陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，包括：陣列基板的有效區(qū)域（20）、一條柵極線短路棒（30）以及一條數(shù)據(jù)線短路棒（40），該陣列基板的有效區(qū)域（20）設(shè)有數(shù)根柵極線（22）及數(shù)根數(shù)據(jù)線（24），柵極線短路棒（30）電性連接于該些柵極線（22）的一端，數(shù)據(jù)線短路棒（40）電性連接于該些數(shù)據(jù)線（24）的一端。本發(fā)明僅采用一條柵極線短路棒將所有柵極線短接以及一條數(shù)據(jù)線短路棒將所有數(shù)據(jù)線短接以很好地避免過孔形成時(shí)產(chǎn)生的等離子體異常放電對短路棒處的金屬走線和過孔造成的靜電損傷。
【專利說明】陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display, LCD)具有機(jī)身薄、省電、無福射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有市場上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示裝置，其包括殼體、設(shè)于殼體內(nèi)的液晶顯示面板及設(shè)于殼體內(nèi)并相對液晶顯示面板設(shè)置的背光模組(backlight module)ο液晶顯示面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當(dāng)中放置液晶分子，并在兩玻璃基板上施加驅(qū)動(dòng)電壓來控制液晶分子的旋轉(zhuǎn)，從而將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
[0003]靜電(Electro-Static discharge, ESD)在半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)一直是一個(gè)懸而未決的問題，靜電會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低、成本增加、產(chǎn)能下降。在液晶顯示裝置制造工藝中，靜電也一直影響著液晶顯示裝置的品質(zhì)，尤其是液晶顯示面板的生產(chǎn)工藝。靜電的產(chǎn)生主要分為三大因素:
[0004]一是顆粒(particle)，任何一種顆粒都有可能造成器件損傷，甚至產(chǎn)品報(bào)廢，因此半導(dǎo)體制造工藝中，管控顆粒是一項(xiàng)重要的工作。
[0005]二是制程條件和原材料，在液晶顯示面板工藝制程中，沉積(deposition)工序、曝光(photo)工序、蝕刻(etch)工序、剝離(strip)以及清潔(clean)工序等的工藝條件都會(huì)產(chǎn)生靜電，同時(shí)，在該些制程中所用到的原材料由于材料缺陷也會(huì)產(chǎn)生靜電。
[0006]三是設(shè)計(jì)因素，產(chǎn)品設(shè)計(jì)的好壞直接影響了靜電的情況。
[0007]為了提高產(chǎn)品品質(zhì)，降低生產(chǎn)成本，在液晶顯示面板的生產(chǎn)工藝會(huì)進(jìn)行靜電防護(hù)工作。該靜電防護(hù)工作包括兩大類:一是液晶顯示面板內(nèi)部器件保護(hù)，主要是在液晶顯示面板的線路(柵極(Gate)線和數(shù)據(jù)(Data)線)的始末端設(shè)計(jì)防靜電環(huán)(ESD ring) ;二是液晶顯示面板外圍電路保護(hù)，主要是保護(hù)陣列制程以及后端制程中靜電對面板外圍電路的損傷。
[0008]在現(xiàn)有的TFT陣列基板結(jié)構(gòu)中，膜層順序?yàn)?第一金屬層(Gate/Com) —柵絕緣層(GI) —有源層(Active) —第二金屬層(S/D) —鈍化層(PVX) —透明導(dǎo)電層(Indium TinOxides, ΙΤ0)，為了控制產(chǎn)品的成本和良率，通常在成盒(Cell)段制程完成切割(cutting)以后要對面板進(jìn)行點(diǎn)燈判級，進(jìn)而將合格的液晶顯示面板(panel)投入模組。
