具有高對(duì)比度且峰值功率大于100太瓦的激光源的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種能夠發(fā)出大于或等于100太瓦的能量脈沖的激光源(100)，包括激光鏈，所述激光鏈包括級(jí)聯(lián)的：-固態(tài)激光振蕩器(1)；-具有頻率啁啾的第一放大級(jí)(2)；以及-具有頻率啁啾的最后放大級(jí)(6)，這些第一放大級(jí)和最后放大級(jí)每一個(gè)都包括級(jí)聯(lián)的展寬器、放大鏈和壓縮器；-第一濾波器，稱(chēng)為非線性交叉偏振濾波器(3)，插入于這兩個(gè)放大級(jí)(2，6)之間，具有一個(gè)或者兩個(gè)非線性晶體和三階非線性光學(xué)磁化率，能夠產(chǎn)生交叉偏振波。所述激光鏈還包括：-在所述第一放大級(jí)(2)和所述最后放大級(jí)(6)之間的至少一個(gè)其它的非線性交叉偏振濾波器(5)，即，在所述激光鏈中有N個(gè)濾波器，其中N≥2；以及-N-1個(gè)色散補(bǔ)償器(4)，(分別)設(shè)置在一個(gè)或多個(gè)所述第一濾波器(3)的輸出端。
【專(zhuān)利說(shuō)明】具有高對(duì)比度且峰值功率大于100太瓦的激光源

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的領(lǐng)域是具有非常高的峰值功率的脈沖的激光器，從至少100太瓦到幾十拍瓦(Peta Watt)，并且甚至更大。在這個(gè)水平的峰值功率下，脈沖通常是超短脈沖，也就是持續(xù)時(shí)間在200飛秒以下。

【背景技術(shù)】
[0002]這樣的激光源尤其是用于激光-材料相互作用，包括例如加速粒子(質(zhì)子、電子、離子)或者產(chǎn)生在遠(yuǎn)紫外、X射線或者Y射線區(qū)中的二次輻射。這樣的脈沖聚焦在通常為固體的目標(biāo)上，其目的例如是在后者的表面上產(chǎn)生等離子體。
[0003]這些具有非常高的峰值功率的激光源本質(zhì)是基于固態(tài)激光源技術(shù)和啁啾脈沖放大原理，不管其涉及通過(guò)激光效應(yīng)或者“CPA”的放大(“CPA”是表述啁啾脈沖放大的首字母縮略語(yǔ))，還是通過(guò)非線性光學(xué)效應(yīng)例如熒光參量或者“OPCPA” ( “0PCPA”是表述光學(xué)參量啁啾脈沖放大的首字母縮略語(yǔ))的放大。
[0004]從使用具有非常高的峰值功率的激光器的時(shí)候起，就有必要將很多的注意力放在脈沖的時(shí)間對(duì)比度的問(wèn)題上。實(shí)際上，給定這些具有高峰值功率的激光源的多放大器配置，總是存在有殘留的光信號(hào)，該殘留的光信號(hào)在激光放大(CPA)情況下通過(guò)自發(fā)輻射(或者“ASE”)的放大或者在參量放大(OPCPA)的情況下通過(guò)參量熒光的放大而產(chǎn)生。圖1中所示的此寄生信號(hào)具有比主脈沖大得多的時(shí)間寬度；其典型地存在于泵浦脈沖中，通常具有大約幾個(gè)納秒的脈沖持續(xù)時(shí)間。更為重要的是，其在主脈沖之前就已經(jīng)出現(xiàn)。該時(shí)間對(duì)比度是主脈沖的峰值功率Pl與ASE脈沖的峰值功率PO之間的比率；P0的目標(biāo)值和測(cè)量結(jié)果通常是位于主脈沖之前的50到100皮秒之間的時(shí)間間隔中，以使得消除其他效應(yīng)，例如不完全的壓縮。問(wèn)題相同，如果比率非常高，則在具有非常高的峰值功率的主脈沖的情況下，ASE脈沖仍具有顯著的峰值功率。如果考慮具有I拍瓦、時(shí)間對(duì)比度為19: I (P1/P0 =19)的主脈沖的情況，則ASE將具有I兆瓦的峰值功率，在聚焦到目標(biāo)上的情況下，足以在主脈沖到達(dá)之前在目標(biāo)(特別是如果其為固體)上產(chǎn)生等離子體，該等離子體對(duì)意圖的應(yīng)用是災(zāi)難性的。
