專利名稱：用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及微電子裝備，尤其涉及ー種用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
圖I所示為現(xiàn)有技術(shù)的連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)包括上連接件301、雙螺紋連接套304和下連接件305，雙螺紋連接套304有旋向相同且螺距不同的第一螺紋和第二螺紋，上連接件301有螺紋，上連接件301有螺紋，上連接桿301的螺紋與雙螺紋連接套304的第一螺紋配合連接，下連接件305有螺紋，下連接桿305的螺紋與雙螺紋連接套304的第二螺紋配合連接，上連接桿301有接ロ與主基板I固定連接，下連接桿305的一端插入調(diào)心座307和調(diào)心球308，調(diào)心座307與調(diào)心球308的球面配合，下連接桿305有接ロ與調(diào)焦調(diào)平傳感器載板固定連接。通過兩個鎖緊螺母303和306以及雙螺紋連接套304來調(diào)整調(diào)焦調(diào)平傳感器載板2的位置，使調(diào)焦調(diào)平傳感器的焦面與投影物鏡的焦面重合。 調(diào)整現(xiàn)有技術(shù)的連接機(jī)構(gòu)時，需要占用連接機(jī)構(gòu)側(cè)面較大的操作空間(橫向空間)，不符合光刻機(jī)對空間約束日益嚴(yán)格的發(fā)展趨勢，特別是，調(diào)焦調(diào)平傳感器周圍通常布置著微環(huán)境控制系統(tǒng)，從側(cè)面進(jìn)行操作會影響到周圍的微環(huán)境控制系統(tǒng)；現(xiàn)有技術(shù)中，連接機(jī)構(gòu)的上連接件與主基板I通過螺紋固定連接，下連接件與調(diào)焦調(diào)平傳感器載板2也通過螺紋固定連接，通常情況下投影物鏡的焦面與主基板I所在的平面平行，調(diào)焦調(diào)平傳感器載板2所在的平面與主基板I所在的平面平行，如果投影物鏡的焦面與主基板I所在的平面不平行，就要通過調(diào)整連接機(jī)構(gòu)來調(diào)整調(diào)焦調(diào)平傳感器載板2的位置，在任意ー個連接機(jī)構(gòu)需要調(diào)整時，調(diào)焦調(diào)平傳感器載板2必然要繞另外兩個連接機(jī)構(gòu)的連線轉(zhuǎn)動，然而，連接機(jī)構(gòu)與主基板I及調(diào)焦調(diào)平傳感器載板2均固定連接，限制了調(diào)焦調(diào)平傳感器載板2的轉(zhuǎn)動。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，可節(jié)省橫向操作空間。為了達(dá)到上述的目的，本實用新型提供一種用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，包括調(diào)整組件和設(shè)置于所述調(diào)整組件ー側(cè)的輔助操作組件，所述調(diào)整組件包括調(diào)整螺桿、第一帶齒螺母、調(diào)心座、調(diào)心球、防轉(zhuǎn)銷和第一鎖緊螺母；所述調(diào)整螺桿一端的外側(cè)壁上設(shè)有第一外螺紋，所述調(diào)整螺桿另一端的外側(cè)壁上設(shè)有第二外螺紋；所述第一帶齒螺母套接在所述調(diào)整螺桿上且與所述第一外螺紋螺紋連接；所述調(diào)心座、調(diào)心球和第一鎖緊螺母均套接在所述調(diào)整螺桿上，所述調(diào)心球的一端為球面端，所述調(diào)心球的另一端為平面端，所述調(diào)心座與所述調(diào)心球的球面端連接，所述第一鎖緊螺母與所述調(diào)心球的平面端連接，且所述調(diào)心球和第一鎖緊螺母與所述第二外螺紋螺紋連接；所述防轉(zhuǎn)銷的一端穿過所述調(diào)心座和調(diào)心球、與所述調(diào)整螺桿的外側(cè)壁接觸；所述輔助操作組件包括旋轉(zhuǎn)軸、固定螺母、第二帶齒螺母和第二鎖緊螺母；所述固定螺母套接在所述旋轉(zhuǎn)軸上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸螺紋連接；所述第二帶齒螺母套接在所述旋轉(zhuǎn)軸上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接；所述第二鎖緊螺母套接在所述旋轉(zhuǎn)軸上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸螺紋連接。