基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法，其中，用于將母基板分離成多個(gè)單元基板的所述基板分離裝置包括：多個(gè)可提升的分離部件，所述多個(gè)可提升的分離部件設(shè)置在所述母基板上方并且布置在一個(gè)方向上，所述多個(gè)可提升的分離部件經(jīng)配置以支撐住所述母基板中的至少一個(gè)區(qū)域；以及驅(qū)動(dòng)單元，所述驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以在不同的時(shí)刻分別地提升所述多個(gè)分離部件。因此，根據(jù)示例性實(shí)施例，當(dāng)所述母基板與單元基板分離時(shí)，所述單元基板或與所述單元基板相鄰的所述母基板的損壞可以最小化。因此，與根據(jù)相關(guān)技術(shù)的情況相比，可以獲得分離區(qū)域較為清晰的單元基板。并且，所述單元基板的故障率可以減小，并且產(chǎn)品質(zhì)量可以提高。
【專利說明】基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法
[0001]相關(guān)申請(qǐng)案的交叉參考
[0002]本申請(qǐng)案主張2012年6月I日提交的第10-2012-0059171號(hào)韓國專利申請(qǐng)案的優(yōu)先權(quán)以及由此產(chǎn)生的所有權(quán)益，所述在先申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容以引用的方式并入本文中。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及一種基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法，尤其涉及一種容易地將母基板分離成多個(gè)單元基板的基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法。
【背景技術(shù)】
[0004]一般而言，用于平板顯示器的面板是使用通用脆性基板制造的。這些面板分為兩類:由一層基板組成的單基板以及由兩層基板組成的接合基板(junction substrate)。
[0005]由于接合基板被加工成各種尺寸，例如用于便攜式終端中的液晶顯示器的小型面板以及用于電視或顯示器的大型面板，因此可以通過將大型母基板分離成小型單元基板來將接合基板用作相應(yīng)的面板。
[0006]將大型母基板分離成多個(gè)單元基板的方法包括:在母基板上形成多個(gè)劃線(scribe line)的過程；按壓母基板以在所述劃線中產(chǎn)生裂縫的過程；以及將母基板分離成單元基板的過程。
[0007]此時(shí)，需要提供一種用于將母基板分離成單元基板的獨(dú)立基板分離裝置，在所述母基板中沿著劃線產(chǎn)生裂縫。通用基板分離裝置包括支撐住母基板的一對(duì)吸附襯墊、支撐住該對(duì)吸附襯墊的支撐塊，以及連接到支撐塊以提升該對(duì)吸附襯墊的氣缸。
[0008]下文將簡(jiǎn)要描述通過使用基板分離裝置來將母基板分離成多個(gè)單元基板的方法。
[0009]首先，使用氣缸來使該對(duì)吸附襯墊下降，以將母基板支撐在該對(duì)吸附襯墊上。此時(shí)，該對(duì)吸附襯墊支撐住位于多個(gè)劃線中彼此相鄰的兩個(gè)劃線之間的區(qū)域。隨后，使用氣缸來使該對(duì)吸附襯墊同時(shí)上升，以對(duì)通過該對(duì)吸附襯墊而上升的區(qū)域進(jìn)行分離。此時(shí)，上升的區(qū)域可以稱為單元基板。
[0010]根據(jù)相關(guān)技術(shù)，由于該對(duì)吸附襯墊同時(shí)上升到相同高度，因此該對(duì)吸附襯墊在垂直于母基板上表面的方向上直接上升。因此，將被分離出的單元基板的兩端中的每一端與母基板之間的區(qū)域受到的沖擊可能較大。結(jié)果，分離出的單元基板，或者是母基板中與單元基板相鄰的區(qū)域，可能被損壞(例如，被拉出)。損壞的單元基板不能用于面板。因此，故障率可能增大，面板生產(chǎn)率會(huì)降低。
[0011]通過在母基板上執(zhí)行破裂過程，使用傳力手(transfer hand)直接提升該母基板而將母基板切成液晶面板的方法，揭示于韓國專利授權(quán)注冊(cè)號(hào)10-0960468中。
[0012]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0013]專利文獻(xiàn)
[0014]韓國專利授權(quán)注冊(cè)號(hào)10-0960468
【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明提供了一種容易地將母基板分離成多個(gè)單元基板的基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法。
