專利名稱：一種深紫外化學(xué)增幅型正性光致抗蝕劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光材料領(lǐng)域，尤其涉及一種深紫外化學(xué)增幅型正性光致抗蝕劑。
背景技術(shù)：
“化學(xué)增幅”的概念是80年代初IBM公司的伊藤(Ito)等人最先提出的。作為一種新型光致抗蝕劑，化學(xué)增幅抗蝕劑與原有光致抗蝕劑不同。原有光致抗蝕劑在曝光時每吸收一個光子最多發(fā)生一次交聯(lián)或分解反應(yīng)，效率較低，而化學(xué)增幅抗蝕劑一般由光產(chǎn)酸劑(PAG,Photoacid Generator)和酸敏成膜樹脂組成,在曝光時光產(chǎn)酸劑分解出強酸,催化酸敏樹脂的分解或交聯(lián)，由于催化劑在反應(yīng)中可以循環(huán)使用，因此效率很高。248nm光致抗蝕劑是最早應(yīng)用“化學(xué)增幅”概念的抗蝕劑，一般采用聚對羥基苯乙烯的衍生物作為成膜樹 月旨，芳基碘鎗鹽或硫鎗鹽為光致產(chǎn)酸劑。通常要求成膜樹脂在248nm處要具有較高的透明性，聚對羥基苯乙烯及其衍生物本身在248nm處透明性較好，但是如果聚合物中含有雜質(zhì)，樹脂的透明性大大降低，因此，這種光致抗蝕劑對聚對羥基苯乙烯純度的要求較高，制作工藝復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種具有良好的感度的深紫外化學(xué)增幅型正性光致抗蝕劑。本發(fā)明的深紫外化學(xué)增幅型正性光致抗蝕劑，包括環(huán)戊烯海松酸、二乙烯基醚，光產(chǎn)酸劑和有機溶劑，所述環(huán)戊烯海松酸的結(jié)構(gòu)式如下
權(quán)利要求
1.一種正性光致抗蝕劑，包括環(huán)戊烯海松酸、二乙烯基醚、光產(chǎn)酸劑和有機溶劑，所述環(huán)戊烯海松酸的結(jié)構(gòu)式如下
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述二乙烯基醚為乙二醇二乙烯基醚、丙二醇二乙烯基醚、丁二醇二乙烯基醚、二乙二醇二乙烯基醚、1，3-二乙烯氧基乙氧基苯、I-甲基-1,2-二乙烯氧基乙烷或1，7-二乙烯氧基乙氧基萘。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述光產(chǎn)酸劑選自三苯基硫鎗三氟甲磺酸鹽、S- (2-萘甲酰)甲基四氫噻吩鎗三氟甲磺酸鹽、三(4-甲基苯基)硫鎗三氟甲磺酸鹽、七氟丙烷磺酸鹽、(4-甲基苯基)二苯基三氟甲磺酸鹽、(對-叔-丁基苯基)二苯基硫鎗三氟甲磺酸鹽和三(對-叔-丁基苯基)硫鎗三氟甲磺酸鹽中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述有機溶劑選自丙酮、甲基乙基酮、環(huán)己酮、乙二醇乙醚、乙二醇一乙酸酯、二甘醇、丙二醇、丙二醇一乙酸酯、乳酸甲酯、丙二醇甲醚醋酸酯和乙二醇甲醚醋酸酯中的至少一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述環(huán)戊烯海松酸和所述二乙烯基醚的摩爾比范圍為5:4 1:2。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述環(huán)戊烯海松酸和所述二乙烯基醚的摩爾比范圍為1:廣2:3。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述光產(chǎn)酸劑的質(zhì)量為所述環(huán)戍烯海松酸與所述二乙烯基醚質(zhì)量總和的O. 5°/Γ5%。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述光產(chǎn)酸劑的質(zhì)量為所述環(huán)戊烯海松酸與所述二乙烯基醚質(zhì)量總和的I. 09Γ3. 0%。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述光產(chǎn)酸劑、環(huán)戊烯海松酸和二乙烯基醚的質(zhì)量總和為所述有機溶劑質(zhì)量的10°/Γ35%。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述光產(chǎn)酸劑、環(huán)戊烯海松酸和二乙烯基醚的質(zhì)量總和為所述有機溶劑質(zhì)量的1(Γ30%。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于，所述環(huán)戊烯海松酸按照如下方法制備 將脂松香加熱至21(T250°C，氮氣氣氛下滴加環(huán)戊烯酸，滴加完畢后，在21(T250°C的條件下繼續(xù)反應(yīng)，反應(yīng)完成后得到環(huán)戊烯海松酸粗產(chǎn)物，將所述粗產(chǎn)物用四氯化碳、三氯甲烷、丙酮、環(huán)己酮或乙醚洗滌，得到環(huán)戊烯海松酸。
12.—種環(huán)戊烯海松酸，其結(jié)構(gòu)式如下
全文摘要
本發(fā)明公開了一種深紫外化學(xué)增幅型正性光致抗蝕劑。本發(fā)明的深紫外化學(xué)增幅型正性光致抗蝕劑包括環(huán)戊烯海松酸、二乙烯基醚、光產(chǎn)酸劑和有機溶劑。本發(fā)明的深紫外化學(xué)增幅型正性光致抗蝕劑具有良好的感度和良好的透明性。
文檔編號G03F7/039GK102929102SQ201210429479
公開日2013年2月13日 申請日期2012年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月31日
發(fā)明者劉陸, 薛建設(shè), 惠官寶 申請人:京東方科技集團股份有限公司