專利名稱:一種顯微鏡的載物臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種顯微鏡的載物臺(tái),具體涉及一種可移動(dòng)的顯微鏡的載物臺(tái)。
背景技術(shù):
在硅太陽(yáng)電池的制工藝的制絨工序中,通過(guò)堿液腐蝕形成金字塔絨面結(jié)構(gòu),金字塔絨面的大小和均勻性對(duì)太陽(yáng)能電池性能影響較大,所以準(zhǔn)確觀察到相同硅片位置的金字塔絨面結(jié)構(gòu)對(duì)制程控制非常重要;同時(shí)在絲網(wǎng)印刷工序,印刷燒結(jié)后柵線高度和寬度直接關(guān)系到電池片的表面遮光面積和效率,測(cè)試相同位置電池片柵線高度和寬度對(duì)監(jiān)控正電極印刷效果非常重要。在制絨后或電池片燒結(jié)后,通常會(huì)使用顯微鏡測(cè)試絨面或柵線的高度和寬度,而使用現(xiàn)用的顯微鏡,需要在載物臺(tái)上手動(dòng)移動(dòng)電池片,容易產(chǎn)生碎片;手動(dòng)移動(dòng)電池片不能夠準(zhǔn)確使硅片移動(dòng)到準(zhǔn)確位置,導(dǎo)致測(cè)量誤差;載物臺(tái)光滑,電池片容易發(fā)生位移,嚴(yán)重時(shí)滑落,導(dǎo)致電池片損壞。
實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)用新型目的:本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種準(zhǔn)確定位硅片位置,減少測(cè)量誤差,保護(hù)電池片不被損壞的顯微鏡的載物臺(tái)。技術(shù)方案:本實(shí)用新型所述的一種顯微鏡的載物臺(tái),包括載物臺(tái)本體,還包括兩個(gè)移動(dòng)裝置,所述兩個(gè)移動(dòng)裝置呈上下方位正交設(shè)置于所述載物臺(tái)本體下方,每個(gè)移動(dòng)裝置均包括兩條平行設(shè)置的導(dǎo)軌和一個(gè)由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的絲杠,所述絲杠設(shè)置于所述兩條導(dǎo)軌之間;所述載物臺(tái)本體與其中一個(gè)移動(dòng)裝置的絲桿固定連接,此移動(dòng)裝置的導(dǎo)軌與另一個(gè)移動(dòng)裝置的絲桿固定連接。所述絲杠3為滾珠絲杠。為了方便待測(cè)物準(zhǔn)確定位,同時(shí)增加了待測(cè)物與載物臺(tái)之間的摩擦力,使測(cè)試時(shí)電池片位置固定,不容易滑落而導(dǎo)致電池片損壞,所述載物臺(tái)本體的橫向和縱向均標(biāo)識(shí)刻度,所述橫向和縱向的刻度的長(zhǎng)度均為16cm,精度均為1mm。有益效果:本實(shí)用新型通過(guò)絲杠帶動(dòng)載物臺(tái)沿導(dǎo)軌定向移動(dòng),步進(jìn)電機(jī)精確控制載物臺(tái)移動(dòng)距離,方便載物臺(tái)上待測(cè)物的不同測(cè)試點(diǎn)的測(cè)試;本實(shí)用新型通過(guò)步進(jìn)電機(jī)控制載物臺(tái)的移動(dòng)距離,增加了測(cè)試點(diǎn)選擇的準(zhǔn)確性,減少測(cè)量誤差;本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì)實(shí)用,和手動(dòng)移動(dòng)硅片相比減少了碎片的可能性。
圖1為本實(shí)用新型所述的一種顯微鏡的載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0011]下面對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。實(shí)施例:本實(shí)用新型公開(kāi)了一種顯微鏡的載物臺(tái),其結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示,包括載物臺(tái)本體I和兩個(gè)移動(dòng)裝置。載物臺(tái)本體I為圓形結(jié)構(gòu),其表面上設(shè)置有起標(biāo)識(shí)作用的橫向和縱向的刻度4,橫向和縱向的刻度4的長(zhǎng)度均為16cm,精度均為1mm。兩個(gè)移動(dòng)裝置呈上下方位正交設(shè)置于載物臺(tái)本體I的下方。