承載裝置及其載臺平整度的調節(jié)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種承載裝置，用于承載基板，其包括：載臺、基座、電磁鐵模組、感測模組和邏輯控制部，其中，電磁鐵模組包括相對設置的第一電磁鐵組和第二電磁鐵組，兩電磁鐵組通電會形成互斥力；感測模組用以偵測第二表面上與感測模組對應的第一位置與第三表面的實際垂直間距；而邏輯控制部則用以接收感測模組偵測到的實際垂直間距，并比較實際垂直間距與預設值的大小，并根據(jù)比較結果控制對應電磁鐵模組的互斥力以調整實際垂直間距使其等于預設值。利用本發(fā)明能夠有效的改善載臺在邊緣或角落處的下垂變形現(xiàn)象，且更能精準的對載臺上下垂變形位置進行平整度校正，避免了現(xiàn)有技術中檢測設備的誤檢。
【專利說明】承載裝置及其載臺平整度的調節(jié)方法

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種承載裝置，尤其是一種能夠實時自適應調整載臺平整度的承載裝置及其調節(jié)方法。

【背景技術】
[0002]目前，在現(xiàn)有的液晶面板的生產工藝中，特別是在前段基板的生產過程中，經常需要針對基板進行各種電性或者物理缺陷的檢測，所以在一般的檢測機臺中通常會設置一個承載裝置，以承載基板供檢測設備對其進行不良的檢測，如圖1A、1B所示，分別為現(xiàn)有技術中承載裝置的俯視與側視示意圖?，F(xiàn)有技術中的承載裝置主要包括載臺10、基座20與驅動部40，載臺10設置于基座20上，用以承載基板30，且驅動部40固設于基座20上，其還連接該載臺10，用以驅動載臺10可自由的在平面內轉動。不過，在實際生產中，由于載臺自重的關系，所以其邊緣或者角落的位置會出現(xiàn)下垂翹曲變形的現(xiàn)象，因此，這種現(xiàn)象的發(fā)生就直接影響了載臺10承載面11的平整度，進而會間接的造成檢測機臺的誤檢。所以，為了改善上述情況，如圖ΙΑ、1B所示的，在基座20上會設置若干組出風單元，本案例中以兩組為例，在圖1A中，當載臺10處于實線位置時，對應載臺10四個角落的位置，在基座20上設置有一組出風單元，其包含四個出風口 21，該四個出風口 21用以對載臺10的背面12吹氣以補正載臺10在角落處的下垂變形量，從而改善載臺10的承載面11的平整度；同樣的，當載臺10旋轉至如圖1A中虛線位置時，同樣對應載臺10四個角落的位置，在基座20上設置有另一組出風單元，其包含四個出風口 22，同理，該四個出風口 22也是用以對載臺10的背面12吹氣以補正此時載臺10在角落處的下垂變形量，從而改善載臺10的承載面11的平整度。
[0003]如上述的改善方案，雖然其在一定程度上改善了載臺10的承載面11的平整度，但其也存在一定的缺陷:首先，上述結構很容易因為氣壓源的不穩(wěn)定而導致出風單元的吹氣效果不均勻穩(wěn)定，從而造成補正誤差；其次，載臺10在旋轉到非上述實線或虛線對應位置時，該出風單元無法實現(xiàn)對載臺10的吹氣補正；此外，由于上述方案利用的是吹氣的方式來改善載臺10的平整度，所以在一定程度，無法對吹氣效果進行細部的調節(jié)，即調節(jié)誤差會比較大。因此，基于現(xiàn)有技術中存在的缺陷，在實際生產中，很需要設計一款可以準確調整載臺平整度的承載裝置。


【發(fā)明內容】

[0004]為了克服現(xiàn)有技術中存在的缺陷，故本發(fā)明提供了一種能夠實時自適應調整載臺平整度的承載裝置及其調節(jié)方法。
