板狀體的研磨方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種板狀體的研磨方法，使板狀體保持部件和研磨工具相對靠近，從而通過上述研磨工具研磨由上述板狀體保持部件所保持的上述板狀體，其中，上述板狀體保持部件保持板狀體的非研磨面，并且進行公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)的某一個動作，上述研磨工具在對上述板狀體的研磨面進行研磨的面上具有沿著一個方向的多個槽，并且該研磨工具進行公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)的另一個動作，在所述板狀體的研磨方法中，獨立控制上述板狀體保持部件及上述研磨工具的上述公轉(zhuǎn)動作及上述自轉(zhuǎn)動作，在上述板狀體的研磨過程中，變更上述自轉(zhuǎn)的角速度。
【專利說明】板狀體的研磨方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種板狀體的研磨方法。
【背景技術(shù)】
[0002]板狀體、尤其是應(yīng)用于液晶顯示器的玻璃板中，其表面的微小的凹凸、波紋是導(dǎo)致圖像產(chǎn)生失真的原因，因此通過研磨裝置去除該微小的凹凸、波紋。作為這種研磨裝置，下述研磨裝置普遍為世人所知:在將夾具上保持的玻璃板推抵到在研磨平臺上設(shè)置的研磨墊上的同時，使研磨平臺及夾具相對旋轉(zhuǎn)來研磨玻璃板。
[0003]專利文獻I公開的研磨裝置在夾具的下部設(shè)置可撓性膜體，并且向膜體和夾具之間供給加壓氣體，通過該加壓氣體的壓力，將膜體上粘貼的玻璃板推壓到研磨布上研磨。根據(jù)該研磨裝置，通過膜體和夾具之間的空間中存在的加壓氣體，施加到玻璃板各部分的壓力成為均勻的壓力，因此具有在平坦地研磨玻璃板的同時可去除玻璃板表面的微小凹凸的優(yōu)點。
[0004]并且，專利文獻I的研磨裝置向研磨平臺供給衆(zhòng)液(研磨液)，使該衆(zhòng)液從研磨墊的表面滲出而研磨玻璃板。專利文獻I中公開了帶槽的研磨墊，在該研磨墊的表面，以5至IOmm的間距沿著一個方向形成寬2至6mm、深I(lǐng)至5mm的多個槽。通過該研磨墊，可將研磨中使用的漿液經(jīng)由上述槽排出到研磨墊的外部，因此具有研磨墊不易產(chǎn)生堵塞、研磨力穩(wěn)定的優(yōu)點。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:日本國特開2004-122351號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的問題
[0009]但是，在專利文獻I的研磨裝置中存在以下問題:研磨墊的槽轉(zhuǎn)印到研磨后的玻璃板的研磨面上，產(chǎn)生條狀花紋的研磨不均，并且該研磨不均為局部產(chǎn)生。
[0010]本發(fā)明鑒于這一情況，其目的在于提供一種板狀體的研磨方法，可去除板狀體表面的微小凹凸、波紋，并且可抑制因研磨墊的槽而產(chǎn)生的局部性研磨不均。
[0011]用于解決問題的手段
[0012]本發(fā)明為實現(xiàn)上述目的，提供一種板狀體的研磨方法，使板狀體保持部件和研磨工具相對靠近，從而通過上述研磨工具研磨由上述板狀體保持部件所保持的上述板狀體，其中，上述板狀體保持部件保持板狀體的非研磨面，并且進行公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)的某一個動作，上述研磨工具在對上述板狀體的研磨面進行研磨的面上具有沿著一個方向的多個槽，并且該研磨工具進行公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)的另一個動作，所述板狀體的研磨方法的特征在于，獨立控制上述板狀體保持部件及上述研磨工具的上述公轉(zhuǎn)動作及上述自轉(zhuǎn)動作，在上述板狀體的研磨過程中，變更上述自轉(zhuǎn)的角速度。[0013]根據(jù)本發(fā)明，通過公轉(zhuǎn)動作可獲得用于去除板狀體的表面的凹凸的主要的力，因此可去除板狀體的表面的微小凹凸、波紋。并且，通過自轉(zhuǎn)動作可控制板狀體的研磨面的質(zhì)量。在自轉(zhuǎn)動作中，以一定的角速度持續(xù)研磨時，在板狀體上產(chǎn)生因研磨工具的槽而導(dǎo)致的局部性研磨不均。因此，本發(fā)明在板狀體的研磨中，變更自轉(zhuǎn)的角速度。這樣一來，研磨工具的研磨模式改變，因此可抑制因研磨工具的槽而導(dǎo)致的局部性研磨不均。
[0014]本發(fā)明的研磨方法優(yōu)選，具有如下工序:粘貼工序，在上述板狀體的粘貼位置，將上述板狀體的非研磨面粘貼到板狀體粘貼部件上；板狀體傳送工序，通過保持部將上述板狀體粘貼部件從上述粘貼位置傳送到上述板狀體的研磨位置，其中，上述保持部被安裝成沿著配置在上述粘貼位置和上述研磨位置之間的引導(dǎo)部件移動自如，而在上述粘貼位置和上述研磨位置之間進行往返運動；研磨工序，在將上述板狀體粘貼部件安裝到位于上述研磨位置的上述板狀體保持部件上后，通過上述研磨工具研磨粘貼在上述板狀體粘貼部件上的上述板狀體；板狀體卸下工序，從上述板狀體粘貼部件卸下上述板狀體，并從上述板狀體保持部件卸下該板狀體粘貼部件，或者，從上述板狀體保持部件卸下上述板狀體粘貼部件，并從該板狀體粘貼部件卸下上述板狀體；以及送回工序，將卸下了上述板狀體的上述板狀體粘貼部件送回到上述粘貼位置，在上述研磨工序中，將上述板狀體粘貼部件傳送到了上述研磨位置的上述保持部被送回到上述粘貼位置。