[0016]本發(fā)明還提供了一種當(dāng)母基板被分離成多個(gè)單元基板時(shí)使母基板或單元基板的損壞最小化的基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法。
[0017]根據(jù)一示例性實(shí)施例，用于將母基板分離成多個(gè)單元基板的基板分離裝置包括:多個(gè)可提升的分離部件，所述多個(gè)可提升的分離部件設(shè)置在母基板上方并且布置在一個(gè)方向上，所述多個(gè)可提升的分離部件經(jīng)配置以支撐住母基板中的至少一個(gè)區(qū)域；以及驅(qū)動(dòng)單元，所述驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以在不同的時(shí)刻分別地提升所述多個(gè)分離部件。
[0018]所述分離部件中的每一者可以包括吸附襯墊。
[0019]所述驅(qū)動(dòng)單元可以包括分別連接到所述多個(gè)分離部件的多個(gè)驅(qū)動(dòng)部分。
[0020]所述驅(qū)動(dòng)部分中的每一者可以包括:動(dòng)力源，所述動(dòng)力源提供提升動(dòng)力；提升部件，所述提升部件支撐住所述分離部件中的每一者；以及驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸的一端連接到所述動(dòng)力源且其另一端連接到所述提升部件，其中所述動(dòng)力源可以包括伺服馬達(dá)。
[0021]所述基板分離裝置還可以包括延伸向母基板的可提升輔助部件。
[0022]可以提供多個(gè)所述輔助部件，并且所述多個(gè)輔助部件可以分別設(shè)置在所述多個(gè)分離部件之外。
[0023]所述輔助部件中的每一者可以向所述分離部件彎曲。
[0024]所述基板分離裝置還可以包括經(jīng)配置以提升所述輔助部件中的每一者的輔助驅(qū)動(dòng)單元。
[0025]根據(jù)另一示例性實(shí)施例，通過使用支撐住母基板中至少一個(gè)區(qū)域的多個(gè)分離部件來將母基板分離成多個(gè)單元基板的基板分離方法包含:移動(dòng)所述多個(gè)分離部件以將所述多個(gè)分離部件定位在所述母基板中將被分離的區(qū)域上方；使所述多個(gè)分離部件下降從而將所述母基板支撐在所述多個(gè)分離部件上；以及在所述多個(gè)分離部件支撐住所述母基板的狀態(tài)下，在不同的時(shí)刻使所述多個(gè)分離部件分別地上升。
[0026]所述在不同的時(shí)刻使所述多個(gè)分離部件分別地上升可以包括:使所述多個(gè)分離部件中的一者上升；以及使前面過程中不上升的其他分離部件上升。
[0027]所述多個(gè)分離部件可以具有彼此不同的上升高度。
[0028]設(shè)置在所述多個(gè)分離部件中的每一者的一側(cè)的輔助部件可以下降，以使所述輔助部件的一端支撐住所述母基板，從而有助于所述母基板的分離。
[0029]在所述移動(dòng)所述多個(gè)分離部件以將所述多個(gè)分離部件定位在所述母基板中將被分離的區(qū)域上方之前，所述基板分離方法還可以包括:在所述母基板中形成多個(gè)劃線；以及按壓所述母基板。
[0030]在所述使所述多個(gè)分離部件下降從而將所述母基板支撐在所述多個(gè)分離部件上的過程中，所述多個(gè)分離部件可以支撐住母基板中設(shè)置在多個(gè)劃線中彼此相鄰的兩個(gè)劃線之間的區(qū)域。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]可從結(jié)合附圖所作的以下描述中更詳細(xì)地理解示例性實(shí)施例，其中:[0032]圖1為根據(jù)一示例性實(shí)施例的基板分離裝置的主要部分的截面圖。
[0033]圖2為根據(jù)一示例性實(shí)施例的通過使用基板分離裝置來將母基板分離成多個(gè)單元基板的過程的截面圖。
[0034]圖3為根據(jù)一示例性實(shí)施例的通過使用輔助部件來分離母基板的過程的截面圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0035]下文中，將參考附圖詳細(xì)描述特定實(shí)施例。然而，本發(fā)明可通過不同的形式進(jìn)行實(shí)施，且不應(yīng)解釋為限于本文中所列出的各實(shí)施例。相反，這些實(shí)施例用以使本發(fā)明全面且完整，且用于將本發(fā)明的范圍充分傳達(dá)給所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員。相同參考數(shù)字始終指代相同元件。
[0036]本發(fā)明中描述的母基板MS可以包括用于平板顯示器的脆性材料基板，例如玻璃基板、陶瓷基板，以及半導(dǎo)體晶片。在當(dāng)前實(shí)施例中，將作為實(shí)例來描述一種用于將母基板MS分離成多個(gè)單元基板的裝置和方法，在所述母基板中用于液晶顯示器中的兩層玻璃基板彼此粘合。
