感光性樹脂組合物、使用了該樹脂組合物的圖案固化膜的制造方法以及電子部件的制作方法
【專利摘要】一種感光性樹脂組合物，其含有：（a）聚苯并噁唑前體、（b）感光劑、（c）溶劑、（d）交聯(lián)劑、和（e）在分子內(nèi)具有羥基、烷氧基或羧基的雜環(huán)狀化合物。
【專利說明】感光性樹脂組合物、使用了該樹脂組合物的圖案固化膜的制造方法以及電子部件
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、使用了該樹脂組合物的圖案固化膜的制造方法以及電子部件，特別是涉及高溫高濕條件下的密合性、耐熱性以及耐化學品性優(yōu)異、能得到良好形狀的圖案的感光性樹脂組合物、使用了該樹脂組合物的圖案固化膜的制造方法以及電子部件。
【背景技術】
[0002]以往，半導體元件的表面保護膜以及層間絕緣膜中使用兼具優(yōu)異的耐熱性、電特性和機械特性等的聚酰亞胺。近年來，已使用對聚酰亞胺自身賦予感光特性的感光性聚酰亞胺，使用該聚酰亞胺時，具有能夠簡化圖案制作工序、能夠縮短煩雜的制造工序的特征。
[0003]感光性聚酰亞胺在顯影時一直使用N-甲基吡咯烷酮等有機溶劑，最近，從對環(huán)境的考慮出發(fā)，提出了能夠在堿水溶液中顯影的正型感光性聚酰亞胺。作為正型感光性聚酰亞胺，提出了在聚酰亞胺或聚酰亞胺前體中混合作為感光劑的萘醌二疊氮化合物的方法(例如參照專利文獻1、2)。
[0004]另外，最近，作為能夠在堿水溶液中顯影的正型感光性樹脂，提出了聚苯并噁唑或聚苯并噁唑前體。聚苯并噁唑或聚苯并噁唑前體與聚酰亞胺或聚酰亞胺前體相比，曝光部與未曝光部的溶解速度的對比更大，因此，能夠形成更精密的圖案(例如參照專利文獻3、非專利文獻I)。
[0005]現(xiàn)有技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:日本特開昭64-60630號公報
[0008]專利文獻2:美國專利第4395482號說明書
[0009]專利文獻3:日本特開2009-265520號公報
[0010]非專利文獻
[0011]非專利文獻I: J.Photopolym.Sc1.Technol., vol.17, 207-213.
【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]最近，正在進行半導體元件的高集成化以及小型化，對封裝基板的薄膜化、小型化等有要求。因此，為了抑制基板等的損傷，在形成這樣的半導體元件的層間絕緣膜及表面保護膜時，期望在低溫下進行制造工序。但是，非專利文獻I中記載的聚苯并噁唑前體在制作圖案固化膜時的加熱處理工序中，需要在高溫下進行脫水閉環(huán)(例如參照非專利文獻I )。另夕卜，在250°C以下的低溫下將含有該聚苯并噁唑前體的感光性樹脂組合物脫水閉環(huán)時，存在耐化學品性以及與基板的密合性等圖案固化膜的特性降低的傾向。特別是隨著半導體元件的用途的多樣化，使用感光性樹脂組合物的層間絕緣膜及表面保護膜要求高溫高濕條件下的與基板的密合性，但在低溫下進行脫水閉環(huán)時，在高溫高濕條件下難以賦予充分的與基板的密合性。
[0013]本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其能夠提供即使在250°C以下進行加熱處理也顯示高脫水閉環(huán)率、具有優(yōu)異的耐化學品性以及高溫高濕條件下的對基板的密合性的圖案固化膜。另外，本發(fā)明提供一種使用了上述感光性樹脂組合物的圖案固化膜的制造方法。另外，本發(fā)明的目的還在于提供通過具有使用了上述圖案固化膜的層間絕緣膜或表面保護膜而可靠性高的電子部件。
[0014]根據(jù)本發(fā)明，提供以下的感光性樹脂組合物。
[0015]即，本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有:(a)聚苯并噁唑前體、(b)感光劑、(C)溶劑、Cd)交聯(lián)劑、和(e)在分子內(nèi)具有羥基、烷氧基或羧基的雜環(huán)狀化合物。
[0016]另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選(a)成分具有由下述通式(I)表示的結構單元。
[0017]
【權利要求】
1.一種感光性樹脂組合物，其含有: (a)聚苯并B惡唑前體、 (b)感光劑、 (C)溶劑、 Cd)交聯(lián)劑、和 Ce)在分子內(nèi)具有羥基、烷氧基或羧基的雜環(huán)狀化合物。
2.根據(jù)權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(a)成分具有由下述通式(I)表示的結構單元，
3.根據(jù)權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(e)成分為具有咪唑、三唑或噻唑中的任意一種環(huán)的化合物。
4.根據(jù)權利要求1~3中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(e)成分為由下述通式(II)~(VIII)表示的化合物中的任意一種，
5.根據(jù)權利要求4所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(e)成分為由所述通式(III)表不的化合物。
6.根據(jù)權利要求1~5中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(d)成分為具有羥甲基或烷氧基烷基的化合物。
7.根據(jù)權利要求1~6中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(b)成分為在光的作用下產(chǎn)生酸或自由基的化合物。
8.一種圖案固化膜的制造方法，其包括下述工序: 將權利要求1~7中任一項所述的感光性樹脂組合物涂布在支撐基板上并干燥，形成感光性樹脂膜的工序； 將通過所述涂布、干燥工序得到的感光性樹脂膜曝光成規(guī)定的圖案的工序； 使用堿水溶液使所述曝光后的感光性樹脂膜顯影的工序；以及 對所述顯影后的感光性樹脂膜進行加熱處理的工序。
9.根據(jù)權利要求8所述的圖案固化膜的制造方法，其中，在對所述顯影后的感光性樹脂膜進行加熱處理的工序中，其加熱處理溫度為250°C以下。
10.根據(jù)權利要求8所述的圖案固化膜的制造方法，其中，在對所述顯影后的感光性樹脂膜進行加熱處理的工序中，其加熱處理溫度為200°C以下。
11.一種層間絕緣膜，其通過權利要求8~10中任一項所述的圖案固化膜的制造方法得到。
12.—種表面保護膜，其通過權利要求8~10中任一項所述的圖案固化膜的制造方法得到。
13.一種電子部件，其具有權利要求11`或12所述的層間絕緣膜或表面保護膜。
【文檔編號】G03F7/004GK103502889SQ201280021079
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2012年6月13日 優(yōu)先權日:2011年6月15日
【發(fā)明者】峰岸知典, 加藤木茂樹 申請人:日立化成杜邦微系統(tǒng)股份有限公司