[0015]本發(fā)明的研磨方法優(yōu)選，具有如下工序:粘貼工序，在上述板狀體的粘貼位置，將上述板狀體的非研磨面粘貼到板狀體粘貼部件上；板狀體傳送工序,通過第I保持部將上述板狀體粘貼部件從上述粘貼位置傳送到上述板狀體的第I研磨位置，其中，上述第I保持部被安裝成沿著配置在上述粘貼位置和上述第I研磨位置之間的引導(dǎo)部件移動自如，而在上述粘貼位置和上述第I研磨位置之間進行往返運動；第I研磨工序，在將上述板狀體粘貼部件安裝到位于上述第I研磨位置的上述板狀體保持部件上后，通過上述研磨工具中的第I研磨工具研磨粘貼在上述板狀體粘貼部件上的上述板狀體；板狀體傳送工序，通過第2保持部將上述板狀體粘貼部件從上述第I研磨位置傳送到第2研磨位置，其中，上述第2保持部被安裝成沿著配置在上述第I研磨位置和上述第2研磨位置之間的引導(dǎo)部件移動自如，而在上述第I研磨位置和上述第2研磨位置之間進行往返運動；第2研磨工序，在將上述板狀體粘貼部件安裝到位于上述第2研磨位置的上述板狀體保持部件上后，通過上述研磨工具中的第2研磨工具研磨粘貼在上述板狀體粘貼部件上的上述板狀體；板狀體卸下工序,從上述板狀體粘貼部件卸下上述板狀體,并從上述板狀體保持部件卸下該板狀體粘貼部件，或者，從上述板狀體保持部件卸下上述板狀體粘貼部件，并從該板狀體粘貼部件卸下上述板狀體；以及送回工序，將卸下了上述板狀體的上述板狀體粘貼部件送回到上述板狀體粘貼位置，在上述第I研磨工序中，將上述板狀體粘貼部件傳送到了上述研磨位置的上述第I保持部被送回到上述粘貼位置，在上述第2研磨工序中，將上述板狀體粘貼部件傳送到了上述第2研磨位置的上述第2保持部被送回到上述第I研磨位置。
[0016]在批式研磨裝置中，需要在粘貼位置保持粘貼了板狀體的板狀體粘貼部件，并將其傳送到研磨位置?，F(xiàn)有技術(shù)中，使板狀體保持部件從研磨位置移動到粘貼位置，在此將板狀體粘貼部件安裝到板狀體保持部件上，之后，使板狀體保持部件從粘貼位置移動到研磨位置，從而傳送板狀體粘貼部件。但是，在該傳送方法中，使板狀體的研磨結(jié)束后的板狀體保持部件在研磨位置和粘貼位置之間往返移動，因此板狀體粘貼部件的傳送需要數(shù)十秒至數(shù)分鐘的時間，該時間對提高板狀體的生產(chǎn)率的課題產(chǎn)生影響。并且，隨著板狀體的大型化而板狀體粘貼部件變得大型時，板狀體保持部件也變得大型，其重量會達到數(shù)十噸。移動這種重物的板狀體保持部件，在裝置結(jié)構(gòu)上非常費力，并且移動速度也無法提高，且增大運行成本。
[0017]因此，本發(fā)明為縮短板狀體粘貼部件的傳送所需的時間，將用于保持并傳送板狀體粘貼部件的小型專用傳送設(shè)備設(shè)置在研磨裝置內(nèi)，提供一種提高了這種情況下的板狀體的生產(chǎn)率的研磨方法。即，本發(fā)明的目的以去除板狀體的表面的微小凹凸、波紋，且抑制因研磨墊的槽導(dǎo)致的局部性研磨不均為前提，并提高板狀體的生產(chǎn)率。
[0018]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明在研磨裝置上設(shè)置由引導(dǎo)部件及保持部構(gòu)成的專用傳送設(shè)備，提供一種使用了該專用傳送設(shè)備的研磨方法。
[0019]并且，為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明在研磨裝置上設(shè)置由引導(dǎo)部件、第I保持部及第2保持部構(gòu)成的專用傳送設(shè)備，提供一種使用了該專用傳送設(shè)備的研磨方法。
[0020]上述保持部和上述第I保持部產(chǎn)生相同的功能、作用，因此在上述研磨方法中，說明后者的研磨方法。
[0021]本發(fā)明的研磨方法具有粘貼工序、板狀體傳送工序、第I研磨工序、第2研磨工序、板狀體卸下工序及送回工序，在第I研磨工序中的板狀體的研磨時間(包括將板狀體粘貼部件安裝到板狀體保持部件的時間)中，將板狀體粘貼部傳送到了第I研磨位置的第I保持部被沿著引導(dǎo)部件送回到粘貼位置。并且，在第2研磨工序中的板狀體的研磨時間(包括將板狀體粘貼部件安裝到板狀體保持部件的時間)中，將板狀體粘貼部傳送到了第2研磨位置的第2保持部被沿著引導(dǎo)部件送回到第I研磨位置。
[0022]因此，利用第I研磨工序中的板狀體的研磨時間，將第I保持部送回到粘貼位置，從而可利用上述研磨時間，使第I保持部保持粘貼了下一板狀體的板狀體粘貼部件。并且，當?shù)贗研磨工序結(jié)束后，可立刻將粘貼了下一板狀體的板狀體粘貼部件通過第I保持部傳送到第I研磨位置。并且，利用第2研磨工序中的板狀體的研磨時間，將第2保持部送回到第I研磨位置，從而可利用上述研磨時間，使第2保持部在第I研磨位置待機。并且，當?shù)贗研磨工序結(jié)束后，可立刻將板狀體粘貼部件通過第2保持部從第I研磨位置傳送到第2研磨位置。
[0023]因此，本發(fā)明的研磨方法在研磨時間內(nèi)可實施將第I保持部從第I研磨位置送回到粘貼位置的工序、使保持部保持粘貼了下一板狀體的板狀體粘貼部件的工序及將第2保持部件從第2研磨位置送回到第I研磨位置的工序，因此和使板狀體保持部件在研磨位置和粘貼位置之間往返移動的現(xiàn)有的研磨方法相比，板狀體的生產(chǎn)率大幅提高。
[0024]本發(fā)明的板狀體的研磨方法優(yōu)選，上述板狀體粘貼部件構(gòu)成為矩形，上述板狀體保持部件進行公轉(zhuǎn)動作，上述研磨工具通過以預(yù)定角度范圍旋回、或者該旋回與沿著上述板狀體的研磨面的方向的擺動的組合動作，使上述板狀體和上述研磨工具之間產(chǎn)生相對運動。
[0025]并且，本發(fā)明的板狀體的研磨方法優(yōu)選，上述板狀體粘貼部件構(gòu)成為矩形，上述板狀體保持部件進行公轉(zhuǎn)動作，上述第I研磨工具及上述第2研磨工具通過以預(yù)定角度范圍旋回、或者該旋回與沿著上述板狀體的研磨面的方向的擺動的組合動作，使上述板狀體和上述第I研磨工具之間、以及上述板狀體和上述第2研磨工具之間產(chǎn)生相對運動。[0026]經(jīng)由板狀體粘貼部件利用板狀體保持部件使一邊超過IOOOmm的大型矩形板狀體自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)時，板狀體粘貼部件的運轉(zhuǎn)范圍變大，因此板狀體粘貼部件相對于板狀體保持部件的投入及取出需要較長時間。并且，通過本發(fā)明的研磨方法研磨的板狀體的一邊的長度如上所述，優(yōu)選大于1000mm，進一步優(yōu)選為2000mm(例如2200 X 2500mm)以上，更進一步優(yōu)選為2800(例如2800 X 3000mm)以上。
[0027]因此，是使保持粘貼了大型板狀體的板狀體粘貼部件的板狀體保持部件公轉(zhuǎn)、使研磨工具旋回的研磨方法。這樣一來，板狀體粘貼部件的運轉(zhuǎn)范圍和上述運轉(zhuǎn)范圍相比變小，因此可在短時間內(nèi)實施板狀體粘貼部件相對于板狀體保持部件的投入及取出。并且，板狀體粘貼部件的運轉(zhuǎn)范圍變小，因此可在設(shè)置了多個柱、梁的研磨裝置的狹小的空間內(nèi)設(shè)置專用傳送設(shè)備。進一步，通過使保持粘貼了板狀體的板狀體粘貼部件的板狀體保持部件公轉(zhuǎn)，可獲得用于去除板狀體的表面的微小凹凸的力。
