一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)及其調(diào)節(jié)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)及其調(diào)節(jié)方法，屬于液晶顯示器制造【技術(shù)領(lǐng)域】，其可解決現(xiàn)有的機(jī)臺上的反射平面鏡條的平坦度調(diào)節(jié)花費時間較長且調(diào)節(jié)精度較低的問題。本發(fā)明的曝光機(jī)包括機(jī)臺、反射平面鏡條和激光干涉計，機(jī)臺用于承載待曝光基板，激光干涉計包括參考光平面鏡，參考光平面鏡設(shè)于曝光區(qū)的固定主體橫梁上，反射平面鏡條設(shè)于機(jī)臺上，反射平面鏡條和參考光平面鏡用于對激光干涉計發(fā)出的激光光束進(jìn)行接收和反射，激光干涉計用于根據(jù)接收的反射激光計算機(jī)臺的實際移動距離，曝光機(jī)還包括反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置，用于校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度。調(diào)節(jié)方法包括應(yīng)用上述自動校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度。
【專利說明】一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)及其調(diào)節(jié)方法【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于液晶顯示裝置制造【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)及其調(diào)節(jié)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜晶體管液晶顯示器的彩色濾光片(Color Filter)制作工藝中，制作黑矩陣(Black Matrix，BM)是第一道工藝。因為玻璃基板上沒有對位標(biāo)記(Alignment Mark)，每次曝光前，曝光機(jī)的機(jī)臺需要根據(jù)程序設(shè)定，通過線性馬達(dá)的驅(qū)動到達(dá)指定的曝光位置，再通過激光干涉計的讀取，確認(rèn)曝光機(jī)機(jī)臺的準(zhǔn)確位置，并通過掩膜版進(jìn)行補(bǔ)正，從而確定放置在機(jī)臺上的玻璃基板相對于掩膜版(曝光時用的模板，曝光機(jī)的工作原理是通過光化學(xué)反應(yīng)，將掩膜版的圖案轉(zhuǎn)移到玻璃基板上)的位置是準(zhǔn)確的。如圖1所示，具體地，在機(jī)臺I上設(shè)有反射平面鏡條2 (Bar Mirror)，曝光區(qū)的固定主體橫梁101上設(shè)有參考光平面鏡103，曝光機(jī)的激光干涉計(圖1中未示出)發(fā)射兩路四束激光光束，第一參考光束104和第二參考光束105射向參考光平面鏡103，第一入射激光106和第二入射激光107射向反射平面鏡條2，上述光束反射回來后在激光干涉計的分光鏡上產(chǎn)生干涉條紋，通過干涉條紋的光強(qiáng)變化計算出機(jī)臺實際的移動的距離，從而確定機(jī)臺I移動后的實際位置以及機(jī)臺I相對于曝光位置的位置偏差。曝光機(jī)再通過掩膜版的位置移動對機(jī)臺I的位置偏差進(jìn)行補(bǔ)償，從而保證曝光時機(jī)臺I相對于掩膜板是嚴(yán)格平行的。
[0003]高世代的面板生產(chǎn)中，對尺寸大于掩膜版尺寸的玻璃基板需要多次曝光才能完成，機(jī)臺的運動路徑較為復(fù)雜，對機(jī)臺移動的位置精度提出了更高要求。而為保證生產(chǎn)節(jié)拍，機(jī)臺需要維持較高的運動速度，而機(jī)臺很重，高速運動中的機(jī)臺震動比較嚴(yán)重。機(jī)臺的震動以及使用時間的延長使得反射平面鏡條的平坦度逐漸惡化，從而會影響激光干涉計讀數(shù)的準(zhǔn)確性，進(jìn)而影響機(jī)臺移動的位置精度，導(dǎo)致產(chǎn)品線幅發(fā)生惡化，進(jìn)一步影響到彩膜基板與陣列基板的對合，產(chǎn)生漏光等不良現(xiàn)象。
`[0004]生產(chǎn)中，通過調(diào)節(jié)反射平面鏡條的平坦度來保證機(jī)臺的移動位置精度。通常對反射平面鏡條平坦度的調(diào)節(jié)是根據(jù)確定的平坦度數(shù)據(jù)通過手動調(diào)節(jié)固定在機(jī)臺上的螺栓完成的。
