具有策略性地壓印的b側(cè)特征的玻璃襯底和用于生產(chǎn)該玻璃襯底的方法
【專利摘要】公開了玻璃襯底和用于形成玻璃襯底的方法。該玻璃襯底包含具有小于0.5nm的表面粗糙度Ra1的平坦的A側(cè)表面和具有表面粗糙度Ra2的平坦的B側(cè)，其中比率Ra2:Ra1大于或等于約1.5。多個紋理特征形成在該B側(cè)表面中。該多個紋理特征具有峰-谷高度H，使得0.05μm≤H≤3.75μm。該紋理特征分布在該B側(cè)表面中，使得相鄰的紋理特征之間的中心-中心節(jié)距P在至少一個方向上是至少1.5mm。該多個紋理特征當(dāng)該玻璃襯底處于溫度T1時形成在該B側(cè)表面中，其中600℃≤T1≤1200℃，且該玻璃襯底的粘度的范圍從大于150,000泊到小于1013泊。
【專利說明】具有策略性地壓印的B側(cè)特征的玻璃襯底和用于生產(chǎn)該玻
璃襯底的方法
[0001]根據(jù)35U.S.C.§120，本申請要求享有于2011年8月26日提交的序列號為13/218932的美國申請的優(yōu)先權(quán)，該美國申請的內(nèi)容作為本申請的依據(jù)，并通過引用全部納入本文。
[0002]背景
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本說明書總體涉及用在顯示設(shè)備中的玻璃襯底，更具體地涉及具有為了減小電荷生成而策略性地壓印(strategically imprinted)的B側(cè)紋理特征(B-side texturingfeatures)的玻璃襯底和用于生產(chǎn)該玻璃襯底的方法。
【背景技術(shù)】
[0004]薄玻璃襯底在平板顯示設(shè)備諸如薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)中被普遍利用。用在TFT-1XD中的襯底通常具有:功能性的A側(cè)(A-side)表面，其上沉積有薄膜晶體管；以及非功能性的背側(cè)或B側(cè)(B-side)表面，其與A側(cè)表面對置。在TFT-1XD設(shè)備的生產(chǎn)期間，玻璃襯底的B側(cè)表面可能與由多種材料(包含金屬、陶瓷、聚合物材料及類似物)構(gòu)成的傳送和操縱設(shè)施進(jìn)行接觸。這些各異的材料之間的摩擦導(dǎo)致了摩擦起電或接觸起電，結(jié)果是電荷被轉(zhuǎn)移到玻璃表面并積累在玻璃襯底的表面上。隨著電荷在玻璃襯底的表面上積累，玻璃襯底的表面電壓也增大。
[0005]用在TFT-LCD中的玻璃襯底的B側(cè)表面的靜電帶電可以使玻璃襯底的性能退化和/或損壞玻璃襯底。例如，B側(cè)表面的靜電帶電可以通過電介質(zhì)擊穿而導(dǎo)致沉積在玻璃襯底的A側(cè)表面上的TFT器件的柵極損壞。此外，玻璃襯底的B側(cè)表面的帶電可以將顆粒(諸如灰塵或其他微粒碎片)吸引到A側(cè)表面，這可以損壞玻璃襯底或使玻璃襯底的表面品質(zhì)退化。在這二者中的任一情境下，玻璃襯底的靜電帶電可以降低TFT-1XD生產(chǎn)率，由此增加了TFT-1XD生產(chǎn)過程的總成本。
[0006]進(jìn)一步，玻璃襯底與操縱和/或傳送設(shè)施之間的摩擦接觸可以導(dǎo)致操縱和傳送設(shè)施磨損，由此縮短該設(shè)施的服務(wù)壽命。磨損的設(shè)施的修理或更換導(dǎo)致了工藝停機(jī)時間，降低了生產(chǎn)率,并增加了 TFT-1XD生產(chǎn)過程的總成本。
[0007]據(jù)此，需要玻璃襯底的替代設(shè)計，所述替代設(shè)計減輕電荷的生成并減小玻璃襯底與在TFT-LCD顯示設(shè)備的生產(chǎn)中利用的設(shè)施之間的摩擦。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本文公開了本發(fā)明的幾個方面。應(yīng)理解，這些方面可能彼此交疊或不彼此交疊。因而，一個方面的局部可能落入另一個方面的范圍內(nèi)，反之亦然。