[0028]進一步，使研磨工具側(cè)旋回的同時，在研磨過程中變更角速度，從而可防止研磨工具的表面狀態(tài)、例如形成于研磨工具的表面的槽被轉(zhuǎn)印到板狀體的研磨面。并且，可在實現(xiàn)板狀體保持部件的公轉(zhuǎn)及研磨工具的旋回的研磨動作的同時，通過專用傳送設(shè)備實現(xiàn)板狀體傳送的聞效化，因此和現(xiàn)有技術(shù)相比可提聞板狀體的生廣率。
[0029]本發(fā)明的板狀體的研磨方法優(yōu)選，上述引導(dǎo)部件具有平行配置的一對導(dǎo)軌，通過上述保持部在該一對導(dǎo)軌之間傳送上述板狀體粘貼部件，上述板狀體粘貼部件的相對于上述導(dǎo)軌的配置方向正交的方向的長度(LI)和從上述板狀體粘貼部件的端部到上述導(dǎo)軌的距離(L2、L3)的比(L2/LUL3/L1)是 0.28 至 0.35。
[0030]根據(jù)本發(fā)明，保持部的尺寸及剛性可優(yōu)化，可實現(xiàn)保持部的高速旋回動作及板狀體粘貼部件的高速傳送。此外，上述優(yōu)化是指，可使保持部的大小小型化，可抑制保持部的撓曲及保持部的振動。
[0031]本發(fā)明的板狀體的研磨方法優(yōu)選，上述引導(dǎo)部件具有平行配置的一對導(dǎo)軌，通過上述第I保持部及上述第2保持部在該一對導(dǎo)軌之間傳送上述板狀體粘貼部件，上述板狀體粘貼部件的相對于上述導(dǎo)軌的配置方向正交的方向的長度(L’ I)和從上述板狀體粘貼部件的端部到上述導(dǎo)軌的距離(L，2)的比(L，2/L，1、L，3/L，I)是0.28至0.35。
[0032]根據(jù)本發(fā)明，第I及第2保持部的尺寸及剛性可優(yōu)化，可實現(xiàn)第I及第2保持部的高速旋回動作及板狀體粘貼部件的高速傳送。此外，上述優(yōu)化是指，可使第I及第2保持部的大小小型化，可抑制第1、第2保持部的撓曲及第1、第2保持部的振動。
[0033]本發(fā)明的板狀體的研磨方法優(yōu)選，上述送回工序中，將上述板狀體粘貼部件在水平方向、垂直方向或相對于水平方向傾斜的傾斜方向送回。
[0034]根據(jù)本發(fā)明，將板狀體粘貼部件在水平方向送回時，可簡化送回工序設(shè)備、縮短送回時間。即，板狀體以水平姿態(tài)被研磨，因此板狀體粘貼部件也是水平姿態(tài)。因此，在板狀體的研磨結(jié)束后，如使板狀體粘貼部件保持該姿態(tài)(保持水平)被送回，則板狀體粘貼部件的姿態(tài)不會垂直或傾斜，因此可縮短送回時間。并且，將板狀體粘貼部件在垂直方向或相對于水平方向傾斜的傾斜方向送回時，可高效地進行送回工序內(nèi)的板狀體粘貼部件的清洗干燥。即，板狀體的研磨結(jié)束后，板狀體粘貼部件被清洗，因此在其表面殘留用于清洗的水分。通過使板狀體粘貼部件垂直或相對于水平方向傾斜，可使該水分流下，可高效地干燥板狀體粘貼部件、縮短干燥時間。[0035]發(fā)明效果
[0036]根據(jù)本發(fā)明，可去除板狀體的表面的微小凹凸、波紋，并且可抑制因研磨墊的槽而導(dǎo)致的局部性的研磨不均。并且，可提高板狀體的生產(chǎn)率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0037]圖1是表示實施方式的研磨裝置的整體構(gòu)造的俯視圖。
[0038]圖2是夾具及膜框的組裝立體圖。
[0039]圖3是表示研磨頭及研磨臺的實施方式的側(cè)視圖。
[0040]圖4是包括表示研磨平臺的結(jié)構(gòu)的局部剖開部的立體圖。
[0041]圖5是表示膜框相對于夾具的安裝構(gòu)造的要部放大剖視圖。
[0042]圖6(a)是表示使膜體膨脹并從膜框卸下玻璃板的初始狀態(tài)的圖。
[0043]圖6(b)是從壓縮空氣噴射噴嘴將壓縮空氣噴射到玻璃板的邊緣部與膜體之間的邊界部的圖。
[0044]圖6 (C)是從膜體剝離玻璃板的說明圖。
[0045]圖6(d)是將玻璃板從膜體完全卸下并放置在臺體上的說明圖。
[0046]圖6(e)是通過卸下裝置從夾具卸下膜框并將膜框放置于千斤頂?shù)恼f明圖。
[0047]圖7是表示傳送裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0048]圖8是表示傳送裝置的結(jié)構(gòu)的要部放大立體圖。
[0049]圖9是表示傳送裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0050]圖10是研磨墊的俯視圖。
[0051]圖11是研磨墊的要部放大剖視圖。
[0052]圖12是膜框與導(dǎo)軌的護罩碰撞的說明圖。
[0053]圖13是表示玻璃板的公轉(zhuǎn)軌跡的說明圖。
[0054]圖14是將玻璃板研磨后的粗糙度規(guī)格化并進行比較的圖表。
[0055]圖15是表示膜體和導(dǎo)軌的大小的關(guān)系的俯視圖。
【具體實施方式】
[0056]以下根據(jù)附圖詳述本發(fā)明的板狀體的研磨方法的優(yōu)選實施方式。
[0057]圖1是表示實施方式的研磨裝置10的整體構(gòu)造的俯視圖。圖2是夾具52及膜框14的組裝立體圖。圖3是表示研磨頭50及研磨臺的實施方式的側(cè)視圖。
[0058]研磨裝置10是將例如一邊大于1000mm、厚度為0.2mm至0.7mm的大型玻璃板G的研磨面研磨為液晶顯示器用玻璃板所需的平面度的研磨裝置。
[0059]該研磨裝置10主要具有搬入研磨前的玻璃板G的玻璃板搬入用傳送帶12、將玻璃板G粘貼到膜框(板狀體粘貼部件)14的玻璃板粘貼臺(粘貼位置:粘貼工序)16、第I研磨臺(第I研磨位置:第I研磨工序)18、第2研磨臺(第2研磨位置:第2研磨工序)20、將研磨完成的玻璃板G從膜框14卸下的玻璃板卸下臺(板狀體卸下工序)22、玻璃板搬出用傳送帶24、膜框清洗臺26、膜框干燥臺28及膜框送回傳送帶(送回工序)30。
