專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，具體的講是一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，根據(jù)光學(xué)設(shè)計(jì)相應(yīng)的理論，波段范圍越寬，波段下限越到短波紫外波段，光學(xué)設(shè)計(jì)的難度越大。在近中遠(yuǎn)紫外到極遠(yuǎn)紫外波段，波段范圍寬，波長(zhǎng)短，在此范圍內(nèi)光學(xué)材料的種類(lèi)變得很少,光譜折射率也很低;一般來(lái)說(shuō),為了設(shè)計(jì)較為完善的紫外光
學(xué)系統(tǒng)，特別是真空紫外光學(xué)系統(tǒng)，都要使系統(tǒng)復(fù)雜化，利用很多的鏡片來(lái)校正像差，以滿足系統(tǒng)需求。這樣做的后果是導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，光能損失嚴(yán)重，影響整機(jī)性能指標(biāo)，同時(shí)光學(xué)系統(tǒng)造價(jià)昂貴，裝調(diào)復(fù)雜，增加了成本負(fù)擔(dān)，裝調(diào)精度難以保證。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)紫外-真空紫外領(lǐng)域光學(xué)系統(tǒng)復(fù)雜、造價(jià)成本高的問(wèn)題，提出了一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，以不同的透鏡處理不同波段的紫外光源，成本低、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，包括殼體，復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡或復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡；復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡或所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡安裝于所述殼體中，當(dāng)進(jìn)行探測(cè)器真空紫外相對(duì)光譜響應(yīng)率校準(zhǔn)時(shí)， 所述復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡中的特定準(zhǔn)直透鏡將110nm-400nm波段范圍內(nèi)的特定波段的紫外光源變?yōu)槠叫泄獍l(fā)送給所述探測(cè)器；當(dāng)進(jìn)行光源真空紫外光譜輻照度校準(zhǔn)時(shí)，所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡中的特定會(huì)聚透鏡將經(jīng)過(guò)漫射器的110nm-400nm波段范圍內(nèi)的特定波段的紫外光源會(huì)聚輸出至標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器，其中經(jīng)過(guò)特定漫射器對(duì)特定波段的紫外光源進(jìn)行均光。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例所述一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)進(jìn)一步的方面，所述復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡包括3個(gè)準(zhǔn)直透鏡，其中:第一準(zhǔn)直透鏡，兩個(gè)表面半徑依次R c ，-213.28mm，厚度為6±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ64πιπι，光學(xué)材料為氟化鋰晶體，將IlOnm至130nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄?；第二?zhǔn)直透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為Rm，-192.25mm，厚度為6±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ 64mm，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將130nm至200nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄猓坏谌郎?zhǔn)直透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為R①’ -168.31mm，厚度為6±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ64πιπι，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將200nm至400nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄狻８鶕?jù)本實(shí)用新型實(shí)施例所述一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)的再一個(gè)進(jìn)一步的方面，所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡包括4個(gè)會(huì)聚透鏡，其中:第一會(huì)聚透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為281.5mm, -138.6mm,厚度為16±0.1mm,兩表面通光口徑均為Φ94ι πι,光學(xué)材料為氟化鋰晶體,將經(jīng)過(guò)漫射器的IlOnm至130nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第二會(huì)聚透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為234mm，-144.6mm，厚度為17±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ94mm，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將經(jīng)過(guò)漫射器的130nm至150nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第三會(huì)聚透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為206.2mm, -133.7mm，厚度為18 ±0.1臟，兩表面通光口徑均為Φ 