏡部40 43的周圍，并且與具有使上述鏡部40 43繞上述軸X擺動的驅(qū)動源71的水平驅(qū)動梁70連結(jié)，該水平驅(qū)動梁70與包圍周圍且具有與上述肋11相同厚度的可動框80連結(jié)，在該可動框80上設(shè)有具有與上述水平驅(qū)動梁70相同厚度的減薄部81。
另外，上述減薄部81僅設(shè)置于與上述軸X的延伸方向一致的區(qū)域。
另外，上述減薄部81也可以為凹部，并且是在上述可動框80上設(shè)置多個(gè)的結(jié)構(gòu)。
另外，優(yōu)選上述凹部為大致三角形狀，以未形成上述凹部的具有與上述肋11相同 厚度的部分82沿上述可動框80形成曲折形狀的方式，頂點(diǎn)的方向沿上述可動框80交替配置。
另外，優(yōu)選上述可動框80與垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)110連結(jié)，該垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)110從兩側(cè) 支撐上述可動框80，并且使上述可動框80繞與上述軸X垂直的上述垂直軸Y擺動,該垂直 驅(qū)動機(jī)構(gòu)110具有在與上述軸X平行地配置的多個(gè)矩形的梁上分別設(shè)有驅(qū)動源91的多個(gè) 垂直驅(qū)動梁90，該垂直驅(qū)動梁90的一端連結(jié)于位于內(nèi)側(cè)的該垂直驅(qū)動梁90或上述可動框 80的一端，另一端連結(jié)于位于外側(cè)的該垂直驅(qū)動梁90的一端或支撐上述垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)的 支架120，并且該垂直驅(qū)動梁90作為整體以曲折的方式連結(jié)，上述垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)110包含偶 數(shù)個(gè)上述垂直驅(qū)動梁90。
另外，上述驅(qū)動源71、81也可以為壓電元件。
本發(fā)明具有如下有益效果。
根據(jù)本發(fā)明，能夠緩和施加于鏡部的應(yīng)力，減少破損和材料疲勞。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的一例的表面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。
圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的一例的背面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。
圖3是用于更詳細(xì)地說明實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的應(yīng)力緩和結(jié)構(gòu)的圖。圖3(A) 是實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的鏡部周邊的表面?zhèn)鹊慕Y(jié)構(gòu)圖。圖3 (B)是實(shí)施例1的光學(xué)掃 描裝置的鏡部周邊的背面?zhèn)鹊慕Y(jié)構(gòu)圖。
圖4是表示實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的鏡部的鏡反射面與應(yīng)力緩和區(qū)域的尺寸關(guān) 系的圖。
圖5是用于說明在實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的應(yīng)力緩和區(qū)域所設(shè)置的狹縫引起的 應(yīng)力緩和效果的圖。圖5 (A)是表示未在應(yīng)力緩和區(qū)域設(shè)置狹縫時(shí)的應(yīng)力強(qiáng)度分布的圖， 表示施加在鏡部的相當(dāng)應(yīng)力。圖5 (B)是表示在應(yīng)力緩和區(qū)域設(shè)置狹縫時(shí)的應(yīng)力強(qiáng)度分布 的圖，表示有狹縫時(shí)的應(yīng)力分散情況。圖5 (C)是表示未在應(yīng)力緩和區(qū)域設(shè)置狹縫時(shí)的鉛 垂方向的應(yīng)力強(qiáng)度分布的圖，表不施加在鏡部的垂直方向應(yīng)力。圖5 (D)是表不在應(yīng)力緩 和區(qū)域設(shè)置狹縫時(shí)的鉛垂方向的應(yīng)力強(qiáng)度分布的圖，表示有狹縫的情況。
圖6是表示實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的軸的配置的圖。
圖7是實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的可動框的放大立體圖。
圖8是用于說明實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的垂直驅(qū)動部的結(jié)構(gòu)的圖。
圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。
圖10是表示本發(fā)明的實(shí)施例3的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。
圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。
圖中
10-鏡反射面;11、101-肋;20、22 24-應(yīng)力緩和區(qū)域;21_端部；30 38-狹縫；40 43-鏡部；50_扭桿；60、100_連結(jié)部；70_水平驅(qū)動梁；71、91_驅(qū)動源；80_可動框； 81-減薄部；82_厚壁部；90_垂直驅(qū)動梁；110-垂直驅(qū)動部；120-支架；130-端子；140_配線。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖對用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說明。