[0009]每個方面通過若干實施方案被例示，這些實施方案進(jìn)而可以包含一個或更多個具體實施方案。應(yīng)理解，這些實施方案可能彼此交疊或不彼此交疊。因而，一個實施方案或其具體實施方案的局部可能落入或不落入另一個實施方案或其具體實施方案的范圍內(nèi)，反之亦然。
[0010]因而，本公開內(nèi)容的第一方面涉及一種玻璃襯底，該玻璃襯底包括:
[0011]平坦的A側(cè)表面，具有小于0.5nm的表面粗糙度Ra1 ；
[0012]平坦的B側(cè)表面,與該A側(cè)表面對置,該B側(cè)表面包括:
[0013]表面粗糙度Ra2，使得比率Ra2 = Ra1大于或等于約1.5 ；
[0014]形成在該B側(cè)表面中的多個紋理特征，使得該紋理特征從該B側(cè)表面延伸到該玻璃襯底的厚度S中，而不延伸穿過該玻璃襯底的厚度S，該多個紋理特征具有峰-谷高度H，使得0.05 μ m≤H≤3.75 μ m ;以及
[0015]相鄰的紋理特征之間的中心-中心節(jié)距P在至少一個方向上是至少1.5mm。
[0016]在本公開內(nèi)容的第一方面的某些實施方案中，0.05 μ m ≤ H ≤2.0 μ m0
[0017]在本公開內(nèi)容的第一方面的某些實施方案中，H≤0.04*S。
[0018]在本公開內(nèi)容的第一方面的某些實施方案中，相鄰的紋理特征之間的中心-中心節(jié)距P小于或等于25mm。
[0019]在本公開內(nèi)容的第一方面的某些實施方案中，該玻璃襯底的B側(cè)表面具有平面面積A和接觸表面面積C，其中C ≤0.5*A。
[0020]在本公開內(nèi)容的第一方面的某些實施方案中，1.5 ≤ Ra2:Ra1≤100。
[0021]在本公開內(nèi)容的第一方面的某些實施方案中，該玻璃襯底的B側(cè)表面沒有缺陷尺寸大于100 μ m的表面缺陷。
[0022]本公開內(nèi)容的第二方面涉及一種用于形成玻璃襯底的方法，該方法包括:
[0023]熔化玻璃生料以形成熔融玻璃；
[0024]將該熔融玻璃形成為具有平坦的A側(cè)表面和與該A側(cè)表面對置的平坦的B側(cè)表面的玻璃襯底，其中在該玻璃襯底凝固到大于IO13泊的粘度之前沒有機(jī)械接觸至少該A側(cè)表面的情況下形成該玻璃襯底，其中在凝固之后該平坦的A側(cè)表面具有小于0.5nm的表面粗糙度Ra1 ；
[0025]在向下方向上拉制該玻璃襯底；
[0026]當(dāng)該玻璃襯底處于溫度Tl時將多個紋理特征形成到該玻璃襯底的B側(cè)表面中，其中:
[0027]600。。≤ Tl ≤ 1200。。；
[0028]該紋理特征從該B側(cè)表面延伸到該玻璃襯底的厚度中，而不延伸穿過該玻璃襯底的厚度；
[0029]該多個紋理特征具有峰-谷高度H，使得0.05 μ m≤H ≤3.75 μ m ;
[0030]相鄰的紋理特征之間的中心-中心節(jié)距P在至少一個方向上是至少1.5mm ;且
[0031]該B側(cè)表面具有表面粗糙度Ra2，使得比率Ra2 = Ra1大于或等于約1.5。
[0032]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，當(dāng)該玻璃襯底處于溫度Tl時該多個紋理特征具有第一尺寸D1，且當(dāng)該玻璃襯底被冷卻到室溫時該多個紋理特征具有第二尺寸D2，其中D1>D2。