[0005]本發(fā)明提供了一種承載裝置，用于承載基板，其特征在于該承載裝置包括:載臺，具有第一表面和第二表面，該第一表面用于承載該基板；基座，該載臺設置于該基座上，該基座具有第三表面，且該第二表面與該第三表面相對設置；至少一組電磁鐵模組，每一電磁鐵模組包括相對設置的第一電磁鐵組和第二電磁鐵組，該第一電磁鐵組與該第二電磁鐵組通電會形成互斥力，該第一電磁鐵組設置于該第二表面上，該第二電磁鐵組設置于該第三表面上；至少一感測模組，設置于該第二表面及該第三表面的其中之一上，每一感測模組用以偵測該第二表面上與該感測模組對應的第一位置與該第三表面的實際垂直間距；以及邏輯控制部，與該至少一感測模組以及該至少一組電磁鐵模組電性連接，該邏輯控制部接收該至少一感測模組偵測到的實際垂直間距，并比較該實際垂直間距與預設值的大小，并根據(jù)比較結果控制對應電磁鐵模組的該互斥力以調整該實際垂直間距使其等于該預設值。
[0006]作為可選的方案，該承載裝置還包括驅動部，固設于該基座上，且該驅動部連接該載臺，以提供一驅動力使得該載臺可轉動的設置于該基座上。
[0007]作為可選的方案，該至少一感測模組設置于該第二表面的邊緣或角落。
[0008]作為可選的方案，該第一電磁鐵組的面積等于該第二電磁鐵組在該第二表面上的垂直投影面積。
[0009]作為可選的方案，所有第二電磁鐵組或所有第一電磁鐵成環(huán)狀或圓形或矩形設置。
[0010]作為可選的方案，該感測模組是光電傳感器。
[0011]作為可選的方案，該承載裝置還包括模數(shù)轉換器和數(shù)模轉換器，該模數(shù)轉換器電性耦接于該至少一感測模組與該邏輯控制部，該數(shù)模轉換器電性耦接于該邏輯控制部與該至少一組電磁鐵模組，其中，該模數(shù)轉換器用以將該至少一感測模組偵測到的該實際垂直間距轉換成第一數(shù)字信號并傳輸給該邏輯控制部；該數(shù)模轉換器用以將該邏輯控制部輸出的第二數(shù)字信號轉換成模擬信號以控制對應電磁鐵模組的該互斥力的大小。
[0012]作為可選的方案，該載臺的該第一表面上還具有氟素涂層。
[0013]作為可選的方案，該基板為液晶顯示面板或者觸控面板。
[0014]此外，本發(fā)明還提供了一種載臺平整度的調節(jié)方法，其特征在于該調節(jié)方法包括:
[0015]A.提供如上所述的承載裝置；
[0016]B.偵測該第二表面上與該感測模組對應的該第一位置與該第三表面的該實際垂直間距；
[0017]C.比較該實際垂直間距與預設值，當該實際垂直間距小于該預設值時，控制并增大對應電磁模組的該互斥力以使該實際垂直間距等于該預設值。
[0018]與現(xiàn)有技術相比，利用本發(fā)明的承載裝置及其載臺平整度的調節(jié)方法，能夠有效的改善載臺在邊緣或角落處的下垂變形現(xiàn)象，且其更能精準的對載臺上下垂變形位置進行平整度校正，避免了現(xiàn)有技術中檢測設備的誤檢。此外，依靠其中感測模組與電磁鐵模組的設置，本發(fā)明的承載裝置更可以對旋轉中的載臺的平整度進行實時的調節(jié)，這一功能也使得本發(fā)明更具市場推廣性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1A為現(xiàn)有技術中承載裝置的俯視不意圖；
[0020]圖1B為現(xiàn)有技術中承載裝置的側視示意圖；
[0021]圖2A為本發(fā)明一實施例中承載裝置于第一狀態(tài)時的俯視不意圖；
[0022]圖2B為本發(fā)明一實施例中承載裝置于第一狀態(tài)時的側視示意圖；
[0023]圖3為本發(fā)明的載臺從第一狀態(tài)旋轉90°至第二狀態(tài)時的俯視示意圖；
[0024]圖4為本發(fā)明的載臺從第一狀態(tài)旋轉任意角度α至第三狀態(tài)時的俯視示意圖；
[0025]圖5為本發(fā)明另一實施例中承載裝置于第一狀態(tài)時的俯視示意圖；
[0026]圖6為本發(fā)明又一實施例中承載裝置于第一狀態(tài)時的俯視示意圖；
[0027]圖7為本發(fā)明的承載裝置實現(xiàn)自適應調整載臺平整度的系統(tǒng)架構圖；
[0028]圖8為本發(fā)明的承載裝置實現(xiàn)自適應調整載臺平整度的方法流程圖；

【具體實施方式】
