一種反射式熱光可調(diào)光衰減器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種反射式熱光可調(diào)光衰減器。本發(fā)明包括輸入波導(dǎo)、輸出波導(dǎo)、輸入接入波導(dǎo)、輸出接入波導(dǎo)、2×2耦合器耦合區(qū)、第一傳輸接入波導(dǎo)、第二傳輸接入波導(dǎo)、第一傳輸波導(dǎo)、第二傳輸波導(dǎo)、第一反射鏡接入波導(dǎo)、第二反射鏡接入波導(dǎo)、第一反射鏡、第二反射鏡、微加熱電極加熱金屬區(qū)和微加熱電極觸點金屬區(qū)。輸入波導(dǎo)輸入的光經(jīng)2×2耦合器耦合區(qū)分束成等功率、相位相差90度的兩束光輸出到第一、第二傳輸波導(dǎo)，微加熱電極加熱金屬區(qū)對第一傳輸波導(dǎo)加熱，再經(jīng)第一、第二反射鏡反射回2×2耦合器耦合區(qū)進行合束，并由輸出波導(dǎo)輸出。本發(fā)明以波導(dǎo)反射鏡為反射單元，具有結(jié)構(gòu)緊湊，制作方法簡便，功耗小的特點。
【專利說明】一種反射式熱光可調(diào)光衰減器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于集成光電子器件領(lǐng)域，具體涉及一種反射式熱光可調(diào)光衰減器。
【背景技術(shù)】
[0002]可調(diào)光衰減器(Variable Optical Attenuator, V0A)是光通信系統(tǒng)中不可或缺的關(guān)鍵器件。VOA的主要功能是用來減低光信號或者平衡通道間光功率的差異。特別是隨著密集波分復(fù)用(DWDM)技術(shù)和EDFA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用，在多個光信號傳輸通道上必須進行增益平坦化或者信道功率均衡，在光接收器端要進行動態(tài)飽和的控制，這些都使得VOA成為其中不可或缺的關(guān)鍵器件。
[0003]縱觀目前各種的VOA實現(xiàn)方案，主要以MEMS和集成波導(dǎo)VOA為主。基于MEMS技術(shù)實現(xiàn)的VOA具有工藝成熟、光學(xué)特性好、低損耗、偏振相關(guān)損耗小、無需溫控等優(yōu)點，但是MEMS的機械磨損較大，而且調(diào)制速度較慢，不易于與其它器件實現(xiàn)集成化?；诩刹▽?dǎo)的VOA由于具備規(guī)模化生產(chǎn)、低成本、穩(wěn)定性好、尺寸小易于陣列化及多功能集成等優(yōu)勢而受到廣泛關(guān)注?；赟OI平臺的硅納米線光波導(dǎo)因其高折射率差而能實現(xiàn)超緊湊結(jié)構(gòu)，同時與傳統(tǒng)的CMOS工藝相兼容，自然成為VOA的理想實現(xiàn)平臺。針對這一平臺，人們主要提出了兩大類可調(diào)光衰減器的工作原理，分別利用了硅的自由載流子吸收效應(yīng)和硅的熱光效應(yīng)。第一種方案，是通過對硅納米線波導(dǎo)進行電流注入，調(diào)制硅波導(dǎo)的折射率虛部，從而實現(xiàn)對光的可控衰減?；谠撛淼脑O(shè)計的主要優(yōu)點在于其衰減帶寬平坦，響應(yīng)速度能達到ns量級,通過特殊的設(shè)計,還能實現(xiàn)偏振不敏感特性[Jpn.J.Appl.Phys, vol.49，pp.04DG20-1 - 04DG20-5, 2010]，其缺點則是器件工藝復(fù)雜，功耗過大，尺寸也較大，即使采用娃納米線波導(dǎo)代替大截面脊形波導(dǎo)，其尺寸也將達到lmm[Proc.1EEE/LE0S 4th Int.Conf.Group IV Photonics, Tokyo, 2007, p.116]。第二種方案,是利用娃具有較大的熱光系數(shù)，通過微加熱電極對其折射率實部進行調(diào)制，產(chǎn)生相位變化，最后通過MZI結(jié)構(gòu)將相位變換轉(zhuǎn)化為強度衰減。