負型感光性樹脂組合物、固化膜、分隔壁和黑色矩陣及其制造方法、濾色器以及有機el元件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種拒墨性良好且掩膜的線寬的重現(xiàn)良好的負型感光性樹脂組合物和使用該組合物而得到的均質的分隔壁。一種負型感光性樹脂組合物，其特征在于，其含有拒墨劑（A）、光聚合引發(fā)劑（B）以及堿可溶性樹脂（C），所述拒墨劑（A）具有包含-CFXRf[X為氫原子、氟原子或三氟甲基，Rf為可以具有醚性氧原子的碳原子數20以下的、氫原子的至少1個被氟原子取代的氟烷基、或氟原子]或-（SiR1R2-O）n-SiR3R4R5[R1、R2、R3、R4為氫原子、烷基、環(huán)烷基或芳基，R5為氫原子或碳原子數1～10的有機基，n為1～200的整數]的側鏈，所述聚合引發(fā)劑（B）為1分子內具有硝基的肟酯化合物。
【專利說明】負型感光性樹脂組合物、固化膜、分隔壁和黑色矩陣及其制造方法、濾色器以及有機EL元件
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及負型感光性樹脂組合物、固化膜、分隔壁和黑色矩陣及其制造方法、濾色器以及有機EL元件。
【背景技術】
[0002]抗蝕劑組合物作為形成濾色器的像素間的分隔壁、有機EL (電致發(fā)光，Electro-Luminescence)顯示元件的像素間的分隔壁、有機EL照明的元件間的分隔壁、有機TFT (Thin Film Transistor:薄膜晶體管)陣列的隔開各TFT的分隔壁、液晶顯示元件的ITO電極的分隔壁、電路布線基板的分隔壁等永久膜的材料而受到矚目。
[0003]在電路布線基板的制造中，提出了在形成電路布線時噴射涂布金屬分散液的噴墨法。電路布線圖案通過光刻法由抗蝕劑組合物形成，抗蝕劑組合物的涂膜固化物被用作分隔壁。
[0004]噴墨法中，需要防止相鄰像素間產生墨的混色、由噴墨機噴射的材料在規(guī)定區(qū)域以外的部分凝固附著，提出了包含拒墨劑的抗蝕劑組合物(專利文獻I?3)。
[0005]現(xiàn)有技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:國際公開第2008/146855號
[0008]專利文獻2:國際公開第2010/001976號
[0009]專利文獻3:國際公開第2010/013816號

【發(fā)明內容】

[0010]發(fā)明要解決的問題
[0011]抗蝕劑組合物的曝光使用曝光機進行。曝光機所照射的波長因裝置的規(guī)格而異，一般來說，在用于濾色器用途的接近式曝光方式中，照射330nm以下的光。與此相對，在鏡面投影(MPA)方式中，遮擋330nm以下的光并進行照射。因此，有時也對抗蝕劑組合物要求能夠應對MPA方式的組成。另外，投影型的MPA方式還具備能夠形成鋒利的分隔壁形狀等、相對于接近式曝光方式而言的優(yōu)點。MPA方式中有時要求形成微細的圖案。
[0012]本發(fā)明的目的在于，提供即使遮擋330nm以下的曝光光線，拒墨性也良好、且掩膜的線寬的重現(xiàn)也良好的負型感光性樹脂組合物和使用該組合物而得到的均質的固化膜、分隔壁和黑色矩陣及其制造方法。本發(fā)明的目的還在于，提供具有性能良好的分隔壁或黑色矩陣的濾色器和有機EL元件。
[0013]用于解決問題的方案
[0014]本發(fā)明為以下的[I]?[15]。
[0015][I] 一種負型感光性樹脂組合物，其特征在于，其含有:
[0016]拒墨劑(A)，其具有包含下式(I)所示的基團或下式(2)所示的基團的側鏈，[0017]光聚合引發(fā)劑(B)，其為在I分子內具有硝基的肟酯化合物，以及
[0018]堿可溶性樹脂(C)，
[0019]-CFXRf (I)
[0020]- (SiR1R2-O)n-SiR3R4R5 (2)
[0021]式(I)中，X表示氫原子、氟原子或三氟甲基，Rf表示可以具有醚性氧原子的、氫原子的至少I個被氟原子取代的碳原子數20以下的氟烷基、或氟原子。