實(shí)施例1
圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的一例的表面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。在圖1 中，實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置具有鏡部40、扭桿50、連結(jié)部60、水平驅(qū)動梁70、驅(qū)動源71、可 動框80、垂直驅(qū)動部110、支架120、端子130和配線140。另外，鏡部40具有鏡反射面10、 應(yīng)力緩和區(qū)域20和狹縫30，垂直驅(qū)動部110具有垂直驅(qū)動梁90、驅(qū)動源91和連結(jié)部100。
鏡部40利用兩根扭桿50以從同一直線上的兩外側(cè)夾住的方式進(jìn)行支撐。鏡部40 在中心具有鏡反射面10，在鏡反射面10與扭桿50之間具有應(yīng)力緩和區(qū)域20。在各應(yīng)力緩 和區(qū)域20形成有兩個(gè)狹縫。另外，扭桿50經(jīng)由連結(jié)部60與水平驅(qū)動梁70的內(nèi)側(cè)的角連 結(jié)。水平驅(qū)動梁70在表面具備驅(qū)動源71，外側(cè)的邊與可動框80連結(jié)。
可動框80經(jīng)由水平驅(qū)動梁70支撐連結(jié)部60、扭桿50和鏡部40，并且，包圍它們 的周圍?？蓜涌?0里側(cè)的一端與垂直驅(qū)動梁90的一端連結(jié)，與可動框80連結(jié)的垂直驅(qū)動 梁90的另一端與比自身更靠外側(cè)的垂直驅(qū)動梁90的一端連結(jié)。
垂直驅(qū)動梁90在可動框80的兩側(cè)以隔著可動框80的方式與扭桿50平行地設(shè)置 多個(gè)，在可動框80的各一側(cè)配置有4個(gè)垂直驅(qū)動梁90。4個(gè)垂直驅(qū)動梁90利用比其端部 更靠外側(cè)的連結(jié)部100，與鄰接配置的垂直驅(qū)動梁90連結(jié)，但一端與內(nèi)側(cè)的垂直驅(qū)動梁90 的一端連結(jié)，另一端與外側(cè)的垂直驅(qū)動梁90的一端連結(jié)。與位于最內(nèi)側(cè)的可動框80鄰接 的垂直驅(qū)動梁90其一端與可動框80的一端連結(jié),另一端與外側(cè)的垂直驅(qū)動梁90的一端連 結(jié)。另外，與位于最外側(cè)的支架120鄰接的垂直驅(qū)動梁90其一端與支架120連結(jié)，另一端 與位于內(nèi)側(cè)的垂直驅(qū)動梁90的一端連結(jié)。另外，在垂直驅(qū)動梁90上具備驅(qū)動源91。
垂直驅(qū)動梁90由一側(cè)4根構(gòu)成一側(cè)的垂直驅(qū)動部110，由兩側(cè)8根構(gòu)成整體的垂 直驅(qū)動部110。支架120經(jīng)由最外側(cè)的垂直驅(qū)動梁90支撐垂直驅(qū)動部110。在支架120的 表面設(shè)有端子130，連接配線140。驅(qū)動源71、91也可以利用例如通過施加電壓而伸縮驅(qū)動 的壓電元件等的電力的供給進(jìn)行驅(qū)動的驅(qū)動源71、91，為了對驅(qū)動源71、91供給電壓而設(shè) 置配線140。
接著，關(guān)于各個(gè)結(jié)構(gòu)要素更詳細(xì)地進(jìn)行說明。
鏡部40是用于保持鏡反射面10的部件，在中心具備鏡反射面10。鏡反射面10是 用于反射所照射的光的面，例如也可以使用銀、銅、鋁之類的反射率高的金屬箔。鏡反射面 10 —般根據(jù)規(guī)格或標(biāo)準(zhǔn)確定尺寸和形狀，形狀為圓的情況較多。鏡反射面10例如也可以通 過粘貼于鏡部40的中心而形成。
應(yīng)力緩和區(qū)域20是用于使扭桿50的扭轉(zhuǎn)應(yīng)力緩和，并使施加于鏡反射面10的應(yīng) 力降低的區(qū)域。關(guān)于應(yīng)力緩和區(qū)域20的詳細(xì)情況在后面敘述，通過在扭桿50與鏡反射面 10之間設(shè)置空間部，由此能夠使由扭桿50的扭轉(zhuǎn)運(yùn)動產(chǎn)生的應(yīng)力分散，緩和施加于鏡反射 面10的應(yīng)力。
狹縫30是設(shè)置于應(yīng)力緩和區(qū)域20內(nèi)，并用于使施加于應(yīng)力緩和區(qū)域20的應(yīng)力分散的孔。通過在應(yīng)力緩和區(qū)域20進(jìn)一步設(shè)置狹縫30，從而能夠進(jìn)一步分散施加于應(yīng)力緩和區(qū)域20的應(yīng)力。另外，關(guān)于狹縫30也在后面詳細(xì)敘述。
扭桿50是用于從兩側(cè)支撐鏡部40，并使鏡部40沿水平方向擺動的機(jī)構(gòu)。在這里， 所謂水平方向是由鏡反射面10反射的光高速掃描移動的方向，是指投影面的橫向。即，是鏡反射面10沿橫向擺動的方向，是扭桿50成為軸的方向。扭桿50通過向左右交替扭轉(zhuǎn)， 使鏡部40沿水平方向擺動。
連結(jié)部60是用于將由水平驅(qū)動梁70產(chǎn)生的水平方向的驅(qū)動力傳遞給扭桿50的傳遞機(jī)構(gòu)。
水平驅(qū)動梁70是用于使鏡部40沿水平方向擺動，并使由鏡反射面10反射的光沿投影面的水平方向掃描的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。水平驅(qū)動梁70例如可以在表面具備壓電元件等驅(qū)動源71，也可以在水平驅(qū)動梁70的表面上形成壓電元件的薄膜。壓電元件是通過施加電壓而伸縮的元件，通過對位于鏡部40的左右兩側(cè)的壓電元件交替施加不同相位的電壓，從而能夠使左右的水平驅(qū)動梁70交替向上方翹曲。由此，對扭桿50施加扭轉(zhuǎn)力，能夠繞以扭桿 50為軸的水平方向軸使鏡部40擺動。另外，壓電元件也可以使用例如壓力元件('/素子)。