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述第一帶齒螺母的外側(cè)壁上設(shè)有齒輪，所述第二帶齒螺母的外側(cè)壁上設(shè)有齒輪，所述第二帶齒螺母的齒輪與所述第一帶齒螺母的齒輪相匹配。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述第一外螺紋與所述第二外螺紋旋向相同，螺距不同。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述調(diào)整組件還包括蓋板，所述蓋板設(shè)置于所述調(diào)心座靠近第一鎖緊螺母的一端，且與所述調(diào)心座固定連接。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述調(diào)整組件還包括多個滾珠、第一滾珠保持件和第二滾珠保持件；所述第一滾珠保持件和第二滾珠保持件套接在所述調(diào)整螺母上，所述第一滾珠保持件設(shè)置于所述調(diào)心座遠(yuǎn)離第一鎖緊螺母的一端，所述多個滾珠嵌設(shè)在所 述第一滾珠保持件上，且所述多個滾珠與所述調(diào)心座滾動接觸；所述第二滾珠保持件設(shè)置于所述第一滾珠保持件的一端且與所述所述第一滾珠保持件固定連接，所述第二滾珠保持件靠近第一滾珠保持件的端面上設(shè)有多個凹槽，ー個所述凹槽與ー個所述滾珠滾動接觸。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述旋轉(zhuǎn)軸設(shè)有凸起，所述第二帶齒螺母支撐在所述凸起上。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述連接機(jī)構(gòu)還包括弾性限位組件，所述彈性限位組件包括弾性限位件和弾性限位件固定件；所述彈性限位件固定件設(shè)置于所述調(diào)整組件的外圍；所述彈性限位件的一端穿過所述弾性限位件固定件與所述調(diào)心座的外側(cè)壁接觸。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述連接結(jié)構(gòu)包含三個彈性限位組件，三個弾性限位組件均勻分別在同一圓周上。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述彈性限位件為彈性柱銷。上述用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其中，所述彈性限位件固定件設(shè)有螺紋孔，所述彈性限位件的一端穿過所述螺紋孔與所述調(diào)心座的外側(cè)壁接觸。本實用新型用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)利用輔助操作組件擰動第一帶齒螺母，輔助操作組件從底部進(jìn)行操作，利用調(diào)整組件調(diào)整調(diào)焦調(diào)平傳感器載板的位置，調(diào)整組件亦從底部進(jìn)行操作，大大節(jié)省了橫向操作空間，符合光刻機(jī)對空間約束日益嚴(yán)格的發(fā)展趨勢；本實用新型用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)在調(diào)心座與調(diào)焦調(diào)平傳感器載板之間設(shè)滾珠，在調(diào)心座外圍設(shè)彈性限位件，滾珠可使調(diào)焦調(diào)平傳感器載板與調(diào)心座之間易于發(fā)生相對運(yùn)動，使調(diào)焦調(diào)平傳感器載板的轉(zhuǎn)動不受限制，而彈性限位件則可以限制這種相對運(yùn)動的過度發(fā)生。

本實用新型的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)由以下的實施例及附圖給出。圖I是現(xiàn)有技術(shù)的連接機(jī)的剖視圖。圖2是本實用新型中調(diào)焦調(diào)平傳感器載板與主基板連接的示意圖。圖3是本實用新型用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)的剖視圖(一)。[0022]圖4是本實用新型中調(diào)整組件的示意圖。圖5是本實用新型中滾珠部分的局部放大圖。圖6是本實用新型用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)的剖視圖(ニ)。
具體實施方式