雖然基于熱光原理工作的器件，其響應(yīng)速度往往較慢，但其工藝簡單，結(jié)構(gòu)尺寸緊湊，而且通過將大截面脊形波導(dǎo)替換為硅納米線波導(dǎo)，其響應(yīng)速度可大大提高至us量級,與此同時,其功耗也將大大減小至幾十毫瓦[IEEE Photon.Technol.Lett.,vol.15，pp.1366 - 1369，Oct.2003]，如果通過一些特殊的設(shè)計，例如將懸掛波導(dǎo)與空氣隔熱槽相結(jié)合，功耗能降至幾百微瓦的水平[Opt.Express 18, 8406 (2010)],但此時卻增加了工藝復(fù)雜度。由此可見，如能在不增加工藝復(fù)雜度的情況下，進一步擴大熱光可調(diào)光衰減器的優(yōu)勢，將具有實際的指導(dǎo)意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種反射式可調(diào)光衰減器，使得在不增加工藝復(fù)雜度的前提下，整體提高傳統(tǒng)熱光可調(diào)光衰減器功能結(jié)構(gòu)、尺寸和功耗的性倉泛。
[0005]本發(fā)明包括輸入波導(dǎo)、輸出波導(dǎo)、輸入接入波導(dǎo)、輸出接入波導(dǎo)、2X2 I禹合器I禹合區(qū)、第一傳輸接入波導(dǎo)、第二傳輸接入波導(dǎo)、第一傳輸波導(dǎo)、第二傳輸波導(dǎo)、第一反射鏡接入波導(dǎo)、第二反射鏡接入波導(dǎo)、第一反射鏡、第二反射鏡、微加熱電極加熱金屬區(qū)和微加熱電極觸點金屬區(qū)。
[0006]輸入波導(dǎo)、輸出波導(dǎo)分別與輸入接入波導(dǎo)的一端、輸出接入波導(dǎo)的一端相連接,輸入接入波導(dǎo)的另一端、輸出接入波導(dǎo)的另一端均與2X2耦合器耦合區(qū)的同一側(cè)相連接，其中輸入接入波導(dǎo)和輸出接入波導(dǎo)為2X2耦合器耦合區(qū)的兩個接入端；
第一傳輸波導(dǎo)和第二傳輸波導(dǎo)的一端分別與第一傳輸接入波導(dǎo)的一端、第二傳輸接入波導(dǎo)的一端相連接，第一傳輸接入波導(dǎo)的另一端、第二傳輸接入波導(dǎo)的另一端與2X2耦合器耦合區(qū)的另一側(cè)相連接，其中第一傳輸接入波導(dǎo)和第二傳輸接入波導(dǎo)為2X2耦合器耦合區(qū)的兩個接出端；第一傳輸波導(dǎo)和第二傳輸波導(dǎo)的另一端(末端)分別與第一反射鏡和第二反射鏡相連接；微加熱電極加熱金屬區(qū)和兩個微加熱電極觸點金屬區(qū)相連組成微加熱電極，兩個微加熱電極觸點金屬區(qū)位于微加熱電極加熱金屬區(qū)的兩端，微加熱電極加熱金屬區(qū)位于第一傳輸波導(dǎo)的正上方，用于對第一傳輸波導(dǎo)進行加熱，將外部注入的電能轉(zhuǎn)化為熱能，并向下傳遞至第一傳輸波導(dǎo)；微加熱電極觸點金屬區(qū)與外部電源相連，以實現(xiàn)對微加熱電極加熱金屬區(qū)的供電。
[0007]所述的微加熱電極由細長的加熱金屬區(qū)與寬大的觸點金屬區(qū)相連組成。
[0008]所述的輸入波導(dǎo)、輸出波導(dǎo)、第一傳輸波導(dǎo)、第二傳輸波導(dǎo)為單模傳輸波導(dǎo)。
[0009]所述的輸入接入波導(dǎo)、輸出接入波導(dǎo)、第一傳輸接入波導(dǎo)、第二傳輸接入波導(dǎo)、第一反射鏡接入波導(dǎo)、第二反射鏡接入波導(dǎo)均采用錐形線性漸變結(jié)構(gòu)，其錐形角小于10度。
[0010]所述的2X2耦合器耦合區(qū)為多模波導(dǎo)或方向耦合器；所述的第一反射鏡、第二反射鏡為反射式布拉格光柵或光子晶體反射鏡。
[0011]本發(fā)明具有的有益的效果如下:
1.本發(fā)明的反射式熱光可調(diào)光衰減器，由于采用了反射式布拉格光柵結(jié)構(gòu)，可使器件總體尺寸減小一半，同時其功耗較傳統(tǒng)的熱光可調(diào)光衰減器都減小一半。