另外，基于水平驅(qū)動梁70的驅(qū)動例如可以使用共振驅(qū)動。在本實(shí)施例的光學(xué)掃描裝置使用于投影儀等時(shí)，一般而言，水平方向要求30kHz左右的高速掃描，因此優(yōu)選利用共振驅(qū)動來驅(qū)動鏡部40，以便能夠高速掃描。
另外，鏡部40、扭桿50、連結(jié)部60及水平驅(qū)動梁70的大部分以具有彈性的方式較薄地構(gòu)成，例如也可以作為硅基板的薄板而構(gòu)成。
可動框80從外側(cè)包圍鏡部40、扭桿50、連結(jié)部60及水平驅(qū)動梁70而支撐，并且， 成為繞與扭桿50垂直的方向的垂直軸擺動時(shí)的擺動對象?？蓜涌?0由于要求固定支撐水平驅(qū)動梁70，因此以不太具有彈性的方式，構(gòu)成為比上述扭桿50、連結(jié)部60及水平驅(qū)動梁70厚，具有它們數(shù)倍的厚度。例如，在扭桿50、連結(jié)部60及水平驅(qū)動梁70以相同厚度 50 μ m左右構(gòu)成時(shí)，可動框80能夠以250 μ m以上的厚度構(gòu)成。例如，在由SOKSilicon On Insulator,絕緣體上硅)基板形成實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置時(shí)，將活性層的薄板的硅基板的部分用于扭桿50等需要彈性的部位，將層疊活性層、埋入氧化膜和支撐基板的部分整體用于可動框80等厚的部分即可。
垂直驅(qū)動部110具有形成為矩形且與扭桿50所構(gòu)成的水平軸平行地配置的多個(gè)垂直驅(qū)動梁90。垂直驅(qū)動梁90各自具備驅(qū)動源91，能夠以獨(dú)立的相位驅(qū)動。驅(qū)動源91例如可以使用壓力元件等壓電元件，此時(shí)如果對鄰接的垂直驅(qū)動梁90施加不同相位的電壓， 則能夠使可動框80以向跟前側(cè)或里側(cè)傾斜的方式擺動(傾斜運(yùn)動)。另外，鏡部40由于支撐在可動框80上，因 此隨著可動框80的擺動，同樣地沿垂直方向擺動。
另外，垂直驅(qū)動部110例如也可以通過非共振驅(qū)動使可動框80擺動。在垂直驅(qū)動中，與水平驅(qū)動相比不要求高速驅(qū)動，例如以60Hz左右的頻率即可的情形較多。另外，由于設(shè)有多個(gè)垂直驅(qū)動梁90，因此通過積蓄位移而能夠滿足由非共振驅(qū)動要求的速度的情況較多。
另外，關(guān)于垂直驅(qū)動部110的結(jié)構(gòu)，雖然在后面詳細(xì)敘述，而在本實(shí)施例的光學(xué)掃描裝置中，垂直驅(qū)動梁90設(shè)置有偶數(shù)個(gè)。由此，作用于向跟前側(cè)和里側(cè)的擺動的垂直驅(qū)動梁90總是為相同的數(shù)量，能夠在跟前側(cè)和里側(cè)進(jìn)行均等的擺動。
支架120是用于支撐垂直驅(qū)動部110及可動框80的固定支撐部件，經(jīng)由最外側(cè)的垂直驅(qū)動梁90支撐垂直驅(qū)動部110，進(jìn)而經(jīng)由垂直驅(qū)動部110支撐可動框80。
垂直驅(qū)動梁90及連結(jié)部100以具有彈性的方式構(gòu)成為薄板，但支架120構(gòu)成為不具有彈性的厚板。
端子130設(shè)置在支架120上，對配線140供給電力。由此，能夠?qū)︱?qū)動源71、91供給電力，沿水平方向及垂直方向進(jìn)行擺動驅(qū)動。
圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的一例的背面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。在圖2 中，在與圖1相同的結(jié)構(gòu)要素上標(biāo)注同一參照符號。
在圖2中，在鏡反射面10的背面設(shè)置有肋11。肋11能夠抑制驅(qū)動中的鏡反射面 10發(fā)生變形，能夠使鏡反射面10保持平坦。肋11形成為外形與鏡反射面10的形狀大致一致。由此，能夠使鏡反射面10整體平坦。
狹縫30設(shè)置在肋11與扭桿50之間的應(yīng)力緩和區(qū)域20內(nèi)。由此，能夠使從扭桿 50傳遞的應(yīng)力在應(yīng)力緩和區(qū)域20內(nèi)分散，防止應(yīng)力傳遞到肋11。
在可動框80上設(shè)置有減薄部81。減薄部81是為了使可動框80輕量化而形成的凹部。可動框80由于具有支撐水平驅(qū)動梁70的作用，因此以厚壁部構(gòu)成，但自身也是沿垂直方向擺動的驅(qū)動對象，因此若重量大，則即使施加相同的電壓位移也變小，靈敏度降低。 因而，通過在可動框上設(shè)置減薄部使其輕量化，從而能夠提高靈敏度。
另外，在可動框80例如以60Hz驅(qū)動時(shí)，若60Hz的倍數(shù)(120Ηζ、180Ηζ、240Ηζ· · ·) 存在不需要的共振頻率，則干擾變大。即，作為振動特性，優(yōu)選在驅(qū)動頻率的倍數(shù)附近不存在不需要的共振頻率。通過輕量化，能夠?qū)Σ恍枰墓舱耦l率進(jìn)行高頻化，能夠使不需要的共振頻率遠(yuǎn)離驅(qū)動頻率的倍數(shù)附近。另外，即使在不需要的共振頻率為驅(qū)動頻率的倍數(shù)的情況下，遠(yuǎn)離60Hz的頻率即高頻側(cè)的一方影響較少。即，通過可動框80的輕量化，能夠?qū)Σ恍枰墓舱耦l率進(jìn)行高頻化，能夠減少干擾。另外，關(guān)于減薄部81的形狀、配置等詳細(xì)情況在后面敘述。
除了可動框80、支架120外， 在垂直驅(qū)動部110的垂直驅(qū)動梁90彼此的連結(jié)部100 的背面也形成有肋101。利用該肋101，加強(qiáng)垂直驅(qū)動梁90彼此的連結(jié)，提高剛性。
