專利名稱：防塵薄膜框架、光學(xué)掩膜版及其安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及平板顯示面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種防塵薄膜框架及具有該防塵薄膜框架的光學(xué)掩膜版和光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，在顯示行業(yè)的黃光制程，需要用到大尺寸光學(xué)掩膜版(Photo Mask)。而為了減少灰塵對(duì)制程的影響，需要在光學(xué)掩膜版的圖案面安裝防塵薄膜(PellicleMembrane)。目前所有光學(xué)掩膜版廠商均采用粘貼的方式將防塵薄膜安裝到光學(xué)掩膜版的圖案面，粘貼之后，無法無損壞分離，所以目前的安裝方式的防塵薄膜是一次性的。光學(xué)掩膜版的制作工藝流程概略圖如圖1所示。先后需要經(jīng)過成膜、光刻膠涂布、描寫、顯影、刻蝕、光刻膠剝離、檢查、修復(fù)、清潔、防塵薄膜安裝、檢查及出廠等步驟。對(duì)于其中的防塵薄膜安裝步驟，如圖3所示，傳統(tǒng)的防塵薄膜安裝方式是先將防塵薄膜4用粘貼的方式固定在薄膜框架2上，然后將帶有防塵薄膜4的薄膜框架2粘貼固定到光學(xué)掩膜版的基板(例如石英玻璃)I的具有圖案3的圖案側(cè)。形成如圖2所示的光學(xué)掩膜版。然而，每次改變產(chǎn)品的面板尺寸、像素、線寬等任何一個(gè)圖案信息，一個(gè)產(chǎn)品的整套光學(xué)掩膜版就需要更新?lián)Q代。被替換下來的光學(xué)掩膜版就失去了使用價(jià)值，而尚有再利用價(jià)值的防塵薄膜4由于粘貼在光學(xué)掩膜版的薄膜框架2上無法分離也只能隨同主體一起廢棄。另外，一旦在防塵薄膜4粘貼之后才發(fā)現(xiàn)光學(xué)掩膜版上的一些缺陷或損壞，而需要返回修復(fù)時(shí)，也必須破壞掉防塵薄膜4，等修復(fù)完成后再貼付一張新的防塵薄膜4。這些行為都將增加光學(xué)掩膜版的成本。并且，防塵薄膜4的造價(jià)昂貴，防塵薄膜4的費(fèi)用占光學(xué)掩膜版總費(fèi)用的30-40%。因此，現(xiàn)有技術(shù)的光學(xué)掩膜版，其防塵薄膜不能重復(fù)利用，造成很大的浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明的目的為提供一種用于光學(xué)掩膜版的防塵薄膜框架，以解決現(xiàn)有技術(shù)的防塵薄膜框架無法使光學(xué)掩膜版中昂貴的防塵薄膜進(jìn)行重復(fù)利用的技術(shù)問題。本發(fā)明的另一目的為提供一種具有本發(fā)明防塵薄膜框架的光學(xué)掩膜版，以解決現(xiàn)有技術(shù)的光學(xué)掩膜版中昂貴的防塵薄膜無法進(jìn)行重復(fù)利用的技術(shù)問題。本發(fā)明的再一目的為提供一種光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:一種防塵薄膜框架，用于光學(xué)掩膜版的防塵薄膜的安裝，所述防塵薄膜框架包括:第一框架，用于與所述防塵薄膜固定連接，所述第一框架具有第一連接部；第二框架，用于與所述光學(xué)掩膜版的基板固定連接，所述第二框架具有第二連接部，通過所述第二連接部與所述第一連接部將所述 第一框架與所述第二框架便于分離的密封固定連接。
本發(fā)明的光學(xué)掩膜版，具有本發(fā)明的防塵薄膜框架。一種光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法，所述光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法包括步驟:步驟S1:提供權(quán)利要求1-13任一所述的防塵薄膜框架；步驟S2:將所述防塵薄膜連接于所述第一框架，將所述基板連接于所述第二框架；步驟S3:通過所述第二連接部與所述第一連接部能夠?qū)⑺龅谝豢蚣芘c所述第二框架便于分離的密封固定連接。本發(fā)明的有益效果在于，本發(fā)明的防塵薄膜框架及具有該防塵薄膜框架的光學(xué)掩膜版以及本發(fā)明的光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法，其將防塵薄膜框架分為第一框架和第二框架兩部分，且第一框架與第二框架便于分離的安裝方式可以將沒有商業(yè)價(jià)值的光學(xué)掩膜版上的防塵薄膜取下，安裝到需要安裝的光學(xué)掩膜版上，實(shí)現(xiàn)防塵薄膜的重復(fù)利用，從而實(shí)現(xiàn)減低成本，避免資源浪費(fèi)。