[0033]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該紋理特征是通過隨著該玻璃襯底被在向下方向上拉制選擇性地從該玻璃襯底的表面汲取熱量來形成的。[0034]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該多個紋理特征是通過隨著該玻璃襯底被在向下方向上拉制將至少一個壓縮氣體流引導(dǎo)到該玻璃襯底的B側(cè)表面上來壓印到該玻璃襯底的B側(cè)表面中的。
[0035]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該多個紋理特征是通過用紋理輥接觸該玻璃襯底的B側(cè)表面來壓印到該玻璃襯底的B側(cè)表面中的，其中該紋理輥的接觸表面的至少一部分包括與被壓印在該B側(cè)表面上的紋理特征對應(yīng)的多個圖案特征。
[0036]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該紋理輥的溫度T2被主動地控制，使得T2〈T1。
[0037]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該紋理輥是靜止的，且當(dāng)該玻璃襯底的B側(cè)表面接觸該紋理輥的接觸表面時，該玻璃襯底的B側(cè)表面與該紋理輥的接觸表面相切。
[0038]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該紋理輥是靜止的，且該玻璃襯底的B側(cè)表面被引導(dǎo)在該紋理輥的接觸表面上,使得該B側(cè)表面與該接觸表面具有最大約90°的接觸角度。
[0039]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，隨著該玻璃襯底在向下方向上被用牽弓I輥拉制，該紋理輥被主動地旋轉(zhuǎn)。
[0040]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該玻璃襯底是通過使該熔融玻璃流過溢流槽的僅一側(cè)來形成的，且該多個紋理特征是通過隨著該玻璃襯底在向下方向上被拉制將該玻璃襯底引導(dǎo)到從該溢流槽的根部延伸的搭接部(landing)上來形成的,其中接觸該搭接部的該熔融玻璃形成了該玻璃襯底的B側(cè)表面中的紋理特征。
[0041 ] 在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該搭接部的接觸表面的至少一部分包括與被壓印到該B側(cè)表面中的紋理特征對應(yīng)的多個圖案特征。
[0042]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該搭接部包括主動加熱元件，其在玻璃襯底被引導(dǎo)到該搭接部上時維持該玻璃襯底的粘度。
[0043]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該玻璃襯底是通過使該熔融玻璃流過溢流槽的第一側(cè)和該溢流槽的第二側(cè)，使得該熔融玻璃在該溢流槽的根部再匯合(rejoin)來形成的，其中該溢流槽的第二側(cè)包括與被壓印到該玻璃襯底的B側(cè)表面中的紋理特征對應(yīng)的多個圖案特征，且該多個紋理特征隨著該熔融玻璃流過該溢流槽的第二側(cè)被形成在該玻璃襯底的B側(cè)表面中，且該圖案特征分裂了經(jīng)過該溢流槽的第二側(cè)的熔融玻璃流。
[0044]在本公開內(nèi)容的第二方面的某些實施方案中，該多個紋理特征是通過如下方式形成在該玻璃襯底的B側(cè)表面中的:將至少一個激光源的光束引導(dǎo)到該玻璃襯底的B側(cè)表面上，使得隨著該玻璃襯底在向下方向上被拉制，該至少一個激光源的光束將該多個紋理特征壓印到該玻璃襯底的B側(cè)表面中，而不燒蝕來自該玻璃襯底的玻璃。
[0045]本公開內(nèi)容的第三方面涉及一種用于形成玻璃襯底的方法，該方法包括:
[0046]熔化玻璃生料以形成熔融玻璃；
[0047]將該熔融玻璃形成為具有平坦的A側(cè)表面和與該A側(cè)表面對置的平坦的B側(cè)表面的玻璃襯底，其中在該玻璃襯底凝固到IO13泊的粘度之前沒有機(jī)械接觸該A側(cè)表面或該B側(cè)表面的情況下形成該玻璃襯底；[0048]在向下方向上拉制該玻璃襯底；以及
[0049]當(dāng)該玻璃襯底處于范圍600°C≤Tl≤ 1200°C中的溫度Tl時，將至少一個激光源的光束引導(dǎo)到該玻璃襯底的B側(cè)表面上，使得隨著該玻璃襯底在向下方向上被拉制，該至少一個激光源的光束將多個紋理特征壓印到該玻璃襯底的B側(cè)表面中，其中該紋理特征從該B側(cè)表面延伸到該玻璃襯底的厚度中，而不延伸穿過該玻璃襯底的厚度。
[0050]在本公開內(nèi)容的第三方面的某些實施方案中，該多個紋理特征具有峰-谷高度H，使得 0.05 μ m ≤ H ≤ 3.75 μ m。
[0051]在本公開內(nèi)容的第三方面的某些實施方案中，該平坦的A側(cè)表面具有小于0.5nm的表面粗糙度Ra1，且該B側(cè)表面具有表面粗糙度Ra2,使得比率Ra2 = Ra1大于或等于約1.5。
[0052]在本公開內(nèi)容的第三方面的某些實施方案中，相鄰的紋理特征之間的中心-中心節(jié)距P在至少一個方向上是至少1.5mm。
[0053]該玻璃襯底和用于生產(chǎn)該玻璃襯底的方法的附加特征和優(yōu)勢將在接下來的詳細(xì)說明中被闡述，且部分地將被本領(lǐng)域技術(shù)人員從該說明中輕易明了，或通過實踐本文描述的實施方案來認(rèn)識到，本文描述的實施方案包含接下來的詳細(xì)說明、權(quán)利要求以及附圖。
[0054]應(yīng)理解，前文的總體說明和接下來的詳細(xì)說明描述了多種實施方案，且旨在提供用于理解所要求保護(hù)的主題的性質(zhì)和特性的概覽或框架。附圖被包含以提供對多種實施方案的進(jìn)一步理解，且被納入并構(gòu)成本說明書的一部分。附圖例示了本文描述的多種實施方案，且與該描述一起用 以解釋所要求保護(hù)的主題的原理和操作。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0055]圖1根據(jù)本文示出和描述的一個或更多個實施方案示意性地描繪了一個玻璃襯底；
[0056]圖2A是圖1的玻璃襯底的B側(cè)表面的一部分的放大視圖，根據(jù)本文示出和描述的一個實施方案示意性地描繪了形成在該玻璃襯底的B側(cè)表面中的多個紋理特征；
[0057]圖2B是根據(jù)本文示出和描述的一個或更多個實施方案的圖2A中描繪的玻璃襯底的B側(cè)表面的該部分的截面圖；
[0058]圖3A是圖1的玻璃襯底的B側(cè)表面的一部分的放大視圖，根據(jù)本文示出和描述的一個實施方案示意性地描繪了形成在該玻璃襯底的B側(cè)表面中的多個紋理特征；
[0059]圖3B是根據(jù)本文示出和描述的一個或更多個實施方案的圖3A中描繪的玻璃襯底的B側(cè)表面的一部分的截面圖；
[0060]圖4A是圖1的玻璃襯底的B側(cè)表面的一部分的放大視圖，根據(jù)本文示出和描述的一個實施方案示意性地描繪了形成在該玻璃襯底的B側(cè)表面中的多個紋理特征；
[0061]圖4B是根據(jù)本文示出和描述的一個或更多個實施方案的圖4A中描繪的玻璃襯底的B側(cè)表面的一部分的截面圖；
[0062]圖5示意性地描繪了圖1的玻璃襯底的B側(cè)表面與工作表面之間的接觸區(qū)域；
[0063]圖6根據(jù)本文示出和描述的一個或更多個實施方案示意性地描繪了一個用于形成玻璃襯底的玻璃形成裝置；