[0037]圖1為根據(jù)一示例性實(shí)施例的基板分離器件的主要部分的截面圖。
[0038]根據(jù)一示例性實(shí)施例的基板分離裝置為這樣一種裝置:所述裝置用于在母基板上形成劃線之后，通過按壓劃線或劃線的兩側(cè)而將母基板MS分離成多個(gè)單元基板。并且，母基板MS可以是這樣一種基板，其中兩個(gè)基板，即第一基板SI和第二基板S2彼此粘合。
[0039]參考圖1，基板分離裝置包括:桌100，母基板MS即位于該桌上；分離模塊700，所述分離模塊包括在不同的時(shí)刻升或降的多個(gè)分離部件200a和200b ;以及支撐塊800，所述支撐塊800用于支撐并且固定分離模塊700以水平地移動(dòng)分離模塊700。盡管未圖示，但是第一水平移動(dòng)模塊連接到桌100上方的支撐塊800以水平地移動(dòng)分離模塊700 ;板設(shè)置在桌100下方；并且第二水平移動(dòng)模塊設(shè)置在桌與板之間，以在與分離模塊700的水平移動(dòng)方向垂直的方向上水平地移動(dòng)母基板MS。
[0040]根據(jù)一示例性實(shí)施例的桌100可以具有正方形板形狀。然而，本發(fā)明不受限于桌100的此形狀。例如，桌100可以具有對(duì)應(yīng)于母基板MS形狀的各種形狀。并且，用于固定母基板MS的固定單元設(shè)置在桌100上。在當(dāng)前實(shí)施例中，通過使用真空吸附力來吸附并且固定母基板MS的多個(gè)吸附孔可以設(shè)置在桌100中，以作為固定單元。然而，用于支撐并且固定母基板MS的固定單元不限于所述吸附孔。例如，各種單元如夾具、托盤和靜電卡盤(electrostatic chuck)等可以用作該固定單兀。
[0041]第一水平移動(dòng)模塊可以包括，例如，在一個(gè)方向上延伸的第一導(dǎo)軌以及設(shè)置在第一導(dǎo)軌與支撐塊800之間以沿著第一導(dǎo)軌滑動(dòng)的第一移動(dòng)塊。因此，支撐住分離模塊700的支撐塊800可以通過第一導(dǎo)軌和第一移動(dòng)塊而水平地移動(dòng)。并且，第二水平移動(dòng)模塊可以包括，例如，在垂直于第一導(dǎo)軌的方向上延伸的第二導(dǎo)軌以及設(shè)置在第二導(dǎo)軌與桌100之間以沿著第二導(dǎo)軌滑動(dòng)的第二移動(dòng)塊。因此，支撐住母基板MS的桌100可以通過第二導(dǎo)軌和第二移動(dòng)塊而水平地移動(dòng)。第一水平移動(dòng)模塊和第二水平移動(dòng)模塊不限于上述構(gòu)造和結(jié)構(gòu)。例如，第一水平移動(dòng)模塊和第二水平移動(dòng)模塊可以用各種方式修改以水平地移動(dòng)分離模塊700和桌100中的每一者。
[0042]分離模塊700將母基板MS分離成多個(gè)單元基板。分離模塊700包括:支撐住母基板MS的多個(gè)可提升的分離部件200a和200b ;驅(qū)動(dòng)單元300，所述驅(qū)動(dòng)單元300連接到所述多個(gè)分離部件200a和200b中的每一者，以在不同的時(shí)刻分別地提升所述多個(gè)分離部件200a和200b ;延伸向母基板MS的多個(gè)可提升的輔助部件400a和400b ;提升所述多個(gè)輔助部件400a和400b的多個(gè)輔助驅(qū)動(dòng)單元500 ;以及多個(gè)固定部件600a和600b，在所述多個(gè)固定部件600a和600b上安裝有所述驅(qū)動(dòng)單元300和所述輔助驅(qū)動(dòng)單元500。
[0043]根據(jù)一示例性實(shí)施例的基板分離裝置包括兩個(gè)分離部件200a和200b(S卩，第一分離部件200a和第二分離部件200b)。然而，本發(fā)明不受限于分離部件200a和200b的此數(shù)量。例如，可以提供兩個(gè)或更多分離部件。
[0044]如上所述，第一分離部件200a和第二分離部件200b中的每一者設(shè)置在桌100上方以支撐住母基板MS。在當(dāng)前實(shí)施例中，可以使用通過使用吸附力來支撐住母基板MS的吸附襯墊來作為分離部件200a和200b中的每一者。并且，根據(jù)一示例性實(shí)施例的吸附襯墊的形狀可以為:朝向母基板MS，寬度逐漸增大，例如梯形。然而，第一分離部件200a和第二分離部件200b中的每一者不限于所述吸附襯墊和所述梯形。例如，可以使用能夠用于支撐并且固定母基板MS的各種單元和形狀來作為第一分離部件200a和第二分離部件200b。