[0029]為使對本發(fā)明的目的、構造、特征、及其功能有進一步的了解，茲配合實施例詳細說明如下。
[0030]請參照圖2Α、2Β，分別為本發(fā)明一實施例中承載裝置于第一狀態(tài)時的俯視及側視示意圖。本發(fā)明的承載裝置1，主要用于承載基板300，且該基板可以是液晶顯示面板或者觸控面板，但不以此為限，其也可以是其他待檢測板體。其中，承載裝置1包括載臺100、基座200、驅動部400、至少一組電磁鐵模組500和至少一感測模組600。其中，在本實施例中，以承載裝置1具有一組電磁鐵模組500以及四個感測模組600為例進行說明。載臺100設置于基座200上，載臺100具有第一表面110和第二表面120,且第一表面用于承載基板300，在實際應用中，在該第一表面110上還可以設置一層氟素涂層(圖中未示出)，以使得該第一表面110具有更好的抗磨損性和防水性，但不以此為限；基座200具有第三表面210，且第二表面120與第三表面210相對設置；驅動部400固設于基座200上，且驅動部400還連接載臺100，以提供一驅動力使得載臺100可轉動的設置于基座200上。
[0031]電磁鐵模組500包括相對設置的第一電磁鐵組130和第二電磁鐵組220,第一電磁鐵組130與第二電磁鐵組220通電會形成互斥力，且第一電磁鐵組130設置于第二表面120上，第二電磁鐵組220設置于第三表面210上，特別注意的是，在本實施例中，第二電磁鐵組220成圓環(huán)狀設置，而第一電磁鐵組130包括了分別設置于載臺100左側與右側的第一電磁鐵131和第二電磁鐵132，且兩者都成圓弧狀設置，更進一步的，在如圖2Α所示的承載裝置1中，第一電磁鐵組130在第二表面120上的覆蓋面積等于第二電磁鐵組220在第二表面120上的垂直投影面積。
[0032]四個感測模組600，設置于該第二表面120上，并分別對應于載臺100的四個邊緣位置，但不以此為限，感測模組也可以設置于第三表面210上，一般情況下，由于載臺100的邊緣及角落比較容易出現(xiàn)下垂變形的現(xiàn)象，所以感測模組600 —般設置于第二表面120的邊緣或角落，或者是設置于第三表面210對應第二表面120邊緣或角落的位置上，其中，每一感測模組600都是用以偵測第二表面120上與感測模組600對應的第一位置與第三表面210的實際垂直間距，例如:如圖2Β所示，設置于載臺100右側的感測模組600即可以偵測第二表面上對應于該感測模組600的位置與第三表面210的實際垂直間距Η。另外，在一些實施例中，感測模組可以是光電傳感器，但不以此為限，且對于感測模組數(shù)量的設置，本發(fā)明也不作限制，其可以根據(jù)實際需要適量的設置感測模組的數(shù)量，另一方面，關于其位置的設計也可根據(jù)實際情況做進一步的調整及改進，其不局限于對應載臺的邊緣或者角落位置。
[0033]更進一步的，本實施例的承載裝置1還包括了邏輯控制部800 (請參見圖7)，其可以設置承載裝置I中任意機械結構形成的容置空間中，在此不對其設置位置作限定。需要說明的是，邏輯控制部800與上述四個感測模組600以及電磁鐵模組500電性連接，且邏輯控制部800用以接收感測模組600偵測到的實際垂直間距(例如如圖2B所示的為H)，并比較該實際垂直間距H與預設值h的大小，并根據(jù)比較結果控制對應電磁鐵模組500的互斥力來調整實際垂直間距H使其等于預設值h。
[0034]下面為了更好的說明本發(fā)明的承載裝置I自適應調整載臺平整度的工作原理，請結合圖2A、2B參照圖7和圖8，其分別為本發(fā)明的承載裝置實現(xiàn)自適應調整載臺平整度的系統(tǒng)架構圖及方法流程圖。在本實施例中，承載裝置I的自適應調整載臺平整度功能是通過如圖7所示的閉環(huán)控制系統(tǒng)2來實現(xiàn)的，更具體的，承載裝置I還包括了模數(shù)轉換器810和數(shù)模轉換器820，且模數(shù)轉換器810電性耦接于該至少一感測模組600與邏輯控制部800，數(shù)模轉換器820電性耦接于邏輯控制部800與該至少一組電磁鐵模組500，其中，該模數(shù)轉換器810用以將感測模組600偵測到的實際垂直間距轉換成第一數(shù)字信號SI并傳輸給邏輯控制部800 ;數(shù)模轉換器820則用以將邏輯控制部800輸出的第二數(shù)字信號S2轉換成模擬信號以控制對應電磁鐵模組500的互斥力的大小。