圖3是用于更詳細(xì)地說明實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的應(yīng)力緩和結(jié)構(gòu)的圖。圖3(A) 是表示實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的鏡部周邊的表面?zhèn)鹊慕Y(jié)構(gòu)的圖。圖3 (B)是表示實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的鏡部周邊的背面?zhèn)鹊慕Y(jié)構(gòu)的圖。
如圖3 (A)所示，關(guān)于表面?zhèn)?，鏡部40在圓形的鏡反射面10與扭桿50之間具有應(yīng)力緩和區(qū)域20。另外，在圖3 (A)中，示出了垂直于旋轉(zhuǎn)(擺動)軸X的垂直軸與鏡部40 的交點(diǎn)，在交點(diǎn)與扭桿50之間設(shè)置有應(yīng)力緩和區(qū)域20。另外，在各應(yīng)力緩和區(qū)域20上，形成有2個(gè)關(guān)于旋轉(zhuǎn)(擺動)軸X對稱的圓弧狀的狹縫30。
如圖3 (B)所示，關(guān)于背面?zhèn)?，對?yīng)于鏡反射面10的圓形，在與鏡反射面10大致同樣的區(qū)域形成有格子狀的肋11。這是為了確保鏡反射面10的平坦性，以格子狀的肋圖案加強(qiáng)鏡反射面10整體。但是，肋11成為重物，引起鏡部40的擺角靈敏度降低，因此在可能的范圍進(jìn)行減薄。其結(jié)果，如圖3 (B)所示，形成有格子狀的肋11。
在圖3 (B)中，關(guān)于鏡部40，與旋轉(zhuǎn)軸X正交的方向的外形尺寸與鏡反射面10的 尺寸大致相同。具體而言，在包含鏡反射面10的中心C的上下的直徑2/3以內(nèi)的范圍內(nèi)， 鏡部40的外形尺寸與鏡反射面10的尺寸大致相同。即，應(yīng)力緩和區(qū)域20沒有形成在與旋 轉(zhuǎn)軸X正交的方向的至少通過鏡反射面10的中心C的部分。這是由于若在遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)軸X 的部位具有重量，則因慣性矩的作用而發(fā)生鏡反射面10的靈敏度降低。
另一方面，接近旋轉(zhuǎn)軸X的部位的重量沒有像遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)軸X的部位那種程度的影 響，因此使旋轉(zhuǎn)軸方向的鏡部40的外形尺寸大于鏡反射面10，作為應(yīng)力緩和區(qū)域20設(shè)置空 間。通過設(shè)置該應(yīng)力緩和區(qū)域20，從而拉開從產(chǎn)生應(yīng)力的扭桿50至肋11的距離，能夠緩和 對肋11的應(yīng)力，能夠防止肋11的破壞。
另外，如圖3 (A)、(B)所示，應(yīng)力緩和區(qū)域20的平面形狀最好是從扭桿50向鏡反 射面10逐漸擴(kuò)展的形狀。這是因?yàn)?，?yīng)力緩和區(qū)域20為了緩和在扭桿50上產(chǎn)生的應(yīng)力， 需要在某種程度上寬的空間，但即使為從扭桿50急劇向橫向擴(kuò)展的長方形之類的形狀，也 由于應(yīng)力自身不會向橫向傳遞，因上述的慣性矩的產(chǎn)生而對旋轉(zhuǎn)(擺動)也給予壞影響。如 果為如圖3 (A)、(B)那樣逐漸擴(kuò)展的形狀，則能夠使應(yīng)力分散，并且也不會對擺動產(chǎn)生壞影 響。
另外，如圖3 (A)、(B)所示，應(yīng)力緩和區(qū)域20的端部21的平面形狀優(yōu)選為曲線。 扭桿50由于進(jìn)行扭轉(zhuǎn)運(yùn)動，因此在端部21也產(chǎn)生應(yīng)力，而若包含具有角的端部形狀，則在 角部容易集中應(yīng)力，容易導(dǎo)致破損。因而，通過使應(yīng)力緩和區(qū)域20的端部21為R形狀，從 而能夠防止這種應(yīng)力集中引起的破損。另外，應(yīng)力緩和區(qū)域20的端部21只要不包含角部， 則也可以包含直線部分。這是因?yàn)椋绻本€部分不構(gòu)成角部，則不會在此集中應(yīng)力。
圖4是表示實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的鏡部40的鏡反射面10與應(yīng)力緩和區(qū)域20 的尺寸關(guān)系的圖。
在圖4中，設(shè)鏡反射面10的尺寸縱向?yàn)镸V，橫向?yàn)镸H，設(shè)鏡部40的尺寸縱向?yàn)?DV，橫向?yàn)镈H，則MHhDH、MV〈DV。即，在橫向上鏡反射面10與鏡部40的外形大致相等， 在縱向上鏡部40的外形大于鏡反射面10的外形。另外，如圖4所示，鏡反射面10的外形 為圓形，而鏡部40的外形近似于橢圓。
另外，在應(yīng)力緩和區(qū)域20的MV以上 DV以下的范圍設(shè)置有狹縫30。通過設(shè)置狹 縫30，能夠使傳遞給應(yīng)力緩和區(qū)域20的應(yīng)力進(jìn)一步分散，而關(guān)于這點(diǎn)以下進(jìn)行說明。
圖5是用于說明在實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的應(yīng)力緩和區(qū)域20所設(shè)置的狹縫30 引起的應(yīng)力緩和效果的圖。在圖5 (A) (D)中，示出了從扭桿50施加于應(yīng)力緩和區(qū)域20 及肋11的應(yīng)力的強(qiáng)度分布。
鏡反射面10的肋11具有減少鏡反射面10的翹曲的效果，另一方面，肋11的根部 的L字狀的部分在形狀上容易集中應(yīng)力。尤其，在將本實(shí)施例的光學(xué)掃描裝置構(gòu)成為MEMS (Micro Electro Mechanical System,微機(jī)電系統(tǒng))結(jié)造體的情況下,大多情況下使用在絕 緣氧化膜(一般為SiO2)的兩側(cè)粘貼硅基板的SOI晶片來制作。此時(shí)，由于上述的L字部分 相當(dāng)于絕緣氧化膜與硅基板的粘貼部分，因此通過在鏡反射面10施加垂直的力成分，從而 從該粘貼部分發(fā)生剝離并發(fā)展，以至破損的情況較多。
