專利名稱：雙功能掩模臺(tái)底部裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種掩模臺(tái)裝置，特別是涉及ー種雙功能掩模臺(tái)底部裝置。
背景技術(shù)：
在掃描式曝光的光刻機(jī)中，原有技術(shù)以兩套相互獨(dú)立的掩模臺(tái)支架系統(tǒng)，作為掩模臺(tái)的底部結(jié)構(gòu)，其一為掩模臺(tái)橫梁，承擔(dān)掩模臺(tái)工作時(shí)靜態(tài)結(jié)構(gòu)支撐，起到了從基礎(chǔ)框架到掩模面的高度跨越。其ニ為掩模臺(tái)維護(hù)機(jī)構(gòu)，起到了掩模臺(tái)維修維護(hù)時(shí)，動(dòng)態(tài)抬升和移入移出的功能，可參考中國(guó)專利201010575782. 3。然而，由于光刻機(jī)設(shè)備內(nèi)部系統(tǒng)繁多，整機(jī)集成密度高，采用上述功能性分解的設(shè)計(jì)模塊無(wú)疑占用了更多的內(nèi)部體積。同時(shí)此種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)繁瑣，限制了提高結(jié)構(gòu)模態(tài)的可能性，不利于整機(jī)框架及掩模臺(tái)機(jī)械振動(dòng)控制，也不利于系統(tǒng)曝光精度的提高。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙功能掩模臺(tái)底部裝置，以解決現(xiàn)有的掩模臺(tái)底部裝置占用體積大、結(jié)構(gòu)繁瑣不利于掩模臺(tái)機(jī)械振動(dòng)控制的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種雙功能掩模臺(tái)底部裝置，包括水平橫梁，其承載ー掩模臺(tái)；支撐立柱，位于所述水平橫梁的兩側(cè)，所述水平橫梁通過(guò)緊固件鎖緊固定在所述支撐立柱上；垂向?qū)U，沿豎直方向設(shè)置在所述支撐立柱上；滑動(dòng)導(dǎo)軌，平行于水平橫梁設(shè)置且活動(dòng)連接至垂向?qū)U，于初始狀態(tài)下位于水平橫梁下方且與水平橫梁之間具有ー間隔；升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)導(dǎo)軌沿垂向?qū)U上升或下降，當(dāng)滑動(dòng)導(dǎo)軌上升至與水平橫梁相接觸時(shí)，通過(guò)松開(kāi)緊固件使滑動(dòng)導(dǎo)軌承載著水平橫梁繼續(xù)上升或下降；水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，當(dāng)滑動(dòng)導(dǎo)軌承載有水平橫梁時(shí)，水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)水平橫梁沿滑動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。作為優(yōu)選，所述水平橫梁為兩根，相互平行設(shè)置；所述支撐立柱為四根，每?jī)筛瘟⒅鶎?duì)應(yīng)ー根水平橫梁安裝在水平橫梁的兩側(cè)。作為優(yōu)選，所述水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄、滾珠絲桿，所述滾珠絲桿設(shè)置于所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄和所述水平橫梁之間，所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述滾珠絲桿使得水平橫梁沿滑動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。作為優(yōu)選，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括升降驅(qū)動(dòng)手柄、齒輪箱和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸設(shè)置在相鄰的兩根支撐立柱之間，所述齒輪箱分別安裝在所述支撐立柱上并嚙合連接所述傳動(dòng)軸，所述升降驅(qū)動(dòng)手柄設(shè)置在任一齒輪箱上，所述升降驅(qū)動(dòng)手柄的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述齒輪箱帶動(dòng)傳動(dòng)軸使滑動(dòng)導(dǎo)軌沿垂向?qū)U同步上升或下降。作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)軸為三根，分別設(shè)置在任意三根相鄰的支撐立柱之間。