[0060]以下為簡化說明，將玻璃板粘貼臺16、第I研磨臺18、第2研磨臺20、玻璃板卸下臺22、膜框清洗臺26及膜框干燥臺28記載為臺16、18、20、22、26、28。[0061]研磨裝置10中設(shè)有:傳送裝置(專用傳送設(shè)備)150，將膜框14從臺16傳送到臺18 ;傳送裝置152，將膜框14從臺18傳送到臺20 ;及傳送裝置154，將膜框14從臺20傳送到臺22。這些傳送裝置150、152、154結(jié)構(gòu)相同，通過統(tǒng)一控制研磨裝置10的控制部200控制其動作，在圖1中在左右方向同步地往返移動。
[0062]通過玻璃板搬入用傳送帶12搬入的研磨前的玻璃板G由設(shè)置在自動機32的臂部33的吸附墊34吸附保持。并且，將該玻璃板G通過臂部33的旋轉(zhuǎn)動作從玻璃板搬入用傳送帶12移置到傳送帶36，通過傳送帶36傳送到臺16。
[0063]在臺16上，將研磨前的玻璃板G粘貼到膜框14上。說明該粘貼方法，膜框14在臺16上由未圖示的升降裝置保持，當玻璃板G位于膜框14的下方時，膜框14通過升降裝置下降移動，將圖2所示的膜框14上架設(shè)的具有可撓性及自我吸附性的膜體38推壓到玻璃板G的非研磨面。通過該推壓力使玻璃板G的非研磨面粘貼到膜體38上。之后，膜框14由圖1的傳送裝置150保持，被傳送到圖3的臺18，在此被安裝到研磨頭50的夾具(板狀體保持部件)52上。此外，下述膜框14是指架設(shè)有膜體38的整體。并且，稍后詳述傳送裝置 150。
[0064]如圖2所示，膜框14如下構(gòu)成:將可粘貼玻璃板G的矩形的膜體38在同樣為矩形的上框40和下框42之間架設(shè)后，通過未圖示的螺栓擰緊上框40和下框42。
[0065]接著說明圖3所示的研磨頭50。并且，臺18的研磨頭50及臺20的研磨頭50結(jié)構(gòu)相同，因此標記相同的標號進行說明。
[0066]研磨頭50具有主體外殼51,在主體外殼51中內(nèi)置有未圖不的公轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)部。該公轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)部由行星齒輪機構(gòu)部和電機構(gòu)成，由該電機驅(qū)動的行星齒輪機構(gòu)部的輸出軸連接到向鉛直方向垂下的主軸56。并且，在該主軸56上連接夾具52。因此，當上述行星齒輪機構(gòu)部被驅(qū)動時，夾具52及膜框14以預(yù)定的公轉(zhuǎn)中心P為中心公轉(zhuǎn)(參照圖13)。
[0067]進一步，圖3所示的主體外殼51經(jīng)由滑塊158連接到升降機構(gòu)156。通過該升降機構(gòu)156使主體外殼51相對于滑塊158升降，從而使夾具52相對于臺18的圓形的研磨墊(第I研磨工具)58及臺20的圓形的研磨墊(第2研磨工具)60進退移動，并且，以預(yù)定的研磨壓力將膜框14上粘貼的玻璃板G的研磨面推壓到研磨墊58、60。
[0068]此外，也可以從研磨裝置10卸下滑塊158，將主體外殼51與升降機構(gòu)156直接連接。
[0069]圖4是包括表示研磨平臺62的結(jié)構(gòu)的局部剖開部的立體圖。研磨墊58如圖4所示，粘貼在研磨平臺62的上表面。該研磨平臺62被研磨基臺64支撐成通過軸承65旋轉(zhuǎn)自如，其旋轉(zhuǎn)中心和研磨墊58的中心軸設(shè)定在同軸上。并且，在研磨平臺62的側(cè)面設(shè)置齒輪部66，該齒輪部66與通過電機68旋轉(zhuǎn)的齒輪67嚙合。進一步，齒輪部66構(gòu)成為以研磨墊58的中心軸為中心的圓弧狀。因此，通過驅(qū)動電機68，使研磨墊58以其中心軸為中心轉(zhuǎn)動(自轉(zhuǎn))。
[0070]并且，研磨基臺64被平行配置的一對導(dǎo)軌69、69支撐成滑動移動自如。通過具有使研磨基臺64沿著導(dǎo)軌69、69往返動作的驅(qū)動部(未圖示)，使研磨墊58在必要時在水平方向擺動。研磨墊58的擺動方向可以是相與圖1的傳送裝置150的傳送方向正交的方向，也可是與該傳送方向平行的方向。即，只要是使研磨墊58在水平方向擺動的方向即可。
[0071]此外，圖4的研磨平臺62上連接多個軟管(未圖示)，用于向研磨墊58的背側(cè)供給漿液。為使這些軟管不纏繞在一起，研磨墊58的旋轉(zhuǎn)被限制，以使其從預(yù)定的基準位置開始以預(yù)定的角度范圍旋回。從上述軟管供給到研磨墊58的背側(cè)的漿液通過貫通研磨墊58的內(nèi)部的漿液供給孔而被供給到研磨墊58的正面。
[0072]并且，研磨墊58的旋回角度的范圍、旋回速度等旋回動作、單位時間的公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速等公轉(zhuǎn)動作由圖1的控制部200獨立控制。
[0073]研磨墊60的各部分結(jié)構(gòu)和上述研磨墊58的結(jié)構(gòu)相同，在此省略其說明。
[0074]另一方面，如圖3所示，在臺18的滑塊158上安裝直動引導(dǎo)器70、70。直動引導(dǎo)器70、70與導(dǎo)軌72、72嵌合。該導(dǎo)軌72、72如圖1的虛線所示，朝向?qū)ε_18的主軸56、夾具52進行維護的維護臺74配置。
[0075]并且，如圖3所示，在臺20的滑塊158上也同樣安裝直動引導(dǎo)器70、70。直動引導(dǎo)器70、70與導(dǎo)軌160、160嵌合。該導(dǎo)軌160、160如圖1的虛線所示，朝向?qū)ε_20的主軸56、夾具52進行維護的維護臺76配置。
[0076]并且，也可從研磨裝置10卸下滑塊158，將直動引導(dǎo)器70、70直接安裝到升降機構(gòu)156 上。
[0077]接著說明圖2及圖5所示的夾具52。圖5是表示膜框14相對于夾具52的安裝構(gòu)造的要部放大剖視圖。
[0078]在夾具52的上部外周部上，通過未圖示的螺栓固定吊起框架78。在吊起框架78的凸緣部上以預(yù)定的等間隔開設(shè)有貫通孔80、80……，突起設(shè)置在滑動框架82 (slide-contact frame)的上表面的滑動框架吊具84如圖5所示,從下方貫通這些貫通孔80、80……。并且，滑動框架吊具84如圖5所示，貫通在吊起框架78和吊起用盤簧86之間配置的吊起彈簧88，并 且貫通吊起用盤簧86的貫通孔90，連接到螺旋千斤頂92。