因此，在本實(shí)施例的光學(xué)掃描裝置中，使旋轉(zhuǎn)軸X方向上的鏡部40的外形與肋11 的距離隔開，通過設(shè)置應(yīng)力緩和區(qū)域20，從而減少在扭桿50產(chǎn)生的力波及肋11的L字狀部分，而通過進(jìn)一步在應(yīng)力緩和區(qū)域20設(shè)置狹縫30，從而使波及上述L字狀部分的垂直方向 的力成分分散在多個(gè)部位。
圖5 (A)是表示未在應(yīng)力緩和區(qū)域20設(shè)置狹縫30時(shí)的應(yīng)力強(qiáng)度分布的圖。在圖 5 (A)中，在扭桿50產(chǎn)生的應(yīng)力越遠(yuǎn)離扭桿50越小，到達(dá)肋11的應(yīng)力小于在扭桿50產(chǎn)生 的應(yīng)力。這是由于在應(yīng)力緩和區(qū)域20緩和了應(yīng)力?？墒?，到達(dá)肋11的應(yīng)力集中在位于扭 桿50的延長線上的旋轉(zhuǎn)軸X (在圖5中未圖示)上。
圖5 (B)是表示在應(yīng)力緩和區(qū)域20設(shè)置狹縫30時(shí)的應(yīng)力強(qiáng)度分布的圖。在圖5 (B)中，將兩個(gè)狹縫30關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸X對稱地且與肋11隔開距離設(shè)置，從而分散應(yīng)力緩和區(qū) 域20內(nèi)的應(yīng)力，到達(dá)肋11的應(yīng)力分散為兩個(gè)狹縫30之間的旋轉(zhuǎn)軸X上的部分與比各狹縫 30靠外側(cè)的兩個(gè)部分共3個(gè)部分。其結(jié)果，到達(dá)肋11的一個(gè)部分的應(yīng)力的大小降低而變 小，能夠防止在肋11的特定部位施加強(qiáng)的應(yīng)力。另外，若狹縫30接近肋11設(shè)置，則用狹縫 30阻斷應(yīng)力的效果不起作用，應(yīng)力直接施加到肋11。因而，狹縫30優(yōu)選與肋11隔開某種 程度的距離而設(shè)置。
圖5 (C)是表示未在應(yīng)力緩和區(qū)域20設(shè)置狹縫30時(shí)的鉛垂方向的應(yīng)力強(qiáng)度分布 的圖。如圖5 (C)所示，在不存在狹縫30時(shí)，在肋11的兩個(gè)部位集中應(yīng)力。另外，與圖5 (A)不同，示出兩個(gè)部位的應(yīng)力集中部位是由于以下原因，通過將應(yīng)力成分限定在鉛垂方向 上進(jìn)行表示，從而用擺動的正與負(fù)分別示出應(yīng)力集中部位。
圖5 (D)是表示在應(yīng)力緩和區(qū)域20設(shè)置狹縫30時(shí)的鉛垂方向的應(yīng)力強(qiáng)度分布的 圖。如圖5 (D)所示可知，在存在狹縫30時(shí)，應(yīng)力分散在不存在狹縫30的部位，在4個(gè)部 位分散有應(yīng)力集中部位。由此，由于被分散的各應(yīng)力的大小變小，因此能夠減小施加于肋11 的應(yīng)力，能夠避免破損。
另外，狹縫30的形狀以接近鏡反射面10的外形的方式構(gòu)成為圓弧狀，但即使是直 線狀或其它的形狀，也能獲得應(yīng)力分散的效果，因此可以根據(jù)用途變更狹縫30的形狀。
如此，通過在鏡部40設(shè)置應(yīng)力緩和區(qū)域20和狹縫30，從而能夠避免鏡部40的破 損，并且能夠提高光學(xué)掃描裝置的壽命。
接著，用圖6及圖7，關(guān)于可動框80的輕量化更詳細(xì)地進(jìn)行說明。
圖6是表示實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的軸的配置的圖。如圖6所示，實(shí)施例1的 光學(xué)掃描裝置構(gòu)成為具有通過扭桿50的水平旋轉(zhuǎn)軸X和垂直于扭桿50且通過鏡反射面10 的中心C的垂直旋轉(zhuǎn)軸Y這兩軸的兩軸光學(xué)掃描裝置。該兩軸光學(xué)掃描裝置的可動框80 具有支持配置于可動框80的內(nèi)側(cè)的水平驅(qū)動梁70高速振動的作用，并且，對于配置于可動 框80的外側(cè)的垂直驅(qū)動部110來說，成為使靈敏度降低的重物。
在這里，由于重物越遠(yuǎn)離垂直旋轉(zhuǎn)軸Y，阻礙運(yùn)動的慣性矩越大，因此減薄肋狀的 可動框80的可動框80的輕量化，對于改善繞垂直旋轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動靈敏度有效。
圖7是實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的可動框的放大立體圖。如圖7所示，在可動框 80的內(nèi)側(cè)構(gòu)成鏡部40的水平驅(qū)動部。在這里，所謂水平驅(qū)動部是指用于水平驅(qū)動鏡部40 的水平驅(qū)動梁70、驅(qū)動源71、連結(jié)部60及扭桿50。通過驅(qū)動水平驅(qū)動部，從而鏡反射面10 以水平旋轉(zhuǎn)軸X為中心擺動。
在可動框80的外側(cè)，如圖1、2及6所示，垂直驅(qū)動梁90以波紋狀曲折地配置，通過 驅(qū)動垂直驅(qū)動部110，從而每個(gè)可動框80繞垂直旋轉(zhuǎn)軸振動。為了使對于垂直驅(qū)動部110來說成為重物的可動框80輕量化，減薄遠(yuǎn)離垂直旋轉(zhuǎn)軸Y的框部。因而，如圖7所示，在遠(yuǎn)離垂直旋轉(zhuǎn)軸Y的可動框80的上邊和下邊的部分形成有多個(gè)減薄部81。