[0045]第一分離部件200a和第二分離部件200b通過第一驅(qū)動(dòng)部分300a和第二驅(qū)動(dòng)部分300b而升或降，下文將分別對(duì)此進(jìn)行描述。確切地說，當(dāng)?shù)谝环蛛x部件200a和第二分離部件200b上升以將母基板MS分離成單元基板時(shí)，第一分離部件200a和第二分離部件200b可以在不同時(shí)刻分別地上升。也就是說，盡管根據(jù)相關(guān)技術(shù)的多個(gè)分離部件在分離部件200a和200b支撐住母基板的狀態(tài)下同時(shí)上升，但是根據(jù)一示例性實(shí)施例的多個(gè)分離部件200a和200b可以在不同的時(shí)刻相繼地上升。因此，分離出的單元基板或母基板MS中與單元基板相鄰的區(qū)域可以穩(wěn)定地分離而不會(huì)受損，并且還可以容易地執(zhí)行分離過程。通過使用根據(jù)一示例性實(shí)施例的所述多個(gè)分離部件200a和200b來將母基板MS分離成多個(gè)單元基板的方法，將在下文中詳細(xì)描述。
[0046]驅(qū)動(dòng)單元300分別地提升第一分離部件200a和第二分離部件200b。驅(qū)動(dòng)單元300包括提升第一分離部件200a的第一驅(qū)動(dòng)部分300a以及提升第二分離部件200b的第二驅(qū)動(dòng)部分300b。
[0047]第一驅(qū)動(dòng)部分300a和第二驅(qū)動(dòng)部分300b中的每一者包括:提升部件340a和340b，提升部件340a和340b分別連接到分離部件200a和200b以支撐住分離部件200a和200b ;動(dòng)力源310a和310b，動(dòng)力源310a和310b設(shè)置在支撐塊800上以提供提升動(dòng)力；驅(qū)動(dòng)軸320a和320b，驅(qū)動(dòng)軸320a和320b各自有一端分別連接到驅(qū)動(dòng)源310a和310b以穿過提升部件340a和340b ；以及提升器330a和330b，提升器330a和330b分別對(duì)提升部件340a和340b進(jìn)行提升。也就是說，驅(qū)動(dòng)單元300中的每一者包括:提升部件340a和340b，提升部件340a和340b分別連接到第一分離部件200a和第二分離部件200b ;第一動(dòng)力源310a和第二動(dòng)力源310b，第一動(dòng)力源310a和第二動(dòng)力源310b提供提升動(dòng)力；第一驅(qū)動(dòng)軸320a和第二驅(qū)動(dòng)軸320b，第一驅(qū)動(dòng)軸320a和第二驅(qū)動(dòng)軸320b各自有一端分別連接到第一動(dòng)力源310a和第二動(dòng)力源310b以穿過第一提升部件340a和第二提升部件340b ；以及第一提升器330a和第二提升器330b，第一提升器330a和第二提升器330b分別對(duì)第一提升部件340a和第二提升部件340b進(jìn)行提升。因此，第一分離部件200a和第二分離部件200b可以分別地被提升。[0048]盡管在當(dāng)前實(shí)施例中伺服馬達(dá)用作第一動(dòng)力源310a和第二動(dòng)力源310b中的每一者，但是本發(fā)明不限于此。例如，可以使用為驅(qū)動(dòng)軸320a和320b以及提升塊330a_2和330b-2提供提升力的各種單元，來作為第一動(dòng)力源310a和第二動(dòng)力源310b。并且，第一驅(qū)動(dòng)軸320a和第二驅(qū)動(dòng)軸320b分別連接到第一驅(qū)動(dòng)部分300a和第二驅(qū)動(dòng)部分300b。
[0049]例如，所述第一提升部件340a和第二提升部件340b中的每一者可以包括:在長(zhǎng)度方向上，即向母基板MS延伸的垂直部分；以及水平部分，所述水平部分的一端連接到垂直部分并且具有在平行于母基板MS的方向上延伸的形狀，即，韓文輔音字母“L”形。并且，所述第一提升部件340a和第二提升部件340b的另一端不連接到垂直部分并且面向彼此。并且，第一驅(qū)動(dòng)軸320a和第二驅(qū)動(dòng)軸320b設(shè)置成分別穿過第一提升部件340a和第二提升部件340b的上部分。
[0050]然而，第一提升部件340a和第二提升部件340b中的每一者不限于上述形狀。例如，第一提升部件340a和第二提升部件340b中的每一者可以具有各種形狀，例如，直棒形，通過這些形狀第一分離部件200a和第二分離部件200b中的每一者能夠被支撐住并且被提升。
[0051 ] 第一提升器330a和第二提升器330b包括:導(dǎo)軌330a_l和330b_l，導(dǎo)軌330a_l和330b-l安裝在第一固定部件600a和第二固定部件600b中每一者的內(nèi)表面上；以及提升塊330a-2和330b-2，提升塊330a_2和330b_2分別將導(dǎo)軌330a_l和330b_l連接到提升部件340a和340b以沿著導(dǎo)軌330a_l和330b_l滑動(dòng)。