94臟，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將經(jīng)過(guò)漫射器的150nm至200nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第四會(huì)聚透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為180mm, 125.7mm,厚度為19±0.lmm,兩表面通光口徑均為Φ94ι πι,光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將經(jīng)過(guò)漫射器的200nm至400nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例所述一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)的另一個(gè)進(jìn)一步的方面，對(duì)于點(diǎn)光源的紫外光源，所述漫射器為3個(gè)，所述3個(gè)漫射器中的第一漫射器對(duì)應(yīng)于IlOnm 130nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鋰單晶，其凸面的曲率半徑為81.56mm，整體厚度為4±0.1mm，通光口徑為26mm，焦距數(shù)為9 ；第二漫射器對(duì)應(yīng)于130nm 200nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鈣單晶，其凸面的曲率半徑為T(mén)L 35mm，整體厚度為4±0.1mm，通光口徑為26mm，F(xiàn)數(shù)為9 ；第三漫射器對(duì)應(yīng)于200nm 400nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鈣單晶，其凸面的曲率半徑為168.31mm，整體厚度為6±0.1mm，通光口徑為64mm，F(xiàn)數(shù)為9。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例所述一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)的另一個(gè)進(jìn)一步的方面，對(duì)于面光源的紫外光源，所述漫射器為3個(gè)，所述3個(gè)漫射器中的第一漫射器為對(duì)應(yīng)于IlOnm 130nm波段范圍紫外光源的毛玻璃；第二漫射器為對(duì)應(yīng)于130nm 200nm波段范圍紫外光源的毛玻璃；第三漫射器為對(duì)應(yīng)于200nm 400nm波段范圍紫外光源的毛玻璃。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例所述一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)的另一個(gè)進(jìn)一步的方面，所述殼體為鋁合金材質(zhì)。通過(guò)本實(shí)用新型實(shí)施例使用組合式設(shè)計(jì)方法，使光學(xué)系統(tǒng)的7片透鏡材料、波段范圍和性能參數(shù)得到合理匹配，降低了成本，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，同時(shí)滿足寬波段范圍的使用要求；并且通過(guò)采用組合式設(shè)計(jì)方法及合理匹配透鏡的材料、半徑和厚度參數(shù)，使鏡頭在IlOnm 400nm波段范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功能要求，簡(jiǎn)化了光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，提高了系統(tǒng)可靠性。另外通過(guò)采用組合式設(shè)計(jì)方法及合理匹配透鏡的材料、半徑和厚度參數(shù)，還減小了像差，提高了鏡頭光學(xué)傳遞函數(shù)；另一方面，本實(shí)用新型的使用溫度范圍-100°C 25°C，工作波段11011111 40011111，相對(duì)孔徑彡1/1.5，與現(xiàn)有技術(shù)相比較具有很大進(jìn)步。

結(jié)合以下附圖閱讀對(duì)實(shí)施例的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的上述特征和優(yōu)點(diǎn)，以及額外的特征和優(yōu)點(diǎn)，將會(huì)更加清楚。圖1a所示為本實(shí)用新型實(shí)施例一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)示意圖；圖1b所示為本實(shí)用新型實(shí)施例一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)示意圖；圖2所示為 本實(shí)用新型實(shí)施例第一準(zhǔn)直透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；[0023]圖3所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第二準(zhǔn)直透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第三準(zhǔn)直透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第一會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第二會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第三會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第四會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面的描述可以使任何本領(lǐng)域技術(shù)人員利用本實(shí)用新型。具體實(shí)施例和應(yīng)用中所提供的描述信息僅為示例。這里所描述的實(shí)施例的各種延伸和組合對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員是顯而易見(jiàn)的，在不脫離本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和范圍的情況下，本實(shí)用新型定義的一般原則可以應(yīng)用到其他實(shí)施例和應(yīng)用中。因此，本實(shí)用新型不只限于所示的實(shí)施例，本實(shí)用新型涵蓋與本文所示原理和特征相一致的最大范圍。圖1a給出了根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)示意圖。包括殼體101，復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡102。