每個(gè)移動(dòng)裝置均包括兩條平行設(shè)置的導(dǎo)軌2和一個(gè)絲杠3,絲杠3為滾珠絲杠,設(shè)置于所述兩條導(dǎo)軌2之間,由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)。所述載物臺(tái)本體I與其中一個(gè)移動(dòng)裝置的絲桿3固定連接,此移動(dòng)裝置的導(dǎo)軌2與另一個(gè)移動(dòng)裝置的絲桿3固定連接。本實(shí)用新型所述的顯微鏡的載物臺(tái)工作時(shí),步進(jìn)電機(jī)控制絲杠3移動(dòng),絲杠3帶動(dòng)載物臺(tái)本體I或位于上方的移動(dòng)裝置定向移動(dòng),實(shí)現(xiàn)待測(cè)物的正交方位的移動(dòng),步進(jìn)電機(jī)精確控制載物臺(tái)移動(dòng)距離,使載物臺(tái)上待測(cè)物的不同測(cè)試點(diǎn)得到測(cè)試。如上所述,盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本實(shí)用新型,但其不得解釋為對(duì)本實(shí)用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實(shí)用新型的精神和范圍前提下,可對(duì)其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化。
權(quán)利要求1.一種顯微鏡的載物臺(tái),包括載物臺(tái)本體(1),其特征在于,還包括兩個(gè)移動(dòng)裝置,所述兩個(gè)移動(dòng)裝置呈上下方位正交設(shè)置于所述載物臺(tái)本體(I)下方,每個(gè)移動(dòng)裝置均包括兩條平行設(shè)置的導(dǎo)軌(2)和一個(gè)由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的絲杠(3),所述絲杠(3)設(shè)置于所述兩條導(dǎo)軌(2)之間; 所述載物臺(tái)本體(I)與其中一個(gè)移動(dòng)裝置的絲桿(3)固定連接,此移動(dòng)裝置的導(dǎo)軌(2)與另一個(gè)移動(dòng)裝置的絲桿(3)固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡的載物臺(tái),其特征在于,所述絲杠(3)為滾珠絲杠。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡的載物臺(tái),其特征在于,所述載物臺(tái)本體(I)的橫向和縱向均標(biāo)識(shí)刻度(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種顯微鏡的載物臺(tái),其特征在于,所述橫向和縱向的刻度(4)的長(zhǎng)度均為16cm,精度均為1mm。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種顯微鏡的載物臺(tái),包括載物臺(tái)本體,還包括兩個(gè)移動(dòng)裝置,所述兩個(gè)移動(dòng)裝置呈上下方位正交設(shè)置于所述載物臺(tái)本體下方,每個(gè)移動(dòng)裝置均包括兩條平行設(shè)置的導(dǎo)軌和一個(gè)由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的絲杠,所述絲杠設(shè)置于所述兩條導(dǎo)軌之間;所述載物臺(tái)本體與其中一個(gè)移動(dòng)裝置的絲桿固定連接,此移動(dòng)裝置的導(dǎo)軌與另一個(gè)移動(dòng)裝置的絲桿固定連接。本實(shí)用新型增加了測(cè)試點(diǎn)選擇的準(zhǔn)確性,減少測(cè)量誤差,且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì)實(shí)用,和手動(dòng)移動(dòng)硅片相比減少了碎片的可能性。
文檔編號(hào)G02B21/34GK203069874SQ20132001885
公開(kāi)日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2013年1月15日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月15日
發(fā)明者魏文文, 勾憲芳, 姜利凱, 王鵬 申請(qǐng)人:中節(jié)能太陽(yáng)能科技(鎮(zhèn)江)有限公司