[0052]第一固定部件600a和第二固定部件600b中的每一者在其長(zhǎng)度方向上延伸并且有一端連接到支撐塊800。此時(shí)，第一固定部件600a設(shè)置在第一提升器330a與稍后將描述的第一輔助驅(qū)動(dòng)部分500a之間，而第二固定部件600b設(shè)置在第二提升器330b與第二輔助驅(qū)動(dòng)部分500b之間。并且,第一導(dǎo)軌330a_l可以安裝在第一固定部件600a的內(nèi)表面上,而第一輔助驅(qū)動(dòng)部分500a可以安裝在第一固定部件600a的外表面上。并且,第二導(dǎo)軌330b_l可以安裝在第二固定部件600b的內(nèi)表面上，而第二輔助驅(qū)動(dòng)部分500b可以安裝在第二固定部件600b的外表面上。因此,第一驅(qū)動(dòng)部分300a和第一輔助驅(qū)動(dòng)部分500a由第一固定部件600a來固定，而第二驅(qū)動(dòng)部分300b和第二輔助驅(qū)動(dòng)部分500b由第二固定部件600b來固定。
[0053]下文中，將簡(jiǎn)要描述通過第一驅(qū)動(dòng)部分300a而進(jìn)行的第一分離部件200a的提升操作。此處，由于通過第二驅(qū)動(dòng)部分300b而進(jìn)行的第二分離部件200b的提升操作等同于通過第一驅(qū)動(dòng)部分300a而進(jìn)行的第一分離部件200a的提升操作，因此關(guān)于第二驅(qū)動(dòng)部分300b和第二分離部件200b的操作的描述將省略。
[0054]當(dāng)?shù)谝粍?dòng)力源310a運(yùn)作時(shí)，第一提升部件340a通過連接到第一驅(qū)動(dòng)源310a和第一提升器330a的第一驅(qū)動(dòng)軸320a來進(jìn)行升或降。此時(shí)，由于第一驅(qū)動(dòng)軸320a設(shè)置成穿過第一提升部件340a的上部分，并且第一提升塊330a-2安裝在第一提升部件340a的外表面上，因此第一提升部件340a沿著第一驅(qū)動(dòng)軸320a和第一提升塊330a_2而升或降。此時(shí)，第一提升塊330a-2沿著第一導(dǎo)軌330a-l向上或向下滑動(dòng)。因此，第一分離部件200a朝母基板MS下降或在相反方向上上升。
[0055]驅(qū)動(dòng)單元300不限于上述構(gòu)造和結(jié)構(gòu)。例如，某些單元具有能夠使第一分離部件200a和第二分離部件200b分別地升或降的各種構(gòu)造和結(jié)構(gòu)，這些單元可以用作驅(qū)動(dòng)單元300。
[0056]輔助部件400a和400b可以是用于輔助母基板MS的分離操作的輔助機(jī)構(gòu)。在當(dāng)前實(shí)施例中，提供兩個(gè)輔助部件，即，第一輔助部件400a和第二輔助部件400b。然而，本發(fā)明不受限于輔助部件400a和400b的此數(shù)量。例如，可以提供兩個(gè)或更少，或兩個(gè)或更多輔助部件。
[0057]第一輔助部件400a設(shè)置在第一分離部件200a之外，而第二輔助部件400b設(shè)置在第二分離部件200b之外。并且，第一輔助部件400a和第二輔助部件400b面向彼此。也就是說，如圖1所示，第一輔助部件400a設(shè)置在第一分離部件200a的左側(cè)，而第二輔助部件400b設(shè)置在第二分離部件200b的右側(cè)。第一輔助部件400a和第二輔助部件400b向第一分離部件200a和第二分離部件200b彎曲。并且，第一輔助部件400a和第二輔助部件400b中的每一者可以具有鉤形，該鉤形的面積向第一分離部件200a和第二分離部件200b中的每一者逐漸減小。然而，本發(fā)明不受限于第一輔助部件400a和第二輔助部件400b中每一者的該形狀。例如，第一輔助部件400a和第二輔助部件400b中的每一者可以具有向母基板MS延伸的棒形。
[0058]輔助驅(qū)動(dòng)單元500分別地提升第一輔助部件400a和第二輔助部件400b。輔助驅(qū)動(dòng)單元500包括第一輔助驅(qū)動(dòng)部分500a和第二輔助驅(qū)動(dòng)部分500b。
[0059]第一輔助驅(qū)動(dòng)部分500a和第二輔助驅(qū)動(dòng)部分500b包括:提供提升力的輔助動(dòng)力源510a和510b ;輔助驅(qū)動(dòng)軸520a和520b，輔助驅(qū)動(dòng)軸520a和520b各自在其長(zhǎng)度方向上延伸并且有一端連接到輔助動(dòng)力源510a和510b中的每一者；連接部件530a和530b，連接部件530a和530b各自在水平方向上延伸并且有一端連接到輔助驅(qū)動(dòng)軸520a和520b中的每一者；以及支撐部件540a和540b，支撐部件540a和540b分別有一端連接到連接部件530a和530b且其另一端連接到分離部件200a和200b。
[0060]在當(dāng)前實(shí)施例中，氣缸可以用作輔助動(dòng)力源510a和510b中的每一者。并且，垂直延伸并且通過氣缸的操作而伸 展或收縮的活塞可以用作輔助驅(qū)動(dòng)軸520a和520b中的每一者。連接部件530a和530b從輔助驅(qū)動(dòng)軸520a和520b向分別設(shè)置在輔助驅(qū)動(dòng)軸520a和520b內(nèi)側(cè)的分離部件200a和200b延伸。支撐部件540a和540b分別安裝在連接部件530a和530b的另一端上。
