專利名稱：光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
[0002]光刻技術(shù)是用于在襯底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖。這樣的襯底可包括用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等的基片。經(jīng)常使用的基片為半導(dǎo)體晶圓或玻璃基片。[0003]電子系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的自動(dòng)控制，主要包括光學(xué)焦距的自動(dòng)控制、激光機(jī)能量的穩(wěn)定控制，氣動(dòng)門(mén)的控制以及各種告警指示。其中每一個(gè)功能都需要一個(gè)電子子系統(tǒng)，每一個(gè)子系統(tǒng)都需要一個(gè)開(kāi)關(guān)電源供電，并且與上位機(jī)通信。這樣，接線眾多，不但亂，而且檢修不方便。電子系統(tǒng)是光刻機(jī)中不可缺少的一個(gè)組成部分，其體積的大小，布線的復(fù)雜程度將影響光刻機(jī)的整體設(shè)計(jì)與布局，因此，應(yīng)盡量的減少電子系統(tǒng)的布線與體積。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]本實(shí)用新型提供一種使用一個(gè)通信系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)各個(gè)子系統(tǒng)與上位機(jī)的通信，使用連接板實(shí)現(xiàn)各個(gè)子系統(tǒng)與·通信系統(tǒng)的連接與供電的光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)。[0005]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下[0006]光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)，包括有上位機(jī)和多個(gè)子系統(tǒng)，其特征在于還包括有電路板、連接板，所述的電路板上設(shè)有通信系統(tǒng)，通信系統(tǒng)還擴(kuò)展設(shè)有8個(gè)SPI 口、兩個(gè)串口和一個(gè)網(wǎng)口，上位機(jī)通過(guò)網(wǎng)口與通信系統(tǒng)進(jìn)行通信連接，各個(gè)子系統(tǒng)通過(guò)SPI 口和串口與通信系統(tǒng)連接，各個(gè)子系統(tǒng)均置于連接板上，所述的連接板上設(shè)有電源，連接板上的電源為各個(gè)子系統(tǒng)供電。[0007]所述的各個(gè)子系統(tǒng)和連接板固定于一個(gè)4U機(jī)箱中。[0008]本實(shí)用新型增加連接板，連接板負(fù)責(zé)將所有的子系統(tǒng)連接起來(lái)，并給子系統(tǒng)提供電源，將各個(gè)子系統(tǒng)插在連接板上，與通信系統(tǒng)連接起來(lái)，各個(gè)子系統(tǒng)與通信系統(tǒng)通過(guò)SPI 口和串口與通信系統(tǒng)通信。將所有的子系統(tǒng)固定在4U機(jī)箱之中，減少外界的干擾。上位機(jī)通過(guò)網(wǎng)口將數(shù)據(jù)發(fā)送給通信系統(tǒng)，通信系統(tǒng)將數(shù)據(jù)通過(guò)SPI 口和串口轉(zhuǎn)發(fā)給各個(gè)子系統(tǒng)， 同時(shí)各個(gè)子系統(tǒng)也可以將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)給通信系統(tǒng)，通信系統(tǒng)在將數(shù)據(jù)發(fā)送給上位機(jī)。[0009]本實(shí)用新型的有益效果在于[0010]本實(shí)用新型在不影響電控整個(gè)性能的前提下，減小了電子系統(tǒng)的體積與布線數(shù)量，給光刻機(jī)的安裝和運(yùn)輸帶來(lái)了極大的方便。


[0011]圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0012]如圖I所不,光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu),包括有上位機(jī)I和多個(gè)子系統(tǒng)2, 還包括有電路板5、連接板4，電路板5上設(shè)有通信系統(tǒng)3，通信系統(tǒng)3還擴(kuò)展設(shè)有8個(gè)SPI 口、兩個(gè)串口和一個(gè)網(wǎng)口，上位機(jī)I通過(guò)網(wǎng)口與通信系統(tǒng)3進(jìn)行通信連接，各個(gè)子系統(tǒng)2通過(guò)SPI 口和串口與通信系統(tǒng)3連接，各個(gè)子系統(tǒng)均置于連接板4上，連接板4上設(shè)有電源， 連接板4上的電源為各個(gè)子系統(tǒng)2供電。[0013]各個(gè)子系統(tǒng)2和連接板4固定于一個(gè)4U機(jī)箱中。
權(quán)利要求1.一種光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)，包括有上位機(jī)和多個(gè)子系統(tǒng)，其特征在于 還包括有電路板、連接板，所述的電路板上設(shè)有通信系統(tǒng)，通信系統(tǒng)還擴(kuò)展設(shè)有8個(gè)SPI 口、 兩個(gè)串口和一個(gè)網(wǎng)口，上位機(jī)通過(guò)網(wǎng)口與通信系統(tǒng)進(jìn)行通信連接，各個(gè)子系統(tǒng)通過(guò)SPI 口和串口與通信系統(tǒng)連接，各個(gè)子系統(tǒng)均置于連接板上，所述的連接板上設(shè)有電源，連接板上的電源為各個(gè)子系統(tǒng)供電。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的各個(gè)子系統(tǒng)和連接板固定于一個(gè)4U機(jī)箱中。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)，包括有上位機(jī)和多個(gè)子系統(tǒng)、電路板、連接板，電路板上設(shè)有通信系統(tǒng)，通信系統(tǒng)還擴(kuò)展設(shè)有8個(gè)SPI口、兩個(gè)串口和一個(gè)網(wǎng)口，上位機(jī)通過(guò)網(wǎng)口與通信系統(tǒng)進(jìn)行通信連接，各個(gè)子系統(tǒng)通過(guò)SPI口和串口與通信系統(tǒng)連接，各個(gè)子系統(tǒng)均置于連接板上，連接板上設(shè)有電源，連接板上的電源為各個(gè)子系統(tǒng)供電。本實(shí)用新型在不影響電控整個(gè)性能的前提下，減小了電子系統(tǒng)的體積與布線數(shù)量，給光刻機(jī)的安裝和運(yùn)輸帶來(lái)了極大的方便。
文檔編號(hào)G03F7/20GK202735678SQ20122027123
公開(kāi)日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月8日
發(fā)明者陳修濤, 周玉, 陳勇 申請(qǐng)人:合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司