復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡102安裝于所述殼體101中，當(dāng)進(jìn)行探測(cè)器真空紫外相對(duì)光譜響應(yīng)率校準(zhǔn)時(shí)，所述復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡中的特定準(zhǔn)直透鏡將110nm-400nm波段范圍內(nèi)的特定波段的紫外光源變?yōu)槠叫泄獍l(fā)送給所述探測(cè)器。作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡102包括3個(gè)準(zhǔn)直透鏡，其中:第一準(zhǔn)直透鏡1021，兩個(gè)表面半徑依次Re ，-213.28mm，厚度為6±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ64_，光學(xué)材料為氟化鋰晶體，將IlOnm至130nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄?；第二?zhǔn)直透鏡1022，兩個(gè)表面半徑依次為R①,-192.25mm，厚度為6±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ64_，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將130nm至200nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄?；第三?zhǔn)直透鏡1023，兩個(gè)表面半徑依次為R①,-168.31mm，厚度為6±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ 64mm,光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將200nm至400nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄?。圖1b給出了根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)示意圖。包括殼體101，復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡103。所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡103安裝于所述殼體101中，當(dāng)進(jìn)行光源真空紫外光譜輻照度校準(zhǔn)時(shí)；所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡中的特定會(huì)聚透鏡將經(jīng)過(guò)漫射器的110nm-400nm波段范圍內(nèi)的特定波段的紫外光源會(huì)聚輸出，其中經(jīng)過(guò)特定漫射器對(duì)特定波段的紫外光源進(jìn)行均光。所述輸出的平行紫外光照射探測(cè)器，可以進(jìn)行探測(cè)器真空紫外相對(duì)光譜響應(yīng)率校準(zhǔn)等操作。[0039]作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡103包括4個(gè)會(huì)聚透鏡，其中:[0040]第一會(huì)聚透鏡1031,兩個(gè)表面半徑依次為281.5mm, -138.6mm,厚度為16±0.lmm,兩表面通光口徑均為Φ94ι πι,光學(xué)材料為氟化鋰晶體,將經(jīng)過(guò)漫射器的IlOnm至130nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第二會(huì)聚透鏡1032，兩個(gè)表面半徑依次為234mm，-144.6mm,厚度為17±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ 94mm，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將經(jīng)過(guò)漫射器的130nm至150nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第三會(huì)聚透鏡1033,兩個(gè)表面半徑依次為206.2mm, -133.7mm，厚度為18 ±0.1臟，兩表面通光口徑均為Φ 94臟，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將經(jīng)過(guò)漫射器的150nm至200nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第四會(huì)聚透鏡1034，兩個(gè)表面半徑依次為180mm, 125.7mm,厚度為19±0.lmm,兩表面通光口徑均為Φ 94mm,光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將經(jīng)過(guò)漫射器的200nm至400nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出。所述輸出的會(huì)聚的紫外光進(jìn)入標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器，可以進(jìn)行光源真空紫外光譜輻照度校準(zhǔn)等操作。在本實(shí)施例中，如果紫外光源為點(diǎn)光源，則所述漫射器為3個(gè)，所述3個(gè)漫射器中的第一漫射器對(duì)應(yīng)于IlOnm 130nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鋰單晶，其凸面的曲率半徑為81.56mm，整體厚度為4±0.1mm，通光口徑為26mm，焦距數(shù)為9 ；第二漫射器對(duì)應(yīng)于130nm 200nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鈣單晶，其凸面的曲率半徑為T(mén)L 35mm，整體厚度為4±0.1mm，通光口徑為26mm，F(xiàn)數(shù)為9 ；第三漫射器對(duì)應(yīng)于200nm 400nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鈣單晶，其凸面的曲率半徑為168.31mm，整體厚度為6±0.1mm，通光口徑為64mm，F(xiàn)數(shù)為9。如果紫外光源為面光源，則所述漫射器為3個(gè)，所述3個(gè)漫射器中的第一漫射器為對(duì)應(yīng)于IlOnm 130nm波段范圍紫外光源的毛玻璃；第二漫射器為對(duì)應(yīng)于130nm 200nm波段范圍紫外光源的毛玻璃；第三漫射器為對(duì)應(yīng)于200nm 400nm波段范圍紫外光源的毛玻璃。
