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IR截止濾光片以及具備該IR截止濾光片的拍攝裝置的制作方法

文檔序號:12294748閱讀:451來源:國知局
IR截止濾光片以及具備該IR截止濾光片的拍攝裝置的制作方法
本發(fā)明涉及使可見光透過、使近紅外光反射的IR(infrared:紅外線)截止濾光片,和具備該IR截止濾光片的拍攝裝置。

背景技術:
在移動電話的照相機中,內置有CCD(ChargeCoupledDevice:電荷耦合器件)等固體拍攝元件。CCD是將影像光轉換成電信號的硅半導體器件,甚至在近紅外線(IR)區(qū)域也具有靈敏度。因此,若包含可見光以及近紅外光的光入射至CCD,則該近紅外光也作為影像獲取,從而產生在所得到的影像中產生偽色等故障。為了消除這樣的故障,通常在透鏡組與CCD之間插入IR截止濾光片。IR截止濾光片具有使可見光透過、使近紅外光反射的分光特性(透過率特性)。當前通常所使用的IR截止濾光片具有通過真空蒸鍍法、濺射法等,交替地層疊由TiO2、Nb2O5、Ta2O5等高折射率材料構成的層和由SiO2、MgF2等低折射率材料構成的層而成的光學薄膜(多層膜)。例如在專利文獻1中公開有利用了這樣的光學薄膜的IR截止濾光片。專利文獻1的IR截止濾光片是兼具IR截止特性和可見度修正特性的部件,是表面涂層型且具有與可見度修正玻璃等效的分光特性的薄型的IR截止濾光片。然而,由于具有光學薄膜的IR截止濾光片在使可見光透過,使近紅外光反射時,利用光的干涉,所以對于光的入射角的變化,分光特性變化。其結果,在光的入射角不同的畫面中央部和畫面周邊部IR截止特性不同,經由IR截止濾光片通過CCD獲取的拍攝圖像的畫面中心部變紅。這一點,例如在專利文獻2的IR截止濾光片中,嘗試將高折射率層和低折射率層的折射率差設為0.4以下,從而減少相對于入射角的變化的分光特性的變化。另外,在專利文獻3的IR截止濾光片中,利用具有玻璃基板、電介質多層膜、以及包含近紅外線吸收劑的樹脂層的結構,實現(xiàn)在560nm~800nm的波長范圍,0°入射和30°入射下的、透過率為50%的波長(截止波長)的差為15nm以內的特性(入射角依存性)。另一方面,在專利文獻4中,作為反射光的重影對策,公開了部分地改變具有紅外線吸收功能的樹脂層的厚度的方法。更具體而言,在形成有多個光電轉換元件的半導體基板上,在具有多個微透鏡的固體拍攝元件中,在微透鏡上選擇性地較薄地形成樹脂層,在相鄰的微透鏡間選擇性地較厚地形成樹脂層,從而有效地截止入射至微透鏡間的光的散射光、入射至聚光效率不良的微透鏡的下端部的斜光,另外,有效地截止來自微透鏡間的反射光。專利文獻1:日本特開2006-195373號公報(參照權利要求1、第〔0011〕、〔0024〕段等)專利文獻2:日本特開2008-158036號公報(參照權利要求2、第〔0009〕、〔0016〕段等)專利文獻3:日本特開2012-103340號公報(參照權利要求1、2、7、第〔0024〕段等)專利文獻4:日本特開2003-101001號公報(參照權利要求1、第〔0020〕段等)近年來,移動電話或者智能手機等越發(fā)追求輕薄化,與之相匹配拍攝透鏡也要求低背化,對于與這樣的拍攝透鏡一起使用的IR截止濾光片,也要求分光特性的入射角依存性更小的規(guī)格。但是,上述的專利文獻2的IR截止濾光片并不能滿足近年來的低入射角依存的規(guī)格的要求。即,在專利文獻2中,為了相對于入射角的變化的分光特性的變化變小在膜結構上下工夫,但作為入射角的變化考慮20°,而作為用于應對拍攝透鏡的低背化的條件則不充分。為了應對拍攝透鏡的低背化,需要抑制相對于更大的入射角的變化(例如30°)的分光特性的變化。另外,對于專利文獻3的IR截止濾光片,也由于相對于入射角30°的變化的截止波長的偏差的允許范圍擴大到15nm,所以很難說實現(xiàn)低入射角依存。此外,如上所述,專利文獻1的IR截止濾光片以通過薄型的結構來實現(xiàn)可見度修正功能為目的,并不具有減小分光特性的入射角依存性的技術思想以及基于該技術思想的膜結構。另外,在IR截止濾光片中,即使在基板的一面(以下,有稱為A面的情況)形成多層膜能夠實現(xiàn)低入射角依存性,但在這樣的多層膜中,為了抑制600nm~700nm的波長范圍內的透過率的急劇的變化,也很難充分地確保波長700nm附近的近紅外光的反射特性。因此,考慮在基板的另一面(以下,有稱為B面的情況)形成其它的多層膜,使該多層膜具有近紅外光的反射特性的方法。但是,在該情況下,若在B面的多層膜中,600nm~700nm的波長范圍內的截止波長(透過率為50%的波長)過短,則通過A面的多層膜較小地抑制的角度依存性被B面的多層膜的特性破壞,所以考慮到這一點需要適當?shù)卦O定B面的多層膜的分光特性。另外,以往存在多種如相對于入射角30°的變化的截止波長的差是15nm以上的具有入射角依存性較高的電介質多層膜、和紅外線吸收層(樹脂層)的IR截止濾光片。在這樣的IR截止濾光片中,考慮通過增加紅外線吸收劑的吸收量(添加量),來提高截止波長附近的反射特性而能夠降低入射角依存性。在這里,圖122示意性地示有紅外線吸收劑的特性。從該圖可知,紅外線吸收劑不光吸收比截止波長(例如650nm)長的波長側的近紅外光,還吸收比截止波長短的波長側的可見光,并且,若紅外線吸收劑的添加量增大,則可見光的透過率減少。因此,為了將可見光的透過率確保在某一程度并且實現(xiàn)低入射角依存,需要適當?shù)匾?guī)定紅外線吸收劑的添加量(紅外線的吸收量)。另外,在基板上具有多層膜和紅外線吸收層(樹脂層)的IR截止濾光片的上述基板通常是平行平板。因此,若作為多層膜中的反射光的重影對策,采用改變樹脂層的厚度的專利文獻4的方法,則與基板平行的面內的吸收特性不同。因此,作為重影對策,需要不改變樹脂層的厚度就能夠減少重影。

技術實現(xiàn)要素:
本發(fā)明是為了解決上述的問題點而完成的,其第一目的在于提供能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的、低入射角依存的IR截止濾光片、以及具備該IR截止濾光片的拍攝裝置。本發(fā)明的第二目的在于提供通過形成于基板的一面的多層膜來實現(xiàn)低入射角依存性,并且通過形成于基板的另一面的其它的多層膜,不會較大地損害上述的低入射角依存性,并能夠充分地確保近紅外光的反射特性的IR截止濾光片、以及具備該IR截止濾光片的拍攝裝置。本發(fā)明的第三目的在于提供通過在基板上形成有多層膜以及具有紅外線吸收功能的樹脂層的結構,能夠實現(xiàn)能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的低入射角依存,并且抑制樹脂層的對可見光的吸收,且不用改變樹脂層的厚度就能夠減少多層膜中的反射光的重影的IR截止濾光片、以及具備該IR截止濾光片的拍攝裝置。本發(fā)明的一側面的IR截止濾光片是使可見光透過,使近紅外光反射的IR截止濾光片,具有透明的基板、和形成在上述基板上的多層膜,上述多層膜包含交替地層疊的高折射率層和低折射率層,在上述多層膜中,450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的、透過率為50%的波長的差是8nm以內,0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差是20nm以內,其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm)。上述的IR截止濾光片也可以具有在波長600nm~700nm處具有吸收峰值的吸收膜(樹脂層)。本發(fā)明的其他側面的IR截止濾光片是使可見光透過、使近紅外光反射的IR截止濾光片,具有透明的基板、和形成在上述基板上的多層膜,上述多層膜包含交替地層疊的高折射率層和低折射率層,在上述多層膜中,450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm),在600nm~700nm的波長范圍內,將在0°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(0°),將在30°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(30°)時,將n設為整數(shù),滿足[公式1]本發(fā)明的另一其他側面的IR截止濾光片是使可見光透過、使近紅外光反射的IR截止濾光片,具有透明的基板、形成于上述基板的一面的第一多層膜、以及形成于上述基板的另一面的第二多層膜,在上述基板的兩個面各自形成有上述第一多層膜以及上述第二多層膜的狀態(tài)下,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,在上述第一多層膜中,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm)在600nm~700nm的波長范圍內,將在0°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(0°),將在30°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(30°)時,將n設為整數(shù),滿足[公式1]在上述第二多層膜中,在0°入射時波長710nm的透過率是5%以下,滿足TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)≤8nm;其中,TA50%λ(30°):在第一多層膜中,在30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)TB50%λ(30°):在第二多層膜中,在30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)。