專利名稱：光學(xué)元件支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)系統(tǒng)所具備的光學(xué)元件支架，該光學(xué)元件支架以能夠調(diào)整反射鏡等光學(xué)元件的傾斜活動角度的方式對反射鏡等光學(xué)元件進(jìn)行保持。
背景技術(shù)：
一般情況下，在干涉儀或其他光學(xué)裝置中配置有對激光等光進(jìn)行反射且改變光路的反射鏡，并公知有以下的反射鏡支架，即為了使該反射鏡以適當(dāng)?shù)慕嵌确瓷涔舛阅軌蛘{(diào)整其傾斜活動角度的狀態(tài)對反射鏡進(jìn)行保持(參照專利文獻(xiàn)1、2)。上述專利文獻(xiàn)1、2記載的反射鏡支架1，如圖4 Ca)和(b)所示，將具有用于安裝于防振臺等基座的安裝部亦即固定軸2的主體3、和一體地保持反射鏡5的反射鏡保持部件6相對置地配置，通過克服配置在上述主體3及反射鏡保持部件6之間的拉伸螺旋彈簧7的作用力而使調(diào)整螺栓8、8進(jìn)退，從而以支點(diǎn)部9為中心來調(diào)整反射鏡5相對于上述主體3的傾斜活動角。專利文獻(xiàn)I :日本特表2002-506998號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2002-21835號公報(bào)然而，在上述專利文獻(xiàn)1、2記載的裝置中存在以下問題，即反射鏡5的反射面5a與固定軸2偏置規(guī)定量e，因此在裝置的設(shè)定時(shí)需要算出反射鏡的固定位置，并且對于設(shè)置時(shí)的反射鏡的傾斜活動角的調(diào)整也需要花費(fèi)很多調(diào)整工時(shí)。另外，為了消除這樣的反射鏡與安裝部的偏置，雖然考慮在基座與反射鏡支架之間增加板，并通過將反射鏡支架以只錯(cuò)開上述規(guī)定量e的方式固定在該板上從而消除偏置的方法，但是光軸增高與板的厚度相應(yīng)的量從而穩(wěn)定性降低 ,并且伴隨著大型化和高成本化。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種不增加部件而消除固定軸和光學(xué)元件相對于基座的偏置，解決上述課題的光學(xué)元件支架。本發(fā)明的光學(xué)元件支架，其特征在于，具備主體(12)，其具有用于向基座安裝的安裝部(11)；光學(xué)元件保持部件(15)，其與上述主體(12)對置配置，一體地保持光學(xué)元件(13)；支點(diǎn)部(27)，其將上述光學(xué)元件保持部件(15)支承為相對于上述主體(12)傾斜自如；調(diào)整螺栓(29、29)，其與上述光學(xué)元件保持部件(15)以及上述主體(12)的任一方螺紋接合，且前端(29a、29a)與另一方抵接，來調(diào)整上述光學(xué)元件保持部件(15)相對于上述主體(12)的傾斜活動角；以及施力部件(30、30)，其通過施力而使上述光學(xué)元件保持部件(15)和上述主體(12)經(jīng)由上述支點(diǎn)部(27)及上述調(diào)整螺栓(29、29)而抵接，