[0005]因此，必需對(duì)脈沖的時(shí)間對(duì)比度進(jìn)行優(yōu)化，要知道，為了利用形成的目標(biāo)任意固體材料都能獲得滿意的結(jié)果，必需將針對(duì)ASE的時(shí)間對(duì)比度的目標(biāo)設(shè)定為:對(duì)于I拍瓦的激光，112: I的量級(jí)，對(duì)于10拍瓦的激光，113: I的量級(jí)。
[0006]目前，用于提高時(shí)間對(duì)比度的技術(shù)是:
[0007]-增加可飽和吸收體，或者
[0008]-基于在非線性晶體中產(chǎn)生交叉偏振波的技術(shù)實(shí)施非線性濾波器，交叉偏振波接下來(lái)會(huì)表示為“XPW”，或者
[0009]-使用等離子體鏡。
[0010]可飽和吸收體實(shí)施起來(lái)非常簡(jiǎn)單，但是其貢獻(xiàn)有限，因?yàn)槠涫沟貌豢赡軐⒚}沖的對(duì)比度提高大于一個(gè)或者兩個(gè)數(shù)量級(jí)。這主要是歸因于這些材料的激光損壞閾值相對(duì)低的事實(shí)。
[0011]在2004年在具有高峰值功率的激光鏈中第一次展示了 XPW濾波器技術(shù)。XPW濾波器的架構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，但是其效率不是很高(在輸出端，最大可獲得輸入脈沖能量的30% )并且對(duì)比度(輸出對(duì)比度=輸入對(duì)比度的立方)的理論增大嚴(yán)重受限于所使用的偏振器的消光比，其意味著凈增益僅為4到5的數(shù)量級(jí)，這仍然明顯優(yōu)于可飽和吸收體。XPW濾波器包括兩個(gè)偏振器和在兩個(gè)偏振器之間的一個(gè)或者兩個(gè)非線性晶體。
[0012]現(xiàn)在使用等離子體鏡技術(shù)來(lái)提高具有高峰值功率的激光鏈的對(duì)比度已經(jīng)有好幾年的時(shí)間了。該原理是基于鏈的輸出端的光束的使用，因此是在時(shí)間壓縮之后。將光束聚焦到透明介質(zhì)上；ASE脈沖因此透射，但是從主脈沖開(kāi)始時(shí)起就有足夠的強(qiáng)度來(lái)在透明材料的表面處產(chǎn)生等離子體。等離子體是反射性的，因而形成了等離子體鏡，并且等離子體將鏡反射主脈沖的大約70%，其會(huì)“去除”大部分的在等離子體產(chǎn)生之前透射的ASE脈沖。然而，必需再次重復(fù)該操作以獲得對(duì)比度的大約4到5個(gè)數(shù)量級(jí)的增大。此主脈沖，被反射兩次后，接著被聚焦在目標(biāo)上。
[0013]這種技術(shù)具有幾個(gè)缺點(diǎn)。能量損失因此是大約50%的量級(jí)并且這是確定的，因?yàn)槠渑cXPW濾波器的情況不同，后面不再有放大器。此外，這種技術(shù)的實(shí)施相對(duì)復(fù)雜。首先，該裝置的組裝要在真空下，因?yàn)槠渖婕皦嚎s光束，并且在給定光束的尺寸時(shí)，組裝相當(dāng)笨重。其次，因?yàn)榫劢辜す馄鞯墓獍弋a(chǎn)生較高的反射性等離子體時(shí)也會(huì)局部地對(duì)光學(xué)表面產(chǎn)生不可逆的損壞，所以很顯然，在每一次發(fā)射之后，必需移動(dòng)等離子體鏡。
[0014]為了對(duì)于固體目標(biāo)獲得111: I的量級(jí)或者甚至112: I的量級(jí)的時(shí)間對(duì)比度，在主脈沖之前最小幾十皮秒處，單獨(dú)考慮任何這些技術(shù)是不夠的，因而必需組合這些技術(shù)。由于上述事實(shí)，給定可飽和吸收體技術(shù)對(duì)于提高對(duì)比度的相對(duì)較小的貢獻(xiàn)，在使用這些裝置之前激光鏈的起始處的“自然”對(duì)比度為15到16: I的量級(jí)的情況下，可飽和吸收體和兩種其它技術(shù)中的一種的組合不能滿足要求。因此，為獲得所要求的對(duì)比度水平，在了解到后一種裝置具有前述的缺點(diǎn)后，必需組合XPW濾波器和雙等離子體鏡。