當(dāng)對(duì)某個(gè)波段范圍的紫外光源進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，紫外光源先經(jīng)過(guò)上述實(shí)施例中的某個(gè)漫射器進(jìn)行均光，然后進(jìn)入到相應(yīng)波段范圍的會(huì)聚透鏡進(jìn)行會(huì)聚，最后輸出到探測(cè)器。作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述殼體101為鋁合金材質(zhì)。如圖2所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第一準(zhǔn)直透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第二準(zhǔn)直透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖4所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第三準(zhǔn)直透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖5所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第一會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖6所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第二會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖7所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第三會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖8所示為本實(shí)用新型實(shí)施例第四會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖。在現(xiàn)有技術(shù)中紫外-真空紫外波段可供使用的光學(xué)材料很少，可選材料主要是氟化鎂(MgF2)、氟化鋰晶體(LiF)和氟化鈣晶體(CaF2)，MgF2材料雖然滿足透過(guò)波段要求，但是存在雙折射效應(yīng)，在會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)中不宜采用；LiF材料雖然沒(méi)有雙折射現(xiàn)象，也滿足透過(guò)波段要求，但是加工困難，材料加工成本很高，且存在嚴(yán)重的潮解現(xiàn)象；CaF2沒(méi)有雙折射現(xiàn)象，硬度也滿足要求，無(wú)潮解現(xiàn)場(chǎng)，加工成本相對(duì)經(jīng)濟(jì)，但是透過(guò)波段只到130nm。只要在每個(gè)小的波段范圍內(nèi)只用一片光學(xué)透鏡，利用ZEMAX光學(xué)設(shè)計(jì)軟件進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，使每片透鏡都能滿足系統(tǒng)的焦距、相對(duì)孔徑等參數(shù)指標(biāo)的要求。因此只有采用組合式設(shè)計(jì)方法才能在各種影響因素之間取得最理想的效果。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的方法，準(zhǔn)直透鏡和會(huì)聚透鏡的數(shù)量可以有其它的配置，上述實(shí)施例只是本實(shí)用新型的一個(gè)較佳的實(shí)施例，并不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型準(zhǔn)直透鏡與會(huì)聚透鏡的限制。通過(guò)使用組合式設(shè)計(jì)方法，使光學(xué)系統(tǒng)的7片透鏡材料、波段范圍和性能參數(shù)得到合理匹配，降低了成本，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，同時(shí)滿足寬波段范圍的使用要求；并且通過(guò)采用組合式設(shè)計(jì)方法及合理匹配透鏡的材料、半徑和厚度參數(shù)，使鏡頭在IlOnm 400nm波段范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功能要求，簡(jiǎn)化了光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，提高了系統(tǒng)可靠性。另外通過(guò)采用組合式設(shè)計(jì)方法及合理匹配透鏡的材料、半徑和厚度參數(shù)，還減小了像差，提高了鏡頭光學(xué)傳遞函數(shù)；另一方面，本實(shí)用新型的使用溫度范圍_100°C 25°C，工作波段IlOnm 400nm，相對(duì)孔徑≥ 1/1.5，與現(xiàn)有技術(shù)相比較具有很大進(jìn)步。在相關(guān)領(lǐng)域中的技術(shù)人員將會(huì)認(rèn)識(shí)到，本實(shí)用新型的實(shí)施例有許多可能的修改和組合，雖然形式略有不同，仍采用相同的基本機(jī)制和方法。為了解釋的目的，前述描述參考了幾個(gè)特定的實(shí)施例。然而，上述的說(shuō)明性討論不旨在窮舉或限制本文所實(shí)用新型的精確形式。前文所示，許多修改和變化是可能的。所選和所描述的實(shí)施例，用以解釋本實(shí)用新型的原理及其實(shí)際應(yīng)用，用以使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠最好地利用本實(shí)用新型和各個(gè)實(shí)施例的針對(duì)特定應(yīng)用的修改、變形。
權(quán)利要求1.一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于， 包括殼體，復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡或復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡； 復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡或所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡安裝于所述殼體中，當(dāng)進(jìn)行探測(cè)器真空紫外相對(duì)光譜響應(yīng)率校準(zhǔn)時(shí)，所述復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡中的特定準(zhǔn)直透鏡將110nm-400nm波段范圍內(nèi)的特定波段的紫外光源變?yōu)槠叫泄獍l(fā)送給所述探測(cè)器；當(dāng)進(jìn)行光源真空紫外光譜輻照度校準(zhǔn)時(shí)，所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡中的特定會(huì)聚透鏡將經(jīng)過(guò)漫射器的110nm-400nm波段范圍內(nèi)的特定波段的紫外光源會(huì)聚輸出至標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器，其中經(jīng)過(guò)特定漫射器對(duì)特定波段的紫外光源進(jìn)行均光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡包 