作為優(yōu)選，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括氣動(dòng)彈簧，所述氣動(dòng)彈簧的一端與一支撐立柱連接，另一端與所述滑動(dòng)導(dǎo)軌連接，以推動(dòng)所述滑動(dòng)導(dǎo)軌沿著所述垂向?qū)U上升或下降。作為優(yōu)選，所述氣動(dòng)彈簧為氮?dú)鈴椈?。作為?yōu)選，所述緊固件為定位銷和螺栓。[0013]作為優(yōu)選，所述水平橫梁的材料為C型鋼。作為優(yōu)選，所述掩模臺(tái)底部裝置還包括連接相鄰兩根支撐立柱的結(jié)構(gòu)連接桿。作為優(yōu)選，所述掩模臺(tái)底部裝置還包括橫跨連接兩根平行的所述水平橫梁的連接加強(qiáng)板。由于采用了以上技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置將水平橫梁和掩模臺(tái)維護(hù)機(jī)構(gòu)(由水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等組成)合為一體，簡(jiǎn)化了整機(jī)結(jié)構(gòu)明顯縮小了掩模臺(tái)框架所占有的體積，并且，通過(guò)在相鄰兩根支撐立柱之間增設(shè)結(jié)構(gòu)連接桿構(gòu)成四邊形結(jié)構(gòu)來(lái)提高掩模臺(tái)底部裝置的結(jié)構(gòu)模態(tài)，降低因振動(dòng)對(duì)光刻機(jī)掩模臺(tái)的精度干擾，從而降低掩模臺(tái)受的機(jī) 械振動(dòng)影響的風(fēng)險(xiǎn)。
圖I為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置的正視圖；圖2為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置的側(cè)視圖；圖3為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置在抬升狀態(tài)時(shí)的正視圖；圖4為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置在抬升狀態(tài)時(shí)的側(cè)視圖；圖5為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置在移出狀態(tài)時(shí)的正視圖；圖6為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置在移出狀態(tài)時(shí)的側(cè)視圖；圖7為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置將掩模臺(tái)抬升和移入的工作流程圖。圖8為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置將掩模臺(tái)移入和下降的工作流程圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明?！N雙功能掩模臺(tái)底部裝置，如錯(cuò)誤！未找到引用源。和2所示，包括水平橫梁3，其承載ー掩模臺(tái)I ;支撐立柱12，位于所述水平橫梁3的兩側(cè)，所述水平橫梁3通過(guò)緊固件13鎖緊固定在所述支撐立柱12上；垂向?qū)U7，沿豎直方向設(shè)置在所述支撐立柱12上；滑動(dòng)導(dǎo)軌5，平行于水平橫梁3設(shè)置且活動(dòng)連接至垂向?qū)U7，于初始狀態(tài)下位于水平橫梁3下方且與水平橫梁3之間具有ー間隔d ;升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)導(dǎo)軌5沿垂向?qū)U7上升或下降，當(dāng)滑動(dòng)導(dǎo)軌5上升至與水平橫梁3相接觸時(shí)，通過(guò)松開(kāi)緊固件13使滑動(dòng)導(dǎo)軌5承載著水平橫梁3繼續(xù)上升或下降；水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，當(dāng)滑動(dòng)導(dǎo)軌5承載有水平橫梁3時(shí)，水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)水平橫梁3沿滑動(dòng)導(dǎo)軌5移動(dòng)。其中，所述水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄
11、滾珠絲桿，所述滾珠絲桿設(shè)置于所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11和所述水平橫梁3之間，所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述滾珠絲桿16使得水平橫梁3沿滑動(dòng)導(dǎo)軌5移動(dòng)。所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括升降驅(qū)動(dòng)手柄10、齒輪箱6和傳動(dòng)軸8，所述傳動(dòng)軸8分別設(shè)置相鄰的兩根支撐立柱12之間，所述齒輪箱6分別安裝在所述支撐立柱上并嚙合連接所述傳動(dòng)軸8，所述升降驅(qū)動(dòng)手柄10設(shè)置在任一齒輪箱上，所述升降驅(qū)動(dòng)手柄10的轉(zhuǎn)動(dòng)通過(guò)所述齒輪箱6和傳動(dòng)軸8帶動(dòng)滑動(dòng)導(dǎo)軌沿垂向?qū)U同步上升或下降。在本實(shí)施例中，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還可包括氣動(dòng)彈簧9，所述氣動(dòng)彈簧9的一端與一支撐立柱12連接，另一端與所述滑動(dòng)導(dǎo)軌5連接，以推動(dòng)所述滑動(dòng)導(dǎo)軌5沿著所述垂向?qū)U7上升或下降，所述氣動(dòng)彈簧起Z向輔助支撐的作用，以減輕旋轉(zhuǎn)Z向升降驅(qū)動(dòng)手柄10抬升掩模臺(tái)I所需要的人工力。圖I示出了雙功能掩模臺(tái)底部裝置的正視圖。此時(shí)掩模臺(tái)I位于正常工作位置，即掩模臺(tái)位于X向中心和Z向最低的位置。如圖2所示，掩模臺(tái)I的重量(一般為I至I. 5噸)通過(guò)掩模臺(tái)接ロ 2由兩根水平橫梁3承受。所述水平橫梁3處于X方向是ー種類似C型鋼的結(jié)構(gòu)件。所述水平橫梁3兩端由四根支撐立柱12支撐，以負(fù)載水平橫梁3上的掩模臺(tái)的重量。所述水平橫梁3和所述支撐立柱12之間由緊固件13緊固連接，在本實(shí)施例中，所述緊固件13為定位銷和固定螺栓。所述水平橫梁3和所述支撐立柱12之間有垂向可分離的接觸面，當(dāng)水平橫梁3緊固在所述支撐立柱12上時(shí)，水平橫梁3和所述支撐立柱12在所述接觸面處接觸；當(dāng)松開(kāi)緊固件時(shí)，所述水平橫梁3和所述支撐立柱12兩者分離。所述滑動(dòng)導(dǎo)軌5的頂部低于水平橫梁3的底部且兩者之間留有一定的間隔d，使得滑動(dòng)導(dǎo)軌5不承重，從而避免滑動(dòng)導(dǎo)軌5長(zhǎng)時(shí)間承受掩模臺(tái)的重量產(chǎn)生變形而導(dǎo)致精度喪失。此時(shí)，所 述支撐立柱12的受カ面高于滑動(dòng)導(dǎo)軌5的受カ面掩模臺(tái)I位于正常工作位置時(shí)，所述氣動(dòng)彈簧9沒(méi)有充氣，處于不工作狀態(tài)，升降驅(qū)動(dòng)手柄10和移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11處于閑置狀態(tài)，此時(shí)整個(gè)掩模臺(tái)I的重量完全作用在四根支撐立柱12上。所述支撐立柱12為ー種結(jié)構(gòu)支撐件，其下半截厚實(shí)以保證較高的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，其上半截輕盈為垂向?qū)U7提供罩殼和防護(hù)的作用。圖3和4為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置在抬升狀態(tài)時(shí)的正視圖和側(cè)視圖。此時(shí)掩模臺(tái)I位于維修升起工作位置，即掩模臺(tái)位于X向中心和Z向最高的位置。由于光刻機(jī)中對(duì)掩模臺(tái)維修維護(hù)的需求，掩模臺(tái)I將先進(jìn)行升起的動(dòng)作。首先，松開(kāi)定位銷和固定螺栓13為水平橫梁3和支撐立柱12分離做準(zhǔn)備；然后給氣動(dòng)彈簧9充氣，所述氣動(dòng)彈簧6起Z向輔助支撐的作用，在本實(shí)施例中，所述氣動(dòng)彈簧9為氮?dú)鈴椈?；接著，旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)手柄10，帶動(dòng)齒輪箱6轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)傳動(dòng)軸8將カ均勻的加在整個(gè)平臺(tái)上，實(shí)現(xiàn)兩根滑動(dòng)導(dǎo)軌5的同步抬升。在本實(shí)施例中，所述傳動(dòng)軸有三根，所述齒輪箱有四個(gè)，所述三根傳動(dòng)軸分別設(shè)置任意三根相鄰的支撐立柱之間，所述四個(gè)齒輪箱分別安裝在四根支撐立柱上并嚙合連接所述三根傳動(dòng)軸，所述升降驅(qū)動(dòng)手柄設(shè)置在任一齒輪箱上，所述升降驅(qū)動(dòng)手柄驅(qū)動(dòng)齒輪箱帶動(dòng)所嚙合傳動(dòng)軸運(yùn)動(dòng)，所述傳動(dòng)軸的運(yùn)動(dòng)經(jīng)由嚙合的齒輪箱同時(shí)傳遞給另外兩根傳動(dòng)軸，使得三根傳動(dòng)軸的同步上升或下降，以帶動(dòng)兩根滑動(dòng)導(dǎo)軌同步上升。