本發(fā)明的另一其他側面的拍攝裝置具備:IR截止濾光片,其是上述的任意一種IR截止濾光片;拍攝透鏡,其配置在上述IR截止濾光片的光入射側;以及拍攝元件,其接受經由上述拍攝透鏡以及上述IR截止濾光片入射的光。根據上述的結構,能夠抑制相對于入射角較大的變化(例如30°的變化)的分光特性的變化,由此,能夠實現(xiàn)也能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的低入射角依存的IR截止濾光片。另外,通過形成于基板的一面的第一多層膜來實現(xiàn)低入射角依存性,并且通過形成于基板的另一面的第二多層膜,不會較大地損害上述的低入射角依存性,并能夠充分地確保近紅外光的反射特性。附圖說明圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式的IR截止濾光片的簡要的結果的剖視圖。圖2是表示在上述IR截止濾光片的多層膜中,ΔT、Δn×nH以及性能合格與否的關系的說明圖。圖3是表示在上述多層膜中,截止調整對的個數(shù)、設計方案的數(shù)量以及性能合格與否的關系的說明圖。圖4是示意性地表示上述IR截止濾光片的其他結構的剖視圖。圖5是表示應用上述IR截止濾光片的拍攝裝置的簡要結構的剖視圖。圖6是集中表示上述第一實施方式的實施例以及比較例的IR截止濾光片的多層膜的特性的說明圖。圖7是表示實施例1-1的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖8是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖9是表示對上述IR截止濾光片的基板在與上述多層膜相反的一側形成的其它的多層膜的膜結構的說明圖。圖10是表示上述其它的多層膜的分光特性的圖。圖11是表示雙面涂層狀態(tài)下的上述IR截止濾光片的分光特性的圖。圖12是表示雙面涂層狀態(tài)下的上述IR截止濾光片的特性的說明圖。圖13是表示實施例1-2的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖14是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖15是表示實施例1-3的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖16是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖17是表示對上述IR截止濾光片的基板在與上述多層膜相反的一側形成的其它的多層膜的膜結構的說明圖。圖18是表示上述其它的多層膜的分光特性的圖。圖19是表示雙面涂層狀態(tài)下的上述IR截止濾光片的分光特性的圖。圖20是表示雙面涂層狀態(tài)下的上述IR截止濾光片的特性的說明圖。圖21是表示實施例1-4的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖22是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖23是表示實施例1-5的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖24是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖25是表示實施例1-6的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖26是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖27是表示實施例1-7的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖28是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖29是表示實施例1-8的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖30是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖31是表示實施例1-9的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖32是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖33是表示比較例1-1的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖34是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖35是表示比較例1-2的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖36是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖37是表示比較例1-3的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖38是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖39是表示比較例1-4的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖40是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖41是表示比較例1-5的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖42是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖43是表示比較例1-6的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖44是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖45是表示比較例1-7的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖46是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖47是表示比較例1-8的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖48是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖49是表示比較例1-9的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖50是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖51是表示比較例1-10的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖52是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖53是分別表示0°入射時和30°入射時的本發(fā)明的第二實施方式的IR截止濾光片的多層膜的600nm~700nm的波長范圍的分光特性的圖。圖54是表示在上述IR截止濾光片的多層膜中,ΔT、Δn×nH以及性能合格與否的關系的說明圖。圖55是表示在上述多層膜中,截止調整對的個數(shù)、設計方案的數(shù)量以及性能合格與否的關系的說明圖。圖56是集中表示上述第二實施方式的實施例以及比較例的IR截止濾光片的多層膜的特性的說明圖。圖57是表示實施例2-1的雙面涂層狀態(tài)下的IR截止濾光片的特性的說明圖。