以下將結(jié)合圖2 圖6對本實用新型的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)作進(jìn)一歩的詳細(xì)描述。在超大集成電路制造的投影光刻技術(shù)中，為保證光刻效果，通常使用調(diào)焦調(diào)平傳感器來減少硅片表面形貌對投影物鏡焦平面的影響。如圖2所示，投影物鏡(圖2中未示)承載在主基板10上，調(diào)焦調(diào)平傳感器(圖2中未示)安裝在調(diào)焦調(diào)平傳感器載板(FLS載板)20上，所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20位于所述主基板10的下方，所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載 板20通過三個相同的連接機(jī)構(gòu)4與所述主基板10連接。以所述主基板10所在的平面為XY平面，建立三維坐標(biāo)系。圖3所示為ー個所述連接結(jié)構(gòu)4的剖視圖，所述連接結(jié)構(gòu)4包括三個部分調(diào)整組件、輔助操作組件和弾性限位組件；所述調(diào)整組件包括調(diào)整螺桿401、第一帶齒螺母402、調(diào)心座403、調(diào)心球404、防轉(zhuǎn)銷405和第一鎖緊螺母406 ；所述調(diào)整螺桿401 —端的外側(cè)壁上設(shè)有第一外螺紋(圖3中未示)，所述調(diào)整螺桿401另ー端的外側(cè)壁上設(shè)有第二外螺紋(圖3中未示)，所述第一外螺紋與所述第二外螺紋旋向相同，但螺距不同；所述第一帶齒螺母402套接在所述調(diào)整螺桿401上且與所述第一外螺紋螺紋連接；所述調(diào)心座403、調(diào)心球404和第一鎖緊螺母406均套接在所述調(diào)整螺桿401上，所述調(diào)心球404的一端為球面端，所述調(diào)心球404的另一端為平面端，所述調(diào)心座403與所述調(diào)心球404的球面端連接，所述第一鎖緊螺母406與所述調(diào)心球404的平面端連接，且所述調(diào)心球404和第一鎖緊螺母406與所述第二外螺紋螺紋連接；所述防轉(zhuǎn)銷405的一端穿過所述調(diào)心座403和調(diào)心球404、與所述調(diào)整螺桿401的外側(cè)壁接觸，所述防轉(zhuǎn)銷405用于固定調(diào)心座403、調(diào)心球404及調(diào)整螺桿401之間的相對位置，防止所述調(diào)整螺桿401繞Z軸旋轉(zhuǎn)。如圖4所示，所述第一帶齒螺母402的外側(cè)壁上設(shè)有齒輪4021。較佳地，所述調(diào)整組件還包括蓋板407，所述蓋板407設(shè)置于所述調(diào)心座403的一端，且通過固定螺釘408與所述調(diào)心座403固定連接。所述蓋板407用于防止所述防轉(zhuǎn)銷405脫落。參見圖3和圖5，較佳地，所述調(diào)整組件還包括多個滾珠409、第一滾珠保持件410和第二滾珠保持件411 ;所述第一滾珠保持件410和第二滾珠保持件411套接在所述調(diào)整螺母401上，所述第一滾珠保持件410設(shè)置于所述調(diào)心座403的另一端，所述多個滾珠409嵌設(shè)在所述第一滾珠保持件410上，且所述多個滾珠409與所述調(diào)心座403滾動接觸；所述第二滾珠保持件411設(shè)置于所述第一滾珠保持件410的一端且與所述所述第一滾珠保持件410固定連接，所述第二滾珠保持件411靠近第一滾珠保持件410的端面上設(shè)有多個凹槽，一個所述凹槽與一個所述滾珠409滾動接觸；所述第一滾珠保持件410和第二滾珠保持件411用于夾持住所述滾珠409，并能保證所述滾珠409自由轉(zhuǎn)動。在所述調(diào)心座403與所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20之間設(shè)滾珠409，可使所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20與所述連接機(jī)構(gòu)4之間易于發(fā)生相對運(yùn)動，使得調(diào)整任意一個所述連接機(jī)構(gòu)4時，所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20的轉(zhuǎn)動不受限制。