[0015]因此，到目前為止仍然需要一種同時(shí)滿足峰值功率、時(shí)間對(duì)比度、能量、和實(shí)施簡(jiǎn)便方面的所有前述的要求的系統(tǒng)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0016]本發(fā)明的基本思想是關(guān)聯(lián)至少兩個(gè)XPW濾波器以將對(duì)比度提高7到8個(gè)數(shù)量級(jí)的對(duì)比度，利用極其簡(jiǎn)單、低成本并且完全無(wú)源的裝置，即一種沒(méi)有需要移動(dòng)或者更換的部件的裝置。通過(guò)中間壓縮器的方式，實(shí)現(xiàn)了對(duì)由第一XPW濾波器，即由通過(guò)在非線性晶體和偏振器的傳輸，所引入的色散，使得在第二XPW濾波器的輸出端處產(chǎn)生具有優(yōu)化特性(持續(xù)時(shí)間和光譜相位)的脈沖。
[0017]更準(zhǔn)確地，本發(fā)明的主題是一種能夠發(fā)出大于或者等于100太瓦的能量的脈沖的由激光鏈構(gòu)成的激光源，其包括級(jí)聯(lián)的:
[0018]-固態(tài)激光振蕩器，
[0019]-具有頻率啁啾的第一放大級(jí)和最后放大級(jí)，每個(gè)放大級(jí)包括級(jí)聯(lián)的展寬器、放大鏈和壓縮器，
[0020]-第一濾波器，具有一個(gè)或者兩個(gè)非線性晶體和三階非線性光學(xué)磁化率(susceptibility)，能夠產(chǎn)生交叉偏振波，該第一濾波器稱(chēng)為非線性交叉偏振濾波器，插入到這兩個(gè)放大器之間。
[0021]激光鏈的主要特征在于所述激光鏈在第一放大級(jí)和最后放大級(jí)之間包括至少一個(gè)其它的非線性交叉偏振濾波器，即，在激光鏈中有N個(gè)濾波器和N-1個(gè)色散補(bǔ)償器，其中N ^ 2，色散補(bǔ)償器(分別)設(shè)置在一個(gè)或多個(gè)第一濾波器的輸出端。
[0022]激光源可選地包括具有頻率啁啾的第三級(jí)放大級(jí)，其插入在兩個(gè)非線性交叉偏振濾波器之間，此第三放大級(jí)包括級(jí)聯(lián)的展寬器、放大鏈和壓縮器，該壓縮器也是一種色散補(bǔ)償器。
[0023]色散補(bǔ)償器能夠是具有受控色散的鏡壓縮器。
[0024]放大級(jí)典型地是CPA或者OPCPA放大器。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025]通過(guò)閱讀下述由非限定性示例給出的說(shuō)明并參照附圖，本發(fā)明的其它特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)會(huì)變得明顯。
[0026]圖1示意性地表示作為時(shí)間的函數(shù)的主脈沖和ASE的峰值功率。
[0027]圖2示意性地表示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的激光源的第一示例。
[0028]圖3示意性地表示根據(jù)本發(fā)明的激光源的第二示例。

【具體實(shí)施方式】
[0029]提出的解決方案的基本思想是組合至少兩個(gè)XPW濾波器以將脈沖的對(duì)比度提高7到8個(gè)數(shù)量級(jí)。
[0030]更準(zhǔn)確地，根據(jù)本發(fā)明的激光源100，如圖2中示出了其示例，包括級(jí)聯(lián)的基本配置:
[0031]-固態(tài)激光振蕩器I，
[0032]-具有頻率啁啾的第一CPA或者OPCPA放大級(jí)2，在其輸出端的對(duì)比度為15或者16的量級(jí)，
[0033]-第一XPW濾波器3，優(yōu)選為XPW HE濾波器，
