專利名稱：光罩定位結(jié)構(gòu)及光罩盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種光罩定位結(jié)構(gòu)及光罩盒。
背景技術(shù)：
在光刻工藝中，光罩是半導(dǎo)體光刻機(jī)所用圖形掩模板，作為光刻圖形掩模板要求極高，環(huán)境要求無塵等級(jí)較高。請(qǐng)參閱圖1，圖1所示為現(xiàn)有的光罩盒的結(jié)構(gòu)示意圖，由圖1可見，現(xiàn)有的光罩盒包括由底板11和側(cè)板12圍成的一端具有開口的盒體、用于封住所述開口的封蓋(未圖示)、以及用于支撐光罩10的光罩支撐架13，采用固定設(shè)置的豎向擋板14對(duì)光罩10進(jìn)行限位，由于制造和安裝的精度問題，豎向擋板14和光罩10之間往往會(huì)出現(xiàn)間隙，由于該間隙的存在，在搬運(yùn)光罩盒的過程中，其內(nèi)的光罩10容易出現(xiàn)水平滑動(dòng)和上下震動(dòng)，產(chǎn)生位置偏移，位置偏離可能會(huì)造成以下后果:(I)、摩擦產(chǎn)生微塵，產(chǎn)生光罩污染，引起產(chǎn)品返工或報(bào)廢；(2)、光罩震動(dòng)，具有損害保護(hù)膜的風(fēng)險(xiǎn)。所述保護(hù)膜是指用于保護(hù)光罩底面的圖形的一層薄膜，其極易損壞。一旦保護(hù)膜損害，光罩就非常容易受到損害，而光罩的損害對(duì)于光刻生產(chǎn)流程產(chǎn)生很大影響，甚至產(chǎn)生產(chǎn)品停線的風(fēng)險(xiǎn)；(3)、機(jī)器傳送手臂報(bào)警或部件損壞，甚至光罩掉落損壞，有可能引起產(chǎn)品停線，這對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)來說也是極大的風(fēng)險(xiǎn)。因此，如何提供一種能夠穩(wěn)固地夾持住光罩，達(dá)到使光罩精確定位的目的，避免光罩出現(xiàn)滑動(dòng)、震動(dòng)或摩擦現(xiàn)象，能避免產(chǎn)生微塵的光罩定位結(jié)構(gòu)及光罩盒是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種光罩定位結(jié)構(gòu)及光罩盒，通過采用三個(gè)以上受壓后能夠向側(cè)向變形的彈性定位件，能夠穩(wěn)固地夾持住光罩的側(cè)壁，達(dá)到使光罩精確定位的目的，避免了光罩出現(xiàn)滑動(dòng)和震動(dòng)，無摩擦現(xiàn)象，防止產(chǎn)生微塵。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:—種光罩定位結(jié)構(gòu)，用于防止位于光罩盒內(nèi)的光罩發(fā)生位移，包括三個(gè)以上受壓變形后能夠擠壓光罩側(cè)壁的彈性定位件，所述三個(gè)以上彈性定位件環(huán)繞設(shè)置于所述光罩的四周。優(yōu)選的，在上述的光罩定位結(jié)構(gòu)中，所述彈性定位件包括彈性八面體。優(yōu)選的，在上述的光罩定位結(jié)構(gòu)中，所述彈性定位件還包括彈簧軸、彈簧和壓板，所述彈簧軸沿所述彈性八面體的豎向軸線設(shè)置，所述彈簧繞設(shè)于所述彈簧軸的外側(cè)，所述彈簧軸的上端伸出所述彈性八面體后與所述壓板固定連接。優(yōu)選的，在上述的光罩定位結(jié)構(gòu)中，所述彈性定位件均勻環(huán)繞設(shè)置于所述光罩的四周。優(yōu)選的，在上述的光罩定位結(jié)構(gòu)中，所述彈性定位件的數(shù)量是31個(gè)。[0014]本實(shí)用新型還公開了一種光罩盒，包括由底板和側(cè)板圍成的一端具有開口的盒體、用于封住所述開口的封蓋、以及用于支撐光罩的光罩支撐架，還包括如上所述的光罩定位結(jié)構(gòu)，所述彈性定位件放松狀態(tài)時(shí)的高度大于所述封蓋封住所述開口時(shí)封蓋的內(nèi)表面至所述底板的內(nèi)表面之間的距離。[0015]優(yōu)選的，在上述的光罩盒中，所述彈性定位件包括彈性八面體。[0016]優(yōu)選的，在上述的光罩盒中，所述彈性定位件還包括彈簧軸、彈簧和壓板，所述彈簧軸沿所述彈性八面體的豎向軸線設(shè)置，所述彈簧繞設(shè)于所述彈簧軸的外側(cè)，所述彈簧軸的上端伸出所述彈性八面體后與所述壓板固定連接，彈簧放松狀態(tài)時(shí)所述壓板的上表面至所述底板的內(nèi)表面之間的距離大于所述封蓋封住所述開口時(shí)封蓋的內(nèi)表面至所述底板的內(nèi)表面之間的距離。[0017]優(yōu)選的，在上述的光罩盒中，所述彈性定位件均勻環(huán)繞設(shè)置于所述光罩的四周。[0018]優(yōu)選的，在上述的光罩盒中，所述彈性定位件的數(shù)量是31個(gè)。[0019]本實(shí)用新型提供的光罩定位結(jié)構(gòu)及光罩盒，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，通過將光罩的定位結(jié)構(gòu)由原先的固定設(shè)置的垂向定位板改成彈性定位件，三個(gè)以上彈性定位件受壓后能夠向側(cè)向變形，從而，穩(wěn)固地夾持住光罩的側(cè)壁；一方面，能夠達(dá)到光罩精確定位的目的 ’另一方面，避免了光罩出現(xiàn)滑動(dòng)和震動(dòng)現(xiàn)象，再一方面，彈性定位件垂直接觸光罩的側(cè)面，無摩擦現(xiàn)象，避免產(chǎn)生微塵， 從而有效保護(hù)光罩，降低光罩盒和設(shè)備運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)，提高生產(chǎn)效率。
