一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，包括機臺，還包括：壓印腔機構，其設置于上述機臺上；模板平臺，其連接一球軸和一Z軸運動驅動裝置，該模板平臺的上方還設置有一視覺觀察裝置；基板平臺，其設置于上述機臺上、上述模板平臺的下方，該基板平臺通過一平臺驅動裝置驅動，在上述壓印腔機構和模板平臺之間來回移動。本實用新型不但可以實現(xiàn)多層圖像套刻壓印，而且可以形成對準、貼合和壓印等一系列的工作，提高整體的工作效率。
【專利說明】一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種納米壓印設備，特別涉及一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備。
【背景技術】
[0002]目前，所使用的納米壓印設備主要由傳動裝置、加熱裝置、壓印裝置、真空裝置和相關電氣裝置等組裝而成。將貼合好的模板和基板放置于傳動裝置上，該傳動裝置其實是一可活動的平臺，傳動裝置將貼合好的模板和基板送入到壓印腔中，加熱裝置開始加熱，真空裝置將壓印腔形成壓力差，通過工藝的調整將圖形轉移到壓印膠上。
[0003]但是，目前的納米壓印設備僅能實現(xiàn)簡單的壓印功能，且需要人工去輔助，如將貼合好的模板和基板放置于傳動裝置上，工作效率不高；并且在需要實現(xiàn)多層圖像套刻壓印的時候，沒有對準機構的壓印設備無法實現(xiàn)，目前的納米壓印設備顯然并不能滿足這一要求。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的就是針對上述問題，提供一種可以實現(xiàn)多層圖像套刻壓印且工作效率高的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了以下技術方案:具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備，包括機臺，還包括:
[0006]壓印腔機構，其設置于上述機臺上；
[0007]模板平臺，其連接一球軸和一 Z軸運動驅動裝置，該模板平臺的上方還設置有一視覺觀察裝置；
[0008]基板平臺，其設置于上述機臺上、上述模板平臺的下方，該基板平臺通過一平臺驅動裝置驅動，在上述壓印腔機構和模板平臺之間來回移動。
[0009]優(yōu)選地，上述的模板平臺還連接一旋轉運動驅動裝置和一 XY軸運動驅動裝置。
[0010]優(yōu)選地，上述的平臺驅動裝置包括設置在上述基板平臺下的傳動平臺和連接該傳動平臺的皮帶輪機構。
[0011]優(yōu)選地，上述的傳動平臺還設置于一導軌上，該導軌設置于上述機臺上，其包括垂直相交的第一導軌單元和第二導軌單元，上述模板平臺設置于該第一導軌單元處，上述壓印腔機構設置于該第二導軌單元處。
[0012]優(yōu)選地，上述的基板平臺上還設置有夾緊裝置。
[0013]優(yōu)選地，上述的視覺觀察裝置還連接一第二 Z軸運動驅動裝置和第二 XY軸運動驅
動裝置。
[0014]采用以上技術方案的有益效果在于:本實用新型的設備主要包括了壓印腔機構、具有球軸和Z軸運動驅動裝置的模板平臺和可以在壓印腔機構和模板平臺之間來回移動的基板平臺，通過上述的模板平臺、基板平臺和壓印腔機構的結合作用，不但可以保證基板和模板之間的平行度，實現(xiàn)壓印模板與基底的微圖案對準調整，從而實現(xiàn)多層圖像套刻壓印，而且可以形成對準、貼合、壓印等一系列的工作，提高了整體的工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備在一側位置上的結構示意圖。
[0016]圖2是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備在另一側位置上的結構示意圖。
[0017]圖3是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備在俯視位置上的結構示意圖。
[0018]圖4是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備的立體圖1。
[0019]圖5是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備的立體圖2。
[0020]其中，1.機臺2.壓印腔機構21.壓力氣缸22.增壓密封單元23.密封型腔單元
3.模板平臺31.球軸32.Z軸運動驅動裝置33.旋轉運動驅動裝置34.XY軸運動驅動裝置35.模板平臺支架4.視覺觀察裝置41.第二 Z軸運動驅動裝置42.第二 XY軸運動驅動裝置5.基板平臺51.夾緊裝置6.平臺驅動裝置61.傳動平臺62.皮帶輪機構7.導軌71.第一導軌單元72.第二導軌單元。
【具體實施方式】
[0021]下面結合附圖詳細說明本實用新型的優(yōu)選實施方式。