[0034]-色散補(bǔ)償器4，包括例如一對(duì)具有受控色散的鏡，
[0035]-另一個(gè)XPW濾波器5，
[0036]-具有頻率啁啾的最后CPA或者OPCPA放大級(jí)6，在其輸出端的對(duì)比度為112或者113的量級(jí)。
[0037]回想起具有頻率啁啾的放大器包括級(jí)聯(lián)的展寬器、具有一個(gè)或多個(gè)放大器的放大鏈、和壓縮器。在每個(gè)放大器中，激光束通過(guò)一次或多次。
[0038]XPW濾波器包括兩個(gè)偏振器和一個(gè)或者兩個(gè)具有三階非線性光學(xué)磁化率的非線性晶體。在本發(fā)明上下文中使用的XPW濾波器中，可能提到了專(zhuān)利1662306中描述的濾波器。例如，這能夠是XPW濾波器，其包括使得可能從濾波器的輸入端的脈沖獲得具有直線偏振的場(chǎng)E的第一偏振器P1。該電場(chǎng)聚焦在立方晶體C上，即其在入射場(chǎng)和生成場(chǎng)之間不具有任何群速度偏移，例如BaE2晶體，其在大的光譜區(qū)域上從紫外到紅外都是透明的。場(chǎng)E能夠聚焦到晶體C外部，但在后者附近。此晶體C將入射場(chǎng)的部分轉(zhuǎn)換為具有直線偏振的場(chǎng)E’ 1，其與E的偏振方向正交。入射場(chǎng)的另一部分由晶體C透射而未經(jīng)轉(zhuǎn)換:該未經(jīng)轉(zhuǎn)換的場(chǎng)，與入射場(chǎng)的偏振相同，是ASE的載體。
[0039]根據(jù)第一實(shí)施例，濾波器包括具有立方幾何結(jié)構(gòu)的第二晶體，其能夠在輸入端接收?qǐng)鯡’ I和剩余場(chǎng)E并且能夠根據(jù)剩余場(chǎng)E生成與E’ I具有相同偏振并具有相同時(shí)間特性的場(chǎng)E’ 2，并且因此能夠與場(chǎng)E’ I生成相長(zhǎng)干涉。
[0040]根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，晶體C足夠在多通(mult1-pass)配置中產(chǎn)生此場(chǎng)E’ 2。
[0041]具有與Pl的偏振正交的直線偏振的第二偏振器P2使得可能衰減或甚至消除攜帶ASE的場(chǎng)，僅使得場(chǎng)E’ 1+E’ 2也就是主脈沖的場(chǎng)通過(guò)。
[0042]如之前所示，這些濾波器3中的第一個(gè)優(yōu)選是XPW HE (高能量)濾波器，如此命名是因?yàn)闅w因于其中晶體上的光束的尺寸與此能量水平兼容的配置，其能夠接收輸入能量為0.5mJ到15mJ之間的脈沖。該配置的示例描述于“Efficient cross polarized wavegenerat1n for compact,energy-scalable,ultrashort laser sources，，中，Ramirez 等，Optics Express，第19卷，第I期，第93-98頁(yè)(2011)。第二濾波器5是如上所述的XPW HE濾波器或者傳統(tǒng)的XPW濾波器，其輸入能量在0.1到0.5mJ之間。
[0043]在第一濾波器3引入由光束通過(guò)偏振器和其中發(fā)生XPW效應(yīng)的非線性晶體傳輸而感生的一些色散的情況下，必須要以補(bǔ)償該色散，以使得在第二(其它)XPW濾波器5上呈現(xiàn)具有優(yōu)化特性的光束。給定此色散的相對(duì)低的值，通過(guò)有具有受控色散的鏡(通常是一對(duì)鏡)的壓縮器4產(chǎn)生補(bǔ)償，該鏡目前是商業(yè)可獲得的元件并且其色散特性可以根據(jù)所要產(chǎn)生的補(bǔ)償進(jìn)行調(diào)整。
[0044]在第二 XPW濾波器5之后能夠存在色散補(bǔ)償器，但在光束后面被立即展寬的情況下和在能夠通過(guò)具有頻率啁啾的最后放大級(jí)6的壓縮器的調(diào)整產(chǎn)生補(bǔ)償?shù)那闆r下不是必需的。