減薄部81不貫穿可動框80而是在中途停止并呈凹狀。另外，減薄部81形成為三角形，并且沿可動框80的延伸方向以三角形的頂點(diǎn)交替朝向外側(cè)的方式配置。由此，可動框80留下的厚壁部82成為沿可動框80的曲折形狀，在沿可動框80的任何部分上也能留下厚壁部82，并且在寬度方向也均勻地留下厚壁部82，因此保持形成有減薄部81的區(qū)域的強(qiáng)度強(qiáng)，能夠保持剛性。
如此，通過將減薄部81構(gòu)成為沿可動框80頂點(diǎn)交替替換的多個(gè)三角形的凹部，從而在留下曲折狀的厚壁部82的同時(shí)，能夠進(jìn)行減薄，能夠在保持強(qiáng)度的同時(shí)進(jìn)行輕量化。
另外，減薄部81既可以不是數(shù)學(xué)上正確的三角形，也可以是角部變圓或者邊為曲線的大致三角形。此時(shí)，厚壁部82也構(gòu)成為大致曲折形狀，在可動框80的延伸方向與寬度方向的任何一個(gè)部位也能大致均勻地留下厚壁部82，因此能夠在實(shí)現(xiàn)輕量化的同時(shí)保持剛性。
另外，減薄部81在本實(shí)施例中舉出僅設(shè)置在與水平旋轉(zhuǎn)軸X的延伸方向一致的區(qū)域即可動框80的上邊和下邊的例子進(jìn)行了說明，但在進(jìn)一步輕量化時(shí)，既可以在其他區(qū)域設(shè)置減薄部81，例如也可以在可動框80的全周設(shè)置減薄部81。這樣，減薄部81能夠根據(jù)用途以各種形狀及配置結(jié)構(gòu)設(shè)置。
接著，用圖8關(guān)于垂直驅(qū)動部110的結(jié)構(gòu)更詳細(xì)地進(jìn)行說明。圖8是用于說明實(shí)施例I的光學(xué)掃描裝置的垂直驅(qū)動部110的結(jié)構(gòu)的圖。
在圖8中，示出了實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置的俯視圖，垂直驅(qū)動部110在一側(cè)具有 4根、即在兩側(cè)共有8根垂直驅(qū)動梁92 99。在垂直驅(qū)動梁92 99之中，在某個(gè)驅(qū)動時(shí)刻施加正轉(zhuǎn)電壓的垂直驅(qū)動梁93、94、97、99上附加〇記號，在施加以將正轉(zhuǎn)電壓上下反轉(zhuǎn)的波形形成的反轉(zhuǎn)電壓的垂直驅(qū)動梁92、94、96、98上附加Λ記號。
正轉(zhuǎn)電壓是在零電壓與最大值電壓(Vmax)的范圍生成的例如由正弦波或鋸齒波等的波形形成的驅(qū)動波形。所謂反轉(zhuǎn)電壓，是最大值電壓(Vmax)的一半(Vmax/2)的電壓， 是由將上述正轉(zhuǎn)電壓波形上下反轉(zhuǎn)而成的波形形成的驅(qū)動波形。另外，在水平軸的驅(qū)動上使用正弦波作為驅(qū)動波形時(shí)，也可以使正轉(zhuǎn)波形的相位偏移180度而獲得反轉(zhuǎn)電壓。
在這里，附加〇記號的左側(cè)的驅(qū)動梁93、95與右側(cè)的驅(qū)動梁97、99關(guān)于鏡反射面 10及可動框80對稱，同樣地，附加Λ記號的左側(cè)的驅(qū)動梁92、94與右側(cè)的驅(qū)動梁96、98也關(guān)于鏡反射面10及可動框80對稱。并且，附加〇記號的正側(cè)的驅(qū)動梁93、95、97、98在可動框80的左側(cè)為兩根，右側(cè)為兩根是相同的數(shù)，同樣地，附加Λ記號的負(fù)側(cè)的驅(qū)動梁92、94、 96,98在可動框80的左側(cè)為2根，右側(cè)為2根是相同的數(shù)。因而，在附加〇記號的驅(qū)動梁 93、95、97、98施加反轉(zhuǎn)電壓，在附加Λ記號的驅(qū)動梁92、94、96、98施加正轉(zhuǎn)電壓時(shí)，在可動框80的左側(cè)與右側(cè)，施加了上下反轉(zhuǎn)的電壓的驅(qū)動梁92 99各為兩根，始終給予可動框 80相同傾斜量的位移。
如此，通過使驅(qū)動梁92 99的數(shù)為偶數(shù)，從而能夠使可動框80向跟前側(cè)的傾斜量與向里側(cè)的傾斜量成為相同的量。一般而言，光學(xué)掃描裝置大多組裝在手機(jī)等小的產(chǎn)品中，根據(jù)與空間等的關(guān)系，有時(shí)也將垂直驅(qū)動梁92 99的數(shù)構(gòu)成為奇數(shù)。此時(shí)，由于可動框80的跟前側(cè)與里側(cè)的傾斜量不同，因此在投影面的尺寸不同時(shí)，投影面的每個(gè)尺寸其投影中心都偏移，從而還產(chǎn)生對光學(xué)掃描裝置的設(shè)置需要進(jìn)行細(xì)致的調(diào)整的情況。
可是，在本實(shí)施例的光學(xué)掃描裝置中，由于垂直驅(qū)動梁92 99設(shè)為偶數(shù)根，因此 即使投影面的尺寸不同，也能使投影中心始終保持一定，即使在用于各種用途或投影面的 尺寸的情況下，也能容易地設(shè)置光學(xué)掃描裝置。
如此，根據(jù)實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置，通過在鏡反射面10與扭桿50之間設(shè)置應(yīng)力 緩和區(qū)域20，從而能夠降低在扭桿50產(chǎn)生的應(yīng)力對鏡反射面10的影響。另外，根據(jù)需要， 通過在應(yīng)力緩和區(qū)域20設(shè)置狹縫30，從而分散應(yīng)力，能夠進(jìn)一步降低對鏡反射面10的影 響。
另外，通過進(jìn)行可動框80的減薄，從而使可動框80輕量化而提高靈敏度，并且，能 夠降低干擾。而且，通過使垂直驅(qū)動梁90的根數(shù)為偶數(shù)，從而能夠使正側(cè)與負(fù)側(cè)的擺動量 相同，能夠容易地設(shè)置光學(xué)掃描裝置。
實(shí)施例2
圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。在圖9中，示出了鏡 反射面10、鏡部41和扭桿50。關(guān)于其它的結(jié)構(gòu)要素，由于與實(shí)施例1相同，因此省略其圖 示及說明。另外，在圖9中，關(guān)于與實(shí)施例1同樣的結(jié)構(gòu)要素，標(biāo)注同一參照符號并省略其 說明。