圖1為現(xiàn)有技 術(shù)的光學(xué)掩膜版的制作工藝流程示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)的防塵薄膜安裝方法安裝的光學(xué)掩膜版截面示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)的防塵薄膜安裝方法的安裝過程示意圖；圖4為安裝有防塵薄膜的本發(fā)明第一實(shí)施例的防塵薄膜框架的第一框架的截面示意圖；圖5為安裝有防塵薄膜的本發(fā)明第一實(shí)施例的防塵薄膜框架的第一框架的俯視示意圖；圖6為安裝有本發(fā)明第一實(shí)施例的防塵薄膜框架的第二框架的光學(xué)掩膜版基板的截面示意圖；圖7為本發(fā)明第一實(shí)施例的光學(xué)掩膜版的截面示意圖；圖8為本發(fā)明第二實(shí)施例的防塵薄膜框架的第一框架截面示意圖；圖9為本發(fā)明第二實(shí)施例的防塵薄膜框架的第二框架截面示意圖；圖10為本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式體現(xiàn)本發(fā)明特征與優(yōu)點(diǎn)的典型實(shí)施例將在以下的說明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解的是本發(fā)明能夠在不同的實(shí)施例上具有各種的變化，其皆不脫離本發(fā)明的范圍，且其中的說明及附圖在本質(zhì)上是當(dāng)作說明之用，而非用以限制本發(fā)明。本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法，利用本發(fā)明實(shí)施例的防塵薄膜框架實(shí)現(xiàn)；本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版，具有本發(fā)明實(shí)施例的防塵薄膜框架；本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版，利用本發(fā)明實(shí)施例的安裝方法進(jìn)行防塵薄膜的安裝。下面具體介紹本發(fā)明第一至第四實(shí)施例的防塵薄膜框架、防塵薄膜及其安裝方法。但本發(fā)明并不局限于這四個(gè)實(shí)施例。第一實(shí)施例:如圖4-圖6所示，本發(fā)明第一實(shí)施例的防塵薄膜框架，將薄膜框架分為兩部分，即包括第一框架6和第二框架5，其中第一框架6用于與防塵薄膜4固定連接，第一框架6上具有卡扣60。第二框架5，則用于與所述光學(xué)掩膜版的基板I固定連接，第二框架5具有卡槽50,通過卡槽50和卡扣60將第一框架6與第二框架5連接后，由于卡槽50和卡扣60屬于可拆卸的連接，因此在需要將防塵薄膜4從沒有商業(yè)價(jià)值的光學(xué)掩膜版取下時(shí)，便于將第一框架6與第二框架5分尚。這里所說的卡扣60和卡槽50，可以是飯盒、整理箱所用的盒(箱)蓋和本體相互連接的卡扣和卡槽，或者是樂扣水杯所用的杯蓋和杯體相連接的卡扣和卡槽。且卡扣60和卡槽50，也可以是卡扣60設(shè)置在第二框架5上，而卡槽50設(shè)置在第一框架6上。本實(shí)施例中，第一框架6與第二框架5為尺寸相匹配的矩形，兩者的尺寸應(yīng)該相等。防塵薄膜4的尺寸須與第一框架6及第二框架5的尺寸相匹配。第一框架6與第二框架5的規(guī)格例如為內(nèi)尺寸456 X 768mm、外尺寸474 X 782mm或者內(nèi)尺寸736 X 888mm、外尺寸754 X 902mm,分別對(duì)應(yīng)520 X 800mm或者800 X 920mm的光學(xué)掩膜版，此處所述的光學(xué)掩膜版尺寸等同于玻璃基板I的尺寸。而光學(xué)掩膜版的尺寸有如下規(guī)格(單位mm):330*400，330*450，390*610，500*750，520*800，800*920，850*1200，1220*1400，1800*2000,目前用得比較多的是 500*750 以上尺寸的。如圖5所示，卡扣60和卡槽50在第一框架6與第二框架5的矩形上，每一長邊上均設(shè)置兩個(gè)，在每一短邊上均設(shè)置一個(gè)。在短邊上可以設(shè)置在短邊的中點(diǎn)，而在長邊上，則可均勻分布于三分之一處和三分之二處。根據(jù)光學(xué)掩膜版的尺寸，卡扣60和卡槽50可以增設(shè)，并均勻分布于第一框架6與第二框架5的矩形上。