[0064]圖7根據(jù)本文示出和描述的一個或更多個實施方案示意性地描繪了當(dāng)一個玻璃襯底由熔融玻璃制成并凝固時，該玻璃襯底的多個溫度區(qū)；[0065]圖8根據(jù)本文示出和描述的一個或更多個實施方案示意性地描繪了用激光源在一個玻璃襯底的B側(cè)表面中形成紋理特征；
[0066]圖9根據(jù)本文示出和描述的一個或更多個實施方案示意性地描繪了用壓縮氣體噴射器在一個玻璃襯底的B側(cè)表面中形成紋理特征；
[0067]圖1OA和IOB示意性地描繪了通過從一個玻璃襯底的B側(cè)表面選擇性地汲取熱量在該玻璃襯底的B側(cè)表面中形成紋理特征；
[0068]圖11示意性地描繪了利用附接至溢流槽的根部的搭接部在一個玻璃襯底的B側(cè)表面中形成紋理特征；
[0069]圖12A示意性地描繪了利用具有圖案特征的溢流槽在一個玻璃襯底的B側(cè)表面中形成紋理特征；
[0070]圖12B示意性地描繪了圖12A的具有圖案特征的溢流槽的截面圖，示出了該圖案特征和該玻璃襯底中所得到的(resultant)紋理特征；
[0071]圖13A、13B和13C示意性地描繪了用靜止的具有圖案特征的紋理輥在一個玻璃襯底的B側(cè)表面中形成紋理特征；且
[0072]圖14示意性地描繪了用旋轉(zhuǎn)的具有圖案特征的紋理輥在一個玻璃襯底的B側(cè)表面中形成紋理特征。
【具體實施方式】 [0073]現(xiàn)在將詳細(xì)討論具有在玻璃襯底的B側(cè)表面上策略性地壓印的紋理特征的玻璃襯底和用于生產(chǎn)該玻璃襯底的方法的實施方案，這些實施方案的實施例在附圖中例示。每當(dāng)可能，就將在所有附圖中使用相同的參考數(shù)字來指代相同或相似的部分。圖1中示意性地描繪了具有在玻璃襯底的B側(cè)表面上策略性地壓印的紋理特征的玻璃襯底的一個實施方案。該玻璃襯底總體包含一個平坦的A側(cè)表面和與該A側(cè)表面對置放置的一個平坦的B側(cè)表面。該A側(cè)表面具有小于0.5nm的表面粗糙度Ra1，而該B側(cè)表面具有的表面粗糙度Ra2使得比率Ra2 = Ra1大于或等于約1.5。多個紋理特征被形成在該B側(cè)表面中，使得該紋理特征具有在從約0.05 μ m到3.75 μ m的范圍內(nèi)的峰-谷高度(peak to valley height) H。相鄰的紋理特征之間的中心_中心節(jié)距(center to center pitch)在至少一個方向上是至少
1.5mm。本文將具體參照附圖來更詳細(xì)地描述該玻璃襯底和用于形成該玻璃襯底的多種方法。
[0074]如上文記載的，玻璃襯底的B側(cè)表面可以與由多種材料(包含金屬、陶瓷和/或聚合物材料)制成的多種傳送和操縱設(shè)施進(jìn)行接觸。這些各異的材料之間的摩擦導(dǎo)致了摩擦起電或接觸起電，結(jié)果是電荷被轉(zhuǎn)移到玻璃表面并積累在該玻璃襯底的表面上。具體地，兩個不同材料因各個材料的固有的逸出功(work function)值的差異而由于接觸分離而帶電。隨著電荷在該玻璃襯底的表面上積累，該玻璃襯底的表面電壓也根據(jù)如下關(guān)系而增大:
[0075]F (I)
[0076]其中V是表面電壓，Q是電荷，且C是電容。
[0077]此外，當(dāng)兩個帶電表面分離時，這兩個帶電表面之間的電容C根據(jù)如下關(guān)系而減小:
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃襯底，包括: 平坦的A側(cè)表面，具有小于0.5nm的表面粗糙度Ra1 ； 平坦的B側(cè)表面,與該A側(cè)表面對置,該B側(cè)表面包括: 表面粗糙度Ra2,使得比率Ra2 = Ra1大于或等于約1.5 ； 形成在該B側(cè)表面中的多個紋理特征，使得該紋理特征從該B側(cè)表面延伸到該玻璃襯底的厚度S中，而不延伸穿過該玻璃襯底的厚度S，該多個紋理特征具有峰-谷高度H，使得0.05 μ m≤ 3.75 μ m;以及 相鄰的紋理特征之間的中心-中心節(jié)距P在至少一個方向上是至少1.5mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底，其中H≤0.04*S。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底，其中相鄰的紋理特征之間的中心-中心節(jié)距P小于或等于25mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底，其中該玻璃襯底的B側(cè)表面具有平面面積A和接觸表面面積C，其中C≤0.5*A。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底，其中該玻璃襯底的B側(cè)表面沒有缺陷尺寸大于100 μ m的表面缺陷。
6.一種用于形成玻璃襯底的方法，該方法包括: 熔化玻璃生料以形成熔融玻璃； 將該熔融玻璃形成為具有平坦的A側(cè)表面和與該A側(cè)表面對置的平坦的B側(cè)表面的玻璃襯底，其中在該玻璃襯底凝固到大于IO13泊的粘度之前沒有機(jī)械接觸至少該A側(cè)表面的情況下形成該玻璃襯底，其中在凝固之后該平坦的A側(cè)表面具有小于0.5nm的表面粗糙度Ra1 ； 在向下方向上拉制該玻璃襯底； 當(dāng)該玻璃襯底處于溫度Tl時將多個紋理特征形成到該玻璃襯底的B側(cè)表面中，其中:
6000C ≤ Tl ≤ 12000C ； 該紋理特征從該B側(cè)表面延伸到該玻璃襯底的厚度中，而不延伸穿過該玻璃襯底的厚度； 該多個紋理特征具有峰-谷高度H，使得0.05 μ m ≤H ≤ 3.75 μ m ; 相鄰的紋理特征之間的中心-中心節(jié)距P在至少一個方向上是至少1.5mm ;且 該B側(cè)表面具有表面粗糙度Ra2，使得比率Ra2 = Ra1大于或等于約1.5。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中當(dāng)該玻璃襯底處于溫度Tl時該多個紋理特征具有第一尺寸D1，且當(dāng)該玻璃襯底被冷卻到室溫時該多個紋理特征具有第二尺寸D2，其中D1>D2。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中該紋理特征是通過隨著該玻璃襯底被在向下方向上拉制選擇性地從該玻璃襯底的表面汲取熱量來形成的。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中該多個紋理特征是通過隨著該玻璃襯底被在向下方向上拉制時將至少一個壓縮氣體流引導(dǎo)到該玻璃襯底的B側(cè)表面上來在該玻璃襯底的B側(cè)表面中形成的。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中該多個紋理特征是通過用紋理輥接觸該玻璃襯底的B側(cè)表面來在該玻璃襯底的B側(cè)表面中形成的，其中該紋理輥的接觸表面的至少一部分包括與被壓印在該B側(cè)表面上的紋理特征對應(yīng)的多個圖案特征。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中該紋理輥的溫度T2被主動地控制，使得T2〈T1。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中該紋理輥是靜止的，且當(dāng)該玻璃襯底的B側(cè)表面接觸該紋理輥的接觸表面時，該玻璃襯底的B側(cè)表面與該紋理輥的接觸表面相切。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中該紋理輥是靜止的，且該玻璃襯底的B側(cè)表面被引導(dǎo)在該紋理輥的接觸表面上，使得該B側(cè)表面與該接觸表面具有最大約90°的接觸角度。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中隨著該玻璃襯底在向下方向上被用牽引輥拉制，該紋理棍 被主動地旋轉(zhuǎn)。
