感光性負型樹脂組合物、微細結(jié)構(gòu)體、微細結(jié)構(gòu)體的制造方法和液體排出頭的制作方法
【專利摘要】一種感光性負型樹脂組合物，其含有在分子中具有至少三個氧化環(huán)己烯骨架的樹脂(a)、由說明書中定義的式b1表示的陽離子部分結(jié)構(gòu)和由說明書中定義的式b2表示的陰離子部分結(jié)構(gòu)組成的鎓鹽(b)、硅烷化合物(c)和有機溶劑(d)。使用所述樹脂組合物的微細結(jié)構(gòu)體，所述微細結(jié)構(gòu)體的制造方法和液體排出頭。
【專利說明】感光性負型樹脂組合物、微細結(jié)構(gòu)體、微細結(jié)構(gòu)體的制造方法和液體排出頭

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及感光性負型樹脂組合物、使用所述感光性負型樹脂組合物的微細結(jié)構(gòu)體、所述微細結(jié)構(gòu)體的制造方法和液體排出頭。

【背景技術(shù)】
[0002]作為微細加工技術(shù)，此類使負型感光性樹脂進行曝光和顯影以形成具有微細圖案的結(jié)構(gòu)體(微細結(jié)構(gòu)體)的光刻技術(shù)是已知的。該技術(shù)在各式各樣的應(yīng)用中用于例如半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)、半導(dǎo)體曝光用掩模的生產(chǎn)和各種MEMS(微電子機械系統(tǒng))的生產(chǎn)。作為用于MEMS生產(chǎn)的應(yīng)用實例，其已經(jīng)日益實際應(yīng)用在各種小型傳感器、微探頭、薄膜磁頭、噴墨記錄頭等。使用i_線作為光源的步進器廣泛用作進行曝光用裝置。在該【技術(shù)領(lǐng)域】，近年來已經(jīng)要求制造具有更復(fù)雜和更精細的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)體，因而已要求開發(fā)能夠通過光掩模形成對來自光源的光顯示高精度的微細結(jié)構(gòu)體的負型感光性樹脂。
[0003]專利文獻I公開了一種含有多官能環(huán)氧樹脂和陽離子聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物作為負型感光性樹脂。
[0004]專利文獻2公開了用于MEMS制造的噴墨頭，其包括通過使通過加熱發(fā)熱電阻形成的氣泡與空氣連通來排出墨滴的噴嘴。該專利還公開了含有在常溫下為固體的環(huán)氧樹脂作為主要成分的樹脂組合物作為用于形成該噴墨頭的墨流路壁的覆蓋樹脂。
[0005]引文列表
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:日本專利申請?zhí)亻_號2008-256980
[0008]專利文獻2:日本專利號3143307


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明提供一種感光性負型樹脂組合物，其包含在分子中具有至少三個氧化環(huán)己烯骨架的樹脂(a)、由下式bl所示的陽離子部分結(jié)構(gòu)和下式b2所示的陰離子部分結(jié)構(gòu)組成的鎗鹽(b)、硅烷化合物(C)和有機溶劑(d)。
[0010]