所述輔助操作組件位于所述調(diào)整組件的一側(cè)，其包括旋轉(zhuǎn)軸501、固定螺母502、第二帶齒螺母503、第二鎖緊螺母504 ；所述固定螺母502套接在所述旋轉(zhuǎn)軸501上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸501螺紋連接，所述固定螺母502用于防止所述旋轉(zhuǎn)軸501在XY平面內(nèi)移動；所述第二帶齒螺母503套接在所述旋轉(zhuǎn)軸501上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸501固定連接，轉(zhuǎn)動所述旋轉(zhuǎn)軸501可帶動所述第二帶齒螺母503 —起轉(zhuǎn)動； 所述旋轉(zhuǎn)軸501設(shè)有凸起5011，所述第二帶齒螺母503支撐在所述凸起5011上；所述第二帶齒螺母503的外側(cè)壁上設(shè)有齒輪，所述第二帶齒螺母503的齒輪與所述第一帶齒螺母402的齒輪4021相匹配；所述第二鎖緊螺母504套接在所述旋轉(zhuǎn)軸501上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸501螺紋連接，所述第二鎖緊螺母504用于固定所述旋轉(zhuǎn)軸501在Z軸方向上的位置。所述彈性限位組件包括彈性限位件601和彈性限位件固定件602 ；所述彈性限位件固定件602設(shè)置于所述調(diào)整組件的外圍，并通過螺釘固定在所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20上；所述彈性限位件固定件602設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔用于安裝所述彈性限位件601，所述彈性限位件601的一端穿過所述螺紋孔與所述調(diào)心座403的外側(cè)壁接觸。每個所述連接結(jié)構(gòu)4包含三個彈性限位組件，較佳地，三個彈性限位組件均勻分別在同一圓周上。較佳地，所述彈性限位件601為彈性柱銷。在所述調(diào)心座403的外圍設(shè)彈性限位件601可以限制所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20與所述連接機(jī)構(gòu)4之間相對運(yùn)動的過度發(fā)生。使用所述連接機(jī)構(gòu)4連接所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20與所述主基板10時，所述調(diào)整螺桿401設(shè)有第一外螺紋的一端與所述主基板10螺紋連接，所述第一帶齒螺母402位于所述主基板10的底端，所述第一帶齒螺母402用于將所述調(diào)整螺桿401固定在所述主基板10上，所述調(diào)整螺桿401設(shè)有第二外螺紋的一端穿過所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20，所述第二滾珠保持件411未設(shè)凹槽的端面與所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20的底端固定連接；所述旋轉(zhuǎn)軸501的一端插入所述主基板10內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸501與所述主基板10為一定間隙的軸孔配合，所述固定螺母502位于所述主基板10的底端，所述旋轉(zhuǎn)軸501的另一端穿過所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20，所述第二鎖緊螺母504位于所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20的底端；所述彈性限位件固定件602位于所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20的底端，并通過螺釘固定在所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20上。需要調(diào)整所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20相對所述主基板10的位置時，先調(diào)整所述旋轉(zhuǎn)軸501在Z軸方向上的位置，使所述第二帶齒螺母503的齒輪與所述第一帶齒螺母402的齒輪4021嚙合，調(diào)整好所述旋轉(zhuǎn)軸501在Z軸方向上的位置后，擰緊所述第二鎖緊螺母504，固定所述旋轉(zhuǎn)軸501在Z軸方向上的位置，接著從所述旋轉(zhuǎn)軸501的底端轉(zhuǎn)動所述旋轉(zhuǎn)軸501，帶動所述第二帶齒螺母503 —起轉(zhuǎn)動，從而松開所述第一帶齒螺母402，再松開所述第一鎖緊螺母406，就可轉(zhuǎn)動所述調(diào)整螺桿401，從所述調(diào)整螺桿401的底端轉(zhuǎn)動所述調(diào)整螺桿401可調(diào)整所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20相對所述主基板10的位置，調(diào)整好所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20的位置后，可反向轉(zhuǎn)動所述旋轉(zhuǎn)軸501，通過所述第二帶齒螺母503擰緊所述第一帶齒螺母402，防止所述調(diào)整螺桿401相對所述主基板10轉(zhuǎn)動，再擰緊所述第一鎖緊螺母406，防止所述調(diào)整螺桿401相對所述調(diào)心球404轉(zhuǎn)動，此時，可松開所述第二鎖緊螺母504，向下拉所述旋轉(zhuǎn)軸501，使所述第二帶齒螺母503與所述第一帶齒螺母402分離，讓所述第二帶齒螺母50擱置在所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20上，再擰緊第二鎖緊螺母504，讓所述輔助操作組件固定在所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20上，如圖6所示。轉(zhuǎn)動所述旋轉(zhuǎn)軸501、調(diào)整螺桿401均從底端進(jìn)行操作，擰動所述第一鎖緊螺母406、第二鎖緊螺母504亦從底端進(jìn)行操作，即調(diào)整所述連接機(jī)構(gòu)4從所述連接機(jī)構(gòu)4的底部進(jìn)行操作，大大節(jié)省了橫向操作空間，符合光刻機(jī)對空間約束日益嚴(yán)格的發(fā)展趨勢；所述連接機(jī)構(gòu)4把現(xiàn)有技術(shù)的連接機(jī)構(gòu)的上連接件、雙螺紋套筒和下連接件簡化 為一個零件一調(diào)整螺桿401，減少了起調(diào)整作用的零件。當(dāng)所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20相對于所述主基板10在Rx、Ry方向上有變化時(投影物鏡的焦面與所述主基板10所在的平面不平行了)，需要通過調(diào)整所述連接機(jī)構(gòu)4來調(diào)整所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20的位置，調(diào)整任一所述連接機(jī)構(gòu)4時，所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20與另外兩個所述連接機(jī)構(gòu)4的調(diào)心座403之間會產(chǎn)生相對運(yùn)動，所述滾珠409可使所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20與所述調(diào)心座403之間易于發(fā)生相對運(yùn)動，使所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20的轉(zhuǎn)動不受限制，而所述彈性限位件601可以限制相對運(yùn)動的過度發(fā)生，調(diào)整所述彈性限位件601，還可以在不改變所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20在Z軸、Rx、Ry和Rz方向上的位置的情況下，改變所述調(diào)焦調(diào)平傳感器載板20在X軸、Y軸方向上的位置。
權(quán)利要求1.一種用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括調(diào)整組件和設(shè)置于所述調(diào)整組件一側(cè)的輔助操作組件，所述調(diào)整組件包括調(diào)整螺桿、第一帶齒螺母、調(diào)心座、調(diào)心球、防轉(zhuǎn)銷和第一鎖緊螺母； 所述調(diào)整螺桿一端的外側(cè)壁上設(shè)有第一外螺紋，所述調(diào)整螺桿另一端的外側(cè)壁上設(shè)有第二外螺紋； 所述第一帶齒螺母套接在所述調(diào)整螺桿上且與所述第一外螺紋螺紋連接； 所述調(diào)心座、調(diào)心球和第一鎖緊螺母均套接在所述調(diào)整螺桿上，所述調(diào)心球的一端為球面端，所述調(diào)心球的另一端為平面端，所述調(diào)心座與所述調(diào)心球的球面端連接，所述第一鎖緊螺母與所述調(diào)心球的平面端連接，且所述調(diào)心球和第一鎖緊螺母與所述第二外螺紋螺紋連接； 所述防轉(zhuǎn)銷的一端穿過所述調(diào)心座和調(diào)心球、與所述調(diào)整螺桿的外側(cè)壁接觸； 所述輔助操作組件包括旋轉(zhuǎn)軸、固定螺母、第二帶齒螺母和第二鎖緊螺母； 所述固定螺母套接在所述旋轉(zhuǎn)軸上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸螺紋連接； 所述第二帶齒螺母套接在所述旋轉(zhuǎn)軸上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接； 所述第二鎖緊螺母套接在所述旋轉(zhuǎn)軸上，且與所述旋轉(zhuǎn)軸螺紋連接。