15.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中: 該玻璃襯底是通過使該熔融玻璃流過溢流槽的僅一側(cè)來形成的；且 該多個紋理特征是通過隨著該玻璃襯底在向下方向上被拉制將該玻璃襯底引導(dǎo)到從該溢流槽的根部延伸的搭接部上來形成的,其中接觸該搭接部的該熔融玻璃形成了該玻璃襯底的B側(cè)表面中的紋理特征。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中該搭接部的接觸表面的至少一部分包括與被壓印到該B側(cè)表面中的紋理特征對應(yīng)的多個圖案特征。
17.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中: 該玻璃襯底是通過使該熔融玻璃流過溢流槽的第一側(cè)和該溢流槽的第二側(cè)，使得該熔融玻璃在該溢流槽的根部再匯合來形成的，其中該溢流槽的第二側(cè)包括與被壓印到該玻璃襯底的B側(cè)表面中的紋理特征對應(yīng)的多個圖案特征；且 該多個紋理特征隨著該熔融玻璃流過該溢流槽的第二側(cè)時被形成在該玻璃襯底的B側(cè)表面中，且該圖案特征分裂了經(jīng)過該溢流槽的第二側(cè)的熔融玻璃流。
18.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中: 該多個紋理特征是通過如下方式形成在該玻璃襯底的B側(cè)表面中的:將至少一個激光源的光束引導(dǎo)到該玻璃襯底的B側(cè)表面上，使得隨著該玻璃襯底在向下方向上被拉制，該至少一個激光源的光束將該多個紋理特征壓印到該玻璃襯底的B側(cè)表面中，而不燒蝕來自該玻璃襯底的玻璃。
19.一種用于形成玻璃襯底的方法,該方法包括: 熔化玻璃生料以形成熔融玻璃； 將該熔融玻璃形成為具有平坦的A側(cè)表面和與該A側(cè)表面對置的平坦的B側(cè)表面的玻璃襯底，其中在該玻璃襯底凝固到IO13泊的粘度之前沒有機(jī)械接觸該A側(cè)表面或該B側(cè)表面的情況下形成該玻璃襯底； 在向下方向上拉制該玻璃襯底；以及 當(dāng)該玻璃襯底處于范圍600°C< Tl ( 1200°C中的溫度Tl時，將至少一個激光源的光束引導(dǎo)到該玻璃襯底的B側(cè)表面上，使得隨著該玻璃襯底在向下方向上被拉制，該至少一個激光源的光束將多個紋理特征壓印到該玻璃襯底的B側(cè)表面中，其中該紋理特征從該B側(cè)表面延伸到該玻璃襯底的厚度中，而不延伸穿過該玻璃襯底的厚度。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中: 該多個紋理特征具有峰-谷高度H，使得0.05 μ m < H < 3.75 μ m ;該平坦的A側(cè)表面具有小于0.5nm的表面粗糙度Ra1 ；該B側(cè)表面具有表面粗糙度Ra2,使得比率Ra2 = Ra1大于或等于約1.5 ;且相鄰的紋理特征 之間的中心-中心節(jié)距P在至少一個方向上是至少1.5mm。
【文檔編號】G02F1/1333GK104024929SQ201280051745
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2012年8月24日 優(yōu)先權(quán)日:2011年8月26日
【發(fā)明者】M·S·多賓斯, J·R·利姆, H·C·盧, W·J·沃爾查克, 王力明, R·永尚通 申請人:康寧股份有限公司