[0012]2.本發(fā)明的反射鏡采用波導(dǎo)布拉格光柵或者光子晶體結(jié)構(gòu)，可以采用標準平面光波導(dǎo)工藝制備，生產(chǎn)成本低，避免了傳統(tǒng)反射鏡所需的端面磨拋及蒸鍍反射膜層等復(fù)雜工藝，并且能在較大帶寬范圍內(nèi)實現(xiàn)高反射率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明反射式可調(diào)光衰減器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2是本發(fā)明輸出光功率隨外加電壓的響應(yīng)曲線(通光波長為1550 nm時)。
[0015]圖中:輸入波導(dǎo)1、輸出波導(dǎo)2、輸入接入波導(dǎo)3、輸出接入波導(dǎo)4、2X2 f禹合器f禹合區(qū)5、第一傳輸接入波導(dǎo)6、第二傳輸接入波導(dǎo)7、第一傳輸波導(dǎo)8、第二傳輸波導(dǎo)9、第一反射鏡接入波導(dǎo)10、第二反射鏡接入波導(dǎo)11、第一反射鏡12、第二反射鏡13、微加熱電極加熱金屬區(qū)14和微加熱電極觸點金屬區(qū)15。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。
[0017]如圖1所不,一種反射式熱光可調(diào)光衰減器,包括輸入波導(dǎo)1、輸出波導(dǎo)2、輸入接入波導(dǎo)3、輸出接入波導(dǎo)4、2X2稱合器稱合區(qū)5、第一傳輸接入波導(dǎo)6、第二傳輸接入波導(dǎo)7、第一傳輸波導(dǎo)8、第二傳輸波導(dǎo)9、第一反射鏡接入波導(dǎo)10、第二反射鏡接入波導(dǎo)11、第一反射鏡12、第二反射鏡13、微加熱電極加熱金屬區(qū)14和微加熱電極觸點金屬區(qū)15。
[0018]輸入波導(dǎo)1、輸出波導(dǎo)2分別與輸入接入波導(dǎo)3的一端、輸出接入波導(dǎo)4的一端相連接，輸入接入波導(dǎo)3的另一端、輸出接入波導(dǎo)4的另一端均與2 X 2耦合器耦合區(qū)5的同一側(cè)相連接，其中輸入接入波導(dǎo)3和輸出接入波導(dǎo)4為2X2耦合器耦合區(qū)5的兩個接入端；
第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9的一端分別與第一傳輸接入波導(dǎo)6的一端、第二傳輸接入波導(dǎo)7的一端相連接，第一傳輸接入波導(dǎo)6的另一端、第二傳輸接入波導(dǎo)7的另一端與2X2稱合器稱合區(qū)5的另一側(cè)相連接,其中第一傳輸接入波導(dǎo)6和第二傳輸接入波導(dǎo)7為2X2稱合器稱合區(qū)5的兩個接出端；第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9的另一端(末端)分別與第一反射鏡12和第二反射鏡13相連接；微加熱電極加熱金屬區(qū)14和兩個微加熱電極觸點金屬區(qū)15相連組成微加熱電極,兩個微加熱電極觸點金屬區(qū)15位于微加熱電極加熱金屬區(qū)14的兩端,微加熱電極加熱金屬區(qū)14位于第一傳輸波導(dǎo)8的正上方,用于對第一傳輸波導(dǎo)8進行加熱，將外部注入的電能轉(zhuǎn)化為熱能，并向下傳遞至第一傳輸波導(dǎo)8 ;微加熱電極觸點金屬區(qū)15與外部電源相連，以實現(xiàn)對微加熱電極加熱金屬區(qū)14的供電。
[0019]所述的微加熱電極由細長的加熱金屬區(qū)14與寬大的觸點金屬區(qū)15相連組成。
[0020]所述的輸入波導(dǎo)1、輸出波導(dǎo)2、第一傳輸波導(dǎo)8、第二傳輸波導(dǎo)9為單模傳輸波導(dǎo)。
[0021]所述的輸入接入波導(dǎo)3、輸出接入波導(dǎo)4、第一傳輸接入波導(dǎo)6、第二傳輸接入波導(dǎo)
7、第一反射鏡接入波導(dǎo)10、第二反射鏡接入波導(dǎo)11均采用錐形線性漸變結(jié)構(gòu)，其錐形角小于10度。
[0022]所述的2X2耦合器耦合區(qū)5為多模波導(dǎo)或方向耦合器；所述的第一反射鏡12、第二反射鏡13為反射式布拉格光柵或光子晶體反射鏡。