圖58是表示實施例2-2的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖59是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖60是表示實施例2-3的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖61是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖62是表示雙面涂層狀態(tài)下的上述IR截止濾光片的分光特性的圖。圖63是表示雙面涂層狀態(tài)下的上述IR截止濾光片的特性的說明圖。圖64是表示實施例2-5的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖65是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖66是表示實施例2-6的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖67是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖68是表示實施例2-10的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖69是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖70是表示比較例2-11的IR截止濾光片的多層膜的膜結構的說明圖。圖71是表示上述多層膜的分光特性的圖。圖72是示意性地表示本發(fā)明的第三實施方式的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约癇面?zhèn)鹊亩鄬幽さ?0°入射時的分光特性的圖。圖73是與A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ奶匦砸黄鸨硎旧鲜龅谌龑嵤┓绞降膶嵤├约氨容^例的IR截止濾光片的特性的說明圖。圖74是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ奶匦砸约霸u價結果的說明圖。圖75是表示實施例3-1的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖76是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖77是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖78是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖79是表示實施例3-2的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖80是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖81是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖82是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖83是表示實施例3-3的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖84是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖85是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖86是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖87是表示實施例3-4的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖88是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖89是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖90是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖91是表示實施例3-5的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖92是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖93是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖94是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖95是表示實施例3-6的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖96是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖97是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖98是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖99是表示實施例3-7的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖100是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖101是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖102是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖103是表示比較例3-1的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖104是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖105是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖106是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖107是表示比較例3-2的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖108是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖109是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖110是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖111是表示比較例3-3的IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖112是表示上述IR截止濾光片的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構的說明圖。圖113是表示上述A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约吧鲜鯞面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母鞣止馓匦缘膱D。圖114是表示上述IR截止濾光片整體的分光特性的圖。圖115是示意性地表示本發(fā)明的第四實施方式的IR截止濾光片的簡要的結構的剖視圖。圖116是分別表示0°入射時和30°入射時的600nm~750nm的波長范圍內的上述IR截止濾光片的多層膜的分光特性的一個例子的說明圖。圖117是表示具有吸收膜的IR截止濾光片中的重影以及平均透過率的評價的結果的說明圖。圖118是表示上述IR截止濾光片的分光特性的一個例子的說明圖。圖119是表示上述IR截止濾光片的分光特性的其他的例子的說明圖。圖120是表示上述IR截止濾光片的分光特性的另一其他的例子的說明圖。圖121是表示上述IR截止濾光片的分光特性的另一其他的例子的說明圖。圖122是示意性地表示紅外線吸收劑的特性的說明圖。具體實施方式<第一實施方式>若基于附圖對本發(fā)明的第一實施方式進行說明,則如以下所示。此外,在本說明書中,在將數(shù)值范圍記作A~B的情況下,該數(shù)值范圍包含下限A以及上限B的值?!睮R截止濾光片的結構以及特性〕圖1是表示本實施方式的IR截止濾光片1的簡要的結構的剖視圖。