[0061]下文中，將簡(jiǎn)要描述通過第一驅(qū)動(dòng)部分500a而進(jìn)行的第一分離部件400a的提升操作。此處，由于通過第二輔助驅(qū)動(dòng)部分500b而進(jìn)行的第二分離輔助部件400b的提升操作等同于通過第一輔助驅(qū)動(dòng)部分500a而進(jìn)行的第一輔助分離部件400a的提升操作，因此關(guān)于第二輔助驅(qū)動(dòng)部分500b和第二輔助分離部件400b的操作的描述將省略。
[0062]當(dāng)?shù)谝惠o助動(dòng)力源510a運(yùn)作時(shí)，根據(jù)第一輔助驅(qū)動(dòng)源510a的操作，第一輔助驅(qū)動(dòng)軸520a向母基板MS伸展或在與母基板MS相對(duì)的方向上收縮。因此，連接到第一驅(qū)動(dòng)軸520a的第一輔助部件400a通過第一連接部件530a和第一支撐部件540a而升或降。
[0063]輔助驅(qū)動(dòng)單元500不限于上述構(gòu)造和結(jié)構(gòu)。例如，某些單元具有能夠使第一輔助部件400a和第二輔助部件400b分別地升或降的各種構(gòu)造和結(jié)構(gòu)，這些單元可以用作輔助驅(qū)動(dòng)單元500。
[0064]圖2為根據(jù)一示例性實(shí)施例的通過使用基板分離裝置來將母基板分離成多個(gè)單元基板的過程的截面圖；且在下文中，為了便于描述，通過使用基板分離裝置而從母基板分離出的母基板區(qū)域或被分離出的母基板區(qū)域被稱為單元基板us。
[0065]盡管未圖示，但是通過使用劃線裝置而在第一基板SI和第二基板S2中分別形成了在垂直方向上彼此接合的多個(gè)劃線SLl和SL2。隨后，通過使用按壓裝置來按壓劃線SLl和SL2或劃線SLl和SL2的兩側(cè)，以產(chǎn)生裂縫。由于作為用于分別在第一基板SI和第二基板S2中形成劃線SLl和SL2的劃線裝置以及用于按壓母基板MS的按壓裝置使用的是本領(lǐng)域中常見的裝置，因此將省略其詳細(xì)描述。
[0066]此時(shí)，裂縫可沿著被按壓裝置按壓的母基板MS中的劃線SLl和SL2而產(chǎn)生。然而，母基板MS還沒有完全分離成多個(gè)單元基板US。因此，通過使用根據(jù)一示例性實(shí)施例的基板分離裝置來將母基板MS分離成多個(gè)單元基板US。
[0067]為此，如圖2的(a)中所示，母基板MS位于桌100上，在所述母基板MS中第一基板SI和第二基板S2彼此粘合。盡管在當(dāng)前實(shí)施例中母基板MS經(jīng)定位使得第一基板SI設(shè)置成面向上側(cè)，但是本發(fā)明不限于此。例如，母基板MS可以經(jīng)定位使得第一基板SI設(shè)置成面向下側(cè)。當(dāng)母基板MS位于桌100上時(shí)，通過吸附孔來提供吸附力以將母基板MS固定在桌100上。
[0068]接著，通過使用第一水平移動(dòng)單元和支撐塊800而將分離模塊700移動(dòng)到母基板中將被分離的區(qū)域上方。此時(shí)，分離模塊700移動(dòng)，使得分離模塊700中的第一分離部件200a和第二分離部件200b設(shè)置在母基板MS上方，例如第一基板SI中形成的兩個(gè)相鄰的劃線SLl之間的區(qū)域上方。
[0069]當(dāng)?shù)谝环蛛x部件200a和第二分離部件200b設(shè)置在兩個(gè)劃線SLl之間的區(qū)域上方時(shí)，如圖2的(b)所示，通過使用第一驅(qū)動(dòng)部分300a和第二驅(qū)動(dòng)部分300b而使第一分離部件200a和第二分離部件200b下降以支撐住母基板MS。也就是說，第一動(dòng)力源310a和第二動(dòng)力源310b分別用于操作第一提升器330a和第二提升器330b以及第一驅(qū)動(dòng)軸320a和第二驅(qū)動(dòng)軸320b。結(jié)果，第一提升部件340a和第二提升部件340b下降。因此，第一分離部件200a和第二分離部件200b的下表面與第一基板SI中形成的兩個(gè)相鄰的劃線SLl之間的區(qū)域接觸，從而支撐住母基板MS。
[0070]隨后，如圖2的(C)所示，第一分離部件200a和第二分離部件200b中的一者上升。例如，第一驅(qū)動(dòng)部分300a可以首先運(yùn)作，使得第一提升部件340a上升。因此，連接到第一提升部件340a的第一分離部件200a會(huì)上升。此時(shí)，由于第二驅(qū)動(dòng)部分300b不運(yùn)作，因此第二分離部件200b不會(huì)升或降。因此，由第一分離部件200a支撐住的區(qū)域設(shè)置在高于由第二分離部件200b支撐住的區(qū)域的位置處。因此，如圖2的(c)所示，單元基板US上升到單元基板US以預(yù)定傾角傾斜的狀態(tài)。此時(shí)，在單元基板US的兩端中，單元基板US中與第一分離部件200a支撐住的區(qū)域相鄰的一端從母基板MS分離出來。