在圖9中，鏡部41具有鏡反射面10、應(yīng)力緩和區(qū)域22和狹縫31，但狹縫31在一 個(gè)應(yīng)力緩和區(qū)域22僅設(shè)置一個(gè)這一點(diǎn)與實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置不同。如此，狹縫31也 可以僅設(shè)置一個(gè)。此時(shí)，從扭桿50產(chǎn)生的應(yīng)力向狹縫31的兩外側(cè)分散，因此具有應(yīng)力分散 的效果。
另外，在實(shí)施例2的光學(xué)掃描裝置中，也優(yōu)選狹縫31關(guān)于水平旋轉(zhuǎn)軸X對稱地配 置，因此優(yōu)選配置成狹縫31的中心位于水平旋轉(zhuǎn)軸X上。
另外，狹縫31與肋11 (圖9中未圖示)隔開距離配置為宜這一點(diǎn)和狹縫31的形 狀也可以未必為圓弧狀這一點(diǎn)與實(shí)施例1相同。
根據(jù)實(shí)施例2的光學(xué)掃描裝置，能夠以簡單的狹縫形狀，使從扭桿50產(chǎn)生的應(yīng)力 分散，防止肋11的破損。
實(shí)施例3
圖10是表示本發(fā)明的實(shí)施例3的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。在圖10中，示出了 鏡反射面10、鏡部42和扭桿50，而關(guān)于其它的結(jié)構(gòu)要素，由于與實(shí)施例1相同，因此省略其 圖示及說明。另外，在圖10中，關(guān)于與實(shí)施例1同樣的結(jié)構(gòu)要素，標(biāo)注同一參照符號并省略 其說明。
在實(shí)施例3的光學(xué)掃描裝置中，鏡部42的各應(yīng)力緩和區(qū)域23具有3個(gè)狹縫32、 33、34這一點(diǎn)與實(shí)施例1及2的光學(xué)掃描裝置不同。如此，使狹縫32、33、34增加為3個(gè)，也 可以進(jìn)一步分散應(yīng)力。
在實(shí)施例3的光學(xué)掃描裝置中，配置成狹縫33位于水平旋轉(zhuǎn)軸X上，狹縫32和狹 縫34關(guān)于水平旋轉(zhuǎn)軸X成線對稱。由此，能夠使應(yīng)力大致均勻地分散。另外，在扭桿50產(chǎn) 生的應(yīng)力利用狹縫32 34分散為4個(gè)部分。
另外，狹縫32 34與肋11 (圖10中未圖示)隔開距離配置為宜這一點(diǎn)和狹縫 32 34的形狀也可以未必為圓弧狀這一點(diǎn)與實(shí)施例1、2相同。
實(shí)施例4
圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。在圖11中，示出了 鏡反射面10、鏡部43和扭桿50，而關(guān)于其它的結(jié)構(gòu)要素，由于與實(shí)施例1相同，因此省略其 圖示及說明。另外，在圖11中，關(guān)于與實(shí)施例1同樣的結(jié)構(gòu)要素，標(biāo)注同一參照符號并省略 其說明。
在實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置中，鏡部43的各應(yīng)力緩和區(qū)域24具有4個(gè)狹縫35、36、 37,38這一點(diǎn)與實(shí)施例1至3的光學(xué)掃描裝置不同。另外，在水平旋轉(zhuǎn)軸X上不存在狹縫 35 38這一點(diǎn)與實(shí)施例2及3的光學(xué)掃描裝置不同。如此，也可以構(gòu)成為在使狹縫35 38進(jìn)一步增加為4個(gè)的同時(shí)，不在水平旋轉(zhuǎn)軸X上配置狹縫35 38的結(jié)構(gòu)。由于不在水 平旋轉(zhuǎn)軸X上配置狹縫35 38，從而能夠?qū)⑴U50繞水平旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)力可靠地傳遞給 鏡反射面10。
在實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置中，利用4個(gè)狹縫35 38，能夠?qū)⒃谂U50產(chǎn)生的應(yīng) 力分散為5個(gè)部分。另外，由于狹縫35與狹縫38、狹縫36與狹縫37關(guān)于水平旋轉(zhuǎn)軸X線 對稱地配置，因此能夠使應(yīng)力大致均勻地進(jìn)行分散。另外，通過使狹縫35 38為偶數(shù)，不 在水平旋轉(zhuǎn)軸X上配置狹縫35 38，因此對于繞水平旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)力，不使其減少而直接 傳遞給鏡反射面10，可使靈敏度保持高靈敏度。
另外，狹縫35 38與肋11 (圖11中未圖示)隔開距離配置為宜這一點(diǎn)和狹縫 35 38的形狀也可以未必為圓弧狀這一點(diǎn)與實(shí)施例1、2相同。
根據(jù)實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置，能夠在將靈敏度保持為高靈敏度的同時(shí)，使應(yīng)力 細(xì)小地分散，能夠使光學(xué)掃描裝置長壽命化。
以上，關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例詳細(xì)進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于上述的實(shí)施例， 不脫離本發(fā)明的范圍而能夠?qū)ι鲜鰧?shí)施例加以各種變形及置換。產(chǎn)業(yè)上的可用性如下。