IR截止濾光片1是使可見光透過、使近紅外光反射的IR截止濾光片,具有基板2、以及形成在基板2上的多層膜3(第一多層膜)?;?例如由透明的玻璃基板(例如BK7)構成,但也可以由透明的樹脂基板構成。多層膜3是交替地層疊相對的折射率較高的高折射率層4、和相對的折射率較低的低折射率層5而成的光學薄膜。此外,在圖1中,將多層膜3的最靠近基板2側的層作為高折射率層4,但也可以將該層作為低折射率層5。高折射率層4具有形成多層膜3的多種材料的折射率的平均值以上的折射率,低折射率層5具有小于上述平均值的折射率。此外,在并列地(連續(xù)地)層疊有折射率不同的多個低折射率材料的情況下,在光學上等效于存在一個低折射率層。在并列地(連續(xù)地)層疊有折射率不同的多個高折射率材料的情況下,也能夠以與上述相同的方式考慮。在這里,多層膜3具有以下的特性。(1)450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上。(2)在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內。以下,也將上述波長稱為截止波長。(3)滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm)。即,|ΔT|表示在0°入射時,在透過率從70%降低到30%波長區(qū)域,將表示透過率的變化的圖考慮為直線的情況下的該直線的斜率(透過率的變化與波長的變化的比例)。以下,也將|ΔT|稱為透過率變化直線的斜率。在600nm~700nm的波長范圍內,滿足以下的條件。(4)0°入射和30°入射時的、透過率為50%的波長的差是8nm以內。以下,也將上述波長的差稱為波長偏差(T=50%)。(5)0°入射和30°入射時的、透過率為25%的波長的差是20nm以內。以下,也將上述波長的差稱為波長偏差(T=25%)。(6)0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差是20nm以內。以下,將上述波長的差稱為波長偏差(T=75%)。根據上述(1)(2),作為多層膜3的分光特性,能夠實現(xiàn)在比截止波長短的波長側透過率高,在長波長側透過率低的分光特性。由此,能夠實現(xiàn)主要使比截止波長短的波長側的光透過,主要使比截止波長長的波長側的光(包含波長700nm以上的近紅外光)反射的IR截止濾光片1。上述(3)所示的條件式規(guī)定了0°入射時的透過率變化直線的斜率的適當?shù)姆秶?。若|ΔT|是條件式的下限以下,則透過率變化直線的斜率變得過小(透過率變化直線過于平),所以以截止波長為邊界的透過/反射的分隔不清晰。因此,近紅外光的截止特性惡化,作為IR截止濾光片的性能不充分。相反,若|ΔT|是條件式的上限以上,則透過率變化直線的斜率增大,作為IR截止濾光片的特性變得尖銳,但入射角依存性升高。即,若入射角例如從0°變化到30°,則透過率變化直線向短波長側偏移,但此時的偏移量增大。另外,上述(4)~(6)表示在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的透過率變化直線的偏差(偏移量)的允許范圍。通過滿足上述(4),能夠將相對于入射角30°的變化的截止波長的偏差抑制在允許范圍內,并且,通過滿足上述(5)以及(6),能夠將相對于入射角30°的變化的透過率75%的波長的偏差以及透過率25%的波長的偏差分別抑制在允許范圍內。因此,通過滿足上述(3)~(6),能夠在滿足作為IR截止濾光片的性能的范圍內(進行透過/反射的分隔的范圍內),使透過率變化直線的斜率平緩,并且,將相對于入射角30°的變化的透過率變化直線的偏差抑制在允許范圍內,并減少入射角依存性。由此,能夠實現(xiàn)能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的、低入射角依存的IR截止濾光片1。因此,即使在將上述IR截止濾光片1與拍攝透鏡一起設置于薄型的移動終端的照相機的情況下,也能夠抑制拍攝圖像的畫面中心部變紅而在面內的顏色產生偏差。從進一步減小相對于入射角的變化的透過率變化直線的偏差的允許范圍,并進一步減少入射角依存性的觀點來看,優(yōu)選在多層膜3中,0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差是15nm以內,進一步優(yōu)選上述波長的差是11nm以內。另外,在良好地確保近紅外光的截止特性的基礎上,進一步較小地抑制透過率變化直線的斜率,從進一步減少入射角依存性的觀點考慮,優(yōu)選多層膜3滿足0.5%/nm<|ΔT|<2.5%/nm,進一步優(yōu)選滿足0.5%/nm<|ΔT|<1.5%/nm?!碴P于多層膜的光學設計〕接下來,對上述的多層膜3的光學設計進行說明。通常,薄膜設計能夠通過自動設計來進行,在進行多層膜3的光學設計上,只要將上述的(1)~(6)的特性作為目標條件進行自動設計即可。根據利用這樣的自動設計的光學設計可知,多層膜3至少具有4對相鄰的高折射率層4的光學膜厚H與低折射率層5的光學膜厚L的比(H/L)是3以上的截止調整對,只要滿足Δn×nH≥1.5,就能夠在滿足上述(3)的條件式的范圍內,容易地實現(xiàn)上述的(1)、(2)、(4)~(6)的特性。在這里,Δn是在將構成多層膜3的層的折射率中的最大的折射率設為nH,將最小的折射率設為nL時,nH-nL的值。此外,上述的截止調整對定義為相鄰的高折射率層4與低折射率層5中,接近基板2的高折射率層4與其下一個(層疊在其上的)低折射率層5的對。以下,對該條件的詳細內容進行說明。圖2示有ΔT、Δn×nH以及性能合格與否的關系。此外,對于性能合格與否,用“●”(OK)表示同時滿足上述的(1)~(6)的全部,用“×”(NG)表示不同時滿足全部。另外,有關后述的實施例的結果用以實線的圓圈包圍“●”來表示,有關后述的比較例的結果用以虛線的圓圈包圍“×”來表示。此外,在圖2中,例如“實1”、“實2”、…的記載與后述的實施例1-1、實施例1-2、…對應,“比1”、“比2”、…的記載與后述的比較例1-1、比較例1-2、…對應。這一點在圖3中也相同。這里,為了便于說明,對圖2中的各區(qū)域1~5進行如下定義。區(qū)域1:|ΔT|≥7%/nm,并且,Δn×nH≥1.5區(qū)域2:|ΔT|≥7%/nm,并且,Δn×nH<1.5區(qū)域3:0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,并且,Δn×nH<1.5區(qū)域4:|ΔT|≤0.5%/nm區(qū)域5:0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,并且,Δn×nH≥1.5在區(qū)域5中,|ΔT|<7%/nm,能夠充分地減小透過率變化直線的斜率使之平躺,所以能夠減少入射角依存性。另外,由于折射率差Δn以及高折射率材料的折射率nH充分大,所以即使在使透過率變化直線平躺的情況下,也能夠保持透過區(qū)域中的透過/反射區(qū)域中的反射的性能。其結果,除了后述的截止調整對的數(shù)量少到3個以下的情況(包含比較例1-3、1-9)以外,都能夠同時滿足上述的(1)~(6)。在區(qū)域1以及2中,|ΔT|≥7%/nm,不能夠使透過率變化直線充分平躺,所以不能夠減少入射角依存性。另外,在區(qū)域3中,由于折射率差Δn以及高折射率材料的折射率nH并不是充分大,所以很難使透過率變化直線平躺,并且保持透過區(qū)域中的透過/反射區(qū)域中的反射的性能,另外,相對于入射角的變化的截止波長的偏差容易增大(減少入射角依存性的效果較小)。在區(qū)域4中,由于透過率變化直線過于平躺(斜率過小),所以透過區(qū)域中的透過/反射區(qū)域中的反射的分隔不清晰,不能充分地發(fā)揮作為IR截止濾光片的功能。另外,圖3示有在滿足區(qū)域5的條件(0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,并且,Δn×nH≥1.5)的情況下,H/L是3以上的截止調整對的個數(shù)、IR截止濾光片的設計方案的數(shù)量(頻率)以及性能合格與否的關系。此外,對于性能合格與否,用涂白的條形圖(OK)表示同時滿足上述的(1)~(6)的全部,用標注剖面線的條形圖(NG)表示不會同時滿足全部。此外,后述的實施例以及比較例選擇地記載有這些設計方案中的代表性的方案。圖3的區(qū)域7是表示至少具有4對H/L是3以上的截止調整對的膜結構的區(qū)域。在該區(qū)域7中,在使透過率變化直線平躺的基礎上,能夠較小地抑制相對于入射角的變化的透過率變化直線的偏移量,并能夠同時滿足上述(1)~(6)的全部。另一方面,區(qū)域6是表示H/L是3以上的截止調整對是3對以下的膜結構的區(qū)域。在該區(qū)域6中,即使?jié)M足區(qū)域5的條件,也未必可以說能夠同時滿足上述(1)~(6)的全部并減少入射角依存性。