[0079]因此，使螺旋千斤頂92動作，抵抗吊起彈簧88的施力而將滑動框架吊具84向上拉起，從而將滑動框架82相對于夾具52被拉起。這樣一來，裝卸自如地安裝在滑動框架82上的膜框14被拉起，向膜體38施加預(yù)定的張力。
[0080]在夾具52上開設(shè)有向空氣室54噴出壓縮空氣的噴射口 98、98……。這些噴射口98,98……經(jīng)由在夾具52的上表面設(shè)置的空氣室100，與圖3上的虛線所示的空氣供給路徑102連通?？諝夤┙o路徑102經(jīng)由研磨頭50上安裝的未圖示的旋轉(zhuǎn)接頭向研磨頭50的外部延伸設(shè)置，經(jīng)閥104連接到空氣泵106。因此，當打開閥104時，來自空氣泵106的壓縮空氣經(jīng)由空氣供給路徑102、圖5的空氣室100及噴射口 98被供給到空氣室54。這樣一來，壓縮空氣的壓力經(jīng)由膜體38傳遞到玻璃板G，通過該壓力，玻璃板G的研磨面被推壓到圖3的研磨墊58、60進行研磨。
[0081]接下來，說明圖2及圖5所示的膜框14的相對于滑動框架82的裝卸單元的構(gòu)造。
[0082]在膜框14的上框40上，多個銷108、108……等間隔地突起設(shè)置，這些銷108的上端部具有的大徑頭部Iio與在滑動框架82的下部固定的鉤112卡合，從而將膜框14安裝到滑動框架82。頭部110和鉤112的卡合力因通過螺旋千斤頂92頂起膜體38時的膜體38的反作用力而變強，在研磨時從膜體38受到的研磨阻力下，頭部110不會從鉤112脫落。
[0083]玻璃板G的研磨如圖3所示，通過傳送裝置150將粘貼了玻璃板G的膜框14從臺16傳送到臺18，在臺18上研磨了玻璃板G的研磨面后，通過傳送裝置152將粘貼了玻璃板G的膜框14從臺18依次傳送到臺20，在臺20上研磨玻璃板G的研磨面，這樣以2個階段實施。進一步，在臺20上結(jié)束玻璃板G的研磨后，膜框14在此從夾具52卸下，通過傳送裝置154傳送到臺22。此外，研磨臺根據(jù)用途不同可以是一個，也可是二個以上?？紤]到效率、成本，優(yōu)選具有粗磨臺和精磨臺兩個臺，但根據(jù)情況不同，也可為了提高質(zhì)量而再增加精磨臺。
[0084]從夾具52卸下膜框14的方法是，首先使圖5所示的螺旋千斤頂92向松弛方向動作，消除膜體38的張力。接著，使膜框14相對于夾具52滑動，從鉤112卸下頭部110。這樣一來,將膜框14從夾具52卸下。
[0085]另一方面，在圖1所示的臺22上，從由傳送裝置154傳送來的膜框14卸下結(jié)束研磨后的玻璃板G。卸下的玻璃板G由傳送帶138傳送，并且被自動機140的臂部142上安裝的吸附頭144吸附，通過自動機140的動作移至玻璃板搬出用傳送帶24，搬出到研磨裝置10的外部。
[0086]圖6(a)至6(d)表示在臺22上實施的、將研磨完成的玻璃板G從膜框14卸下的工序。此外，在圖6(a)至6(d)中，說明了從膜框14卸下玻璃板G后，從夾具52卸下膜框14的例子，但如上所述，也可在從夾具52卸下膜框14后，從膜框14卸下玻璃板G。
[0087]如圖6(a)所示，當夾具52位于臺22上設(shè)置的臺體204的上方時，經(jīng)由空氣供給路徑102向空氣室54供給空氣，使膜體38膨脹。該狀態(tài)是玻璃板G卸下的初始狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，玻璃板G和膜體38產(chǎn)生相對位置偏移，并且通過玻璃板G想要恢復(fù)平坦的彈力，容易將玻璃板G從膜體38卸下。即，現(xiàn)有技術(shù)中因強制性卸下玻璃板G而使設(shè)備產(chǎn)生負擔(dān)的卸下工序，通過使膜體38膨脹而變得易于進行。
[0088]為縮短卸下工序的作業(yè)時間，列舉其他實施方式。如圖6(b)所示，在圖6(a)的工序后，從與玻璃板G的邊緣部相對配置的多個壓縮空氣噴射噴嘴206、206將壓縮空氣噴射到玻璃板G的邊緣部和膜體38間的邊界部。這樣一來，如圖6(c)所示，將玻璃板G從膜體38剝離。膜體38的吸附力因壓縮空氣而下降，因此玻璃板G易于從膜體38卸下。此外，也可替代壓縮空氣而噴射水，并 且同時噴射水和壓縮空氣時也可獲得同樣的效果。此外，在圖6(c)中省略了噴嘴206。
[0089]圖6(d)表示玻璃板G完全從膜體38卸下并放置在臺體204上的狀態(tài)。之后，玻璃板G通過圖1所示的傳送帶138傳送，并且，通過自動機140移至玻璃板搬出用傳送帶24，搬出到研磨裝置10的外部。
[0090]另一方面，如圖6(d)所示，玻璃板G從膜體38完全卸下后，接著如圖6(e)所示，通過卸下裝置將膜框14從夾具52卸下，將膜框14放置在千斤頂208、208上。該膜框14通過圖1所示的傳送帶146傳送到膜框清洗臺26。
[0091]傳送到臺26的膜框14在此被水洗。清洗結(jié)束的膜框14通過傳送帶148傳送到臺28，在此被加熱并干燥。并且，干燥結(jié)束的膜框14通過膜框送回傳送帶30傳送到臺16，再次用于玻璃板G的粘貼。
[0092]接著，參照圖7、圖8及圖9說明傳送裝置150 (152、154)。圖7、8及9分別是表示傳送裝置150(152、154)的結(jié)構(gòu)的立體圖、要部放大立體圖、俯視圖。
[0093]傳送裝置150具有從下方保持設(shè)置在膜框14的四角部的突起部43的4個保持部162、162……。這些保持部162、162……配置在臺16和臺18之間形成的膜框14的傳送路徑的兩側(cè)，連接到小型自動機164的軸166。通過小型自動機164向鉛直方向及水平方向驅(qū)動該軸166，從而向鉛直方向及水平方向驅(qū)動保持部162。此外，從臺16向臺18傳送膜框14的保持部162是第I保持部，從臺18向臺20傳送膜框14的保持部162是第2保持部。
[0094]并且，如圖8所示，在小型自動機164的下部固定導(dǎo)塊168，該導(dǎo)塊168與配置在膜框14的傳送路徑兩側(cè)的導(dǎo)軌(引導(dǎo)部件)170、170嵌合。并且，導(dǎo)塊168與沿著導(dǎo)軌170配置的進給螺桿裝置的進給螺桿172螺合。這樣一來，粘貼了玻璃板G的膜框14由傳送裝置150 (152、154)的保持部162、162……保持，從臺16傳送到臺18。并且，通過保持部162、162……的下降移動動作，能夠?qū)魉偷脚_18的膜框14放置到臺18的研磨墊58上，之后，通過保持部162、162……的水平方向的轉(zhuǎn)動動作，可使保持部162、162……從膜框14退避移動。并且，從膜框14退避移動的保持部162、162……在玻璃板G的研磨過程中向臺16送回。其中，臺16上放置的粘貼了下一玻璃板G的膜框14由保持部162、162……保持，待機至下一次傳送為止。保持部162在臺之間的移動、相對于膜框14的鉛直方向及水平方向的動作由圖1所示的控制部200控制。