[0045]XPff濾波器以容許輸入能量(高達(dá)15mJ)的形式存在使得這樣的組合成為可能:實(shí)際上，如果例如第一 XPW濾波器接收3mJ的能量并具有15%的效率，在給定損失情況下能夠獲得450 μ J的光束，特別是壓縮器中的其鏡具有受控色散的那些壓縮器，使得其可能在第二 XPW濾波器的輸入端具有達(dá)到300 μ J的通路。當(dāng)此第二濾波器具有20%的效率時(shí)，其使得有可能傳送60 μ J的能量以注入到具有頻率啁啾的第二放大級(jí)，即優(yōu)選地足夠的值并且其在現(xiàn)有技術(shù)的水平下是容易。
[0046]復(fù)雜性的問(wèn)題因而得以解決，因?yàn)閄PW級(jí)非常簡(jiǎn)單，其包括一些晶體和一些光學(xué)元件，其尺寸仍然小，因?yàn)樗婕暗哪芰吭阪溨械倪@個(gè)位置弱。
[0047]考慮到入射能量，第一濾波器3可選地設(shè)置在真空中，但是其為僅包括非線性晶體和空間濾波裝置的真空室，即典型地為直徑5cm長(zhǎng)度為50cm的圓柱，并且因此是比Im3的量級(jí)的等離子體鏡的情況小得多的體積室；此外，所要求的真空水平比等離子體鏡的情況下低得多(比其小兩個(gè)數(shù)量級(jí))。
[0048]雙重等離子體鏡引起的第二個(gè)問(wèn)題，就是能量損失，在此也得到解決，因?yàn)橛捎赬PW濾波器設(shè)置在激光鏈的開(kāi)始處，補(bǔ)償了其引入的顯著損失(總透射僅為百分之幾)，所以其足以從具有頻率啁啾的第二放大級(jí)的第一多通放大器增加一個(gè)或者兩個(gè)通路。
[0049]實(shí)施例的優(yōu)選裝置在使用該基本配置的以下架構(gòu)中的包括級(jí)聯(lián)的:
[0050]-鎖模鈦-藍(lán)寶石振蕩器I，
[0051]-第一鈦-藍(lán)寶石CPA2，典型地傳送3mJ，在其輸出處的對(duì)比度為15或者16的量級(jí)，
[0052]-一個(gè)例如效率為15 %的具有一個(gè)BaF2晶體的XPW HE濾波器3，
[0053]-裝備有具有受控色散的一對(duì)鏡的色散補(bǔ)償器4，其總的透射為70%的量級(jí)，
[0054]-效率為20%的具有兩個(gè)BaF2晶體的XPW濾波器5，具有300μ J的典型輸入能量和60 μ J的典型輸出能量，
[0055]-根據(jù)該CPA的放大器的數(shù)目，第二鈦寶石CPA6傳送典型地包括在100TW到30PW之間的峰值功率。
[0056]許多變形是可能的:
[0057]-BaF2可以由CaF2或SrF2或CaBaF2，或者CaSrF2或者金剛石或者LiF或者YAG或者任意其他能夠產(chǎn)生交叉偏振波的具有三階非線性磁化率的材料替代，
[0058]-CPA可以由OPCPA替代或者具有混合配置(0PCPA，然后CPA)是可能的，
[0059]-對(duì)于CPA，放大介質(zhì)可以為鈦摻雜的藍(lán)寶石，釹摻雜或者鐿摻雜玻璃構(gòu)成的玻璃(或者其混合物)，或鐿摻雜玻璃或者晶體，
[0060]-濾波器5可以為XPWHE濾波器，
[0061]-可能預(yù)見(jiàn)具有三個(gè)XPW濾波器的配置(例如兩個(gè)XPWHE濾波器，然后一個(gè)XPW濾波器)插入在具有頻率啁啾的兩個(gè)放大級(jí)之間，兩個(gè)第一 XPW濾波器中每一個(gè)之后具有色散補(bǔ)償器；在此情況下，有可能預(yù)見(jiàn)對(duì)比度的與具有艾克瓦(exawatt)的峰值功率兼容的10至12個(gè)數(shù)量級(jí)的增大。