本發(fā)明能夠利用于投影儀等圖像投影裝置。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)掃描裝置，從兩側(cè)利用扭桿支撐具有鏡反射面的鏡部，并使該鏡部以該扭桿為軸擺動，從而使由上述鏡反射面反射的光進(jìn)行掃描，其特征在于，上述鏡部在通過上述鏡反射面的中心且垂直于上述軸的垂直軸和上述鏡反射面的端點(diǎn)的交點(diǎn)與上述扭桿之間，具有緩和由上述扭桿的扭轉(zhuǎn)運(yùn)動產(chǎn)生的應(yīng)力的應(yīng)力緩和區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述應(yīng)力緩和區(qū)域具有從上述扭桿向上述鏡反射面逐漸擴(kuò)展的平面形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述應(yīng)力緩和區(qū)域的端部不包含角部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述應(yīng)力緩和區(qū)域具有狹縫。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述狹縫配置成關(guān)于上述軸對稱。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的光學(xué)掃描裝置,其特征在于，上述狹縫具有多個(gè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述狹縫具有偶數(shù)個(gè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求4至7中任一項(xiàng)所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述狹縫具有圓弧狀的形狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，在上述鏡反射面的背面形成有肋。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述狹縫與上述肋隔開距離設(shè)置。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述扭桿設(shè)置于上述鏡部的周圍，并且與具有使上述鏡部繞上述軸擺動的驅(qū)動源的水平驅(qū)動梁連結(jié)，該水平驅(qū)動梁與包圍周圍且具有與上述肋相同厚度的可動框連結(jié)，在該可動框上設(shè)有具有與上述驅(qū)動梁相同厚度的減薄部。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述減薄部僅設(shè)置在與上述軸的延伸方向一致的區(qū)域。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述減薄部為凹部，并且在上述可動框上設(shè)置多個(gè)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述凹部為大致三角形狀，以未形成上述凹部的具有與上述肋相同厚度的部分沿上述可動框形成曲折形狀的方式，頂點(diǎn)的方向沿上述可動框交替配置。
15.根據(jù)權(quán)利要求11至14中任一項(xiàng)所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于，上述可動框與垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)連結(jié)，該垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)從兩側(cè)支撐上述可動框，并使上述可動框繞與上述軸垂直的上述垂直軸擺動，該垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有在與上述軸平行地配置的多個(gè)矩形的梁上分別設(shè)有驅(qū)動源的多個(gè)垂直驅(qū)動梁，該垂直驅(qū)動梁的一端連結(jié)于位于內(nèi)側(cè)的該垂直驅(qū)動梁或上述可動框的一端，另一端連結(jié)于位于外側(cè)的該垂直驅(qū)動梁的一端或支撐上述垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)的支架，并且該垂直驅(qū)動梁作為整體以曲折的方式連結(jié)，上述垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)包含偶數(shù)個(gè)上述垂直驅(qū)動梁。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的光學(xué)掃描裝置,其特征在于，上述驅(qū)動源為壓電元件。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種光學(xué)掃描裝置，能夠緩和施加于鏡部的應(yīng)力，減少破損和材料疲勞。光學(xué)掃描裝置從兩側(cè)利用扭桿(50)支撐具有鏡反射面(10)的鏡部(40～43)，使該鏡部以該扭桿(50)為軸(X)擺動，從而使由上述鏡反射面(10)反射的光進(jìn)行掃描，其特征在于，上述鏡部(40～43)在通過上述鏡反射面(10)的中心且垂直于上述軸(X)的垂直軸(Y)和上述鏡反射面(10)的端點(diǎn)的交點(diǎn)與上述扭桿(50)之間，具有緩和由上述扭桿(50)的扭轉(zhuǎn)運(yùn)動產(chǎn)生的應(yīng)力的應(yīng)力緩和區(qū)域(20、22～24)。
文檔編號G02B26/10GK103033931SQ20121036772
公開日2013年4月10日 申請日期2012年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月3日
發(fā)明者田中豐樹, 山田司, 西山隆彥 申請人:三美電機(jī)株式會社