例如,若如后述的比較例1-3以及比較例1-9那樣上述截止調整對是0,則0°入射/30°入射中的波長偏差(T=50%)、波長偏差(T=25%)、波長偏差(T=75%)都比20nm大,不能夠滿足上述(4)~(6)。另外,在上述截止調整對是3對的情況下,通過膜結構,有能夠同時滿足上述(1)~(6)的全部的情況,和不能夠同時滿足的情況。通過以上,可以說只要多層膜3是至少具有4對H/L是3以上的截止調整對,并且,滿足Δn×nH≥1.5的膜結構,就作為滿足上述(3)的條件式的條件,容易并且可靠地滿足上述(1)、(2)、(4)~(6)。優(yōu)選H/L是3個以上的截止調整對的數(shù)量是6個(6對)以上,更為優(yōu)選是13個(13對)以上。像這樣在至少具有4對H/L是3以上的截止調整對的膜結構時,增加構成多層膜3的層的總數(shù),光學設計容易進行(容易獲得多個設計方案)。若考慮這些,則優(yōu)選多層膜3的總膜厚是3000nm以上,更為優(yōu)選是4000nm以上?!睮R截止濾光片的其他結構〕圖4是示意性地表示本實施方式的IR截止濾光片1的其他結構的剖視圖。IR截止濾光片1除了圖1所示的結構以外,也可以還具有多層膜6(第二多層膜)。多層膜6是交替地層疊相對地折射率較高的高折射率層7、和相對地折射率較低的低折射率層8而成的光學薄膜,形成在基板2的與形成有多層膜3的面相反的一側的面。此外,在圖4中,將多層膜6的最靠近基板2側的層作為高折射率層7,但也可以將該層作為低折射率層8。多層膜6的膜結構(材料、厚度、層數(shù)等)可以與多層膜3的膜結構相同,也可以不同。此外,對于多層膜6,在實現(xiàn)與多層膜3相同的低入射角依存的情況下,優(yōu)選多層膜6至少具有4對H/L是3以上的截止調整對。根據多層膜3的膜結構來設計多層膜6,但優(yōu)選截止700~1100nm的IR區(qū)域的光,波長450nm~600nm的平均透過率是90%以上。在該情況下,在基板2的雙面被涂覆的狀態(tài)下(在基板2的一面形成有多層膜3,在另一面形成有多層膜6的狀態(tài)),能夠實現(xiàn)波長450nm~600nm的平均透過率是80%以上,并且,波長720nm~1100nm的平均透過率是5%以下。換句話說,多層膜6在雙面涂層的狀態(tài)下,不會使450nm~600nm的波長范圍的透過特性顯著降低,并能夠提高720nm~1100nm的近紅外區(qū)域的反射特性。此外,基板2是透明的,對于IR截止濾光片1整體的分光特性的基板2的透過率的影響幾乎可以忽略。由此,即使在只有在多層膜3中不能夠充分地降低近紅外區(qū)域的透過率的情況下,也形成多層膜6,從而作為IR截止濾光片1,能夠可靠地截止近紅外區(qū)域的光。另外,對基板2在與多層膜3的形成側相反的一側的面設置多層膜6,從而也能夠通過多層膜6消除由多層膜3所具有的應力引起的形變。另外,優(yōu)選多層膜6具有如下的分光特性:在基板2的兩面被涂覆的狀態(tài)下,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的、透過率為50%的波長的差是8nm以內,0°入射和30°入射時的、透過率為25%的波長的差是20nm以內,0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差為20nm以內。換言之,優(yōu)選多層膜6具有不阻礙多層膜3的上述的(2)~(6)的特性的分光特性。在該情況下,通過設置多層膜6,能夠防止損害多層膜3的入射角依存性的減少的效果。另外,作為多層膜6單獨的特性,如上所述,優(yōu)選450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,在0°入射時透過率為50%的波長與多層膜3中的0°入射時透過率為50%的波長相比處于長波長側。即,優(yōu)選多層膜6的0°入射時的截止波長與多層膜3的0°入射時的截止波長相比處于長波長側。在該情況下,例如,若減小多層膜6的截止波長與多層膜3的截止波長的差,在波長700nm附近重疊0°入射時的多層膜6的分光特性和多層膜3的分光特性,則能夠進一步提高近紅外光的截止特性。相反,若增大多層膜6的截止波長與多層膜3的截止波長的差,則在入射角發(fā)生了變化時能夠避免多層膜6的截止波長跨過多層膜3的截止波長向短波長側偏移。因此,能夠防止多層膜3的入射角依存的減少的效果被多層膜6的分光特性損害。另外,優(yōu)選上述的多層膜6具有以下的特性。(a)在0°入射時波長710nm的透過率為5%以下。(b)滿足TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)≤8nm。其中,TA50%λ(30°):在多層膜3中,在30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)TB50%λ(30°):在多層膜6中,在30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)。此外,優(yōu)選多層膜6具有上述特性的點,在后述的第二實施方式中也相同。通過上述(a),能夠充分地確保比截止波長靠長波長側的光,特別是波長700nm~710nm附近的近紅外光的反射特性。由此,即使在僅在多層膜3中不能夠充分地降低近紅外區(qū)域的透過率的情況下,也形成多層膜6,從而作為IR截止濾光片1,能夠可靠地截止近紅外區(qū)域的光。另外,對基板2在與多層膜3的形成側的面(有稱為A面的情況)相反的一側的面(有稱為B面的情況)設置多層膜6,從而也能夠通過多層膜6消除由多層膜3所具有的應力引起的形變。上述(b)規(guī)定多層膜3的30°入射時的截止波長與多層膜6的30°入射時的截止波長的差(以下,也稱為30°截止波長差)的適當?shù)姆秶?。在這里,圖72分別示意性地示有600nm~700nm的波長范圍內的30°入射時的多層膜3以及多層膜6的分光特性。在作為IR截止濾光片1整體的截止波長處于650±25nm的范圍內,多層膜3單獨的截止波長也處于650±25nm的范圍內的結構中,在A面?zhèn)鹊亩鄬幽?如上所述具有低入射角依存性,B面?zhèn)鹊亩鄬幽?具有上述(a)的特性(波長710nm的透過率是5%以下)的情況下,B面?zhèn)鹊亩鄬幽?的600nm~700nm的波長范圍內的透過率變化直線的斜率比A面?zhèn)鹊亩鄬幽?的600nm~700nm的波長范圍內的透過率變化直線的斜率大。在這種情況下,若30°截止波長差超過8nm(若多層膜6的30°入射時的截止波長與多層膜3的30°入射時的截止波長相比在短波長側過短),則通過A面的多層膜3的分光特性較小地抑制的角度依存性,被B面的多層膜6的分光特性較大地破壞,低入射角依存性較大受損。因此,通過滿足上述(b)的條件式,不會較大地損害通過A面的多層膜3得到的低入射角依存性,能夠通過B面的多層膜6,充分地確保近紅外光的反射特性。為了可靠地抑制通過A面的多層膜3得到的低入射角依存性被損害,并且可靠地確保波長700nm附近的近紅外光的反射特性,優(yōu)選多層膜6的特性在于,在0°入射時波長700nm的透過率是2%以下,滿足TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)≤2nm?!碴P于拍攝裝置〕接下來,對上述的IR截止濾光片1的應用例進行說明。圖5是表示本實施方式的拍攝裝置10的簡要的結構的剖視圖。拍攝裝置10是在殼體10a內,具有上述的本實施方式的IR截止濾光片1、拍攝透鏡11、以及拍攝元件12的照相機單元。IR截止濾光片1經由支承部件13支承于殼體10a的側壁。這樣的拍攝裝置10也能夠應用于數(shù)碼相機,也能夠應用于內置于移動終端的拍攝部。拍攝透鏡11被配置在IR截止濾光片1的光入射側,將入射光會聚到拍攝元件12的受光面。拍攝元件12是接受經由拍攝透鏡11以及IR截止濾光片1入射的光(影像光)并轉換成電信號,并輸出到外部(例如顯示裝置)的光電轉換元件,由CCD、CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor:互補金屬氧化物半導體)構成。在本實施方式中,如上述那樣,能夠實現(xiàn)能夠充分應對拍攝透鏡11的低背化的、低入射角依存的IR截止濾光片1。因此,通過使用這樣的IR截止濾光片1,能夠實現(xiàn)薄型的結構、并且能夠減少拍攝圖像的面內的顏色偏差的拍攝裝置10。此外,后述的第二~第四實施方式的IR截止濾光片也能夠應用于圖5的拍攝裝置10?!矊嵤├骋韵?,對本實施方式的IR截止濾光片的具體的實施例進行說明。此外,為了與各實施例的比較,也一并對比較例進行說明。以下,通過光學設計,求得IR截止濾光片的第一多層膜(相當于圖1、圖4的多層膜3)的膜結構以及第二多層膜(相當于圖4的多層膜6)的膜結構,并求得此時的分光特性。圖6集中示有以下所示的實施例以及比較例的第一多層膜的特性。此外,在該圖中,T是指透過率(%),并與表示透過率變化直線的斜率的ΔT相區(qū)別。另外,Tave是指平均透過率(%),T=50%λ是指透過率為50%時的波長(截止波長,單位nm)。