[0062]-有可能預(yù)見(jiàn)如圖3中所示的包括具有頻率啁啾的三個(gè)放大級(jí)(CPA或者0PCPA)的配置，在兩個(gè)放大級(jí)之間(在第一個(gè)2和中間一個(gè)8之間，或者在中間一個(gè)8和最后一個(gè)6之間；在圖中的示例中，在放大級(jí)2和8之間有兩個(gè)濾波器3、7)具有一個(gè)或者兩個(gè)XPW濾波器(或者XPW HE濾波器)，在第一 XPW濾波器中的每一個(gè)之后有色散補(bǔ)償器，已知該第三放大級(jí)8可以經(jīng)由其壓縮器起到色散補(bǔ)償器的作用并且因而替代一個(gè)補(bǔ)償器。當(dāng)該激光鏈包括N個(gè)濾波器(N ^ 2并且包括第一濾波器)時(shí)，在該N-1個(gè)第一濾波器的輸出端存在色散補(bǔ)償器，即有N-1個(gè)補(bǔ)償器。
[0063]本發(fā)明還具有另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，其增大了 XPW技術(shù)中固有的光譜展寬。實(shí)際上，XPW級(jí)產(chǎn)生系數(shù)為V 3的光譜展寬(并且因而脈沖持續(xù)時(shí)間減少這么多)因?yàn)榉蔷€性現(xiàn)象取決于強(qiáng)度的立方。兩個(gè)XPW級(jí)的實(shí)施因此是產(chǎn)生3的因子的光譜展寬的種類(lèi)。每個(gè)脈沖的持續(xù)時(shí)間的這種減少使得有可能降低泵浦能量。于是，優(yōu)選地使用CPA類(lèi)型的具有頻率啁啾的放大級(jí)。
【權(quán)利要求】
1.一種能夠發(fā)出大于或等于100太瓦的能量脈沖的激光源(100)，包括激光鏈，所述激光鏈包括級(jí)聯(lián)的: -固態(tài)激光振蕩器(I)， -具有頻率啁啾的第一放大級(jí)(2)，以及 -具有頻率啁啾的最后放大級(jí)(6)，這些第一放大級(jí)和最后放大級(jí)均包括級(jí)聯(lián)的展寬器、放大鏈和壓縮器， -第一濾波器，稱(chēng)為非線性交叉偏振濾波器(3)，具有一個(gè)或者兩個(gè)非線性晶體和三階非線性光學(xué)磁化率，能夠產(chǎn)生交叉偏振波，并且其中所述晶體或者這些所述晶體設(shè)置在這兩個(gè)偏振器之間， 所述激光鏈的特征在于包括: -在所述第一放大級(jí)(2)和所述最后放大級(jí)(6)之間的至少一個(gè)其它的非線性交叉偏振濾波器(5，7)，即，在所述激光鏈中有N個(gè)濾波器，其中N > 2，以及 -N-1個(gè)色散補(bǔ)償器(4)，(分別)設(shè)置在一個(gè)或多個(gè)所述第一濾波器(3)的輸出端。
2.如前述權(quán)利要求所述的激光源，其特征在于，所述激光鏈包括插入在兩個(gè)非線性交叉偏振濾波器之間的具有頻率啁啾的第三放大級(jí)(8)，該第三放大級(jí)包括級(jí)聯(lián)的展寬器、放大鏈和壓縮器，該壓縮器也是色散補(bǔ)償器。
3.如前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的激光源，其特征在于，至少一個(gè)色散補(bǔ)償器是具有受控色散的鏡壓縮器。
4.如前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的激光源，其特征在于，一個(gè)(或若干個(gè))放大級(jí)是CPA放大器或者OPCPA放大器。
5.如前述權(quán)利要求所述的激光源，其特征在于，CPA放大器具有放大介質(zhì)，所述放大介質(zhì)為鈦摻雜的藍(lán)寶石或玻璃，或者釹摻雜或鐿摻雜的玻璃的混合物，或者鐿摻雜的晶體。
6.如前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的激光源，其特征在于，所述非線性晶體為BaF2晶體。
【文檔編號(hào)】G02F1/39GK104137353SQ201280065597
【公開(kāi)日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2012年12月10日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月30日
【發(fā)明者】C·西蒙-布瓦松 申請(qǐng)人:塔萊斯公司