[0022]式(2)中，R1、R2、R3和R4獨立地表示氫原子、烷基、環(huán)烷基或芳基，R5表示氫原子或碳原子數I~10的有機基，η表示I~200的整數。
[0023][2]根據[I]的負型感光性樹脂組合物，其中，前述光聚合引發(fā)劑(B)為由下式(3)組成的化合物。
[0024]
【權利要求】
1.一種負型感光性樹脂組合物，其特征在于，其含有: 拒墨劑(A)，其具有包含下式(I)所示的基團或下式(2)所示的基團的側鏈， 光聚合引發(fā)劑(B)，其為在I分子內具有硝基的肟酯化合物，以及 堿可溶性樹脂(C)， -CFXRf (I)
-(SiR1R2-O)n-SiR3R4R5 (2) 式(I)中，X表示氫原子、氟原子或三氟甲基，Rf表示可以具有醚性氧原子的、氫原子的至少I個被氟原子取代的碳原子數20以下的氟烷基、或氟原子， 式(2)中，R1、R2、R3和R4獨立地表示氫原子、烷基、環(huán)烷基或芳基，R5表示氫原子或碳原子數I~10的有機基，η表示I~200的整數。
2.根據權利要求1所述的負型感光性樹脂組合物，其中，所述光聚合引發(fā)劑(B)為由下式(3)組成的化合物，
3.根據權利要求1或2所述的負型感光性樹脂組合物，其還包含黑色著色劑(D)。
4.根據權利要求1~3中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其還包含交聯(lián)劑(G)。
5.根據權利要求1~4中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其中，拒墨劑(A)為在側鏈具有基團(I)或基團(2)、主鏈為烴鏈的化合物。
6.根據權利要求5所述的負型感光性樹脂組合物，其中，拒墨劑(A)具有酸性基團。
7.根據權利要求1~4中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其中，拒墨劑(A)為在側鏈具有基團(I)、主鏈為有機聚硅氧烷鏈的化合物。
8.根據權利要求5~7中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其中，拒墨劑(A)具有烯屬雙鍵。
9.一種固化膜，其是使在基板上形成的權利要求1~8中任一項所述的負型感光性樹脂組合物的涂膜固化而成的。
10.一種分隔壁，其為用于在基板上設置分區(qū)而形成的分隔壁，其由權利要求9所述的固化膜形成。
11.一種黑色矩陣，其為用于在基板上設置分區(qū)而形成的黑色矩陣，其由權利要求9所述的固化膜形成，所述固化膜由權利要求3所述的負型感光性樹脂組合物形成。
12.—種分隔壁的制造方法，其特征在于，該方法依次具備以下工序:將權利要求1~8中任一項所述的負型感光性樹脂組合物涂布在基板上形成涂膜的工序；將所述涂膜加熱而制成膜后，僅對該膜的規(guī)定部分進行曝光而使其光固化的工序；去除除所述經光固化的部分以外的膜的工序；以及，將所述經光固化的部分加熱而得到分隔壁的工序， 去除所述膜之前和之后的所述經光固化的部分的膜厚變化為60nm以下。
13.—種黑色矩陣的制造方法，其在權利要求12所述的制造方法中，使用權利要求3所述的負型感光性樹脂組合物得到所述分隔壁作為黑色矩陣。
14.一種濾色器，其特征在于，其具備:基板、基板上的多個像素、以及位于相鄰像素間的分隔壁，該分隔壁由權利要求1~8中任一項所述的負型感光性樹脂組合物的固化膜形成。
15.一種有機EL元件，其特征在于，其具備:基板、基板上的多個像素、以及位于相鄰像素間的分隔壁，該分隔壁由權利要求1~8中任一項所述的負型感光性樹脂組合物的固化膜形成。
【文檔編號】G02B5/20GK103502888SQ201280020872
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2012年4月19日 優(yōu)先權日:2011年4月28日
【發(fā)明者】高橋秀幸 申請人:旭硝子株式會社