[0009]為了實(shí)現(xiàn)在成盒段制程能夠點(diǎn)燈，同時(shí)又不影響模組段的正常點(diǎn)燈，通常會(huì)在陣列基板制作過程中，在柵極線(Gate線)和數(shù)據(jù)線(Data線)的端子處增加一些簡單的測試電路，即設(shè)置短路棒(shorting bar)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)成盒段制程的點(diǎn)燈，減少靜電釋放現(xiàn)象。目前的短路棒分為兩種結(jié)構(gòu):錯(cuò)射(trimming)結(jié)構(gòu)和開關(guān)(switching)結(jié)構(gòu)。錯(cuò)射結(jié)構(gòu)是將柵極線和數(shù)據(jù)線直接短接到短路棒上，在成盒測試完成后，需要采用激光鐳射的方式將短路棒與柵極線和數(shù)據(jù)線的端子斷開；開關(guān)結(jié)構(gòu)是采用開關(guān)將短路棒信號(hào)輸入到柵極線和數(shù)據(jù)線上。[0010]就鐳射結(jié)構(gòu)而言，目前采用5條短路棒分別與相應(yīng)的信號(hào)線連接，其中3條短路棒連接數(shù)據(jù)線(分別連接R、G、B數(shù)據(jù)線)，2條短路棒連接?xùn)艠O線(分別連接奇、偶柵極線)，這些短路棒100均通過過孔與柵極線或數(shù)據(jù)線200連接，如圖1所示。但該技術(shù)在液晶顯示面板的絕緣保護(hù)層和有源層的干法蝕刻工藝(如溝道干刻和過孔干刻)中，等離子體(plasma)異常放電仍會(huì)對短路棒100處金屬交疊走線造成靜電損傷，影響產(chǎn)品品質(zhì)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的目的在于提供一種陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，在陣列基板制造過程中，尤其是對絕緣保護(hù)層和有源層進(jìn)行干法蝕刻(如溝道干刻和過孔干刻)時(shí)，可以很好地避免過孔形成時(shí)產(chǎn)生的等離子體異常放電對短路棒處金屬交疊走線和過孔造成的靜電損傷，提高廣品品質(zhì)，提聞生廣效率，降低生廣成本。
[0012]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，包括:陣列基板的有效區(qū)域、一條設(shè)于所述有效區(qū)域一側(cè)的柵極線短路棒以及一條設(shè)于所述有效區(qū)域另一側(cè)的數(shù)據(jù)線短路棒，該有效區(qū)域設(shè)置柵極線短路棒的一側(cè)與設(shè)置數(shù)據(jù)線短路棒的另一側(cè)相鄰，所述陣列基板的有效區(qū)域設(shè)有數(shù)根相互平行排列的柵極線及數(shù)根相互平行排列的數(shù)據(jù)線，所述柵極線短路棒電性連接于所述數(shù)根柵極線的一端，所述數(shù)據(jù)線短路棒電性連接于所述數(shù)根數(shù)據(jù)線的一端。
[0013]所述數(shù)根柵極線與數(shù)根數(shù)據(jù)線相互垂直，每一柵極線和每一數(shù)據(jù)線的始末端均設(shè)有一防靜電環(huán)，該些防靜電環(huán)圍繞該陣列基板的有效區(qū)域設(shè)置。
[0014]所述圍繞該陣列基板有效區(qū)域的所有防靜電環(huán)均電性連接在一起。
[0015]所述陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)還包括:數(shù)根第一扇出線、數(shù)根第二扇出線、數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)線接觸墊、以及數(shù)個(gè)柵極線接觸墊，每一所述第一扇出線的一端與一數(shù)據(jù)線接觸墊電性連接，另一端與一數(shù)據(jù)線電性連接，每一所述第二扇出線的一端與一柵極線接觸墊電性連接，另一端分別與一柵極線電性連接。
[0016]所述柵極線短路棒與每一柵極線接觸墊電性連接，以將所有柵極線短接；所述數(shù)據(jù)線短路棒與每一數(shù)據(jù)線接觸墊電性連接，以將所有數(shù)據(jù)線短接。
[0017]所述柵極線短路棒包括:基板、形成于基板上的第一金屬層、覆蓋于第一金屬層及基板上的柵絕緣層、位于柵絕緣層上的鈍化層。
[0018]所述柵極線短路棒的第一金屬層與所述數(shù)根柵極線同層制作且直接相連，進(jìn)而將所述柵極線短路棒與所述數(shù)根柵極線電性連接。
[0019]所述數(shù)據(jù)線短路棒包括:基板、形成于基板上的柵絕緣層、位于柵絕緣層上的第二金屬層、以及覆蓋于第二金屬層與柵絕緣層上的鈍化層。
[0020]所述數(shù)據(jù)線短路棒的第二金屬層與所述數(shù)根數(shù)據(jù)線同層制作且直接相連，進(jìn)而將所述數(shù)據(jù)線短路棒與所述數(shù)根數(shù)據(jù)線電性連接。
