垂直式光波導(dǎo)及其制造方法
【專利摘要】一種垂直式光波導(dǎo)，其包括一個(gè)基底，在該基底的頂面上垂直于該頂面開設(shè)有一個(gè)第一凹槽及一個(gè)第二凹槽，該第一凹槽的延伸方向與該第二凹槽的延伸方向互相平行，該第一凹槽與該第二凹槽之間形成一個(gè)突起部，該突起部上擴(kuò)散有鈦金屬。該突起部的兩側(cè)均垂直于頂面，相對(duì)于脊型結(jié)構(gòu)兩側(cè)更加平整，光遇到不容易被散射掉，提高了光的利用率。另，本發(fā)明還涉及一種垂直式光波導(dǎo)的制造方法。
【專利說明】垂直式光波導(dǎo)及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種垂直式光波導(dǎo)及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]光波導(dǎo)作為光電元件中較為常見的元件可以有效傳遞光信號(hào)。目前由于脊型光波導(dǎo)較比平面光波導(dǎo)的光損耗小而被廣泛使用。但是如果被制造出來的脊型光波導(dǎo)的脊型頂面及兩側(cè)不平整，光遇到也會(huì)被散射，從而無法將光損耗降到更低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，有必要提供一種有效降低光損耗的垂直式光波導(dǎo)及其制造方法。
[0004]—種垂直式光波導(dǎo),其包括一個(gè)基底,在該基底的頂面上垂直于該頂面開設(shè)有一個(gè)第一凹槽及一個(gè)第二凹槽，該第一凹槽的延伸方向與該第二凹槽的延伸方向互相平行，該第一凹槽與該第二凹槽之間形成一個(gè)突起部，該突起部上擴(kuò)散有鈦金屬。
[0005]一種垂直式光波導(dǎo)的制造方法，其包括以下步驟:提供一個(gè)基底；在該基底上垂直于該基底的頂面切割出第一凹槽及第二凹槽，該第一凹槽與該第二凹槽之間形成一個(gè)突起部；在該基底的頂面上涂布光阻覆蓋整個(gè)基底；去掉覆蓋在該突起部上的光阻；在該突起部上鍍上鈦膜；去掉光阻；對(duì)覆蓋在突起部上的鈦膜進(jìn)行高溫?cái)U(kuò)散形成垂直式光波導(dǎo)。
[0006]本發(fā)明的垂直式光波導(dǎo)及其制造方法，由于該第一凹槽及該第二凹槽為垂直于頂面開設(shè)，即該突起部的兩側(cè)均垂直于頂面，相對(duì)于脊型結(jié)構(gòu)兩側(cè)更加平整，光遇到不容易被散射掉，提高了光的利用率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明提供的垂直式光波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖2為本發(fā)明提供的垂直式光波導(dǎo)的制造方法的制程示意圖。
[0009]圖3為本發(fā)明提供的垂直式光波導(dǎo)的制造方法的流程圖。
[0010]主要元件符號(hào)說明
【權(quán)利要求】
1.一種垂直式光波導(dǎo)，其包括一個(gè)基底，在該基底的頂面上垂直于該頂面開設(shè)有一個(gè)第一凹槽及一個(gè)第二凹槽，該第一凹槽的延伸方向與該第二凹槽的延伸方向互相平行，該第一凹槽與該第二凹槽之間形成一個(gè)突起部，該突起部上擴(kuò)散有鈦金屬。
2.如權(quán)利要求1所述的垂直式光波導(dǎo)，其特征在于，該基底的材料采用鈮酸鋰晶體。
3.如權(quán)利要求1所述的垂直式光波導(dǎo)，其特征在于，從該基底的頂面到該第一凹槽的底部的距離與從該基底的頂面到該第二凹槽的底部的距離相等。
4.如權(quán)利要求1所述的垂直式光波導(dǎo)，其特征在于，該第一凹槽與該第二凹槽之間的距離為9微米。
5.一種如權(quán)利要求f 4任一項(xiàng)所述的垂直式光波導(dǎo)的制造方法，其包括以下步驟: 提供一個(gè)基底； 在該基底上垂直于該基底的頂面切割出第一凹槽及第二凹槽，該第一凹槽與該第二凹槽之間形成一個(gè)突起部； 在該基底的頂面上涂布光阻覆蓋整個(gè)基底； 去掉覆蓋在該突起部上的光阻； 在該突起部上鍍上鈦膜； 去掉光阻；及 對(duì)覆蓋在突起部上的鈦膜進(jìn)行高溫?cái)U(kuò)散形成垂直式光波導(dǎo)。
6.如權(quán)利要求5所述的垂直式光波導(dǎo)的制造方法，其特征在于，采用晶圓切割機(jī)，并采用精密的切割砂輪。
7.如權(quán)利要求5所述的垂直式光波導(dǎo)的制造方法，其特征在于，在該基底上垂直于該基底的頂面切割出第一凹槽及第二凹槽后進(jìn)行清洗。
8.如權(quán)利要求5所述的垂直式光波導(dǎo)的制造方法，其特征在于，在涂布光阻時(shí)以6000轉(zhuǎn)以上的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布。
9.如權(quán)利要求5所述的垂直式光波導(dǎo)的制造方法，其特征在于，通過黃光微影去掉覆蓋在該突起部上的光阻。
10.如權(quán)利要求5所述的垂直式光波導(dǎo)的制造方法，其特征在于，該光阻的材質(zhì)為聚甲基丙烯酸甲酯，該光阻浸泡在甲醇溶液中被去除。
【文檔編號(hào)】G02B6/13GK103901535SQ201210589103
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2012年12月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月29日
【發(fā)明者】李秉衡 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司