以使上述光學(xué)元件(13)位于上述安裝部(11)的中心線的延長線(a-a)上的方式配置上述安裝部(11)和上述光學(xué)元件保持部件(15 )。例如參照圖1 (f)，上述光學(xué)元件是反射鏡(13)，上述反射鏡(13)的反射面(13a)實(shí)質(zhì)上位于上述安裝部(11)的中心線的延長線(a~a)上。例如參照圖1，上述安裝部(11)和上述施力部件(30、30)以使上述光學(xué)元件(13)位于它們中間的方式分別配置在相對于所述光學(xué)元件的相反側(cè)。例如參照圖1，上述主體(12)從正面觀察時(shí)由矩形狀形成，在其中央部具有圓筒狀的孔(16)，并且相對于上述矩形狀的對角線而在一側(cè)形成薄壁部(17)，上述光學(xué)元件保持部件(15)具有:以與上述薄壁部(17)對置的方式配置的板狀部(20)、和以嵌入上述圓筒狀的孔(16)的方式保持上述光學(xué)元件(13)的圓筒部(21)，上述主體(12)與上述光學(xué)元件保持部件(15)組合而構(gòu)成長方體形狀，在上述主體(12)的薄壁部(17)以外的厚壁部分(19)配置上述安裝部(11)。例如參照圖 1 (a)或(b)，上述調(diào)整螺栓(29、29)與上述主體(12)螺紋接合。此外，上述括號內(nèi)的附圖標(biāo)記是與附圖對照的標(biāo)記，但不對權(quán)利要求書記載的結(jié)構(gòu)造成影響。根據(jù)技術(shù)方案I的本發(fā)明，由于光學(xué)元件配置在安裝于基座的安裝部的中心線的延長線上，安裝部與光學(xué)元件的光路上的設(shè)置位置一致，因此在光學(xué)裝置的設(shè)定時(shí)無需算出光學(xué)元件的固定位置、無需進(jìn)行光路計(jì)算，并且光學(xué)元件的傾斜活動角的調(diào)整工時(shí)也可以較少，因此能夠簡便地將光學(xué)元件配置于光學(xué)裝置。另外，由于在主體的安裝部直接安裝于基座，因此能夠在保持小型、低光軸且高穩(wěn)定度的狀態(tài)下，配置光學(xué)元件。根據(jù)技術(shù)方案2的本發(fā)明，由于反射鏡的反射面實(shí)質(zhì)上位于安裝部的中心線的延長線上，安裝部與反射鏡的反射面在光路上的設(shè)置位置一致，因此在光學(xué)裝置的設(shè)定時(shí)無需算出反射鏡的固定位置、無需進(jìn)行光路計(jì)算，并且反射鏡的傾斜活動角的調(diào)整工時(shí)也可以較少，能夠簡便地將反射鏡配置于光學(xué)裝置。根據(jù)技術(shù)方案3的本發(fā)明，由于安裝部和施力部件以使光學(xué)元件位于中間的方式配置在相反側(cè)，因此安裝部與施力部件不會相互干涉，從而能夠使裝置小型化。根據(jù)技術(shù)方案4的本發(fā)明，由于將主體的薄壁部與光學(xué)元件保持部件的板狀部對置配置，并且在主體的薄壁部以外的厚壁部分配置有安裝部，因此光學(xué)元件支架整體為由長方體形狀構(gòu)成的緊湊的結(jié)構(gòu)。通過將光學(xué)元件支架小型化，由此光學(xué)元件被配置于靠近基座的位直，從而能夠提聞穩(wěn)定性。根據(jù)技術(shù)方案5的本發(fā)明，由于調(diào)整螺栓與主體螺紋接合，因此調(diào)整螺栓的質(zhì)量作用于主體，從而能夠穩(wěn)定地保持光學(xué)元件的傾斜活動角。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的反射鏡支架的示意圖，Ca)是主視圖，(b)是左側(cè)視圖，(C)是俯視圖，(d)是后視圖，(f)是圖1 (a)的A-A劑視圖，圖1 (e)是仰視圖。圖2是表示將本發(fā)明的實(shí)施方式的反射鏡支架固定于桿的狀態(tài)的圖，Ca)是主視圖，(b)是圖2 (a)的B-B剖視圖。
圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的反射鏡支架被螺栓固定的狀態(tài)的圖，(a)主視圖，(b)是圖3 Ca)的C-C剖視圖。圖4是表示以往的反射鏡支架的圖，Ca)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。附圖標(biāo)記說明10…反射鏡支架(光學(xué)兀件支架)；11…安裝部；12···主體；13…反射鏡(光學(xué)元件)；15…反射鏡保持部件(光學(xué)元件保持部件)；16…孔；17…薄壁部；19···厚壁部分;20…板狀部;21…圓筒部；27…支點(diǎn)部；29、29…調(diào)整螺栓；29a、29a…前端；30、30…拉伸螺旋彈簧(施力部件)；a_a…中心線的延長線
具體實(shí)施例方式以下，根據(jù)附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。如圖I所示，反射鏡支架(光學(xué)元件支架)10具備主體12，其具有用于安裝于例如干涉儀的防振臺等基座(未圖示)的安裝部11 ;反射鏡保·持部件(光學(xué)元件保持部件)15，其與上述主體12對置配置，一體地保持作為光學(xué)元件的反射鏡13。上述主體12從正面觀察形成為矩形狀，在其中央部具有圓筒狀的孔16，并且構(gòu)成為包括相對于上述矩形形狀的對角線而配置于一側(cè)，且被切為大致直角三角形狀的薄壁部17 ;和該薄壁部17以外的厚壁部分19。此外，上述大致直角三角形狀并不限定于標(biāo)準(zhǔn)的三角形，而是包括變形的五邊形等形狀，該變形的五邊形等形狀包括夾著從正面觀察時(shí)矩形狀的一個(gè)角部的兩條邊、和該兩條邊的前端的角部分，并且將剩下的一個(gè)角部一側(cè)作為厚壁部分留下并切削后形成的。上述反射鏡保持部件15在正面觀察或俯視觀察時(shí)，具備大致三角形狀的板狀部
20、和與該板狀部20 —體形成且向背面方向延伸的圓筒部21。在上述板狀部20的與上述圓筒部21相反側(cè)形成有孔22，該孔22具有對圓周切去一部分而形成的錐狀的擴(kuò)展面22a，該孔22的上述擴(kuò)展面22a側(cè)形成為階梯部22b，與上述圓筒部21連接。在上述圓筒部21的上部沿軸向突出設(shè)置有具有內(nèi)螺紋23的凸部25。上述反射鏡13嵌合于上述圓筒部21，并且將其反射面13a側(cè)定位于上述階梯部22b，進(jìn)而借助與上述內(nèi)螺紋23螺紋接合的固定螺栓26而被固定于上述反射鏡保持部件15。對于上述主體12和上述反射鏡保持部件15而言，上述反射鏡保持部件15的圓筒部21嵌入上述主體12的圓筒狀的孔16，并且以與上述主體12的薄壁部17對置的方式配置有上述反射鏡保持部件15的板狀部20，整體構(gòu)成為從正面觀察時(shí)由大致正方形形成的長方體形狀。在上述薄壁部17和板狀部20的直角三角形的頂角(直角)部分配置有支點(diǎn)部27,該支點(diǎn)部27將上述反射鏡保持部件15支承為相對于上述主體12傾斜活動自如,并且該支點(diǎn)部27構(gòu)成為，例如在上述主體12和反射鏡保持部件15形成由擂缽形狀構(gòu)成的相互對置配置的凹部，且在該凹部夾持球的結(jié)構(gòu)。在上述主體12的薄壁部17的夾著頂角部分的兩邊的離開上述頂角部分的一側(cè)的角部分，從上述反射鏡保持部件15的相反側(cè)螺紋接合有調(diào)整螺栓29、29，其中上述頂角部分配置有上述支點(diǎn)部27，上述調(diào)整螺栓29、29的前端29a、29a與上述反射鏡保持部件15的上述板狀部20抵接并進(jìn)行按壓。在從正面觀察或背面觀察時(shí)(參照圖I (d) (b))，在上述支點(diǎn)部27與上述調(diào)整螺栓29、29之間，配置有拉伸螺旋彈簧(施力部件)30、30，它們對上述主體12和上述反射鏡保持部件15施力，以使上述主體12和上述反射鏡保持部件15經(jīng)由上述支點(diǎn)部27以及上述調(diào)整螺栓29、29而抵接。