[0095]在實施方式中，導(dǎo)軌170配置在膜框14的傳送路徑的兩側(cè)，但導(dǎo)軌170的個數(shù)不限于一對(2根)。也可僅配置在膜框14的傳送路徑的一側(cè)。但當導(dǎo)軌170配置在傳送路徑的兩側(cè)時，能夠從和導(dǎo)軌170相對的兩側(cè)保持玻璃板G,因此可穩(wěn)定地保持玻璃板G。
[0096]接著，說明如上構(gòu)成的研磨裝置10的作用。
[0097](實施例)
[0098]臺18、20的規(guī)格如下。
[0099]研磨壓力:2kPa至 25kPa
[0100]研磨漿液:從研磨平臺的漿液供給孔供給將氧化鈰分散到水中的研磨漿液
.[0101]研磨墊58:為聚氨酯泡沫制，正面具有使?jié){液流動的槽(槽間距4.5mm，槽寬1.5mm,槽深 I 至 5mm)
[0102]研磨墊60:為軟質(zhì)聚氨酯制，絨面革狀，正面具有使?jié){液流動的槽(槽間距4.5mm,槽寬1.5mm,槽深I(lǐng)至5mm)
[0103]玻璃板G的厚度:0.2mm至0.7_
[0104]玻璃板G的形狀:一邊超過3000mm的矩形玻璃板
[0105]玻璃板G的非研磨面:通過構(gòu)成膜體38的聚氨酯制的吸附墊密合保持
[0106]如圖10所不,在研磨墊58 (60)的正面，在同一方向具有多個槽59、59......。各個
槽59如圖11所示，槽間距a=4.5mm,槽寬b=l.5mm,槽深c=l至5mm。
[0107](臺18的第I研磨工序)
[0108]研磨時間:根據(jù)要求平面度及需要加工余量決定(例如為2分鐘)
[0109]夾具52的公轉(zhuǎn)直徑:150mm
[0110]夾具52的公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速:IIOrpm
[0111]研磨基臺64的擺動速度:180mm/min
[0112]研磨基臺64的擺動沖程:± IOOmm
[0113]研磨平臺62的旋回范圍:±80°
[0114]研磨平臺62的旋回速度:7.4° /sec
[0115](臺20的第2研磨工序)
[0116]研磨時間:最后30sec[0117]夾具52的公轉(zhuǎn)直徑:150mm
[0118]夾具52的公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速:IIOrpm
[0119]研磨基臺64的擺動速度:180mm/min
[0120]研磨基臺64的擺動沖程:土 IOOmm
[0121]研磨平臺62的旋回范圍:±80°
[0122]研磨平臺62的旋回速度:0.1° /sec
[0123]以上是各個臺18、20的規(guī)格，通過這些臺18、20研磨玻璃板G，從而可去除玻璃板G表面的微小凹凸、波紋。
[0124]并且，這樣獨立控制夾具52的公轉(zhuǎn)動作及研磨平臺62的旋回動作，在玻璃板G的研磨時間內(nèi)，將研磨平 臺62的旋回速度(角速度)變更為低速，從而可抑制因研磨墊58、60的槽59產(chǎn)生的局部性研磨不均。其中，上述公轉(zhuǎn)動作產(chǎn)生的力成為去除玻璃板G表面的微小凹凸的力，上述旋回動作產(chǎn)生的力成為控制研磨面的質(zhì)量的力。
[0125]圖14是將通過現(xiàn)有的研磨方法和實施方式的研磨方法研磨的玻璃板的粗糙度規(guī)格化并進行比較的圖表。該圖表的粗線A是實施方式的研磨方法下的規(guī)格化的粗糙度，細線B是現(xiàn)有的研磨方法下的規(guī)格化的粗糙度。并且，該圖表的縱軸將現(xiàn)有的研磨方法下的粗糙度的最大值作為1.0而規(guī)格化，橫軸將最大值作為10.0而規(guī)格化。玻璃板的粗糙度測定使用株式會社東京精密制造的觸針式形狀測定器(產(chǎn)品名:寸一7 - A )。
[0126]如該圖表所示，根據(jù)實施方式的研磨方法，和現(xiàn)有的研磨方法相比，改善了玻璃板的粗糙度。
[0127]此外，旋回速度在粗磨時優(yōu)選為30° /sec以下，進一步優(yōu)選為10° /sec以下。精磨時優(yōu)選為10° /sec以下，進一步優(yōu)選為3° /sec以下。
[0128]并且，使夾具52進行旋回動作、研磨平臺62進行公轉(zhuǎn)動作時，也可獲得同樣的效果。并且，不限于旋回，在旋轉(zhuǎn)動作中，在研磨中途變更旋轉(zhuǎn)的角速度，也可獲得同樣的效果。進一步，上述角速度的變更不限于從高速到低速，也可從低速變更為高速。
[0129]另一方面，在實施方式的研磨裝置10中，為提高玻璃板G的生產(chǎn)率，將由保持部162、162……及一對導(dǎo)軌170、170構(gòu)成的傳送裝置150設(shè)置在研磨裝置10上。并且，在研磨工序中的玻璃板G的研磨時間(包括將膜框14安裝到夾具52的時間)內(nèi)，將膜框14傳送到了臺18的保持部162被沿著一對導(dǎo)軌170、170送回到臺16。
[0130]通過像這樣利用玻璃板G的研磨時間將保持部162從臺18送回到臺16，可利用研磨時間使保持部162保持粘貼了下一玻璃板G的膜框14。并且，在前一玻璃板G的研磨結(jié)束后，可立刻將粘貼了下一玻璃板G的膜框14通過保持部162傳送到臺18。
[0131]并且，利用臺20的玻璃板G的研磨時間，將膜框14從臺18傳送到了臺20的保持部162被從臺20送回到臺18。這樣一來，可利用上述研磨時間，使上述保持部162在臺18上待機。并且，在臺18結(jié)束研磨工序后，可立刻將膜框14通過上述保持部162從臺18傳送到臺20。此外，在將上述保持部162從臺20送回到臺18前，使保持部162移動到圖8的雙點劃線所示的退避位置。這樣一來，保持部162不與研磨墊60干擾地被送回。