[0021]所述柵極線短路棒一端設(shè)有柵極信號(hào)輸入焊盤，用于輸入測試信號(hào)；所述數(shù)據(jù)線短路棒一端設(shè)有數(shù)據(jù)信號(hào)輸入焊盤，用于輸入測試信號(hào)。
[0022]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，僅采用一條柵極線短路棒將所有柵極線短接以及一條數(shù)據(jù)線短路棒將所有數(shù)據(jù)線短接，大大簡化短路棒電路，減少短路棒的個(gè)數(shù)，減少成盒段制程中點(diǎn)燈信號(hào)的個(gè)數(shù)，且，所述柵極線短路棒的第一金屬層與所述數(shù)根柵極線同層制作且直接相連，進(jìn)而將所述柵極線短路棒與所述數(shù)根柵極線電性連接，所述數(shù)據(jù)線短路棒的第二金屬層與所述數(shù)根數(shù)據(jù)線同層制作且直接相連，如此，在陣列基板制造過程中，尤其是對絕緣保護(hù)層和有源層進(jìn)行干法蝕刻(如溝道干刻和過孔干刻)時(shí)，可以很好地避免過孔形成時(shí)產(chǎn)生的等離子體異常放電對短路棒處的金屬走線和過孔造成的靜電損傷，更好地起到靜電保護(hù)的作用，提高產(chǎn)品品質(zhì)，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。
[0023]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。
[0025]附圖中，
[0026]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2為本發(fā)明中陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3為本發(fā)明陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)中的柵極線短路棒局部放大圖；
[0029]圖4為本發(fā)明陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)中的數(shù)據(jù)線短路棒局部放大圖；
[0030]圖5為圖3中A-A的斷面圖；
[0031]圖6為圖4中B-B的斷面圖；
[0032]圖7為本發(fā)明陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)中的防靜電環(huán)的等效電路圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0034]本發(fā)明以VA型顯示模式來進(jìn)行說明，但不限于VA型顯示模式。
[0035]請參閱圖2至圖4，本發(fā)明提供一種陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，具體包括:陣列基板的有效區(qū)域20、一條設(shè)于所述有效區(qū)域20 —側(cè)的柵極線短路棒30以及一條設(shè)于所述有效區(qū)域20另一側(cè)的數(shù)據(jù)線短路棒40，所述陣列基板的有效區(qū)域20設(shè)有數(shù)根相互平行排列的柵極線22及數(shù)根相互平行排列的數(shù)據(jù)線24，所述柵極線短路棒30電性連接于所述數(shù)根柵極線22的一端，所述數(shù)據(jù)線短路棒40電性連接于所述數(shù)根數(shù)據(jù)線24的一端，本發(fā)明僅采用一條柵極線短路棒30將所有柵極線22短接以及一條數(shù)據(jù)線短路棒40將所有數(shù)據(jù)線24短接，以實(shí)現(xiàn)面板外圍電路的保護(hù)，大大簡化短路棒電路，減少短路棒的個(gè)數(shù)，減少成盒段制程中點(diǎn)燈信號(hào)的個(gè)數(shù)。優(yōu)選的，所述數(shù)根柵極線22與數(shù)根數(shù)據(jù)線24相互垂直，即陣列基板的有效區(qū)域20設(shè)置柵極線短路棒30的一側(cè)與設(shè)置數(shù)據(jù)線短路棒40的另一側(cè)相鄰。每一柵極線22和每一數(shù)據(jù)線24的始末端均設(shè)有一防靜電環(huán)26，該些防靜電環(huán)26圍繞該陣列基板的有效區(qū)域20設(shè)置，以實(shí)現(xiàn)面板內(nèi)部器件的防靜電保護(hù)。在本實(shí)施例中，所述圍繞該陣列基板有效區(qū)域20的所有防靜電環(huán)26均電性連接在一起，以達(dá)到更好的防靜電效果。其中，每一防靜電環(huán)26的等效電路圖如圖7所示，防靜電環(huán)26由兩電容構(gòu)成，且該兩電容通過并聯(lián)方式相連接。