[0005]發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題:生產(chǎn)中反射平面鏡條的平坦度極易發(fā)生惡化，對其平坦度的調(diào)節(jié)是通過手動調(diào)節(jié)完成的，但每次調(diào)節(jié)需要花費較長的時間，且調(diào)節(jié)精度較低，有一定的時效性限制。因此，生產(chǎn)中很難及時地對反射平面鏡條的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)以滿足曝光機(jī)曝光時對正確曝光位置的要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題包括，針對現(xiàn)有的機(jī)臺上的反射平面鏡條的平坦度調(diào)節(jié)花費時間較長且調(diào)節(jié)精度較低的問題，提供一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)及其調(diào)節(jié)方法，其能夠快速準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)反射平面鏡條的平坦度。[0007]解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)，包括機(jī)臺、反射平面鏡條和激光干涉計，所述機(jī)臺用于承載待曝光基板，所述激光干涉計包括參考光平面鏡，所述參考光平面鏡設(shè)于曝光區(qū)的固定主體橫梁上，所述反射平面鏡條設(shè)于機(jī)臺上，所述反射平面鏡條和參考光平面鏡用于對所述激光干涉計發(fā)出的激光光束進(jìn)行接收和反射，所述激光干涉計用于根據(jù)接收的反射激光計算機(jī)臺的實際移動距離，所述曝光機(jī)還包括反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置，其用于校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度。
[0008]優(yōu)選的是，所述反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置包括:
[0009]平坦度測定單元，其用于測定所述反射平面鏡條的平坦度；
[0010]平坦度自動調(diào)節(jié)單元，用于調(diào)節(jié)反射平面鏡條的平坦度。
[0011]優(yōu)選的是，所述平坦度測定單元包括激光位移傳感器。
[0012]進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述激光位移傳感器設(shè)于所述激光干涉計上。
[0013]優(yōu)選的是，所述平坦度自動調(diào)節(jié)單元包括多個線性馬達(dá)，其設(shè)于曝光機(jī)的機(jī)臺上并能夠接觸反射平面鏡條的不同位置。
[0014]優(yōu)選的是，所述平坦度自動調(diào)節(jié)單元包括多個調(diào)節(jié)螺栓，其設(shè)于曝光機(jī)的機(jī)臺上并能夠接觸反射平面鏡條的不同位置。
[0015]本發(fā)明的彩膜黑矩陣曝光機(jī)包括反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置，自動校準(zhǔn)裝置能夠準(zhǔn)確快速地校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度。因此，明顯縮短了每次調(diào)節(jié)反射平面鏡條平坦度花費的時間，且對平坦度的調(diào)節(jié)具有較高的精度，生產(chǎn)中或者在每次生產(chǎn)前都能夠及時地對反射平面鏡條的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而滿足了曝光機(jī)曝光時對正確曝光位置的要求，提聞了廣品的生廣效率。
[0016]解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法，所述曝光機(jī)包括反射平面鏡條和激光干涉計，所述反射平面鏡條設(shè)于機(jī)臺上，用于對所述激光干涉計發(fā)出的激光光束進(jìn)行反射，所述調(diào)節(jié)方法包括如下步驟:應(yīng)用反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度。
[0017]優(yōu)選的是，所述應(yīng)用反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度包括:
[0018]激光位移傳感器確定反射平面鏡條的平坦度數(shù)據(jù)；
[0019]平坦度自動調(diào)節(jié)單元根據(jù)所述平坦度數(shù)據(jù)調(diào)節(jié)反射平面鏡條的平坦度。
[0020]進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述平坦度自動調(diào)節(jié)單元包括多個線性馬達(dá)或包括多個調(diào)節(jié)螺栓。
[0021]優(yōu)選的是，所述調(diào)節(jié)方法還包括激光位移傳感器對調(diào)節(jié)平坦度后的反射平面鏡條進(jìn)行平坦度再確認(rèn)的步驟。
[0022]本發(fā)明的彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法應(yīng)用激光位移傳感器和線性馬達(dá)，能夠快速準(zhǔn)確地對反射平面鏡條的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)，