[0023]本發(fā)明的工作原理如下:
如圖1所不，所述的輸入波導(dǎo)1、輸出波導(dǎo)2、輸入接入波導(dǎo)3、輸出接入波導(dǎo)4、2X2率禹合器稱合區(qū)5共同組成2X2稱合器,2X2稱合器將輸入波導(dǎo)I輸入的光分束成等功率、相位相差90度的兩束光分別從第一傳輸接入波導(dǎo)6和第二傳輸接入波導(dǎo)7輸出到第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9 ;其中，第一傳輸波導(dǎo)8上的微加熱電極加熱金屬區(qū)14通過外加電場將外部注入的電能轉(zhuǎn)化為熱能，并向下傳遞至第一傳輸波導(dǎo)8，通過熱光效應(yīng)改變其折射率；然后第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9的光束分別經(jīng)第一反射鏡12、第二反射鏡13反射，再經(jīng)由第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9反射回2X2耦合器進行合束，從輸出波導(dǎo)2輸出。通過對工作電壓進行調(diào)節(jié)，可從輸出波導(dǎo)2得到高低不同的功率衰減程度，實現(xiàn)了可調(diào)諧光衰減器的功能。
[0024]本發(fā)明的工作過程為:
由橫電TE或橫磁TM兩個偏振各自的基模承載一路光信號從輸入波導(dǎo)I輸入。根據(jù)2X2稱合器的工作原理,將從與2X2稱合器稱合區(qū)5連接的第一傳輸接入波導(dǎo)6、第二傳輸接入波導(dǎo)7輸出兩路功率相等、相位相差90度的光信號至第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9。
[0025]理想狀態(tài)下，當微加熱電極不加電壓時，第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9只存在傳輸相位差，兩路光信號由第一反射鏡接入波導(dǎo)10、第二反射鏡接入波導(dǎo)11傳輸至第一反射鏡12,第二反射鏡13處并被反射,再經(jīng)由第一傳輸波導(dǎo)8、第二傳輸波導(dǎo)9傳回2X2率禹合器稱合區(qū)5從第一傳輸接入波導(dǎo)6、第二傳輸接入波導(dǎo)7輸入,兩路光信號依然功率相等，相位相差90度，經(jīng)由2X 2耦合器的逆工作過程，實現(xiàn)對兩路光信號的合束，并從2X 2耦合器的輸出接入波導(dǎo)4輸出至輸出波導(dǎo)2,實現(xiàn)無損耗輸出。
[0026]當微加熱電極加電壓使得第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9之間存在180度傳輸相位差，兩路光信號由第一反射鏡接入波導(dǎo)10、第二反射鏡接入波導(dǎo)11傳輸至第一反射鏡12、第二反射鏡13處并被反射，再經(jīng)由第一傳輸波導(dǎo)8和第二傳輸波導(dǎo)9傳回2X2耦合器率禹合區(qū)5，并從第一傳輸接入波導(dǎo)6、第二傳輸接入波導(dǎo)7輸入,兩路光信號依然功率相等，但相位相差負90度，經(jīng)由2 X 2耦合器的逆工作過程，實現(xiàn)對兩路光信號的合束，并從輸出接入波導(dǎo)4輸出至輸出波導(dǎo)2，實現(xiàn)輸出波導(dǎo)2的零輸出。通過對微加熱電極的工作電壓進行調(diào)節(jié)，使得第一傳輸波導(dǎo)8與第二傳輸波導(dǎo)9之間傳輸相位差在O至180度之間發(fā)生變化，可從輸出波導(dǎo)2得到高低不同的功率衰減程度，實現(xiàn)可調(diào)諧光衰減器的功能。
[0027]實施例1:一種反射式的熱光可調(diào)光衰減器。
[0028]選用基于硅絕緣體(SOI)材料的硅納米線光波導(dǎo):芯層材料是娃，厚度為220nm ;上下包層材料均為二氧化娃，下包層厚度為2
μ m，上包層厚度為900nm。選用鉻/金材料作為金屬微加熱電極:上包層二氧化硅以上依次為金屬鉻，厚度20 nm,金屬金,厚度60 nm。微加熱電極加熱金屬區(qū)14的寬度為2 μ m,