此外,平均透過率以及截止波長為0°入射時的值。以下,對實施例以及比較例的詳細內容進行說明。此外,對于雙面涂層的IR截止濾光片,僅表示代表性的實施例。(實施例1-1)圖7是表示實施例1-1的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖。此外,在圖7中,從接近基板的側開始按順序標注層編號,用QWOT(quarter-waveopticalthickness:1/4波長)表示各層的光學膜厚。在將物理膜厚設為d(μm),將折射率設為n,將設計波長設為λ(nm)時,QWOT=4·n·d/λ。在這里,λ=550nm。另外,圖8是表示上述第一多層膜的分光特性的圖,下圖放大地表示上圖的波長范圍的一部分。在圖8的圖中,0T、10T、20T、30T分別是指入射角為0°、10°、20°、30°時的透過率的變化。此外,如上述那樣的表示的方法,在其他的附圖中也相同。實施例1-1的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,例如能夠使用TiO2,作為折射率1.46的低折射率材料,例如能夠使用SiO2。第一多層膜是具有13對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-1.0%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部以下的5項(A)~(E),實現(xiàn)低入射角依存的性能。此外,在圖7中,以用粗框包圍的方式示有上述的截止調整對(在其他的附圖中也以相同的方式圖示)。(A)450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上(B)0°入射時的透過率為50%的波長在650±25nm的范圍內在600nm~700nm的波長范圍內,(C)0°入射和30°入射時的、透過率為50%的波長的差是8nm以內(D)0°入射和30°入射時的、透過率為25%的波長的差是20nm以內(E)0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差是20nm以內圖9是表示對IR截止濾光片的基板形成在與第一多層膜相反的一側的第二多層膜的膜結構的說明圖,圖10是表示上述第二多層膜的分光特性的圖。另外,圖11是表示雙面涂層狀態(tài)下的IR截止濾光片的分光特性的圖。此外,作為構成第二多層膜的高折射率層以及低折射率層的材料,能夠使用與第一多層膜相同的材料。第二多層膜是具有9對H/L是3以上的截止調整對的結構。在第二多層膜中,波長450nm~600nm的平均透過率是94.41%,波長720nm~1100nm的平均透過率是1.09%,0°入射時透過率為50%的截止波長是667nm。圖12是表示雙面涂層狀態(tài)下的IR截止濾光片的特性的圖。通過該圖,可以說第二多層膜在雙面涂層的狀態(tài)下,具有如下分光特性:(a)450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是80%以上(b)波長720nm~1100nm的平均透過率是5%以下(c)0°入射時透過率為50%的波長在650±25nm的范圍內(d)0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm在600nm~700nm的波長范圍內,(e)0°入射和30°入射時的、透過率為50%的波長的差是8nm以內(f)0°入射和30°入射時的、透過率為25%的波長的差是20nm以內(g)0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差是20nm以內。如圖8中所示那樣,在只有第一多層膜時只能截止近紅外光的一部分,但通過在基板的相反的面設置第二多層膜,如圖11中所示那樣,能夠在更寬的波長范圍截止近紅外光,并且作為整體實現(xiàn)低入射角依存的IR截止濾光片。特別是,由于第二多層膜的截止波長(667nm)與第一多層膜的截止波長(652nm)相比處于長波長側,將第二多層膜的分光特性在波長700nm附近與第一多層膜的分光特性重疊,能夠提高近紅外光的截止特性。另外,可知在實施例1-1中,在第二多層膜中,在0°入射時波長710nm的透過率是0.52%,滿足是5%以下。因此,可以說通過第二多層膜,能夠充分地確保近紅外光(波長700nm~710nm附近)的反射特性。另外,可知在實施例1-1中,TA50%λ(30°)=650nm,TB50%λ(30°)=659nm。在該情況下,TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)=-9nm,滿足是8nm以下。因此,可以說不會較大地損害通過第一多層膜得到的低入射角依存性,能夠通過第二多層膜6,充分地確保近紅外光的反射特性。(實施例1-2)圖13是表示實施例1-2的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖14是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例1-2的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.7)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,與實施例1-1相同例如能夠使用TiO2,作為折射率1.7的低折射率材料,例如能夠使用由默克公司制造的物質M2(Al2O3與La2O3的混合物)。第一多層膜是具有13對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.68,ΔT=-6.3%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的5項(A)~(E),能夠實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例1-3)圖15是表示實施例1-3的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖16是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例1-3的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.75)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,例如能夠使用TiO2,作為折射率1.75的低折射率材料,例如能夠使用上述的物質M2(默克公司制造)。此外,即使使用與實施例1-2相同的低折射率材料,通過使成膜條件(成膜溫度、真空度等)不同,也能夠形成與實施例1-2折射率不同的低折射率層。第一多層膜是具有16對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.56,ΔT=-2.3%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的5項(A)~(E),實現(xiàn)低入射角依存的性能。圖17是表示對實施例1-3的IR截止濾光片的基板形成在與第一多層膜相反的一側的第二多層膜的膜結構的說明圖,圖18是表示上述第二多層膜的分光特性的圖。另外,圖19是表示雙面涂層狀態(tài)下的IR截止濾光片的分光特性的圖。此外,構成第二多層膜的高折射率層以及低折射率層的材料,與實施例1-1的第一多層膜相同。第二多層膜是具有2對H/L是3以上的截止調整對的結構。在第二多層膜中,波長450nm~600nm的平均透過率是99.39%,波長720nm~1100nm的平均透過率是0.02%,0°入射時透過率為50%的截止波長是684nm。圖20是示有雙面涂層狀態(tài)下的IR截止濾光片的特性的圖。通過該圖,可以說第二多層膜在雙面涂層的狀態(tài)下,具有滿足全部上述的7項(a)~(g)的分光特性。由圖19可知,進行雙面涂層,從而在較廣的波長范圍使近紅外光可靠地截止,并且作為整體能夠實現(xiàn)低入射角依存的IR截止濾光片。特別是,第二多層膜的截止波長(684nm)與第一多層膜的截止波長(651nm)相比處于長波長側,其差大到30nm以上,所以即使第二多層膜的入射角依存性較大,在入射角發(fā)生了變化時也能夠避免第二多層膜的截止波長跨過第一多層膜的截止波長向短波長側偏移。由此,能夠防止第一多層膜的入射角依存的減少效果被第二多層膜的分光特性(入射角依存性)損害。另外,可知在實施例1-3中,在第二多層膜中,0°入射時波長710nm的透過率是0.51%,滿足是5%以下。因此,可以說通過第二多層膜,能夠充分地確保近紅外光的反射特性。另外,可知在實施例1-3中,TA50%λ(30°)=644nm,TB50%λ(30°)=657nm。