[0023]縮短了調(diào)節(jié)反射平面鏡條的時間，生產(chǎn)效率提高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1為現(xiàn)有的曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2為本發(fā)明的實施例1的彩膜黑矩陣曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0026]圖3為本發(fā)明的實施例1的彩膜黑矩陣曝光機(jī)的線性馬達(dá)與反射平面鏡條的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]其中附圖標(biāo)記為:1、機(jī)臺；2、反射平面鏡條；3、線性馬達(dá)；4、激光干涉計；5、激光位移傳感器；101、固定主體橫梁；103、參考光平面鏡；104、第一參考光束；105、第二參考光束；106、第一入射激光；107、第二入射激光。
【具體實施方式】
[0028]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0029]實施例1:
[0030]本實施例提供一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)，如圖1至圖3所示，曝光機(jī)包括:機(jī)臺1、反射平面鏡條2和激光干涉計4，機(jī)臺I用于承載待曝光基板，激光干涉計4包括參考光平面鏡103,參考光平面鏡103設(shè)于曝光區(qū)的固定主體橫梁101上,反射平面鏡條2設(shè)于機(jī)臺I上，所述反射平面鏡條2和參考光平面鏡103用于對激光干涉計4發(fā)出的激光光束進(jìn)行接收和反射，激光干涉計4用于根據(jù)接收的反射激光計算機(jī)臺I的實際移動距離，曝光機(jī)還包括:反射平面鏡條2的平坦度的自動校準(zhǔn)裝置，其用于校準(zhǔn)反射平面鏡條2的平坦度。
[0031]在本實施例中，優(yōu)選的，反射平面鏡條2平坦度的自動校準(zhǔn)裝置包括平坦度測定單元，其用于測定反射平面鏡條2的平坦度；進(jìn)一步優(yōu)選的，平坦度測定單元包括激光位移傳感器5。更進(jìn)一步優(yōu)選的，激光位移傳感器5設(shè)于激光干涉計4上。
[0032]可以理解的是，根據(jù)實際情況，在生產(chǎn)中對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行測定時還可以使用其他傳感器代替上述激光位移傳感器5，比如使用電渦流位移傳感器、電容位移傳感器、光纖位移傳感器等位移傳感器對平坦度進(jìn)行測定。
[0033]反射平面鏡條2平坦度的自動校準(zhǔn)裝置還包括平坦度自動調(diào)節(jié)單元，用于調(diào)節(jié)反射平面鏡條2的平坦度。
[0034]其中，反射平面鏡條2的平坦度是指由于反射平面鏡條2的變形，其用來反射激光光束的平面出現(xiàn)凹陷、凸起等，從而造成該平面不再是完美的平面。
[0035]優(yōu)選的，平坦度自動調(diào)節(jié)單元包括多個線性馬達(dá)3，其設(shè)于曝光機(jī)的機(jī)臺I上并能夠接觸反射平面鏡條2的不同位置。使用線性馬達(dá)3對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)，具體地，反射平面鏡條2通過螺栓固定在機(jī)臺I上，多個線性馬達(dá)3安裝在機(jī)臺I的不同位置，多個線性馬達(dá)3的推桿31能夠與反射平面鏡條2的多個位置相接觸，根據(jù)前述激光位移傳感器5測定的反射平面鏡條2的平坦度數(shù)據(jù)，針對反射平面鏡條2的平面上出現(xiàn)的凹陷或凸起的位置，調(diào)節(jié)相應(yīng)的線性馬達(dá)3的推桿31的伸出長度，比如針對凹陷處，調(diào)節(jié)與凹陷處相對的另一平面上的線性馬達(dá)3的推桿31的長度，使推桿31伸出的長度更長一些，從而把凹陷頂起，使此處的區(qū)域變成平面，從而實現(xiàn)對反射平面鏡條2平坦度的調(diào)節(jié)。使用線性馬達(dá)3對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度較高，調(diào)節(jié)用時較少，可以滿足較高生產(chǎn)節(jié)拍的要求。
[0036]可以理解的是，也可以在機(jī)臺I上設(shè)置線性導(dǎo)軌，線性導(dǎo)軌與反射平面鏡條2平行，多個線性馬達(dá)3設(shè)于線性導(dǎo)軌中，從而線性馬達(dá)3可以與反射平面鏡條2的不同位置接觸，能更好地對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)。[0037]生產(chǎn)過程中，平坦度自動調(diào)節(jié)單元也可以用調(diào)節(jié)螺栓替代上述線性馬達(dá)3，調(diào)節(jié)螺栓設(shè)于曝光機(jī)的機(jī)臺I上并能夠接觸反射平面鏡條2的不同位置。顯然使用調(diào)節(jié)螺栓能夠?qū)崿F(xiàn)對反射平面鏡條2的平坦度的調(diào)節(jié)，但相對于使用線性馬達(dá)3調(diào)節(jié)平坦度的方式，其調(diào)節(jié)精度較低，用時也較多。