長度為100 μ m ;微加熱電極的觸點金屬區(qū)15的尺寸為100 μ mXlOO μ m,以減少無
用的功率消耗。
[0029]輸入波導(dǎo)1、輸出波導(dǎo)2、第一傳輸波導(dǎo)8、第二傳輸波導(dǎo)9均為娃納米線波導(dǎo),選取其寬度為500nm,使得僅支持基模傳輸。第一傳輸波導(dǎo)8、第二傳輸波導(dǎo)9長度相同，為
140 μ m。
[0030]2X2稱合器稱合區(qū)5米用多模波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。多模波導(dǎo)的寬度為4 m,多模波導(dǎo)的長度為18.6 μ mo輸入接入波導(dǎo)3、輸出接入波導(dǎo)4、第一傳輸接入波導(dǎo)6和第二傳輸接入波導(dǎo)7對稱分布在多模波導(dǎo)的兩側(cè)，距多模波導(dǎo)的中軸線3.1 μ m，上述波導(dǎo)均采用錐
形漸變設(shè)計，寬度從500 nm至I μ m，長度為2 μ m。根據(jù)FDTD數(shù)值模擬計算可知在此
設(shè)計參數(shù)下，能夠?qū)崿F(xiàn)分光以及合束的功能，同時獲得較小的插入損耗。
[0031]第一反射鏡6、第二反射鏡7采用反射式的布拉格光柵結(jié)構(gòu)，其參數(shù)為:寬度為
I μ m以減少插入損耗；周期為390 nm，占空比為0.5，周期數(shù)為16，以實現(xiàn)中心波長為1550nm附近的反射譜。
[0032]根據(jù)上述實施例制作硅納米線光波導(dǎo)的反射式可調(diào)光衰減器，并測量了可調(diào)光衰減器在不同外加電壓下的輸出光功率。如圖2所示，當外加電壓由OV逐漸上升為12V時，即可實現(xiàn)器件輸出的光功率大于35 dB的調(diào)諧。
[0033]上述實施例用來解釋說明本發(fā)明，而不是對本發(fā)明進行限制，在本發(fā)明的精神和權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)，對本發(fā)明作出的任何修改和改變，都落入本發(fā)明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于包括輸入波導(dǎo)(I)、輸出波導(dǎo)(2)、輸入接入波導(dǎo)(3)、輸出接入波導(dǎo)(4)、2 X 2稱合器稱合區(qū)(5)、第一傳輸接入波導(dǎo)(6)、第二傳輸接入波導(dǎo)(7)、第一傳輸波導(dǎo)(8)、第二傳輸波導(dǎo)(9)、第一反射鏡接入波導(dǎo)(10)、第二反射鏡接入波導(dǎo)(11)、第一反射鏡(12)、第二反射鏡(15)、微加熱電極加熱金屬區(qū)(14)和微加熱電極觸點金屬區(qū)(15)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于: 輸入波導(dǎo)(I)、輸出波導(dǎo)(2)分別與輸入接入波導(dǎo)(3)的一端、輸出接入波導(dǎo)(4)的一端相連接，輸入接入波導(dǎo)(3)的另一端、輸出接入波導(dǎo)(4)的另一端均與2X2耦合器耦合區(qū)(5)的同一側(cè)相連接，其中輸入接入波導(dǎo)(3)和輸出接入波導(dǎo)(4)為2X2耦合器耦合區(qū)(5)的兩個接入端； 第一傳輸波導(dǎo)(8)和第二傳輸波導(dǎo)(9)的一端分別與第一傳輸接入波導(dǎo)(6)的一端、第二傳輸接入波導(dǎo)(7)的一端相連接，第一傳輸接入波導(dǎo)(6)的另一端、第二傳輸接入波導(dǎo)(7)的另一端與2X2稱合器稱合區(qū)(5)的另一側(cè)相連接,其中第一傳輸接入波導(dǎo)(6)和第二傳輸接入波導(dǎo)(7)為2X2稱合器稱合區(qū)(5)的兩個接出端；第一傳輸波導(dǎo)(8)和第二傳輸波導(dǎo)(9)的另一端分別與第一反射鏡(12)和第二反射鏡(15)相連接；微加熱電極加熱金屬區(qū)(14)和兩個微加熱電極觸點金屬區(qū)(15)相連組成微加熱電極,兩個微加熱電極觸點金屬區(qū)(15)位于微加熱電極加熱金屬區(qū)(14)的兩端,微加熱電極加熱金屬區(qū)(14)位于第一傳輸波導(dǎo)(8)的正上方，用于對第一傳輸波導(dǎo)(8)進行加熱，將外部注入的電能轉(zhuǎn)化為熱能，并向下傳遞至第一傳輸波導(dǎo)(8);微加熱電極觸點金屬區(qū)(15)與外部電源相連，以實現(xiàn)對微加熱電極加熱金屬區(qū)(14)的供電。