隨著滑動(dòng)導(dǎo)軌5抬升，其底部離開(kāi)與支撐立柱12的安裝面，在氮?dú)鈴椈?的推力和升降驅(qū)動(dòng)手柄10的輔助力共同作用下滑動(dòng)導(dǎo)軌5頂部與水平橫梁3的底部接觸，并繼續(xù)帶動(dòng)水平橫梁3和掩模臺(tái)I共同向上抬升，直至最后掩模臺(tái)I到達(dá)Z向最高點(diǎn)。此時(shí)整個(gè)掩模臺(tái)I的重量由四根立柱支撐12轉(zhuǎn)移到滑動(dòng)導(dǎo)軌5上，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌5由氮?dú)鈴椈?和齒輪箱6及垂向?qū)U7共同支撐。圖5和圖6為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置在移出狀態(tài)時(shí)的正視圖和側(cè)視圖。此時(shí)掩模臺(tái)I位于Z向升起和X向移出的位置，即掩模臺(tái)位于X向中心和Z向最高的位置。為了將掩模臺(tái)I移出整機(jī)外部，旋轉(zhuǎn)所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿16帶動(dòng)水平橫梁3向X向一側(cè)運(yùn)動(dòng)，所述滾珠絲杠16在移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11和水平橫梁3之間作為水平移動(dòng)的導(dǎo)向和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。在移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11的驅(qū)動(dòng)カ的作用下，水平橫梁3在滑動(dòng)導(dǎo)軌5上的滑動(dòng)面4上沿X向向整機(jī)外部水平移出。掩模臺(tái)I在移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11的控制下最終停在合適的位置上。此時(shí)，掩模臺(tái)I的重力依然作用在滑動(dòng)導(dǎo)軌5上，而所述滑動(dòng)導(dǎo)軌5由氮?dú)鈴椈?和齒輪箱6及垂向?qū)U7共同支撐。如圖5所示，本實(shí)用新型中的結(jié)構(gòu)支撐機(jī)構(gòu)還可在相鄰兩根支撐立柱之間增加部署結(jié)構(gòu)連接桿14，或連接兩跨橫梁的連接加強(qiáng)板，形成四邊形結(jié)構(gòu)以進(jìn)一歩增強(qiáng)結(jié)構(gòu)支撐機(jī)構(gòu)的支撐度。本實(shí)用新型也可通過(guò)其他結(jié)構(gòu)對(duì)掩模臺(tái)底部裝置局部加強(qiáng)(如加強(qiáng)支持立柱在Z向的寬度)，以起到提高結(jié)構(gòu)模態(tài)，降低因振動(dòng)對(duì)光刻機(jī)掩模臺(tái)的精度干擾。在本實(shí)用新型的另ー實(shí)施例中，可通過(guò)改變內(nèi)部結(jié)構(gòu)(如工作齒輪的軸向位置)，以切換手柄的驅(qū)動(dòng)對(duì)象將Z向升降驅(qū)動(dòng)手柄和X向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄合并為ー個(gè)手柄。圖7為本實(shí)用新型的雙功能掩模臺(tái)底部裝置將掩模臺(tái)移出和移入的工作流程圖。該工作過(guò)程分為2部分，其一為抬升和移出工作流程，其ニ為移入和下降工作流程。 如圖7中的左圖所示，抬升和移出工作流程的順序首先打開(kāi)氮?dú)鈴椈?，所述氮?dú)鈴椈?起輔助支撐的作用，以減輕旋轉(zhuǎn)Z向升降驅(qū)動(dòng)手柄10所需要的人工力，此時(shí)掩模臺(tái)I處于X向中心和Z向最低點(diǎn)的位置；隨后，松開(kāi)水平橫梁3上連接支撐立柱12的定位銷和固定螺栓13 (螺母若干，如4至8枚)；接著旋轉(zhuǎn)Z向升降驅(qū)動(dòng)手柄10驅(qū)動(dòng)齒輪箱6帶動(dòng)滑動(dòng)導(dǎo)軌5上升直至滑動(dòng)導(dǎo)軌5上表面與水平橫梁3的下表面相接觸，并帶動(dòng)水平橫梁3繼續(xù)向上運(yùn)動(dòng)，此時(shí)掩模臺(tái)I的重力通過(guò)掩模臺(tái)接ロ 2由水平橫梁3承受；繼續(xù)旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)手柄10，使得水平橫梁3和掩模臺(tái)I共同開(kāi)始垂向抬升直至掩模臺(tái)I到達(dá)Z向最高點(diǎn)。