[0020]本實(shí)用新型的光罩定位結(jié)構(gòu)及光罩盒由以下的實(shí)施例及附圖給出。[0021]圖1為現(xiàn)有的光罩定位結(jié)構(gòu)及光罩盒的結(jié)構(gòu)示意圖。[0022]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的采用一種形式的彈性定位件的光罩盒的結(jié)構(gòu)示意圖。[0023]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例的采用另一種形式的彈性定位件的光罩盒的結(jié)構(gòu)示意圖。[0024]圖中，10、20-光罩，11、21-底板、12、22-側(cè)板、13、23-光罩支撐架、14-豎向擋板、24-彈性定位件、241-彈性八面體、242-彈簧軸、243-彈簧、244-壓板。
具體實(shí)施方式
[0025]下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有益效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。[0026]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。[0027]為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。[0028]實(shí)施例一[0029]請(qǐng)參閱圖2，這種光罩定位結(jié)構(gòu)，用于防止位于光罩盒內(nèi)的光罩20發(fā)生位移，包括三個(gè)以上受壓變形后能夠擠壓光罩20的側(cè)壁的彈性定位件24，所述三個(gè)以上彈性定位件24環(huán)繞設(shè)置于所述光罩20的四周，也就是說，當(dāng)三個(gè)以上彈性定位件受壓時(shí)，能夠發(fā)生變形從而對(duì)光罩20的側(cè)壁進(jìn)行擠壓,實(shí)現(xiàn)對(duì)光罩20的穩(wěn)固定位,一方面,能夠達(dá)到光罩20精確定位的目的；另一方面，避免了光罩20出現(xiàn)滑動(dòng)和震動(dòng)現(xiàn)象；再一方面，彈性定位件24垂直接觸光罩20的側(cè)面，無摩擦現(xiàn)象，避免產(chǎn)生微塵，從而有效保護(hù)光罩20，降低光罩盒和設(shè)備運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)，提聞生廣效率。[0030]優(yōu)選的，在上述的光罩定位結(jié)構(gòu)中，所述彈性定位件24包括彈性八面體241、彈簧軸242、彈簧243和壓板244，所述彈簧軸242沿所述彈性八面體241的豎向軸線設(shè)置，所述彈簧243繞設(shè)于所述彈簧軸242的外側(cè)，所述彈簧軸242的上端伸出所述彈性八面體241后與所述壓板244固定連接。當(dāng)然，所述彈性定位件僅僅采用彈性八面體241也可以實(shí)現(xiàn)變形擠壓的功能，如圖3所示。[0031]優(yōu)選的，在上述的光罩定位結(jié)構(gòu)中，所述彈性定位件24均勻環(huán)繞設(shè)置于所述光罩20的四周，從而可以使得光罩20均勻受到彈性定位件的夾持作用力。[0032]優(yōu)選的，所述彈性定位件24的數(shù)量可以是31個(gè)。本實(shí)施例中，所述彈性定位件的數(shù)量是4個(gè)。[0033]實(shí)施例二[0034]請(qǐng)繼續(xù)參閱2，本實(shí)施例提供了一種光罩盒，包括由底板21和側(cè)板22圍成的一端具有開口的盒體、用于封住所述開口的封蓋(未圖示)、以及用于支撐光罩的光罩支撐架23，還包括實(shí)施例一所述的光罩定位結(jié)構(gòu)，其中，所述彈性定位件24放松狀態(tài)時(shí)的高度大于所述封蓋封住所述開口時(shí)封蓋的內(nèi)表面至所述底板21的內(nèi)表面之間的距離。[0035]優(yōu)選的，在上述的光罩定位結(jié)構(gòu)中，所述彈性定位件24包括彈性八面體241、彈簧軸242、彈簧243和壓板244，所述彈簧軸242沿所述彈性八面體241的豎向軸線設(shè)置，所述彈簧243繞設(shè)于所述彈簧軸242的外側(cè)，所述彈簧軸242的上端伸出所述彈性八面體241后與所述壓板244固定連接，彈簧243放松狀態(tài)時(shí)所述壓板244的上表面至所述底板21的內(nèi)表面之間的距離大于所述封蓋封住所述開口時(shí)封蓋的內(nèi)表面至所述底板21的內(nèi)表面之間的距離。當(dāng)然，所述彈性定位件僅僅采用彈性八面體241也可以實(shí)現(xiàn)變形擠壓的功能，如圖3所示。[0036]優(yōu)選的，在上述的光罩盒中，所述側(cè)板22的橫截面是圓形的，從而可以減小光罩盒的外徑以及材料的使用量，達(dá)到節(jié)能的目的。[0037]優(yōu)選的，在上述的光罩盒中，所述光罩支撐架23為環(huán)狀體結(jié)構(gòu),所述光罩支撐架23的結(jié)構(gòu)與被支撐對(duì)象(即光罩20)的形狀相對(duì)應(yīng)，起到穩(wěn)固支撐的作用。