2.如權(quán)利要求I所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一帶齒螺母的外側(cè)壁上設(shè)有齒輪，所述第二帶齒螺母的外側(cè)壁上設(shè)有齒輪，所述第二帶齒螺母的齒輪與所述第一帶齒螺母的齒輪相匹配。
3.如權(quán)利要求I所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一外螺紋與所述第二外螺紋旋向相同，螺距不同。
4.如權(quán)利要求I所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整組件還包括蓋板，所述蓋板設(shè)置于所述調(diào)心座靠近第一鎖緊螺母的一端，且與所述調(diào)心座固定連接。
5.如權(quán)利要求I所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整組件還包括多個滾珠、第一滾珠保持件和第二滾珠保持件；所述第一滾珠保持件和第二滾珠保持件套接在所述調(diào)整螺母上，所述第一滾珠保持件設(shè)置于所述調(diào)心座遠(yuǎn)離第一鎖緊螺母的一端，所述多個滾珠嵌設(shè)在所述第一滾珠保持件上，且所述多個滾珠與所述調(diào)心座滾動接觸；所述第二滾珠保持件設(shè)置于所述第一滾珠保持件的一端且與所述所述第一滾珠保持件固定連接，所述第二滾珠保持件靠近第一滾珠保持件的端面上設(shè)有多個凹槽，一個所述凹槽與一個所述滾珠滾動接觸。
6.如權(quán)利要求I所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸設(shè)有凸起，所述第二帶齒螺母支撐在所述凸起上。
7.如權(quán)利要求I 6中任一權(quán)利要求所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連接機(jī)構(gòu)還包括彈性限位組件，所述彈性限位組件包括彈性限位件和彈性限位件固定件； 所述彈性限位件固定件設(shè)置于所述調(diào)整組件的外圍； 所述彈性限位件的一端穿過所述彈性限位件固定件與所述調(diào)心座的外側(cè)壁接觸。
8.如權(quán)利要求7所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連接結(jié)構(gòu)包含三個彈性限位組件，三個彈性限位組件均勻分別在同一圓周上。
9.如權(quán)利要求7所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述彈性限位件為彈性柱銷。
10.如權(quán)利要求7所述的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述彈性限位件固定件設(shè)有螺紋孔，所述彈性限位件的一端穿過所述螺紋孔與所述調(diào)心座的外側(cè)壁接觸。
專利摘要本實用新型的用于調(diào)焦調(diào)平的連接機(jī)構(gòu)包括調(diào)整組件和輔助操作組件，調(diào)整組件包括調(diào)整螺桿、第一帶齒螺母、調(diào)心座、調(diào)心球、防轉(zhuǎn)銷和第一鎖緊螺母；第一帶齒螺母套接在調(diào)整螺桿上；調(diào)心座、調(diào)心球和第一鎖緊螺母均套接在調(diào)整螺桿上，調(diào)心球的一端為球面端，調(diào)心球的另一端為平面端，調(diào)心座與調(diào)心球的球面端連接，第一鎖緊螺母與調(diào)心球的平面端連接；防轉(zhuǎn)銷的一端穿過調(diào)心座和調(diào)心球、與調(diào)整螺桿的外側(cè)壁接觸；輔助操作組件包括旋轉(zhuǎn)軸、固定螺母、第二帶齒螺母和第二鎖緊螺母；固定螺母套接在旋轉(zhuǎn)軸上，且與旋轉(zhuǎn)軸連接；第二帶齒螺母套接在旋轉(zhuǎn)軸上，且與旋轉(zhuǎn)軸固定連接；第二鎖緊螺母套接在旋轉(zhuǎn)軸上，且與旋轉(zhuǎn)軸連接。
文檔編號G03F7/20GK202533636SQ201220089378
公開日2012年11月14日 申請日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月9日
發(fā)明者李中秋, 李志丹, 章富平 申請人:上海微電子裝備有限公司