此時(shí)，旋轉(zhuǎn)X向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11，掩模臺(tái)I經(jīng)X向移出到指定位置；最后關(guān)閉氮?dú)鈴椈?，掩模I的抬升和移出流程結(jié)束。如圖7中的右圖所示，移入和下降工作流程的順序首先打開(kāi)氮?dú)鈴椈?，接著將掩模臺(tái)I放置在掩模臺(tái)接ロ 2上，此時(shí)掩模臺(tái)I處于X向移出位和Z向最高點(diǎn)的位置；接著，旋轉(zhuǎn)X向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄11，掩模臺(tái)I沿X向移入至中心位置；隨后旋轉(zhuǎn)Z向升降驅(qū)動(dòng)手柄10驅(qū)動(dòng)齒輪箱6驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)導(dǎo)軌5下降直至水平橫梁3與支撐立柱12的安裝面相接觸，此時(shí)掩模臺(tái)I的重力由水平橫梁3和滑動(dòng)導(dǎo)軌5共同承受轉(zhuǎn)為由水平橫梁3和支撐立柱12共同承受；繼續(xù)旋轉(zhuǎn)Z向升降驅(qū)動(dòng)手柄10使得滑動(dòng)導(dǎo)軌5的上表面同水平橫梁3的下表面開(kāi)始分離，水平掩模臺(tái)I的重力通過(guò)掩模臺(tái)接ロ 2由水平橫梁3承受；此后滑動(dòng)導(dǎo)軌5繼續(xù)下降直至與水平橫梁3保持之前存在一定的間隔d，而水平橫梁3和掩模臺(tái)I停留在指定的位置，即掩模臺(tái)到達(dá)Z向最低點(diǎn)，最后，緊固連接水平橫梁3與支撐立柱12的定位銷和固定螺栓13 (螺母若干，如4至8枚)，關(guān)閉氮?dú)鈴椈?，掩模臺(tái)移入和下降流程結(jié)束。綜上所述，本實(shí)用新型的一種雙功能掩模臺(tái)底部裝置將將水平橫梁和掩模臺(tái)維護(hù)機(jī)構(gòu)(由水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等組成)合為一體，使得本實(shí)用新型既具備靜態(tài)支撐掩模臺(tái)重量的結(jié)構(gòu)支撐功能，又具備動(dòng)態(tài)抬升和移動(dòng)掩模臺(tái)的維護(hù)功能，且本實(shí)用新型還提出了在相鄰兩根支撐立柱之間增設(shè)結(jié)構(gòu)連接桿構(gòu)成四邊形結(jié)構(gòu)以提高掩模臺(tái)底部裝置的結(jié)構(gòu)模態(tài)，降低因振動(dòng)對(duì)光刻機(jī)掩模臺(tái)的精度干擾。此外，通過(guò)增設(shè)定位銷，可保證橫梁的重復(fù)安裝精度。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種雙功能掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，包括 水平橫梁，其承載ー掩模臺(tái)； 支撐立柱，位于所述水平橫梁的兩側(cè)，所述水平橫梁通過(guò)緊固件鎖緊固定在所述支撐立柱上； 垂向?qū)U，沿豎直方向設(shè)置在所述支撐立柱上； 滑動(dòng)導(dǎo)軌，平行于水平橫梁設(shè)置且活動(dòng)連接至垂向?qū)U，于初始狀態(tài)下位于水平橫梁下方且與水平橫梁之間具有間隔； 升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)導(dǎo)軌沿垂向?qū)U上升或下降，當(dāng)滑動(dòng)導(dǎo)軌上升至與水平橫梁相接觸時(shí)，通過(guò)松開(kāi)緊固件使滑動(dòng)導(dǎo)軌承載著水平橫梁繼續(xù)上升或下降； 水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，當(dāng)滑動(dòng)導(dǎo)軌承載有水平橫梁時(shí)，水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)水平橫梁沿滑動(dòng)導(dǎo) 軌移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求I所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述水平橫梁為兩根，相互平行設(shè)置；所述支撐立柱為四根，每?jī)筛瘟⒅鶎?duì)應(yīng)ー根水平橫梁安裝在水平橫梁的兩側(cè)。