[0132]S卩，根據(jù)使用了傳送裝置150的研磨方法，在研磨時間內(nèi)可實施將保持部162從臺18送回到臺16的工序、使保持部162保持粘貼了下一玻璃板G的膜框14的工序及將保持部162從臺20送回到臺18的工序，因此與使夾具在臺18和臺16之間往返移動的現(xiàn)有的研磨方法相比，可大幅提高玻璃板G的生產(chǎn)率。
[0133]另一方面，在實施方式中，膜框14對應(yīng)于玻璃板G的形狀而形成為矩形。并且，夾具52進行公轉(zhuǎn)動作，并且研磨墊58 (60)通過以預(yù)定的角度范圍旋回、或者該旋回和沿著玻璃板G的研磨面的方向的擺動的組合動作，使玻璃板G和研磨墊58 ￠0)之間產(chǎn)生相對運動，從而研磨玻璃板G。
[0134]經(jīng)由膜框14利用夾具52使一邊大于IOOOmm的大型的矩形玻璃板G自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)時，膜框14的運轉(zhuǎn)范圍變大，因此膜框14的相對于夾具52的投入及取出需要較長時間。并且，如圖12所示，膜框14與導(dǎo)軌170的護罩174碰撞。
[0135]因此，在實施方式中研磨方法如下:如圖13所示地使大型的膜框14 (玻璃板G)側(cè)以公轉(zhuǎn)中心P為中心公轉(zhuǎn)，如圖4所示地使研磨墊58(60)側(cè)旋回。
[0136]這樣一來，膜框14的運轉(zhuǎn)范圍和上述運轉(zhuǎn)范圍相比變小，因此可在短時間內(nèi)實施膜框14的相對于夾具52的投入及取出，并且可防止膜框14與導(dǎo)軌170的護罩174碰撞。并且，膜框14的運轉(zhuǎn)范圍變小，因此能夠在設(shè)置了多個柱、梁的研磨裝置10的狹小的空間內(nèi)設(shè)置傳送裝置150。進一步，通過使膜框14側(cè)公轉(zhuǎn)，可獲得研磨所需的力，通過使研磨墊58(60)側(cè)旋回，可控制研磨面的質(zhì)量，因此可防止研磨墊58(60)的槽轉(zhuǎn)印到玻璃板G上。進一步，可在實現(xiàn)公轉(zhuǎn)和旋回這樣的研磨動作的同時，實現(xiàn)玻璃板G的傳送時間的高效化，因此可提高玻璃板G的生產(chǎn)率。
[0137]并且,在實施方式中，如圖15所不,優(yōu)選膜框14的相對于導(dǎo)軌170、170的配置方向正交的方向的長度LI和從膜框14的端部到導(dǎo)軌170、170的距離L2、L3的比(L2/L1、L3/LI)是 0.28 至 0.35。
[0138]這樣一來，保持部162 (參照圖9)的尺寸及剛性可優(yōu)化，可實現(xiàn)保持部162的高速旋回動作及膜框14的高速傳送。此外，上述優(yōu)化是指，可使保持部162的大小小型化，可抑制保持部162的撓曲及保持部 162的振動。并且，距離L2和L3可以是相同值，也可是不同值。
[0139]并且，在送回膜框14的工序中，優(yōu)選膜框14在水平方向、垂直方向、或相對于水平方向傾斜的傾斜方向上送回。
[0140]S卩，將膜框14在水平方向送回時，可簡化送回工序設(shè)備、縮短送回時間。S卩，玻璃板G以水平姿態(tài)被研磨，因此膜框14也是水平姿態(tài)。因此，在玻璃板G的研磨結(jié)束后，如使膜框14保持該姿態(tài)(保持水平)被送回，則膜框14的姿態(tài)不會垂直或傾斜，因此可縮短送回時間。并且，將膜框14在垂直方向或相對于水平方向傾斜的傾斜方向送回時，可高效地進行送回工序內(nèi)的膜框14的清洗干燥。即，玻璃板G的研磨結(jié)束后，膜框14在臺26上被清洗，因此在其表面殘留用于清洗的水分。通過使膜框14垂直或相對于水平方向傾斜，可使該水分從膜框14流下，從而可高效地干燥膜框14、縮短干燥時間。
[0141]參照特定的實施方式對本發(fā)明進行了詳細說明，但對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說顯而易見，如不脫離本發(fā)明的范圍和精神，可進行各種修正、變更。
[0142]本申請基于2011年3月15日申請的日本專利申請2011-056732，其內(nèi)容作為參照援引于此。
[0143]標號說明
[0144]G玻璃板[0145]10研磨裝置
[0146]12玻璃板搬入用傳送帶
[0147]14膜框
[0148]16玻璃板粘貼臺
[0149]18第I研磨臺
[0150]20第2研磨臺
[0151]22玻璃板卸下臺
[0152]24玻璃板搬出用傳送帶
[0153]26膜框清洗臺
[0154]28膜框干燥臺
[0155]30膜框送回傳送帶
[0156]32自動機
[0157]33臂部
[0158]34吸附墊
[0159]36傳 送帶
[0160]38膜體
[0161]40上框
[0162]42下框
[0163]43突起部
[0164]50研磨頭
[0165]51主體外殼
[0166]52夾具
[0167]54空氣室
[0168]56主軸
[0169]58研磨墊
[0170]60研磨墊
[0171]62研磨平臺
[0172]64研磨基臺
[0173]65軸承
[0174]66齒輪部
[0175]67齒輪
[0176]68電機
[0177]69導(dǎo)軌
[0178]70直動引導(dǎo)器
[0179]72導(dǎo)軌
[0180]74維護臺
[0181]76維護臺
[0182]78吊起框架
[0183]80貫通孔[0184]82滑動框架
[0185]84滑動框架吊具
[0186]86吊起用盤簧
[0187]88吊起彈簧
[0188]90貫通孔
[0189]92螺旋千斤頂
[0190]98噴射口
[0191]100空氣室
[0192]102空氣供給路徑
[0193]104閥
[0194]106空氣泵
[0195]108銷
[0196]110頭部
[0197]112鉤
[0198]114銷
[0199]138傳送帶
[0200]140自動機
[0201]142臂部
[0202]144吸附頭
[0203]146、148傳送帶
[0204]150、152、154 傳送裝置
[0205]160導(dǎo)軌
[0206]162保持部
[0207]164小型自動機
[0208]166臂部
[0209]168導(dǎo)塊
[0210]17導(dǎo)軌
[0211]172進給螺桿
[0212]174護罩
[0213]200控制部
[0214]204臺體
[0215]206空氣噴射噴嘴
[0216]208千斤頂
【權(quán)利要求】
