專利名稱：壓電式物鏡驅(qū)動進給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種物鏡驅(qū)動裝置。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的光學顯微鏡的呈現(xiàn)清晰度完全取決于光學鏡頭的放大倍數(shù)，而當前光學鏡頭的最大放大倍數(shù)只能達到1600倍(人眼分辨的清晰度為Imm左右，以1600倍放大為例，最小觀察精度為0. 625微米)。現(xiàn)有物鏡驅(qū)動裝置一般采用電機驅(qū)動或者手調(diào)，精度達不到要求、響應(yīng)時間慢、體積過大且噪聲大
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種壓電式物鏡驅(qū)動進給裝置，以解決目前物鏡驅(qū)動裝置一般采用電機驅(qū)動或者手調(diào)，精度達不到要求、響應(yīng)時間慢、體積過大且噪聲大的問題。本實用新型為解決上述技術(shù)問題采取的技術(shù)方案是所述裝置包括殼體、平行四邊形機構(gòu)、壓電陶瓷、后蓋、預(yù)緊頂絲、鎢鋼片、物鏡側(cè)適配器和顯微鏡側(cè)適配器，平行四邊形機構(gòu)是由殼體線切割而成的具有四個柔性鉸接點的平行四邊形機構(gòu)，平行四邊形機構(gòu)的四個鉸接點分別定義為第一鉸接點、第二鉸接點、第三鉸接點和第四鉸接點，壓電陶瓷設(shè)在殼體內(nèi)，壓電陶瓷的一端與鎢鋼片粘接，壓電陶瓷的另一端與后蓋粘接，后蓋與殼體連接，第二鉸接點與第三鉸接點之間的邊通過預(yù)緊頂絲上的球點與鎢鋼片接觸，物鏡側(cè)適配器和顯微鏡側(cè)適配器并列設(shè)置在殼體上，平行四邊形機構(gòu)帶動殼體及物鏡側(cè)適配器運動。本實用新型具有以下有益效果當采用壓電式驅(qū)動機構(gòu)帶動普通光學鏡頭進行Z向的I納米精確進給，同時精度可控制在納米量級，通過此進給調(diào)節(jié)可以精確地接近被檢測物體，實現(xiàn)更高精度的觀察或操作。

圖I是本實用新型整體結(jié)構(gòu)主剖視圖，圖2是運動機構(gòu)示意圖。
具體實施方式
具體實施方式
一結(jié)合圖I和圖2說明本實施方式，本實施方式的裝置包括殼體I、平行四邊形機構(gòu)2、壓電陶瓷3、后蓋4、預(yù)緊頂絲5、鎢鋼片6、物鏡側(cè)適配器7和顯微鏡側(cè)適配器8，平行四邊形機構(gòu)2是由殼體線切割而成的具有四個柔性鉸接點的平行四邊形機構(gòu)，平行四邊形機構(gòu)2的四個鉸接點分別定義為第一鉸接點2-1、第二鉸接點2-2、第三鉸接點2-3和第四鉸接點2-4，壓電陶瓷3設(shè)在殼體I內(nèi)，壓電陶瓷3的一端與鎢鋼片6粘接，壓電陶瓷3的另一端與后蓋4粘接，后蓋4與殼體I連接，第二鉸接點2-2與第三鉸接點2-3之間的邊通過預(yù)緊頂絲5上的球點與鎢鋼片6接觸，物鏡側(cè)適配器7和顯微鏡側(cè)適配器8并列設(shè)置在殼體I上，平行四邊形機構(gòu)2帶動殼體I及物鏡側(cè)適配器7運動。
具體實施方式
二 結(jié)合圖I說明本實施方式，本實施方式的裝置還包括多個鎖緊螺絲9，物鏡側(cè)適配器7和顯微鏡側(cè)適配器8均通過鎖緊螺絲9固定。其它實施方式與具體實施方式
一相同。工作原理壓電陶瓷3在給定電壓下進行膨脹移動，同時頂住預(yù)緊頂絲5帶動平行四邊形機構(gòu)2向外膨脹運動，整個平行四邊形機構(gòu)2帶動物鏡側(cè)適配器8進行運動。權(quán)利要求1.一種壓電式物鏡驅(qū)動進給裝置，其特征在于所述裝置包括殼體(I)、平行四邊形機構(gòu)(2)、壓電陶瓷(3)、后蓋(4)、預(yù)緊頂絲(5)、鎢鋼片(6)、物鏡側(cè)適配器(7)和顯微鏡側(cè)適配器(8)，平行四邊形機構(gòu)(2)是由殼體線切割而成的具有四個柔性鉸接點的平行四邊形機構(gòu)，平行四邊形機構(gòu)(2)的四個鉸接點分別定義為第一鉸接點(2-1)、第二鉸接點(2-2)、第三鉸接點(2-3)和第四鉸接點(2-4)，壓電陶瓷(3)設(shè)在殼體(I)內(nèi)，壓電陶瓷(3)的一端與鎢鋼片(6)粘接，壓電陶瓷(3)的另一端與后蓋⑷粘接，后蓋⑷與殼體⑴連接，第ニ鉸接點(2-2)與第三鉸接點(2-3)之間的邊通過預(yù)緊頂絲(5)上的球點與鎢鋼片(6)接觸，物鏡側(cè)適配器(7)和顯微鏡側(cè)適配器(8)并列設(shè)置在殼體(I)上，平行四邊形機構(gòu)(2)帶動殼體(I)及物鏡側(cè)適配器(7)運動。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述壓電式物鏡驅(qū)動進給裝置，其特征在于所述裝置還包括多個鎖緊螺絲(9)，物鏡側(cè)適配器(7)和顯微鏡側(cè)適配器(8)均通過鎖緊螺絲(9)固定。
專利摘要壓電式物鏡驅(qū)動進給裝置，它涉及一種物鏡驅(qū)動裝置。該裝置解決目前物鏡驅(qū)動裝置一般采用電機驅(qū)動或者手調(diào)，精度達不到要求、響應(yīng)時間慢、體積過大且噪聲大的問題。平行四邊形機構(gòu)是由殼體線切割而成的具有四個柔性鉸接點的平行四邊形機構(gòu)，平行四邊形機構(gòu)的四個鉸接點分別定義為第一鉸接點、第二鉸接點、第三鉸接點和第四鉸接點，壓電陶瓷設(shè)在殼體內(nèi)，壓電陶瓷的一端與鎢鋼片粘接，壓電陶瓷的另一端與后蓋粘接，后蓋與殼體連接，第二鉸接點與第三鉸接點之間的邊通過預(yù)緊頂絲上的球點與鎢鋼片接觸，物鏡側(cè)適配器和顯微鏡側(cè)適配器并列設(shè)置在殼體上，平行四邊形機構(gòu)帶動殼體及物鏡側(cè)適配器運動。本實用新型用于物鏡驅(qū)動。
文檔編號G02B21/24GK202512289SQ20122018305
公開日2012年10月31日 申請日期2012年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月26日
發(fā)明者鄧恩坤, 陳 峰 申請人:哈爾濱芯明天科技有限公司