第一框架6和第二框架5優(yōu)選的為鋁合金材質(zhì)。本實(shí)施例的防塵薄 膜框架，既可以在第一框架6上，也可以在第二框架5上，優(yōu)選的是靠近第一框架6的靠近防塵薄膜4的位置，可開設(shè)多個(gè)(一般為4個(gè))直徑為1.5mm的圓形通氣孔(圖中未示出)，以避免防塵薄膜4承受過大的壓力，通氣孔上會(huì)有空氣過濾器，過濾器的直徑要小于所要防止進(jìn)入的灰塵的粒徑，例如限制0.3微米粒徑以上顆粒通過的過濾器。本發(fā)明實(shí)施例的防塵薄膜框架，為了加強(qiáng)第一框架6與第二框架5之間的密封性，在第一框架6與第二框架5之間設(shè)置有密封墊。例如在第一框架6的底面與第二框架5的頂面之間墊設(shè)密封墊。如圖7所不,本發(fā)明第一實(shí)施例的光學(xué)掩膜版,包括石英玻璃1、第二框架5、第一框架6和防塵薄膜4，其位置關(guān)系與連接關(guān)系在之前的論述中已有介紹，不再贅述。其中，石英玻璃I上具有圖案3，石英玻璃I是作為本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版的基板，但基板的材質(zhì)并不局限于是石英玻璃。下面再介紹一下本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法，其針對(duì)的是本發(fā)明第一實(shí)施例的防塵薄膜框架。如圖10所示，本發(fā)明第一實(shí)施例的光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法包括步驟:首先是提供本發(fā)明第一實(shí)施例的防塵薄膜框架；然后，將防塵薄膜4粘貼于第一框架6的頂面，將第二框架5粘貼于石英玻璃I ;最后,通過卡扣60與卡槽50將第一框架6與第二框架5固定連接。在通過卡扣60與卡槽50將第一框架6與第二框架5固定連接前,可在第一框架6的底面與第二框架5的頂面之間墊設(shè)密封墊，以增強(qiáng)第一框架6與第二框架5之間連接的密封性。本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版，其制造工藝中，除去防塵薄膜4的安裝步驟之外，其余步驟均可與現(xiàn)有技術(shù)的光學(xué)掩膜版相同，具體如圖1所示。第二實(shí)施例:如圖8和圖9所示，本發(fā)明第二實(shí)施例的防塵薄膜框架，同樣是將薄膜框架分為兩部分，即包括第一框架6和第二框架5，其中第一框架6用于與防塵薄膜4固定連接，與第一實(shí)施例不同的是，本實(shí)施例中，第一框架6的底面上具有凸起61，而非卡扣。第二框架5，則用于與所述光學(xué)掩膜版的石英玻璃I固定連接，與第一實(shí)施例不同的是，本實(shí)施例中，第二框架5的頂面上具有凹槽51。本實(shí)施例的連接方式可以稱為是一種插卡式的連接，是通過凸起61和凹槽51的配合將第一框架6與第二框架5固定連接，由于凹槽51的入口具有彈性，在插入時(shí)，凸起61將凹槽51的入口撐開，凸起61完全插入后，凹槽51的入口因彈性而回收，貼緊凸起61的兩側(cè)，在拔出時(shí)，凸起61將凹槽51的入口撐開，凸起61完全拔出后，凹槽51的入口因彈性而復(fù)原，因此凸起51和凹槽61同樣屬于可拆卸的連接，因此在需要將防塵薄膜4從沒有商業(yè)價(jià)值的光學(xué)掩膜版取下時(shí)，同樣便于將第一框架6與第二框架5相互分離。本實(shí)施例，由于連接后凹槽51的入口因彈性回收而貼緊凸起61的兩側(cè)，所以具有很好的密封性，不必設(shè)置其他密封件。本實(shí)施例中，既可以在第一框架6上設(shè)置凸起61，在第二框架5上設(shè)置凹槽51 ;也可以在第一框架6上設(shè)置凹槽，而在第二框架5上設(shè)置凸起。在其他方面，本實(shí)施例可與第一實(shí)施例相同，不再贅述。第三實(shí)施例:·本發(fā)明第三實(shí)施例的防塵薄膜框架，與第一實(shí)施例不同的是，第一框架6上設(shè)置有螺釘(或稱螺絲)，而在第二框架5上設(shè)置螺母，通過螺絲螺母的配合，來實(shí)現(xiàn)第一框架6與第二框架5的可拆卸固定連接。本實(shí)施例中，螺母可以固定在第二框架5的外表面，即圖4中設(shè)置卡槽50的位置，而螺釘，則穿設(shè)在第一框架6外表面的具有內(nèi)螺紋的連接孔中。本實(shí)施例中，既可以在第一框架6上設(shè)置螺釘，在第二框架5上設(shè)置螺母；也可以在第一框架6上設(shè)置螺母，而在第二框架5上設(shè)置螺釘。