1.一種板狀體的研磨方法，使板狀體保持部件和研磨工具相對靠近，從而通過上述研磨工具研磨由上述板狀體保持部件所保持的上述板狀體，其中，上述板狀體保持部件保持板狀體的非研磨面，并且進行公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)的某一個動作，上述研磨工具在對上述板狀體的研磨面進行研磨的面上具有沿著一個方向的多個槽，并且該研磨工具進行公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)的另一個動作，所述板狀體的研磨方法的特征在于， 獨立控制上述板狀體保持部件及上述研磨工具的上述公轉(zhuǎn)動作及上述自轉(zhuǎn)動作，在上述板狀體的研磨過程中，變更上述自轉(zhuǎn)的角速度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板狀體的研磨方法，其中， 該板狀體的研磨方法具有如下工序: 粘貼工序，在上述板狀體的粘貼位置，將上述板狀體的非研磨面粘貼到板狀體粘貼部件上； 板狀體傳送工序，通過保持部將上述板狀體粘貼部件從上述粘貼位置傳送到上述板狀體的研磨位置，其中，上述保持部被安裝成沿著配置在上述粘貼位置和上述研磨位置之間的引導(dǎo)部件移動自如，而在上述粘貼位置和上述研磨位置之間進行往返運動； 研磨工序，在將上述板狀體粘貼部件安裝到位于上述研磨位置的上述板狀體保持部件上后，通過上述研磨工具研磨粘貼在上述板狀體粘貼部件上的上述板狀體； 板狀體卸下工序，從上述板狀體粘貼部件卸下上述板狀體，并從上述板狀體保持部件卸下該板狀體粘貼部件，或者，從上述板狀體保持部件卸下上述板狀體粘貼部件，并從該板狀體粘貼部件卸下上述板狀體；以及 送回工序，將卸下了上述板狀體的上述板狀體粘貼部件送回到上述粘貼位置， 在上述研磨工序中，將上述板狀`體粘貼部件傳送到了上述研磨位置的上述保持部被送回到上述粘貼位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板狀體的研磨方法，其中， 該板狀體的研磨方法具有如下工序: 粘貼工序，在上述板狀體的粘貼位置，將上述板狀體的非研磨面粘貼到板狀體粘貼部件上； 板狀體傳送工序，通過第I保持部將上述板狀體粘貼部件從上述粘貼位置傳送到上述板狀體的第I研磨位置，其中，上述第I保持部被安裝成沿著配置在上述粘貼位置和上述第I研磨位置之間的引導(dǎo)部件移動自如，而在上述粘貼位置和上述第I研磨位置之間進行往返運動； 第I研磨工序，在將上述板狀體粘貼部件安裝到位于上述第I研磨位置的上述板狀體保持部件上后，通過上述研磨工具中的第I研磨工具研磨粘貼在上述板狀體粘貼部件上的上述板狀體； 板狀體傳送工序，通過第2保持部將上述板狀體粘貼部件從上述第I研磨位置傳送到第2研磨位置，其中，上述第2保持部被安裝成沿著配置在上述第I研磨位置和上述第2研磨位置之間的引導(dǎo)部件移動自如，而在上述第I研磨位置和上述第2研磨位置之間進行往返運動； 第2研磨工序，在將上述板狀體粘貼部件安裝到位于上述第2研磨位置的上述板狀體保持部件上后，通過上述研磨工具中的第2研磨工具研磨粘貼在上述板狀體粘貼部件上的上述板狀體； 板狀體卸下工序，從上述板狀體粘貼部件卸下上述板狀體，并從上述板狀體保持部件卸下該板狀體粘貼部件，或者，從上述板狀體保持部件卸下上述板狀體粘貼部件，并從該板狀體粘貼部件卸下上述板狀體；以及 送回工序，將卸下了上述板狀體的上述板狀體粘貼部件送回到上述板狀體粘貼位置， 在上述第I研磨工序中，將上述板狀體粘貼部件傳送到了上述研磨位置的上述第I保持部被送回到上述粘貼位置，在上述第2研磨工序中，將上述板狀體粘貼部件傳送到了上述第2研磨位置的上述第2保持部被送回到上述第I研磨位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板狀體的研磨方法，其中， 上述板狀體粘貼部件構(gòu)成為矩形， 上述板狀體保持部件進行公轉(zhuǎn)動作， 上述研磨工具通過以預(yù)定角度范圍旋回、或者該旋回與沿著上述板狀體的研磨面的方向的擺動的組 合動作，使上述板狀體和上述研磨工具之間產(chǎn)生相對運動。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板狀體的研磨方法，其中， 上述板狀體粘貼部件構(gòu)成為矩形， 上述板狀體保持部件進行公轉(zhuǎn)動作， 上述第I研磨工具及上述第2研磨工具通過以預(yù)定角度范圍旋回、或者該旋回與沿著上述板狀體的研磨面的方向的擺動的組合動作，使上述板狀體和上述第I研磨工具之間、以及上述板狀體和上述第2研磨工具之間產(chǎn)生相對運動。
6.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的板狀體的研磨方法，其中， 上述引導(dǎo)部件具有平行配置的一對導(dǎo)軌，通過上述保持部在該一對導(dǎo)軌之間傳送上述板狀體粘貼部件， 上述板狀體粘貼部件的相對于上述導(dǎo)軌的配置方向正交的方向的長度(LI)和從上述板狀體粘貼部件的端部到上述導(dǎo)軌的距離(L2、L3)的比(L2/L1、L3/L1)是0.28至0.35。
7.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的板狀體的研磨方法，其中， 上述引導(dǎo)部件具有平行配置的一對導(dǎo)軌，通過上述第I保持部及上述第2保持部在該一對導(dǎo)軌之間傳送上述板狀體粘貼部件， 上述板狀體粘貼部件的相對于上述導(dǎo)軌的配置方向正交的方向的長度(L’ I)和從上述板狀體粘貼部件的端部到上述導(dǎo)軌的距離(L’ 2)的比(L’ 2/L’ 1、L’ 3/L’ I)是0.28至0.35。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至7的任意一項所述的板狀體的研磨方法，其中， 上述送回工序中，將上述板狀體粘貼部件在水平方向、垂直方向或相對于水平方向傾斜的傾斜方向送回。
【文檔編號】G02F1/1333GK103429383SQ201280013296
【公開日】2013年12月4日 申請日期:2012年3月12日 優(yōu)先權(quán)日:2011年3月15日
【發(fā)明者】女部田裕一, 齋藤準一, 中村英生, 木村宏 申請人:旭硝子株式會社