專利名稱：新型高分辨率檢查鏡頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于鏡頭技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及新型高分辨率檢查鏡頭。
背景技術(shù)：
檢查鏡頭主要用于光學(xué)Α0Ι、半導(dǎo)體A0I、FPD A0I、PCB Α0Ι、材料AOI等檢測(cè)。現(xiàn)有技術(shù)中的檢查鏡頭有一個(gè)特點(diǎn)就是均為外置光源，也就是說光源和鏡頭分為二個(gè)不同的獨(dú)立單元體，不是同一個(gè)獨(dú)立體，這樣自然無法發(fā)揮出鏡頭本身最優(yōu)的成像品質(zhì)。并且現(xiàn)有技術(shù)中的檢查鏡頭的光學(xué)放大成像系統(tǒng)在成像和照明時(shí)均需要特定的環(huán)境和檢查要求，可
調(diào)性差。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型的目的在于設(shè)計(jì)提供一種新型高分辨率檢查鏡頭的技術(shù)方案，該檢查鏡頭增加了鏡頭的使用范圍和使用靈活性，達(dá)到了鏡頭的最優(yōu)性能。所述的新型高分辨率檢查鏡頭，包括光學(xué)放大成像系統(tǒng)，所述的光學(xué)放大成像系統(tǒng)上方配合設(shè)置(XD，光學(xué)放大成像系統(tǒng)下方同軸配合設(shè)置立方膠合棱鏡，立方膠合棱鏡側(cè)面設(shè)置與光學(xué)放大成像系統(tǒng)光軸垂直的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于所述的光學(xué)放大成像系統(tǒng)中設(shè)有可變換成像光欄，所述的照明光學(xué)系統(tǒng)中設(shè)有可變換照明光欄。所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的照明光學(xué)系統(tǒng)中設(shè)有照明可移動(dòng)鏡組。所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的光學(xué)放大成像系統(tǒng)包括同軸設(shè)置的成像第一透鏡、成像第二透鏡、成像第三透鏡和成像第四透鏡，所述的成像第三透鏡和成像第四透鏡之間同軸配合設(shè)置可變換成像光欄。所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的立方膠合棱鏡由第一直角棱鏡和第二直角棱鏡兩斜面膠合構(gòu)成，所述的立方膠合棱鏡的膠合面分別與光學(xué)放大成像系統(tǒng)、照明光學(xué)系統(tǒng)成45度。所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的照明光學(xué)系統(tǒng)包括照明第一透鏡，所述的照明第一透鏡左側(cè)依次同軸配合設(shè)置可變換照明光欄和照明可移動(dòng)鏡組。所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的照明光學(xué)系統(tǒng)左側(cè)配合設(shè)置移動(dòng)均光棒和照明光纖。所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的照明可移動(dòng)鏡組由一組照明第二透鏡構(gòu)成。 上述的新型高分辨率檢查鏡頭，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，將光學(xué)放大成像系統(tǒng)和照明光學(xué)系統(tǒng)連接在一起，在光學(xué)放大成像系統(tǒng)和光學(xué)放大成像系統(tǒng)中設(shè)置可變換光欄，可以更多的應(yīng)對(duì)不同的使用環(huán)境和檢測(cè)條件，增加了使用范圍，并在照明光學(xué)系統(tǒng)上增加照明可移動(dòng)鏡組，可針對(duì)不同的光學(xué)放大成像系統(tǒng)，更改到相對(duì)應(yīng)的NA，使光學(xué)放大成像系統(tǒng)達(dá)到最優(yōu)的性能。

圖I為本實(shí)用新型的光路示意圖；圖2為本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1_光學(xué)放大成像系統(tǒng)；2-可變換成像光欄；3-第二直角棱鏡；4-第一直角棱鏡；5_照明光學(xué)系統(tǒng)；6_可變換照明光欄；7_照明可移動(dòng)鏡組；8_照明光纖；9-CCD ；10-成像第一透鏡；11_成像第二透鏡；12_成像第三透鏡；13_成像第四透鏡；14_照明第一透鏡；15-照明第二透鏡；16-橡皮圈；17-移動(dòng)均光棒。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合說明書附圖來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型?！と鐖D所示，新型高分辨率檢查鏡頭包括光學(xué)放大成像系統(tǒng)1，光學(xué)放大成像系統(tǒng)I上方同軸配合設(shè)置(XD9,下方同軸設(shè)置由第一直角棱鏡4和第二直角棱鏡3兩斜面膠合而成的立方膠合棱鏡，立方膠合棱鏡的膠合面與光學(xué)放大成像系統(tǒng)I的光軸成45度，在與光學(xué)放大成像系統(tǒng)I的光軸垂直方向的立方膠合棱鏡側(cè)面設(shè)置照明光學(xué)系統(tǒng)5。為了使得該檢查鏡頭發(fā)揮最佳的性能，在光學(xué)放大成像系統(tǒng)I中設(shè)置可變換成像光欄2，在照明光學(xué)系統(tǒng)5中設(shè)置可變換照明光欄6和照明可移動(dòng)鏡組7。光學(xué)放大成像系統(tǒng)I優(yōu)選結(jié)構(gòu)包括同軸設(shè)置的成像第一透鏡10、成像第二透鏡