本實(shí)施例是螺釘和螺母均設(shè)置在第一框架6和第二框架5的外側(cè)表面，螺釘并不穿過第一框架6和第二框架5的本體，但本發(fā)明并不局限于此，因此有以下的第四實(shí)施例。第四實(shí)施例:本實(shí)施例中，是分別在第一框架6和第二框架5上開設(shè)具有內(nèi)螺紋的且對(duì)中的兩連接孔，其中一個(gè)是透孔，另外一個(gè)是非透孔。為了保持光學(xué)掩膜版內(nèi)部的密封性，連接兩連接孔的螺釘并不穿入光學(xué)掩膜版內(nèi)部。對(duì)中的兩連接孔既可以平行于石英玻璃，也可以垂直于石英玻璃開設(shè)。如果第一框架6的底面與第二框架5的頂面為凹凸配合，則連接孔可以是在平行于石英玻璃I的方向開設(shè)。凹凸配合可以為臺(tái)階狀配合，例如第一框架6的底面具有內(nèi)高外低的臺(tái)階，而第二框架5的頂面則具有與之匹配的內(nèi)高外低的臺(tái)階，對(duì)中的兩連接孔可以開設(shè)在臺(tái)階上，方向平行于石英玻璃I。
本實(shí)施例的防塵薄膜框架，還包括將上述兩對(duì)中的連接孔相互連接的螺釘，以將第一框架6與第二框架5可拆卸的固定連接。綜合上述的第一實(shí)施例至第四實(shí)施例，本發(fā)明的防塵薄膜框架，不論是卡扣60與卡槽50、凸起61和凹槽51的插卡式連接方式、螺絲螺母的連接方式，還是通過螺釘將兩對(duì)中的連接孔相連接的連接方式，均屬于是通過兩個(gè)分別設(shè)置在第一框架6和第二框架5上的連接部(卡扣\卡槽、凸起\凹槽、螺絲\螺母、兩連接孔)將第一框架6與第二框架5便于分離的密封固定連接，包括可拆卸的密封固定連接。但本發(fā)明并不局限于此，第一框架6與第二框架5間任何便于分離的密封固定連接方式均可。本發(fā)明實(shí)施例的防塵薄膜框架及本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版以及本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法，其將防塵薄膜框架分為第一框架6和第二框架5兩部分，把粘貼到石英玻璃I上的薄膜框架定義為第二框架5，把固定防塵薄膜4的薄膜框架定義為第一框架6。在第一框架6上設(shè)置一連接部，第二框架5上設(shè)置與之匹配的另一連接部，通過兩連接部將第一框架6和第二框架5固定連接，即可完成安裝。且第一框架6與第二框架5便于分離的安裝方式可以將沒有商業(yè)價(jià)值的光學(xué)掩膜版上的防塵薄膜4取下，安裝到需要安裝的光學(xué)掩膜版上，實(shí)現(xiàn)防塵薄膜4的重復(fù)利用，從而實(shí)現(xiàn)減低成本，避免資源浪費(fèi)。本領(lǐng)域技術(shù)人 員應(yīng)當(dāng)意識(shí)到在不脫離本發(fā)明所附的權(quán)利要求所揭示的本發(fā)明的范圍和精神的情況下所作的更動(dòng)與潤飾，均屬本發(fā)明的權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種防塵薄膜框架，用于光學(xué)掩膜版的防塵薄膜的安裝，所述防塵薄膜框架包括: 第一框架，用于與所述防塵薄膜固定連接，所述第一框架具有第一連接部； 第二框架，用于與所述光學(xué)掩膜版的基板固定連接，所述第二框架具有第二連接部，通過所述第二連接部與所述第一連接部將所述第一框架與所述第二框架便于分離的密封固定連接。
2.如權(quán)利要求1所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第二連接部與所述第一連接部相互連接后將所述第一框架與所述第二框架可拆卸的密封固定連接。
3.如權(quán)利要求1所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第一框架與所述第二框架為尺寸相匹配的矩形，所述第一連接部和所述第二連接部在所述矩形的每一長邊上均設(shè)置至少兩個(gè)，在所述矩形的每一短邊上均設(shè)置至少一個(gè)。
4.如權(quán)利要求2所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第一連接部為卡扣，所述第二連接部為卡槽；或者所述第一連接部為卡槽，所述第二連接部為卡扣。
5.如權(quán)利要求2所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第一連接部為設(shè)置于所述第一框架的凸起，所述第二連接部為設(shè)置于所述第二框架的凹槽；或者所述第一連接部為設(shè)置于所述第一框架的凹槽，所述第二連接部為設(shè)置于所述第二框架的凸起。