[0038]綜上所述，本實(shí)用新型提供的光罩定位結(jié)構(gòu)及光罩盒，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，通過將光罩的定位結(jié)構(gòu)由原先的固定設(shè)置的垂向定位板改成彈性定位件，三個(gè)以上彈性定位件受壓后能夠向側(cè)向變形，從而，穩(wěn)固地夾持住光罩的側(cè)壁，一方面，能夠達(dá)到光罩精確定位的目的；另一方面，避免了光罩出現(xiàn)滑動(dòng)和震動(dòng)現(xiàn)象；再一方面，彈性定位件垂直接觸光罩的側(cè)面，無摩擦現(xiàn)象，避免產(chǎn)生微塵，從而有效保護(hù)光罩，降低光罩盒和設(shè)備運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)，提高生產(chǎn)效率。[0039] 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種光罩定位結(jié)構(gòu)，用于防止位于光罩盒內(nèi)的光罩發(fā)生位移，其特征在于:包括三個(gè)以上受壓變形后能夠擠壓光罩側(cè)壁的彈性定位件，所述三個(gè)以上彈性定位件環(huán)繞設(shè)置于所述光罩的四周。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩定位結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彈性定位件包括彈性八面體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光罩定位結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彈性定位件還包括彈簧軸、彈簧和壓板，所述彈簧軸沿所述彈性八面體的豎向軸線設(shè)置，所述彈簧繞設(shè)于所述彈簧軸的外側(cè)，所述彈簧軸的上端伸出所述彈性八面體后與所述壓板固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩定位結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彈性定位件均勻環(huán)繞設(shè)置于所述光罩的四周。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光罩定位結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彈性定位件的數(shù)量是3 8個(gè)。
6.一種光罩盒，包括由底板和側(cè)板圍成的一端具有開口的盒體、用于封住所述開口的封蓋、以及用于支撐光罩的光罩支撐架，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1所述的光罩定位結(jié)構(gòu)，所述彈性定位件放松狀態(tài)時(shí)的高度大于所述封蓋封住所述開口時(shí)封蓋的內(nèi)表面至所述底板的內(nèi)表面之間的距離。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩盒，其特征在于，所述彈性定位件包括彈性八面體。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光罩盒，其特征在于，所述彈性定位件還包括彈簧軸、彈簧和壓板，所述彈簧軸沿所述彈性八面體的豎向軸線設(shè)置，所述彈簧繞設(shè)于所述彈簧軸的外側(cè)，所述彈簧軸的上端伸出所述彈性八面體后與所述壓板固定連接，彈簧放松狀態(tài)時(shí)所述壓板的上表面至所述底板的內(nèi)表面之間的距離大于所述封蓋封住所述開口時(shí)封蓋的內(nèi)表面至所述底板的內(nèi)表面之間的距離。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩盒，其特征在于，所述彈性定位件均勻環(huán)繞設(shè)置于所述光罩的四周。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光罩盒，其特征在于，所述彈性定位件的數(shù)量是31個(gè)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種光罩定位結(jié)構(gòu)，用于防止位于光罩盒內(nèi)的光罩發(fā)生位移，包括三個(gè)以上受壓變形后能夠擠壓光罩側(cè)壁的彈性定位件，所述三個(gè)以上彈性定位件環(huán)繞設(shè)置于所述光罩的四周。本實(shí)用新型還公開了一種光罩盒，包括由底板和側(cè)板圍成的一端具有開口的盒體、用于封住所述開口的封蓋、以及用于支撐光罩的光罩支撐架，所述光罩盒還包括如上所述的光罩定位結(jié)構(gòu)，所述彈性定位件放松狀態(tài)時(shí)的高度大于所述封蓋封住所述開口時(shí)封蓋的內(nèi)表面至所述底板的內(nèi)表面之間的距離。通過采用三個(gè)以上受壓后能夠向側(cè)向變形的彈性定位件，能夠穩(wěn)固地夾持住光罩的側(cè)壁，達(dá)到光罩精確定位的目的，避免了光罩出現(xiàn)滑動(dòng)和震動(dòng)現(xiàn)象，無摩擦現(xiàn)象，避免產(chǎn)生微塵。
文檔編號(hào)G03F1/66GK202956584SQ201220674128
公開日2013年5月29日 申請(qǐng)日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月7日
發(fā)明者王猛 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司