[0035]故基于載臺100、感測模組600、模數(shù)轉換器810、邏輯控制部800、數(shù)模轉換器820與電磁體模組500形成的閉環(huán)控制系統(tǒng)2，再次參照圖8，本發(fā)明提出了一種載臺平整度的調節(jié)方法，該調節(jié)方法包括:
[0036]A.提供如上所述的承載裝置I ;
[0037]B.偵測第二表面120上與感測模組600對應的第一位置與第三表面210的實際垂直間距；
[0038]C.比較該實際垂直間距與預設值，當實際垂直間距小于預設值時，控制并增大對應電磁模組的互斥力以使實際垂直間距等于預設值。
[0039]基于步驟A，本發(fā)明的調節(jié)方法，適用于如上所述的承載裝置1，并且以如圖2B所示的設置于載臺100右側的感測模組600為例，步驟B具體是指，當載臺100處于如圖2A所示位置時，感測模組600開始偵測第二表面120上與感測模組600對應位置與第三表面210的實際垂直間距H，并將該實際垂直間距H的數(shù)值轉換成第一數(shù)字信號SI傳輸給邏輯控制部800，此時邏輯控制部800即會比較該第一數(shù)字信號SI與預設值h對應的標準數(shù)字信號SO比較，接著，如步驟C所示的，當實際垂直間距H小于預設值h時，即此時載臺100右側邊緣對應感測模組600的位置出現(xiàn)了下垂變形現(xiàn)象，故邏輯控制部800根據(jù)實際垂直間距H與預設值h對應的第一數(shù)字信號SI與標準數(shù)字信號SO的比較結果，會發(fā)出一個第二數(shù)字信號S2給數(shù)模轉換器820，而數(shù)模轉換器820會將邏輯控制部800輸出的第二數(shù)字信號S2轉換成模擬信號以提高對應電磁鐵模組500的互斥力的大?。煌?，理論上當實際垂直間距H大于預設值h時，故邏輯控制部800會減小對應電磁鐵模組500的互斥力的大小。
[0040]更需要說明的是，由第二數(shù)字信號S2轉換成的模擬信號，其可以直接控制流經電磁鐵模組500中各個電磁鐵組的電流大小，例如:在本實施例中，由于實際垂直間距H小于預設值h，所以此時邏輯控制部800即會提高第二電磁鐵132與第二電磁鐵組220之間的互斥力F，該互斥力F即可對載臺100的第二表面120施加一個大小等同于F的抵推力，藉由這個抵推力的提高，就可以調整上述實際垂直間距H，以使得實際垂直間距H等于預設值h，由于感測模組600可以實時偵測該實際垂直間距H，并上報邏輯控制部800，所以當實際垂直間距Η等于預設值h時，邏輯控制部800即可維持此時第二電磁鐵132與第二電磁鐵組220之間的互斥力F，從而維持載臺100右側邊緣對應感測模組600的位置的下垂變形程度處于預設范圍內，同理可證，載臺100其他幾個邊緣的下垂變形現(xiàn)象也可通過上述方法來得到進一步的改善。換言之，通過改善載臺100對應位置的下垂變形程度可有效的調整整個載臺100第一表面110的平整度，進而為后續(xù)其他設備對基板300的檢測建立一個物理誤差較小的檢測環(huán)境。