[0071]隨后，如圖2的(d)所示，第二驅(qū)動(dòng)部分300b運(yùn)作，使得第二提升部件340上升。結(jié)果，連接到第二提升部件340b的第二分離部件200b上升。此時(shí)，可能實(shí)現(xiàn)的是第二分離部件200b上升使得第二分離部件的上升高度大于第一分離部件的上升高度。因此，由第二分離部件200b支撐住的區(qū)域設(shè)置在高于由第一分離部件200a支撐住的區(qū)域的位置處。因此，如圖2的(d)所示，單元基板US上升到單元基板US以預(yù)定傾角傾斜的狀態(tài)。此時(shí)，在單元基板US的兩端中，單元基板US中與第二分離部件200b支撐住的區(qū)域相鄰的另一端從母基板MS分離出來。[0072]或者，第二分離部件200b可以上升使得第二分離部件200b的上升高度小于或等于第一分離部件200a的上升高度。
[0073]并且，如圖2的(e)所示，第一驅(qū)動(dòng)部分和第二驅(qū)動(dòng)部分均運(yùn)作，使得第一分離部件200a和第二分離部件200b上升。此時(shí)，第一分離部件200a和第二分離部件200b可上升到相同的高度，使得單元基板US不傾斜。
[0074]圖3為根據(jù)一示例性實(shí)施例的通過使用輔助部件來分離母基板的過程的截面圖。
[0075]如圖2的(C)和圖2的(d)或圖3的(a)所示，當(dāng)?shù)谝环蛛x部件200a和第二分離部件200b中的一者上升時(shí)，第一輔助部件400a和第二輔助部件400b下降以輔助單元基板US的分離。也就是說，第一輔助驅(qū)動(dòng)部分和第二輔助驅(qū)動(dòng)部分經(jīng)運(yùn)作，使得第一輔助部件400a和第二輔助部件400b下降，以允許第一輔助部件400a和第二輔助部件400b的各端與母基板MS中設(shè)置在第一分離部件200a和第二分離部件200b支撐住的母基板MS兩側(cè)上的區(qū)域發(fā)生接觸。此時(shí)，單元基板US可以通過由第一輔助部件400a和第二輔助部件400b按壓到母基板MS中的力而容易地從母基板MS分離。
[0076]盡管在當(dāng)前實(shí)施例中第一輔助部件400a和第二輔助部件400b同時(shí)下降，但是本發(fā)明不限于此。例如，第一輔助部件400a和第二輔助部件400b可能分別地下降。例如，當(dāng)?shù)谝环蛛x部件200a上升時(shí)，第一輔助部件400a可上升。并且，當(dāng)?shù)诙蛛x部件200b上升時(shí)，第二輔助部件400b可上升。然而，本發(fā)明不限于此，并且因此，情況可能相反。
[0077]如上所述，根據(jù)示例性實(shí)施例，第一分離部件200a和第二分離部件200b在不同時(shí)刻分別地上升。因此，如圖2的(C)和圖2的(d)所示，單元基板US可以在上升時(shí)被分離出，使得單元基板US向其一端向下傾斜(見圖2的(c))或向其另一端向下傾斜(見圖2的(d))。也就是說，單元基板US可以在扭曲上升時(shí)被分離出。因此，當(dāng)單元基板US從母基板MS分離出時(shí)，單元基板US和母基板MS的一端和另一端受到的沖擊可小于相關(guān)技術(shù)中的沖擊。因此，當(dāng)與相關(guān)技術(shù)中那樣第一分尚部件200a和第二分尚部件200b直接同時(shí)上升(與母基板的上表面呈大約90° )的情況相比，單元基板US的一端和另一端或母基板MS中與單元基板US的一端和另一端接觸的區(qū)域所受到的損壞可以最小化。
[0078]根據(jù)這些示例性實(shí)施例，當(dāng)母基板與單元基板分離時(shí)，單元基板或與單元基板相鄰的母基板的損壞可以最小化。因此，與根據(jù)相關(guān)技術(shù)的單元基板相比，可以獲得分離區(qū)域較為清晰的單元基板。并且，所述單元基板的故障率可以減小，并且產(chǎn)品質(zhì)量可以提高。
[0079]盡管參考具體實(shí)施例描述了基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法，但是它們不限于此。因此，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易理解，在不脫離由所附權(quán)利要求書界定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可對(duì)其進(jìn)行各種修改和改變。
【權(quán)利要求】