[0038]本實施例的彩膜黑矩陣曝光機(jī)包括反射平面鏡條2平坦度的自動校準(zhǔn)裝置，自動校準(zhǔn)裝置能夠準(zhǔn)確快速地校準(zhǔn)反射平面鏡條2的平坦度。因此，明顯縮短了每次調(diào)節(jié)反射平面鏡條2平坦度花費的時間，并且提高了反射平面鏡條2平坦度的調(diào)節(jié)精度，生產(chǎn)前和生產(chǎn)中都能夠及時地對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而滿足了曝光機(jī)曝光時對正確曝光位置的要求，提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量。
[0039]實施例2:
[0040]本實施例提供一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法，結(jié)合圖2和圖3，曝光機(jī)包括反射平面鏡條2和激光干涉計4，反射平面鏡條2設(shè)于機(jī)臺I上，用于對激光干涉計4發(fā)出的激光光束進(jìn)行反射。本實施例中的曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法適用于對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)。在生產(chǎn)中，設(shè)于機(jī)臺I上的反射平面鏡條2，由于機(jī)臺I的震動以及使用時間的延長，反射平面鏡條2用于反射激光干涉計4發(fā)出的激光光束的平面會出現(xiàn)凹陷或凸起，反射平面鏡條2的平坦度下降，因此需要對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0041]本實施例中，彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法包括:應(yīng)用反射平面鏡條2平坦度的自動校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)反射平面鏡條2的平坦度。具體地，優(yōu)選地包括下述步驟:
[0042]步驟一、應(yīng)用激光位移傳感器5確定反射平面鏡條2的平坦度數(shù)據(jù)；通過結(jié)合應(yīng)用曝光機(jī)設(shè)備上的測量程序，指定測量時機(jī)臺I移動的步長，激光位移傳感器5讀取出間隔步長的各個點距離激光位移傳感器5的距離。系統(tǒng)上的計算機(jī)可以根據(jù)測量到的結(jié)果自動畫出各個點的位移和一條擬合的中心值直線，將偏離中心線最多的點列為需要進(jìn)行調(diào)整的點，優(yōu)先地默認(rèn)為先調(diào)整偏移量最大的點，其余的點按照偏移量的大小依次排序進(jìn)行調(diào)整，從而間接地計算出反射平面鏡條2的平坦度數(shù)據(jù)。
[0043]步驟二、平坦度自動調(diào)節(jié)單元根據(jù)平坦度數(shù)據(jù)調(diào)節(jié)反射平面鏡條2的平坦度。
[0044]進(jìn)一步優(yōu)選的，平坦度自動調(diào)節(jié)單元包括多個線性馬達(dá)3或包括多個調(diào)節(jié)螺栓。下面以使用線性馬達(dá)3為例對反射平面鏡條2平坦度的調(diào)節(jié)進(jìn)行說明。多個線性馬達(dá)3安裝在機(jī)臺I的不同位置，多個線性馬達(dá)3的推桿31能夠與反射平面鏡條2的多個位置相接觸，根據(jù)前述激光位移傳感器5測定的反射平面鏡條2的平坦度數(shù)據(jù)，針對反射平面鏡條2的平面上出現(xiàn)的凹陷或凸起的位置，調(diào)節(jié)相應(yīng)的線性馬達(dá)3的推桿31的伸出長度，比如針對凹陷處，調(diào)節(jié)與凹陷處相對的另一平面上的線性馬達(dá)3的推桿31的長度，使推桿31伸出的長度更長一些，從而把凹陷頂起，使此處的區(qū)域變成平面，從而實現(xiàn)對反射平面鏡條2平坦度的調(diào)節(jié)。使用線性馬達(dá)3對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度高，調(diào)節(jié)用時較少。
[0045]顯然，可以理解的是，對每一個線性馬達(dá)3在機(jī)臺I上設(shè)計多個安裝位置，從而可以根據(jù)凹陷或凸起處的位置來選擇線性馬達(dá)3的具體安裝位置，進(jìn)而能夠?qū)崿F(xiàn)對反射平面鏡條2的平坦度更高精度的調(diào)節(jié)。