[0022]如圖1-5所示，本實用新型所涉及的新型納米壓印設備的第一種實施方式中，其包括機臺I ;壓印腔機構2，其設置于機臺I上，該壓印腔機構2具體可以包括壓力氣缸21、增壓密封單元22和密封型腔單元23等，其作用是對貼合好的基板和模板進行密封壓印，該壓印腔機構2的結構和組成屬于現(xiàn)有技術可以獲知的知識，在此不再贅述；模板平臺3，其連接一球軸31和一 Z軸運動驅動裝置32，具體可以是通過模板平臺支架35進行連接，該模板平臺3通過Z軸運動驅動裝置32的作用下降到與基板接觸的位置，再通過球軸31進行的多方向多角度的擺動，從而將基板和模板調整到平行的位置，Z軸運動驅動裝置32可以采用絲杠螺母等部件來手動調節(jié)，也可以采用其他如電機等的驅動方式，該模板平臺3的上方還設置有一視覺觀察裝置4，該視覺觀察機構4具體可以包括顯微鏡、CCD相機、顯微鏡光源和顯微鏡安裝座等，其作用是觀察模板和基片的中心是否對齊，視覺觀察機構4其實并不限于采用如上的部件，其為現(xiàn)有技術中可以獲知的，在此不再贅述；基板平臺5，其設置于機臺I上、上述模板平臺3的下方，該基板平臺5通過一平臺驅動裝置6驅動，在上述壓印腔機構2和模板平臺3之間來回移動，該基板平臺5內還可以設置加熱盤裝置，來對貼合好的基板和模板進行加熱。通過上述的模板平臺3、基板平臺5和壓印腔機構2的結合作用，不但可以保證基板和模板之間的平行度，從而實現(xiàn)多層圖像套刻壓印，而且可以形成對準、貼合、壓印等一系列的工作，提高了整體的工作效率。
[0023]如圖2、4和5所示，本實用新型所涉及的新型納米壓印設備的第二種實施方式中，上述的模板平臺3還連接一旋轉運動驅動裝置33和一 XY軸運動驅動裝置34，使得模板平臺3還可以做旋轉和沿XY軸運動，該驅動裝置可以采用絲杠螺母等部件來手動調節(jié)，也可以采用其他如電機等的驅動方式。
[0024]如圖2和5所示，本實用新型所涉及的新型納米壓印設備的第三種實施方式中，上述的平臺驅動裝置6包括設置在基板平臺5下的傳動平臺61和連接該傳動平臺61的皮帶輪機構62，通過傳動平臺61和皮帶輪機構62的作用來帶動基板平臺5運動，實現(xiàn)從對準工位向壓印工位的移動。
[0025]如圖3和4所示，本實用新型所涉及的新型納米壓印設備的第四種實施方式中，上述的傳動平臺61還設置于一導軌7上，該導軌7設置于機臺I上，其包括垂直相交的第一導軌單元71和第二導軌單元71，模板平臺3設置于第一導軌單元71處，壓印腔機構2設置于第二導軌單元71處，通過設置第一導軌單元71和第二導軌單元71，可以將基板平臺5準確無誤地從對準工位送入壓印工位。
[0026]如圖1和4所示，本實用新型所涉及的新型納米壓印設備的第五種實施方式中，上述的基板平臺5上還設置有夾緊裝置51，該夾緊裝置51可以包括有多個壓塊，除了壓塊，也可以設置壓桿等多種方式。設置夾緊裝置51，可以在完成對模板和基板的找平和對準工序后，對其兩者直接進行夾緊，然后就可以迅速地送入壓印腔機構2進行壓印。
[0027]如圖2和4所示，本實用新型所涉及的新型納米壓印設備的第六種實施方式中，上述的視覺觀察裝置4還連接一第二 Z軸運動驅動裝置41和第二 XY軸運動驅動裝置42，使得在對準作業(yè)時還可以對視覺觀察裝置4進行位置的調整，從而擴大調整的空間。該驅動裝置可以采用絲杠螺母等部件來手動調節(jié)，也可以采用其他如電機等的驅動方式。
[0028]下面介紹本實用新型優(yōu)選方式下的工作過程:將模板置于模板平臺3上，一般是通過真空吸附將基片固定在其上，基板則一般通過同樣的方式固定于基板平臺5上，隨后通過Z軸運動驅動機構32驅動球軸31和模板平臺3朝向基板平臺5的方向運動，使得基板平臺5上的基板與模板平臺3上的模板相擠壓，球軸自身會自適應到一個位置(即兩個平臺平行的位置)，這時鎖定球軸31 (可以是通過設置于球軸31內的螺釘?shù)攘慵斁o球軸)，即實現(xiàn)了模板和基片的找平，隨后可以再通過旋轉運動驅動機構33和XY軸運動驅動機構34分別驅動模板平臺3旋轉和沿著XY軸運動來實現(xiàn)基板和模板的靶標的對準，在實現(xiàn)對準調節(jié)后，基片與模板緊貼，這時夾緊機構51下落，將基板與模板夾緊，然后通過平臺驅動裝置6驅動將基板平臺5送入壓印腔機構2進行壓印作業(yè)。
[0029]以上所述的僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型創(chuàng)造構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，包括機臺，其特征在于:還包括: 壓印腔機構，其設置于所述機臺上； 模板平臺，其連接一球軸和一 Z軸運動驅動裝置，所述模板平臺的上方還設置有一視覺觀察裝置； 基板平臺，其設置于所述機臺上、所述模板平臺的下方，所述基板平臺通過一平臺驅動裝置驅動，在所述壓印腔機構和所述模板平臺之間來回移動。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于:所述模板平臺還連接一旋轉運動驅動裝置和一 XY軸運動驅動裝置。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于:所述平臺驅動裝置包括設置在所述基板平臺下的傳動平臺和連接所述傳動平臺的皮帶輪機構。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于:所述的傳動平臺還設置于一導軌上，所述導軌設置于所述機臺上，其包括垂直相交的第一導軌單元和第二導軌單元，所述模板平臺設置于所述第一導軌單元處，所述壓印腔機構設置于所述第二導軌單元處。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于:所述基板平臺上還設置有夾緊裝置。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于:所述視覺觀察裝置還連接一第二 Z軸運動驅動裝置和第二 XY軸運動驅動裝置。
【文檔編號】G03F9/00GK203658727SQ201320824950
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年12月16日 優(yōu)先權日:2013年12月16日
【發(fā)明者】史曉華 申請人:史曉華