[0041]此外，基于上述的調節(jié)方法，本發(fā)明的承載裝置1中電磁鐵模組的形狀設置也有其特殊的意義。例如在圖2A、2B所示的實施例中，第二電磁鐵組220成圓環(huán)狀設置，而第一電磁鐵組130包括了分別設置于載臺100左側與右側的第一電磁鐵131和第二電磁鐵132，且兩者都成圓弧狀設置，在這種結構設計下，首先，可以通過分別控制第一電磁鐵組130中第一電磁鐵131和第二電磁鐵132的磁力，從而同時施加兩個抵推力對載臺100的左側與右側進行平整度的校正，且利用這兩個抵推力在原理上也可以間接的對載臺100上側與下側位置進行平整度的校正；其次，請再進一步參照圖3，為本發(fā)明的載臺從第一狀態(tài)(如圖2A所示)旋轉90°至第二狀態(tài)時的俯視示意圖，由于在實際應用中，載臺100還需從圖2A中的第一狀態(tài)旋轉90°至圖3中的第二狀態(tài)，此時，基于成圓環(huán)狀設置的第二電磁鐵組220及成圓弧狀設置分段設置的第一電磁鐵組130，其兩者仍可以對載臺100形成兩個抵推力以調節(jié)其平整度；再者，再參照圖4，為本發(fā)明的載臺從第一狀態(tài)旋轉任意角度α至第三狀態(tài)時的俯視示意圖，由于第一電磁鐵組130與第二電磁鐵組220對稱性，所以無論載臺100轉動的角度α是多少，其兩者始終都可以對載臺100形成兩個抵推力以調節(jié)其平整度，換言之，感測模組600可以在載臺100旋轉過程中實時的對載臺100的各個位置進行偵測，并通過電磁鐵模組500對載臺100進行實時的平整度校正，但為了節(jié)省能源以及提高整個系統(tǒng)工作的有效性，感測模組600也可以在載臺100停止旋轉時再進行對載臺100的各個位置進行偵測，并再通過電磁鐵模組500對載臺100進行平整度校正。
[0042]請參照圖5，為本發(fā)明另一實施例中承載裝置于第一狀態(tài)時的俯視示意圖，在此實施例中，第二電磁鐵組720成矩形環(huán)狀設置，而第一電磁鐵組710包括分別設置于載臺100左側與右側的第一電磁鐵711和第二電磁鐵712,且兩者都成直條狀設置，但關于電磁鐵模組的形狀設置不以此為限，在其他實施例中，所有第一電磁鐵或所有第二電磁鐵組還可以成環(huán)狀或圓形或矩形或者是其他幾何形狀設置。
[0043]再請參照圖6，為本發(fā)明又一實施例中承載裝置于第一狀態(tài)時的俯視示意圖。在此實施例中，承載裝置包括了四組電磁鐵模組:910、920、930和940，每一組電磁鐵模組也都會包含相對設置的第一電磁鐵組和第二電磁鐵組(圖中未示出)，且每一組電磁鐵模組形成互斥力的工作原理也與上述電磁鐵模組500的工作原理一致，故不在此贅述，利用多組電磁鐵模組的設置，可以使得載臺在同一時間獲得更多位置的抵推力，以獲得更高的載臺平整度調節(jié)精度，優(yōu)選的，每一組電磁鐵模組需與單獨的一個感測模組配合使用，以能夠更準確的調節(jié)載臺的平整度。
[0044]需要再次強調的是，本發(fā)明提出的承載裝置中電磁鐵模組與感測模組的數(shù)量以及位置的設計，并不以上述實施例所述的為限，其完全可以依據(jù)實際生產的需要而做進一步的改進，即當在生產要求較為嚴格的情況下，可以多設置幾組電磁鐵模組與感測模組，以提高調節(jié)精度。此外，關于單組電磁鐵模組形成互斥力的形式也不以上述實施例所述的為限，基于電磁鐵模組形態(tài)的改變，可以形成不同的施力配對形式，例如:如圖2A所示的，第一電磁鐵組130可以是多個電磁鐵組成，以形成與第二電磁鐵組220形成多對一的施力配對形式，或者如圖6所示的，設置多組電磁鐵模組以形成多個一對一的施力配對形式。故總之，本發(fā)明的目的在于利用感測模組與電磁鐵模組的設置，以實現(xiàn)對載臺特定位置的平整度能夠進行調節(jié)校正即可，其關于相關組件的位置及數(shù)量設計都不以上述實施例為限。
[0045]綜上所述，利用本發(fā)明的承載裝置及其載臺平整度的調節(jié)方法，能夠有效的改善載臺在邊緣或角落處的下垂變形現(xiàn)象，且其更能精準的對載臺上下垂變形位置進行平整度校正，避免了現(xiàn)有技術中檢測設備的誤檢。此外，依靠其中感測模組與電磁鐵模組的設置，本發(fā)明的承載裝置更可以對旋轉中的載臺的平整度進行實時的調節(jié)，這一功能也使得本發(fā)明更具市場推廣性。