括3個(gè)準(zhǔn)直透鏡，其中: 第一準(zhǔn)直透鏡，兩個(gè)表面半徑依次R ^，-213.28mm,厚度為6±0.Imm,兩表面通光口徑均為Φ64_，光學(xué)材料為氟化鋰晶體，將IlOnm至130nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄猓坏诙?zhǔn)直透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為R ^,-192.25mm，厚度為6±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ 64mm，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將130nm至200nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄?；第三?zhǔn)直透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為R ^,-168.31mm，厚度為6±0.1mm，兩表面通光口徑均為Φ 64mm，光學(xué)材料為氟化鈣晶體，將200nm至400nm波段范圍的紫外光源變?yōu)槠叫泄狻?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡包括4個(gè)會(huì)聚透鏡，其中: 第一會(huì)聚透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為281.5mm, -138.6mm,厚度為16±0.1mm,兩表面通光口徑均為Φ94_，光學(xué)材料為氟化鋰晶體，將經(jīng)過(guò)漫射器的IlOnm至130nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第二會(huì)聚透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為234mm, -144.6mm,厚度為17±0.lmm,兩表面通光口徑均為Φ 94mm,光學(xué)材料為氟化 丐晶體,將經(jīng)過(guò)漫射器的130nm至150nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第三會(huì)聚透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為206.2mm, -133.7mm，厚度為18±0.lmm,兩表面通光口徑均為Φ 94mm,光學(xué)材料為氟化I丐晶體,將經(jīng)過(guò)漫射器的150nm至200nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出；第四會(huì)聚透鏡，兩個(gè)表面半徑依次為180_，125.7mm,厚度為19±0.1mm,兩表面通光口徑均為Φ 94mm,光學(xué)材料為氟化I丐晶體,將經(jīng)過(guò)漫射器的200nm至400nm波段的紫外光源會(huì)聚輸出。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，對(duì)于點(diǎn)光源的紫外光源，所述漫射器為3個(gè)，所述3個(gè)漫射器中的第一漫射器對(duì)應(yīng)于IIOnm 130nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鋰單晶，其凸面的曲率半徑為81.56mm，整體厚度為4±0.lmm,通光口徑為26mm,焦距數(shù)為9 ； 第二漫射器對(duì)應(yīng)于130nm 200nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鈣單晶，其凸面的曲率半徑為77.35mm，整體厚度為4±0.1mm，通光口徑為26mm，F(xiàn)數(shù)為9 ； 第三漫射器對(duì)應(yīng)于200nm 400nm波段范圍的紫外光源，材料為氟化鈣單晶，其凸面的曲率半徑為168.31mm，整體厚度為6±0.1mm，通光口徑為64mm，F(xiàn)數(shù)為9。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，對(duì)于面光源的紫外光源，所述漫射器為3個(gè)，所述3個(gè)漫射器中的第一漫射器為對(duì)應(yīng)于IlOnm 130nm波段范圍紫外光源的毛玻璃； 第二漫射器為對(duì)應(yīng)于130nm 200nm波段范圍紫外光源的毛玻璃；第三漫射器為對(duì)應(yīng)于200nm 400nm波段范圍紫外光源的毛玻璃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述殼體為鋁合 金材質(zhì)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，具體的講是一種用于真空紫外光譜參數(shù)校準(zhǔn)的光學(xué)系統(tǒng)，其中當(dāng)進(jìn)行探測(cè)器真空紫外相對(duì)光譜響應(yīng)率校準(zhǔn)時(shí)，所述復(fù)數(shù)個(gè)準(zhǔn)直透鏡中的特定準(zhǔn)直透鏡將110nm-400nm波段范圍內(nèi)的特定波段的紫外光源變?yōu)槠叫泄獍l(fā)送給所述探測(cè)器；當(dāng)進(jìn)行光源真空紫外光譜輻照度校準(zhǔn)時(shí)，所述復(fù)數(shù)個(gè)會(huì)聚透鏡中的特定會(huì)聚透鏡將經(jīng)過(guò)漫射器的110nm-400nm波段范圍內(nèi)的特定波段的紫外光源會(huì)聚輸出至標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器，其中經(jīng)過(guò)特定漫射器對(duì)特定波段的紫外光源進(jìn)行均光。通過(guò)本實(shí)用新型實(shí)施例使用組合式設(shè)計(jì)方法，使光學(xué)系統(tǒng)的7片透鏡材料、波段范圍和性能參數(shù)得到合理匹配，降低了成本，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。
文檔編號(hào)G02B27/30GK203084312SQ20132009502
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月4日
發(fā)明者孫廣尉, 孫紅勝, 王加朋, 張玉國(guó), 任小婉, 魏建強(qiáng), 宋春暉 申請(qǐng)人:北京振興計(jì)量測(cè)試研究所