11、成像第三透鏡12和成像第四透鏡13，成像第三透鏡12和成像第四透鏡13之間同軸配合設(shè)置可變換成像光欄2。照明光學(xué)系統(tǒng)5優(yōu)選結(jié)構(gòu)包括照明第一透鏡14，照明第一透鏡14左側(cè)依次同軸配合設(shè)置可變換照明光欄6和照明可移動(dòng)鏡組7，照明可移動(dòng)鏡組7由一組照明第二透鏡15構(gòu)成。同時(shí)在照明光學(xué)系統(tǒng)5左側(cè)配合設(shè)置移動(dòng)均光棒17和照明光纖8,移動(dòng)均光棒17由橡膠圈16固定。該實(shí)用新型需要外帶一個(gè)光源，可以白熾燈光源、也可以是LED光源。將光源發(fā)射光匯聚到照明光纖8上，然后照明光纖8出射的光束通過移動(dòng)均光棒17，出射均勻光束，之后通過照明可移動(dòng)鏡組7、可變換照明光欄6、照明第一透鏡14，經(jīng)過立方膠合棱鏡的45°膠合面的反射，匯聚光到需要照明的物體上，在這個(gè)過程中，可根據(jù)光學(xué)放大成像系統(tǒng)I的不同，調(diào)整可變換照明光欄6以及照明可移動(dòng)鏡組7的位置，達(dá)到最優(yōu)效果。需要照明的物體被照明后，表面形成反射光，通過第一直角棱鏡4和第二直角棱鏡3后，再經(jīng)過光學(xué)放大成像系統(tǒng)I (包括內(nèi)部的可變換成像光欄2)放大成像到(XD9上，CCD9通過光電轉(zhuǎn)換系統(tǒng)在顯示屏上觀測(cè)。在該過程中，由于被照明物體有可能凹凸不平，高低起伏很大，照明光強(qiáng)弱要求程度不一樣，需要不同的成像條件，此時(shí)更換可變換成像光欄2，放進(jìn)不同的形狀，來達(dá)到遮擋相應(yīng)光束的要求，并調(diào)節(jié)景深，達(dá)到最優(yōu)的成像、測(cè)量效果。以上所述及圖中所示的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.新型高分辨率檢查鏡頭，包括光學(xué)放大成像系統(tǒng)(I)，所述的光學(xué)放大成像系統(tǒng)(I)上方同軸配合設(shè)置CXD (9)，光學(xué)放大成像系統(tǒng)(I)下方同軸配合設(shè)置立方膠合棱鏡，立方膠合棱鏡側(cè)面設(shè)置與光學(xué)放大成像系統(tǒng)(I)光軸垂直的照明光學(xué)系統(tǒng)(5)，其特征在于所述的光學(xué)放大成像系統(tǒng)(I)中設(shè)有可變換成像光欄(2)，所述的照明光學(xué)系統(tǒng)(5)中設(shè)有可變換照明光欄(6)。
2.如權(quán)利要求I所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的照明光學(xué)系統(tǒng)(5)中設(shè)有照明可移動(dòng)鏡組(7 )。
3.如權(quán)利要求I所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的光學(xué)放大成像系統(tǒng)(I)包括同軸設(shè)置的成像第一透鏡(10)、成像第二透鏡(11 )、成像第三透鏡(12)和成像第四透鏡(13)，所述的成像第三透鏡(12)和成像第四透鏡(13)之間同軸配合設(shè)置可變換成像光欄(2)。
4.如權(quán)利要求I所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的立方膠合棱鏡由第一直角棱鏡(4)和第二直角棱鏡(3)兩斜面膠合構(gòu)成，所述的立方膠合棱鏡的膠合面分別與光學(xué)放大成像系統(tǒng)(I)、照明光學(xué)系統(tǒng)(5)成45度。
5.如權(quán)利要求I所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的照明光學(xué)系統(tǒng)(5)包括照明第一透鏡(14)，所述的照明第一透鏡(14)左側(cè)依次同軸配合設(shè)置可變換照明光欄(6)和照明可移動(dòng)鏡組(7)。
6.如權(quán)利要求I所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的照明光學(xué)系統(tǒng)(5)左側(cè)配合設(shè)置移動(dòng)均光棒(17)和照明光纖(8)。
7.如權(quán)利要求2所述的新型高分辨率檢查鏡頭，其特征在于所述的照明可移動(dòng)鏡組(7)由一組照明第二透鏡(15)構(gòu)成。
專利摘要新型高分辨率檢查鏡頭，屬于鏡頭技術(shù)領(lǐng)域。其包括光學(xué)放大成像系統(tǒng)，光學(xué)放大成像系統(tǒng)上方同軸配合設(shè)置CCD，光學(xué)放大成像系統(tǒng)下方同軸配合設(shè)置立方膠合棱鏡，立方膠合棱鏡側(cè)面設(shè)置與光學(xué)放大成像系統(tǒng)光軸垂直的照明光學(xué)系統(tǒng)，光學(xué)放大成像系統(tǒng)中設(shè)有可變換成像光欄，照明光學(xué)系統(tǒng)中設(shè)有可變換照明光欄。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，將光學(xué)放大成像系統(tǒng)和照明光學(xué)系統(tǒng)連接在一起，在光學(xué)放大成像系統(tǒng)和光學(xué)放大成像系統(tǒng)中設(shè)置可變換光欄，可以更多的應(yīng)對(duì)不同的使用環(huán)境和檢測(cè)條件，增加了使用范圍，并在照明光學(xué)系統(tǒng)上增加照明可移動(dòng)鏡組，可針對(duì)不同的光學(xué)放大成像系統(tǒng)，更改到相對(duì)應(yīng)的NA，使光學(xué)放大成像系統(tǒng)達(dá)到最優(yōu)的性能。
文檔編號(hào)G02B13/00GK202794674SQ20122033185
公開日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月10日
發(fā)明者王俊 申請(qǐng)人:杭州志達(dá)光電有限公司