[0036]所述陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)還包括:數(shù)根第一扇出線52、數(shù)根第二扇出線54、數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)線接觸墊62、以及數(shù)個(gè)柵極線接觸墊64，每一所述第一扇出線52的一端與一數(shù)據(jù)線接觸墊62電性連接，另一端與一數(shù)據(jù)線24電性連接，每一所述第二扇出線54的一端與一柵極線接觸墊64電性連接，另一端與一柵極線22電性連接。所述柵極線短路棒30與每一柵極線接觸墊64電性連接，以將所有柵極線22短接；所述數(shù)據(jù)線短路棒40與每一數(shù)據(jù)線接觸墊62電性連接，以將所有數(shù)據(jù)線24短接。其中，第一扇出線52的數(shù)量及數(shù)據(jù)線接觸墊62的數(shù)量都等于數(shù)據(jù)線24的數(shù)量；第二扇出線54的數(shù)量及柵極線接觸墊64的數(shù)量都等于柵極線22的數(shù)量。所述柵極線短路棒30 —端設(shè)有柵極信號(hào)輸入焊盤32，用于輸入測試信號(hào)；所述數(shù)據(jù)線短路棒40 —端設(shè)有數(shù)據(jù)信號(hào)輸入焊盤42，用于輸入測試信號(hào)，進(jìn)而完成成盒點(diǎn)燈測試。
[0037]所述陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)還包括一設(shè)置在陣列基板邊緣的PLG (Propel LinkGate，連接?xùn)艠O)走線70，主要用于將集成電路輸出的信號(hào)傳遞至柵極線。
[0038]請結(jié)合參閱圖5，所述柵極線短路棒30包括:基板41、形成于基板41上的第一金屬層42、覆蓋于第一金屬層42及基板41上的柵絕緣層43、位于柵絕緣層43上的鈍化層45。在本實(shí)施例中，所述柵極線短路棒30的第一金屬層42與柵極線22同層制作且直接相連，加工方便，有利于提高加工速度及節(jié)省成本。同樣，請結(jié)合參閱圖6，所述數(shù)據(jù)線短路棒40包括:基板41、形成于基板41上的柵絕緣層43、位于柵絕緣層43上的第二金屬層44、以及覆蓋于第二金屬層44與柵絕緣層43上的鈍化層45。在本實(shí)施例中，所述數(shù)據(jù)線短路棒40的第二金屬層44與數(shù)據(jù)線24同層制作且直接相連，加工方便，有利于提高加工速度及節(jié)省成本。如此，在陣列基板制造過程中，尤其是對絕緣保護(hù)層和有源層進(jìn)行干法蝕刻(如溝道干刻和過孔干刻)時(shí)，可以很好地避免過孔形成時(shí)產(chǎn)生的等離子體異常放電對短路棒處的金屬走線和過孔造成的靜電損傷，更好地起到靜電保護(hù)的作用，提高產(chǎn)品品質(zhì)，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。
[0039]所述柵絕緣層43優(yōu)選采用硅沉積形成，所述基板41優(yōu)選為玻璃基板。
[0040]綜上所述，本發(fā)明的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，采用一條柵極線短路棒將所有柵極線短接以及一條數(shù)據(jù)線短路棒將所有數(shù)據(jù)線短接，大大簡化短路棒電路，減少短路棒的個(gè)數(shù)，減少成盒段制程中點(diǎn)燈信號(hào)的個(gè)數(shù)，且，所述柵極線短路棒的第一金屬層與所述數(shù)根柵極線同層制作且直接相連，進(jìn)而將所述柵極線短路棒與所述數(shù)根柵極線電性連接，所述數(shù)據(jù)線短路棒的第二金屬層與所述數(shù)根數(shù)據(jù)線同層制作且直接相連，如此，在陣列基板制造過程中，尤其是對絕緣保護(hù)層和有源層進(jìn)行干法蝕刻(如溝道干刻和過孔干刻)時(shí)，可以很好地避免過孔形成時(shí)產(chǎn)生的等離子體異常放電對短路棒處的金屬走線和過孔造成的靜電損傷，更好地起到靜電保護(hù)的作用，提高產(chǎn)品品質(zhì)，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。