3.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于:所述的輸入波導(dǎo)`(I)、輸出波導(dǎo)(2)、第一傳輸波導(dǎo)(8)、第二傳輸波導(dǎo)(9)為單模傳輸波導(dǎo)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于:所述的輸入接入波導(dǎo)(3)、輸出接入波導(dǎo)(4)、第一傳輸接入波導(dǎo)(6)、第二傳輸接入波導(dǎo)(7)、第一反射鏡接入波導(dǎo)(10)、第二反射鏡接入波導(dǎo)(11)均采用錐形線性漸變結(jié)構(gòu)，其錐形角小于10度。
5.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于:所述的2X2耦合器率禹合區(qū)(5)為多模波導(dǎo)。
6.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于:所述的2X2耦合器耦合區(qū)(5)為方向耦合器。
7.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于:所述的第一反射鏡(12)、第二反射鏡(15)為反射式布拉格光柵。
8.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于:所述的第一反射鏡(12)、第二反射鏡(15)為光子晶體反射鏡。
9.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于:所述的輸入波導(dǎo)(I)、輸出波導(dǎo)(2)、輸入接入波導(dǎo)(3)、輸出接入波導(dǎo)(4)、2X 2 I禹合器I禹合區(qū)(5)共同組成2X2耦合器，2X2耦合器將輸入波導(dǎo)(I)輸入的光分束成等功率、相位相差90度的兩束光分別從第一傳輸接入波導(dǎo)(6)和第二傳輸接入波導(dǎo)(7)輸出到第一傳輸波導(dǎo)(8)和第二傳輸波導(dǎo)(9);其中,第一傳輸波導(dǎo)(8)上的微加熱電極加熱金屬區(qū)(14)通過外加電場將外部注入的電能轉(zhuǎn)化為熱能，并向下傳遞至第一傳輸波導(dǎo)(8)，通過熱光效應(yīng)改變其折射率；然后第一傳輸波導(dǎo)(8 )和第二傳輸波導(dǎo)(9 )分別經(jīng)第一反射鏡(12 )、第二反射鏡(15 )反射,反射回2 X 2耦合器5進行合束，并經(jīng)輸出接入波導(dǎo)(4)到輸出波導(dǎo)(2)后輸出。
10.如權(quán)利要求1所述的一種反射式熱光可調(diào)光衰減器，其特征在于:所述的微加熱電極加熱金屬區(qū)(14)位于第一傳輸波導(dǎo)(8)的正上方，用于對第一傳輸波導(dǎo)進行加熱，且通過對微加熱電極加熱金屬區(qū)(14)的工作電壓進行調(diào)節(jié),使得第一傳輸波導(dǎo)(8)與第二傳輸波導(dǎo)(9)之 間傳輸相位差在O至180度之間發(fā)生變化。
【文檔編號】G02F1/01GK103439806SQ201310338566
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2013年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月6日
【發(fā)明者】時堯成, 陳思濤, 戴道鋅, 何賽靈 申請人:浙江大學(xué)