1.一種基板分離裝置，用于將母基板分離成多個(gè)單元基板，其特征在于，所述基板分離裝置包括: 多個(gè)可提升的分離部件，所述分離部件設(shè)置在所述母基板上方并且布置在一個(gè)方向上，所述分離部件經(jīng)配置以支撐住所述母基板中的至少一個(gè)區(qū)域；以及 驅(qū)動(dòng)單元，所述驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以在不同的時(shí)刻分別地提升所述分離部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分離裝置，其特征在于所述分離部件中的每一者包括吸附襯墊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分離裝置，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)單元包括分別連接到所述分離部件的多個(gè)驅(qū)動(dòng)部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板分離裝置，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)部分中的每一者包括: 動(dòng)力源，所述動(dòng)力源提供提升動(dòng)力； 提升部件，所述提升部件支撐住所述分離部件中的每一者；以及 驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸的一端連接到所述動(dòng)力源而其另一端連接到所述提升部件， 其中所述動(dòng)力源包括伺服馬達(dá)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分離裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括延伸向所述母基板的可提升輔助部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板分離裝置，其特征在于提供多個(gè)所述輔助部件，并且 多個(gè)所述輔助部件分別設(shè)置在所述分離部件之外。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的基板分離裝置，其特征在于所述輔助部件中的每一者向所述分離部件彎曲。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板分離裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括輔助驅(qū)動(dòng)單元，所述輔助驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以提升所述輔助部件中的每一者。
9.一種基板分離方法，通過使用支撐住母基板中至少一個(gè)區(qū)域的多個(gè)分離部件來將所述母基板分離成多個(gè)單元基板，其特征在于，所述基板分離方法包括: 移動(dòng)所述分離部件以將所述分離部件定位在所述母基板中將被分離的區(qū)域上方； 使所述分離部件下降從而將所述母基板支撐在所述分離部件上；以及 在所述分離部件支撐住所述母基板的狀態(tài)下，在不同的時(shí)刻使所述分離部件分別地上升。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分離方法，其特征在于在不同的時(shí)刻使所述分離部件分別地上升包括: 使所述分離部件中的一者上升；以及 使前面過程中未上升的其他分離部件上升。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分離方法，其特征在于所述分離部件具有彼此不同的上升高度。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分離方法，其特征在于設(shè)置在所述分離部件中的每一者的一側(cè)的輔助部件下降，以使所述輔助部件的一端支撐住所述母基板，從而有助于所述母基板的分離。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分離方法，其特征在于，在移動(dòng)所述分離部件以將所述分離部件定位在所述母基板中將被分離的區(qū)域上方之前，進(jìn)一步包括:在所述母基板中形成多個(gè)劃線；以及 按壓所述母基板。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分離方法，其特征在于，在使所述分離部件下降從而將所述母基板支撐在所述分離部件上的過程中，所述分離部件支撐住所述母基板中設(shè)置在所述劃線中彼此相鄰的兩個(gè) 劃線之間的區(qū)域。
【文檔編號(hào)】G02F1/1333GK103456662SQ201310214495
【公開日】2013年12月18日 申請(qǐng)日期:2013年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月1日
【發(fā)明者】樸緡圭, 林宗燮, 李鍾哲 申請(qǐng)人:亞威科股份有限公司, 李鍾哲