在該情況下,TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)=-13nm,滿足是8nm以下。因此,可以說不會較大地損害通過第一多層膜得到的低入射角依存性,通過第二多層膜6,能夠充分地確保近紅外光的反射特性。(實施例1-4)圖21是表示實施例1-4的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖22是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例1-4的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料,能夠使用與實施例1-1相同的材料。第一多層膜是具有6對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-2.1%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述5項(A)~(E),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例1-5)圖23是表示實施例1-5的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖24是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例1-5的第一多層膜是交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.7)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.7的低折射率材料,能夠使用與實施例1-2相同的材料。第一多層膜是具有18對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.68,ΔT=-5.2%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的5項(A)~(E),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例1-6)圖25是表示實施例1-6的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖26是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例1-6的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.6)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,能夠使用與實施例1-1相同的材料,作為折射率1.6的低折射率材料,例如能夠使用Al2O3。第一多層膜是具有16對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.92,ΔT=-6.2%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的5項(A)~(E),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例1-7)圖27是表示實施例1-7的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖28是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例1-7的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料,能夠使用與實施例1-1相同的材料。第一多層膜是具有15對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-4.1%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的5項(A)~(E),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例1-8)圖29是表示實施例1-8的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖30是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例1-8的第一多層膜使用折射率不同的3種材料,交替地層疊高折射率層和低折射率層而構成。更具體而言,作為折射率不同的3種材料,使用折射率為2.4、1.46、1.7的各材料。作為折射率2.4的材料,例如能夠使用TiO2,作為折射率1.46的材料,例如能夠使用SiO2,作為折射率1.7的材料,例如能夠使用物質M2(默克公司制造)。由于折射率不同的3種層的平均折射率是1.853,所以在實施例1-8中,將折射率比平均值高的折射率2.4的層作為高折射率層來處理,將折射率比平均值低的剩余的層(折射率1.46以及1.7的各層)作為低折射率層來處理。由于上述3種層的折射率中最大的折射率nH是2.4,最小的折射率nL是1.46,所以Δn=nH-nL=0.94。第一多層膜是具有15對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-1.0%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的5項(A)~(E),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例1-9)圖31是表示實施例1-9的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖32是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例1-9的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料,以與實施例1-1相同的方式,能夠使用TiO2以及SiO2。第一多層膜是具有4對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-2.0%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的5項(A)~(E),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(比較例1-1)圖33是表示比較例1-1的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖34是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-1的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料以與實施例1-1相同的方式,能夠使用TiO2以及SiO2。第一多層膜是具有18對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,但ΔT=-7.3%/nm,不滿足|ΔT|<7%/nm。另外,0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是9nm,超過8nm。其結果,不能說在比較例1-1中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例1-2)圖35是表示比較例1-2的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖36是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-2的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.3)和低折射率層(折射率1.7)而構成。作為折射率2.3的高折射率材料,例如能夠使用Nb2O5,作為折射率1.7的低折射率材料,例如能夠使用上述的物質M2(默克公司制造)。第一多層膜的ΔT=-7.5%/nm,不滿足|ΔT|<7%/nm。另外,0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是16nm,遠遠地超過8nm。因此,不能說在比較例1-2中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。此外,比較例1-2的第一多層膜是具有16對H/L是3以上的截止調整對的結構,但Δn×nH=1.38,不滿足Δn×nH≥1.5,認為這會影響上述的波長偏差(T=50%)。