[0046]本發(fā)明已由上述相關實施例加以描述，然而上述實施例僅為實施本發(fā)明的范例。必需指出的是，已揭露的實施例并未限制本發(fā)明的范圍。相反地，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內所作的更動與潤飾，均屬本發(fā)明的專利保護范圍。
【權利要求】
1.一種承載裝置，用于承載基板，其特征在于該承載裝置包括: 載臺，具有第一表面和第二表面，該第一表面用于承載該基板； 基座，該載臺設置于該基座上，該基座具有第三表面，且該第二表面與該第三表面相對設置； 至少一組電磁鐵模組，每一電磁鐵模組包括相對設置的第一電磁鐵組和第二電磁鐵組，該第一電磁鐵組與該第二電磁鐵組通電會形成互斥力，該第一電磁鐵組設置于該第二表面上，該第二電磁鐵組設置于該第三表面上； 至少一感測模組，設置于該第二表面及該第三表面的其中之一上，每一感測模組用以偵測該第二表面上與該感測模組對應的第一位置與該第三表面的實際垂直間距；以及邏輯控制部，與該至少一感測模組以及該至少一組電磁鐵模組電性連接，該邏輯控制部接收該至少一感測模組偵測到的實際垂直間距，并比較該實際垂直間距與預設值的大小，并根據(jù)比較結果控制對應電磁鐵模組的該互斥力以調整該實際垂直間距使其等于該預設值。
2.如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于該承載裝置還包括驅動部，固設于該基座上，且該驅動部連接該載臺，以提供一驅動力使得該載臺可轉動的設置于該基座上。
3.如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于該至少一感測模組設置于該第二表面的邊緣或角落。
4.如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于該第一電磁鐵組的面積等于該第二電磁鐵組在該第二表面上的垂直投影面積。
5.如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于所有第二電磁鐵組或所有第一電磁鐵成環(huán)狀或圓形或矩形設置。
6.如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于該感測模組是光電傳感器。
7.如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于該承載裝置還包括模數(shù)轉換器和數(shù)模轉換器，該模數(shù)轉換器電性耦接于該至少一感測模組與該邏輯控制部，該數(shù)模轉換器電性耦接于該邏輯控制部與該至少一組電磁鐵模組，其中，該模數(shù)轉換器用以將該至少一感測模組偵測到的該實際垂直間距轉換成第一數(shù)字信號并傳輸給該邏輯控制部；該數(shù)模轉換器用以將該邏輯控制部輸出的第二數(shù)字信號轉換成模擬信號以控制對應電磁鐵模組的該互斥力的大小。
8.如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于該載臺的該第一表面上還具有氟素涂層。
9.如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于該基板為液晶顯示面板或者觸控面板。
10.一種載臺平整度的調節(jié)方法，其特征在于該調節(jié)方法包括: A.提供如權利要求1-9中任意一項所述的承載裝置； B.偵測該第二表面上與該感測模組對應的該第一位置與該第三表面的該實際垂直間距； C.比較該實際垂直間距與預設值，當該實際垂直間距小于該預設值時，控制并增大對應電磁模組的該互斥力以使該實際垂直間距等于該預設值。
【文檔編號】G02F1/13GK104252051SQ201310254431
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2013年6月25日 優(yōu)先權日:2013年6月25日
【發(fā)明者】江志民 申請人:友達光電股份有限公司