[0041]以上所述，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括:陣列基板的有效區(qū)域(20)、一條設(shè)于所述有效區(qū)域(20)—側(cè)的柵極線短路棒(30)以及一條設(shè)于所述有效區(qū)域(20)另一側(cè)的數(shù)據(jù)線短路棒(40)，該有效區(qū)域(20)設(shè)置柵極線短路棒(30)的一側(cè)與設(shè)置數(shù)據(jù)線短路棒(40)的另一側(cè)相鄰，所述陣列基板的有效區(qū)域(20)設(shè)有數(shù)根相互平行排列的柵極線(22)及數(shù)根相互平行排列的數(shù)據(jù)線(24)，所述柵極線短路棒(30)電性連接于所述數(shù)根柵極線(22)的一端，所述數(shù)據(jù)線短路棒(40)電性連接于所述數(shù)根數(shù)據(jù)線(24)的一端。
2.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述數(shù)根柵極線(22)與數(shù)根數(shù)據(jù)線(24)相互垂直，每一柵極線(22)和每一數(shù)據(jù)線(24)的始末端均設(shè)有一防靜電環(huán)(26)，該些防靜電環(huán)(26)圍繞該陣列基板的有效區(qū)域(20)設(shè)置。
3.如權(quán)利要求2所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述圍繞該陣列基板有效區(qū)域(20 )的所有防靜電環(huán)(26 )均電性連接在一起。
4.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括:數(shù)根第一扇出線(52)、數(shù)根第二扇出線(54)、數(shù)個(gè)數(shù)據(jù)線接觸墊(62)、以及數(shù)個(gè)柵極線接觸墊(64)，每一所述第一扇出線(52)的一端與一數(shù)據(jù)線接觸墊(62)電性連接，另一端與一數(shù)據(jù)線(24)電性連接，每一所述第二扇出線(54)的一端與一柵極線接觸墊(64)電性連接，另一端與一柵極線(22)電性連接。
5.如權(quán)利要求4所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柵極線短路棒(30)與每一柵極線接觸墊(64)電性連接，以將所有柵極線(22)短接；所述數(shù)據(jù)線短路棒(40)與每一數(shù)據(jù)線接觸墊(62)電性連接，以將所有數(shù)據(jù)線(24)短接。
6.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柵極線短路棒(30)包括:基板(41)、形成于基板(41)上的第一金屬層(42)、覆蓋于第一金屬層(42)及基板(41)上的柵絕緣層(43)、位于柵絕緣層(43)上的鈍化層(45)。
7.如權(quán)利要求6所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柵極線短路棒(30)的第一金屬層(42)與所述數(shù)根柵極線(22)同層制作且直接相連，進(jìn)而將所述柵極線短路棒(30)與所述數(shù)根柵極線(22)電性連接。
8.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)線短路棒(40)包括:基板(41)、形成于基板(41)上的柵絕緣層(43)、位于柵絕緣層(43)上的第二金屬層(44)、以及覆蓋于第二金屬層(44)與柵絕緣層(43)上的鈍化層(45)。
9.如權(quán)利要求8所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)線短路棒(40)的第二金屬層(44)與所述數(shù)根數(shù)據(jù)線(24)同層制作且直接相連，進(jìn)而將所述數(shù)據(jù)線短路棒(40)與所述數(shù)根數(shù)據(jù)線(24)電性連接。
10.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的防靜電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柵極線短路棒(30)一端設(shè)有柵極信號(hào)輸入焊盤(32)，用于輸入測試信號(hào)；所述數(shù)據(jù)線短路棒(40) —端設(shè)有數(shù)據(jù)信號(hào)輸入焊盤(42 )，用于輸入測試信號(hào)。
【文檔編號(hào)】G02F1/133GK103676255SQ201310733696
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
【發(fā)明者】徐向陽 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司