3.如權(quán)利要求I或2所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄、滾珠絲桿，所述滾珠絲桿設(shè)置于所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄和所述水平橫梁之間，所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)手柄的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述滾珠絲桿使得水平橫梁沿滑動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求2所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括升降驅(qū)動(dòng)手柄、齒輪箱和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸設(shè)置在相鄰的兩根支撐立柱之間，所述齒輪箱分別安裝在所述支撐立柱上并嚙合連接所述傳動(dòng)軸，所述升降驅(qū)動(dòng)手柄設(shè)置在任一齒輪箱上，所述升降驅(qū)動(dòng)手柄的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述齒輪箱帶動(dòng)傳動(dòng)軸使滑動(dòng)導(dǎo)軌沿垂向?qū)U同步上升或下降。
5.如權(quán)利要求4所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)軸為三根，分別設(shè)置在任意三根相鄰的支撐立柱之間。
6.如權(quán)利要求4所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括氣動(dòng)彈簧，所述氣動(dòng)彈簧的一端與ー支撐立柱連接，另一端與所述滑動(dòng)導(dǎo)軌連接，以推動(dòng)所述滑動(dòng)導(dǎo)軌沿著所述垂向?qū)U上升或下降。
7.如權(quán)利要求6所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述氣動(dòng)彈簧為氮?dú)鈴椈伞?br>
8.如權(quán)利要求I或2所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述緊固件為定位銷和螺栓。
9.如權(quán)利要求I或2所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述水平橫梁的材料為C型鋼。
10.如權(quán)利要求2所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述掩模臺(tái)底部裝置還包括連接相鄰兩根支撐立柱的結(jié)構(gòu)連接桿。
11.如權(quán)利要求2所述的掩模臺(tái)底部裝置，其特征在于，所述掩模臺(tái)底部裝置還包括橫跨連接兩根平行的所述水平橫梁的連接加強(qiáng)板。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種雙功能掩模臺(tái)底部裝置，包括水平橫梁，其承載一掩模臺(tái)；支撐立柱，位于所述水平橫梁的兩側(cè)，所述水平橫梁通過(guò)緊固件鎖緊固定在所述支撐立柱上；垂向?qū)U，沿豎直方向設(shè)置在所述支撐立柱上；滑動(dòng)導(dǎo)軌，平行于水平橫梁設(shè)置且活動(dòng)連接至垂向?qū)U，于初始狀態(tài)下位于水平橫梁下方且與水平橫梁之間具有間隔；升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)導(dǎo)軌沿垂向?qū)U上升或下降，當(dāng)滑動(dòng)導(dǎo)軌上升至與水平橫梁相接觸時(shí)，通過(guò)松開(kāi)緊固件使滑動(dòng)導(dǎo)軌承載著水平橫梁繼續(xù)上升或下降；水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，當(dāng)滑動(dòng)導(dǎo)軌承載有水平橫梁時(shí)，水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)水平橫梁沿滑動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。
文檔編號(hào)G03F7/20GK202600359SQ20122007964
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年3月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月5日
發(fā)明者吳飛, 朱誠(chéng), 王保亮, 王凱, 袁志揚(yáng) 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司