[0046]更優(yōu)選的，調(diào)節(jié)方法還包括步驟三、應(yīng)用激光位移傳感器5對調(diào)節(jié)平坦度后的反射平面鏡條2進(jìn)行平坦度再確認(rèn)。這樣，進(jìn)一步保證了反射平面鏡條2的平坦度符合生產(chǎn)要求。
[0047]本實施例的彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法通過應(yīng)用激光位移傳感器5和線性馬達(dá)3，能夠快速準(zhǔn)確地對反射平面鏡條2的平坦度進(jìn)行調(diào)節(jié)，縮短了調(diào)節(jié)反射平面鏡條2的時間，廣品的生廣質(zhì)量和生廣效率進(jìn)一步提聞。
[0048]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實施例的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)，包括機(jī)臺、反射平面鏡條和激光干涉計，所述機(jī)臺用于承載待曝光基板，所述激光干涉計包括參考光平面鏡，所述參考光平面鏡設(shè)于曝光區(qū)的固定主體橫梁上，所述反射平面鏡條設(shè)于機(jī)臺上，所述反射平面鏡條和參考光平面鏡用于對所述激光干涉計發(fā)出的激光光束進(jìn)行接收和反射，所述激光干涉計用于根據(jù)接收的反射激光計算機(jī)臺的實際移動距離，其特征在于， 所述曝光機(jī)還包括反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置，其用于校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彩膜黑矩陣曝光機(jī)，其特征在于，所述反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置包括: 平坦度測定單元，其用于測定所述反射平面鏡條的平坦度； 平坦度自動調(diào)節(jié)單元，用于調(diào)節(jié)反射平面鏡條的平坦度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彩膜黑矩陣曝光機(jī)，其特征在于，所述平坦度測定單元包括激光位移傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彩膜黑矩陣曝光機(jī)，其特征在于，所述激光位移傳感器設(shè)于所述激光干涉計上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彩膜黑矩陣曝光機(jī)，其特征在于，所述平坦度自動調(diào)節(jié)單元包括多個線性馬達(dá)，有導(dǎo)軌可以沿平行于反射平面鏡條的方向移動，其設(shè)于曝光機(jī)的機(jī)臺上并能夠接觸反射平面鏡條的不同位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彩膜黑矩陣曝光機(jī)，其特征在于，所述平坦度自動調(diào)節(jié)單元包括多個調(diào)節(jié)螺栓，其設(shè)于曝光機(jī)的機(jī)臺上并能夠接觸反射平面鏡條的不同位置。
7.一種彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法，所述曝光機(jī)包括反射平面鏡條和激光干涉計，所述反射平面鏡條設(shè)于機(jī)臺上，用于對所述激光干涉計發(fā)出的激光光束進(jìn)行反射，其特征在于， 所述調(diào)節(jié)方法包括如下步驟:應(yīng)用反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述應(yīng)用反射平面鏡條平坦度的自動校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)反射平面鏡條的平坦度包括: 激光位移傳感器確定反射平面鏡條的平坦度數(shù)據(jù)； 平坦度自動調(diào)節(jié)單元根據(jù)所述平坦度數(shù)據(jù)調(diào)節(jié)平面反射鏡條的平坦度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述平坦度自動調(diào)節(jié)單元包括多個線性馬達(dá)或包括多個調(diào)節(jié)螺栓。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的彩膜黑矩陣曝光機(jī)的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)方法還包括激光位移傳感器對調(diào)節(jié)平坦度后的反射平面鏡條進(jìn)行平坦度再確認(rèn)的步驟。
【文檔編號】G03F7/20GK103698982SQ201310683800
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月12日
【發(fā)明者】張力舟, 尹鎮(zhèn)鎬, 孟祥明, 張磊, 張暢, 郭建強(qiáng) 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司