6.如權(quán)利要求2所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第一連接部為螺釘，所述第二連接部為螺母；或者所述第一連接部為螺母，所述第二連接部為螺釘。
7.如權(quán)利要求1所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第一框架和所述第二框架為鋁合金材質(zhì)。
8.如權(quán)利要求1所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第一框架上設(shè)置有限制0.3微米粒徑以上顆粒通過的通氣孔。
9.如權(quán)利要求8所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述通氣孔的直徑為1.5毫米，在所述通氣孔內(nèi)設(shè)置有限制0.3微米粒徑以上顆粒通過的空氣過濾器。
10.如權(quán)利要求1所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第一框架的底面與所述第二框架的頂面為凹凸配合。
11.如權(quán)利要求10所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述防塵薄膜框架還包括將所述第一連接部與所述第二連接部相互連接以將所述第一框架與第二框架可拆卸的固定連接的連接件。
12.如權(quán)利要求11所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述第一連接部為設(shè)置在所述第一框架的具有內(nèi)螺紋的第一連接孔，所述第二連接部為設(shè)置在所述第二框架的具有內(nèi)螺紋的與所述第一連接孔對(duì)中的第二連接孔，所述連接件為螺釘。
13.如權(quán)利要求11所述的防塵薄膜框架，其特征在于，所述通氣孔的數(shù)量為四個(gè)。
14.一種光學(xué)掩膜版,其特征在于,所述光學(xué)掩膜版具有權(quán)利要求1-13任一所述的防塵薄膜框架。
15.如權(quán)利要求14所述的光學(xué)掩膜版，其特征在于，所述光學(xué)掩膜版的規(guī)格為800 X 920mm 或者 520 X 800mm。
16.如權(quán)利要求14所述的光學(xué)掩膜版，其特征在于，所述第一框架與所述第二框架之間具有密封件。
17.如權(quán)利 要求16所述的光學(xué)掩膜版，其特征在于，所述第一框架的底面與所述第二框架的頂面之間墊設(shè)有密封墊。
18.如權(quán)利要求14所述的光學(xué)掩膜版，其特征在于，所述基板為石英玻璃。
19.一種光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法，其特征在于，所述光學(xué)掩膜版防塵薄膜的安裝方法包括步驟: 步驟S1:提供權(quán)利要求1-13任一所述的防塵薄膜框架； 步驟S2:將所述防塵薄膜連接于所述第一框架，將所述基板連接于所述第二框架；步驟S3:通過所述第二連接部與所述第一連接部能夠?qū)⑺龅谝豢蚣芘c所述第二框架便于分離的密封固定連接。
20.如權(quán)利要求19所述的光學(xué)掩膜版，其特征在于，在所述步驟S2之后和所述步驟S3之前，還包括在所述第一框架的底面與所述第二框架的頂面之間墊設(shè)密封墊的步驟。
21.如權(quán)利要求19所述的光學(xué)掩膜版，其特征在于，在所述步驟S2中，將所述防塵薄膜粘貼于所述第一框 架的頂面。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種防塵薄膜框架、光學(xué)掩膜版及其安裝方法，該防塵薄膜框架，用于光學(xué)掩膜版的防塵薄膜的安裝，所述防塵薄膜框架包括第一框架，用于與所述防塵薄膜固定連接，所述第一框架具有第一連接部；第二框架，用于與所述光學(xué)掩膜版的基板固定連接，所述第二框架具有第二連接部，通過所述第二連接部與所述第一連接部將所述第一框架與所述第二框架便于分離的密封固定連接。本發(fā)明能夠使昂貴的防塵薄膜得到重復(fù)利用。
文檔編號(hào)G03F1/64GK103246157SQ20131019021
公開日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2013年5月21日
發(fā)明者朱棋鋒 申請(qǐng)人:上海和輝光電有限公司