【權(quán)利要求】
1.一種感光性負型樹脂組合物，其包含在分子中具有至少三個氧化環(huán)己烯骨架的樹脂(a)、由下式bl所示的陽離子部分結(jié)構(gòu)和下式b2所示的陰離子部分結(jié)構(gòu)組成的鎗鹽(b)、硅烷化合物(C)和有機溶劑(d):
其中R1至R3彼此獨立地為可具有取代基且具有I至30個碳原子的有機基團，條件是在構(gòu)成R1至R3的所有原子中包括兩個以上的氧原子，R1和R2、R2和R3以及R1和R3可彼此直接鍵合或介由連接基團鍵合以形成環(huán)狀結(jié)構(gòu)， R4為可被氟原子取代且具有I至30個碳原子的烴基，X為碳原子、氮原子、磷原子或硼原子， Yi 為-S( = O) 2-> 氣化亞烷基、-5^1-O-CF2' -*fC( = O) -CF2~> -^1-O-C (=O) -CF2-、-*rc ( = O) -O-CF2-或單鍵， 其中t表示鍵合至R4的末端， 當(dāng)X為碳原子時，η為O、I或2，條件是m和η之和為3， 當(dāng)X為氮原子時，η為O或I,條件是m和η之和為2, 當(dāng)X為磷原子時，η為O以上且6以下的整數(shù)，條件是m和η之和為6， 當(dāng)X為硼原子時，η為O以上且3以下的整數(shù)，條件是m和η之和為4，和當(dāng)m為2以上的整數(shù)時，鍵合至X的兩個以上的R4-Y1-基團中的一AR4-Y1-基團中的任何碳原子可介由單鍵鍵合至其它R4-Y1-基團中的任何碳原子，從而形成環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性負型樹脂組合物，其中所述樹脂(a)由下式al表示:
其中，R為可含有脂環(huán)式環(huán)氧基和酯基即-C ( = 0)-0-之一或二者且具有I至30碳原子的烴基， A1至Ah彼此獨立地為由具有I至9個碳原子的直鏈或支鏈烷基和選自由-O-和-C (=O)-組成的組的基團組成的基團， V1至Vh彼此獨立地為由下式a2表示的基團，L1至Lh彼此獨立地為O以上的數(shù)，和 A\ Lh和Vh中的h為2以上的整數(shù)，條件是當(dāng)h為2時，R含有至少一個氧化環(huán)己烯骨架，
其中，R21至R29彼此獨立地為氫原子或具有I至9個碳原子的烷基。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性負型樹脂組合物，其進一步包含含有不同于所述氧化環(huán)己烯骨架的脂環(huán)式基團且軟化點為70°C以上的環(huán)氧樹脂(e)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性負型樹脂組合物，其進一步包含由下式fI所示的陽離子部分結(jié)構(gòu)和下式f2所示的陰離子部分結(jié)構(gòu)組成第二鎗鹽(f):
其中R5至R7彼此獨立地為可具有取代基且具有I至15個碳原子的有機基團，條件是R5和R6、R6和R7以及R5和R7可彼此直接鍵合或介由連接基團鍵合以形成環(huán)狀結(jié)構(gòu)， R8為可含有雜原子且具有I至20個碳原子的烴基，Y2為亞甲基、-CH2-C (=O) _*2、-CH2-C ( = O)-0-*2、-CH2-0-CF2-*2、-CH2-C ( = O) _CF2_*2、-CH2-O-C (=O) -CF2-V -CH2-C ( = O) -O-CF2-^2或單鍵，條件是*2表示鍵合至R8的末端，和 Z為碳原子或硫原子，條件是當(dāng)Z為碳原子時，k為I,或當(dāng)Z為硫原子時，k為2。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光性負型樹脂組合物，其中式f2中的Z為硫原子。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性負型樹脂組合物，其進一步包含由下式gl所示的陽離子部分結(jié)構(gòu)和下式g2所示的陰離子部分結(jié)構(gòu)組成的第三鎗鹽(g):
其中，R9至R11彼此獨立地為可具有取代基且具有I至30個碳原子的有機基團，條件是R9和R1(l、R10和R11以及R9和R11可彼此直接鍵合或介由連接基團鍵合以形成環(huán)狀結(jié)構(gòu)，和i為O以上且6以下的整數(shù)，條件是i與j之和為6。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性負型樹脂組合物，其中式b2中的X為磷原子。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性負型樹脂組合物，其進一步包含含有芳基的環(huán)氧樹脂(h)。
9.一種微細結(jié)構(gòu)體，其形成于基板上，所述微細結(jié)構(gòu)體為根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性負型樹脂組合物的固化物。
10.一種液體排出頭，其具有由根據(jù)權(quán)利要求9所述的微細結(jié)構(gòu)體形成的流路形成層。
11.一種微細結(jié)構(gòu)體的制造方法，其包括以下步驟:(1)在基板上配置根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性負型樹脂組合物的步驟，和(2)通過使用i線光的 光刻法使所述感光性負型樹脂組合物進行圖案處理的步驟。
【文檔編號】G03F7/004GK104081279SQ201380005882
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2013年1月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月31日
【發(fā)明者】高橋表, 長岡恭介, 下村雅子 申請人:佳能株式會社