在上述主體12的厚壁部分19配置有用于向基座安裝的上述安裝部11、11，兩個(gè)安裝部11、11以安裝于水平方向和垂直方向兩方的方式設(shè)置，它們的中心線的延長線在上述反射鏡13的中心D正交。上述安裝部11、11在從正面觀察或背面觀察時(shí)(參照圖1 (d)(b))，以使上述反射鏡13位于中間的方式配置在與上述拉伸螺旋彈簧30、30相反的一側(cè)。上述安裝部11、11與拉伸螺旋彈簧30、30互不干涉，且上述主體12與上述反射鏡保持部件15組合而整體構(gòu)成為長方體形狀，與此相互作用能夠使反射鏡支架10小型化，伴隨著小型化上述反射鏡13配置在離基座近的位置，因此能夠穩(wěn)定地保持上述反射鏡13。上述反射鏡13的反射面13a的中心D配置為實(shí)質(zhì)位于上述安裝部11的中心線的延長線a-a上，反射面13a的光的反射位置實(shí)質(zhì)上位于安裝部11的中心線的延長線a_a上(參照圖1 (f))。本實(shí)施方式由于由以上的結(jié)構(gòu)形成，因此對于反射鏡支架10而言，拉伸螺旋彈簧30,30對反射鏡保持 部件15向與主體12螺紋接合的調(diào)整螺栓29、29的前端29a、29a以及支點(diǎn)部27施力，主體12在這些3點(diǎn)支承反射鏡保持部件15。當(dāng)將安裝于反射鏡保持部件15的反射鏡13的反射面13a相對于調(diào)整螺栓29、29垂直的狀態(tài)設(shè)為中立位置時(shí)，在反射鏡13位于該中立位置的狀態(tài)下，如圖2所示，反射鏡支架10通過從下方將桿31與安裝部11螺紋接合而固定，或者如圖3所示，借助安裝螺栓32從上方安裝于各種光學(xué)裝置的基座，從而配置在光學(xué)裝置的光路上。在該狀態(tài)下，由于反射鏡13的反射面13a的中心D位于安裝部11、桿31、或安裝螺栓32的中心線的延長線a-a上，因此安裝部11與反射鏡13的反射面13a的設(shè)置位置處于光路上的同一平面。接下來，克服拉伸螺旋彈簧30、30的作用力，使與主體12螺紋接合的調(diào)整螺栓29、29旋轉(zhuǎn)來按壓反射鏡保持部件15的板狀部20，并以支點(diǎn)部27為支點(diǎn)將反射鏡保持部件15和反射鏡13相對于主體12的傾斜活動角調(diào)整至所希望的角度。即使反射鏡13的傾斜活動角從上述中立位置變更，由于反射鏡13的反射面13a的中心D相對于安裝部11的中心線的延長線a-a的移動很微小，上述延長線a-a與中心D近似位于同軸上，另外，通過2根調(diào)整螺栓29、29相互的進(jìn)退位置，能夠使安裝部11與反射面13a的中心D的位置位于同軸上。因此，即使是反射鏡13相對于主體12的傾斜活動角從上述中立位置變更，由于安裝部11的中心線的延長線a-a位于反射鏡13的反射面13a的中心D附近，因此無需算出光學(xué)裝置的設(shè)定時(shí)反射鏡13的固定位置、無需進(jìn)行光路計(jì)算，因此能夠簡便地將光學(xué)元件配置于光學(xué)裝置，并且容易進(jìn)行反射鏡支架10的反射鏡13的傾斜活動角的調(diào)整。此外，上述反射鏡保持部件15并不限于保持反射鏡13，也可以保持透鏡、棱鏡、光學(xué)過濾器等其他光學(xué)元件，例如在凸透鏡的情況下，以其中心面與上述反射鏡的反射面的位置對應(yīng)的方式配置。另外，雖然上述實(shí)施方式是將調(diào)整螺栓29、29與主體12螺紋接合來配置，但是也可以將上述調(diào)整螺栓29、29與反射鏡保持部件15螺紋接合，以使前端與主體12抵接而對反射鏡保持部件15合反射鏡13的傾斜活動角進(jìn)行自如調(diào)整的方式設(shè)置。另外，作為將反射鏡保持部件15向主體12施力的單元，也可以不配置拉伸螺旋彈簧30、30，而是在主體12和反射鏡保持部件15分別配置相互吸附的磁石。
另外，上述薄壁部17以及與該薄壁部17對置配置的板狀部20不限于直角三角形狀，例如配置有上述支點(diǎn)部27的頂角部分的對邊側(cè)可以不是直線狀，而是階梯形或曲線形，只要上述主體12與上述反射鏡 保持部件15組合成為大致長方體形狀，則可以是任何形狀。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)元件支架，其特征在于，具備: 主體，其具有用于向基座安裝的安裝部； 光學(xué)元件保持部件，其與所述主體對置配置，一體地保持光學(xué)元件； 支點(diǎn)部，其將所述光學(xué)元件保持部件支承為相對于所述主體傾斜自如； 調(diào)整螺栓，其與所述光學(xué)元件保持部件以及所述主體的任一方螺紋接合，且前端與另一方抵接，來調(diào)整所述光學(xué)元件保持部件相對于所述主體的傾斜活動角；以及 施力部件，其通過施力而使所述光學(xué)元件保持部件和所述主體經(jīng)由所述支點(diǎn)部及所述調(diào)整螺栓而抵接， 以使所述光學(xué)元件位于所述安裝部的中心線的延長線上的方式配置所述安裝部和所述光學(xué)元件保持部件。
2.根據(jù)權(quán)利要 求1所述的光學(xué)元件支架，其特征在于， 所述光學(xué)元件是反射鏡， 所述反射鏡的反射面實(shí)質(zhì)上位于所述安裝部的中心線的延長線上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)元件支架，其特征在于， 所述安裝部和所述施力部件以使所述光學(xué)元件位于它們中間的方式分別配置在相對于所述光學(xué)元件的相反側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求廣3中任一項(xiàng)所述的光學(xué)元件支架，其特征在于， 所述主體從正面觀察時(shí)由矩形狀形成，在其中央部具有圓筒狀的孔，并且相對于所述矩形狀的對角線而在一側(cè)形成薄壁部， 所述光學(xué)元件保持部件具有:以與所述薄壁部對置的方式配置的板狀部、和以嵌入所述圓筒狀的孔的方式保持所述光學(xué)元件的圓筒部， 所述主體與所述光學(xué)元件保持部件組合而構(gòu)成長方體形狀， 在所述主體的薄壁部以外的厚壁部分配置所述安裝部。
5.根據(jù)權(quán)利要求廣4中任一項(xiàng)所述的光學(xué)元件支架，其特征在于， 所述調(diào)整螺栓與所述主體螺紋接合。
全文摘要
本發(fā)明提供的光學(xué)元件支架，能夠消除光學(xué)元件與向基座安裝的安裝部的偏置，無需算出裝置設(shè)定時(shí)光學(xué)元件的固定位置，并且設(shè)置時(shí)的調(diào)整工時(shí)少，小型、穩(wěn)定性高。將主體(12)的薄壁部(17)與光學(xué)元件保持部件(15)的板狀部(20)對置配置，并且將保持反射鏡等光學(xué)元件(13)的圓筒部21嵌入到主體(12)的圓筒狀的孔(16)。用于將主體(12)安裝于基座的安裝部(11)被配置成使光學(xué)元件(13)位于其中心線的延長線(a-a)上。
文檔編號G02B7/198GK103246043SQ201210539188
公開日2013年8月14日 申請日期2012年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月8日
發(fā)明者谷內(nèi)秀夫, 干場克宣 申請人:西格瑪光機(jī)株式會社