(比較例1-3)圖37是表示比較例1-3的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖38是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-3的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料,以與實施例1-1相同的方式,能夠使用TiO2以及SiO2。在第一多層膜中,ΔT=-1.0%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,但0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是23nm,遠遠超過8nm。另外,0°入射/30°入射的波長偏差(T=25%)以及波長偏差(T=75%)分別是25nm、22nm,都超過20nm。因此,不能說在比較例1-3中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。此外,在比較例1-3的第一多層膜中,Δn×nH=2.26,滿足Δn×nH≥1.5,但完全沒有H/L是3以上的截止調整對,認為這會影響上述的波長偏差。(比較例1-4)圖39是表示比較例1-4的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖40是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-4的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料,以與實施例1-1相同的方式,能夠使用TiO2以及SiO2。在第一多層膜中,ΔT=-12.7%/nm,不滿足|ΔT|<7%/nm。另外,0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)、波長偏差(T=25%)、波長偏差(T=75%)分別是27nm、21nm、30nm,分別超過8nm、20nm、20nm。因此,不能說在比較例1-4中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。此外,在比較例1-4的第一多層膜中,Δn×nH=2.26,滿足Δn×nH≥1.5,但完全沒有H/L是3以上的截止調整對,認為這會影響上述的波長偏差。(比較例1-5)圖41是表示比較例1-5的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖42是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-5的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.8)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料例如能夠使用TiO2,作為折射率1.8的低折射率材料,例如能夠使用默克公司制造的物質M3(Al2O3與La2O3的混合物)。在第一多層膜中,ΔT=-2.3%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,但0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是12nm,超過8nm。因此,不能說在比較例1-5中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。此外,比較例1-5的第一多層膜是具有18對H/L是3以上的截止調整對的結構,但Δn×nH=1.44,不滿足Δn×nH≥1.5,認為這會影響上述的波長偏差(T=50%)。(比較例1-6)圖43是表示比較例1-6的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖44是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-6的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.7)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,例如能夠使用TiO2,作為折射率1.7的低折射率材料,能夠使用物質M2(默克公司制造)。第一多層膜是具有16對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.68,滿足Δn×nH≥1.5,但ΔT=-7.6%/nm,不滿足|ΔT|<7%/nm。另外,0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是14nm,超過8nm。因此,不能說在比較例1-6中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例1-7)圖45是表示比較例1-7的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖46是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-7的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.8)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,例如能夠使用TiO2,作為折射率1.8的低折射率材料,例如能夠使用物質M3(默克公司制造)。在第一多層膜中,ΔT=-6.4%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,但0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是15nm,超過8nm。因此,不能說在比較例1-7中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。此外,比較例1-7的第一多層膜是具有15對H/L是3以上的截止調整對的結構,但Δn×nH=1.44,不滿足Δn×nH≥1.5,認為這會影響上述的波長偏差(T=50%)。(比較例1-8)圖47是表示比較例1-8的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖48是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-8的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.8)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,例如能夠使用TiO2,作為折射率1.8的低折射率材料,例如能夠使用物質M3(默克公司制造)。在第一多層膜中,ΔT=-4.3%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,但0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是9nm,超過8nm。因此,不能說在比較例1-8中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。此外,比較例1-8的第一多層膜是具有14對H/L是3以上的截止調整對的結構,但Δn×nH=1.44,不滿足Δn×nH≥1.5,認為這會影響上述的波長偏差(T=50%)。(比較例1-9)圖49是表示比較例1-9的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖50是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-9的第一多層膜與專利文獻1的實施例中層數(shù)38層的多層膜相當,交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料,例如能夠使用TiO2以及SiO2。在第一多層膜中,ΔT=-1.1%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,但0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是27nm,遠遠超過8nm。另外,0°入射/30°入射的波長偏差(T=25%)以及波長偏差(T=75%)分別是27nm、24nm,都超過20nm。因此,不能說在比較例1-9中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。此外,在比較例1-9的第一多層膜中,Δn×nH=2.26,滿足Δn×nH≥1.5,但完全沒有H/L是3以上的截止調整對,認為這會影響上述的波長偏差。(比較例1-10)圖51是表示比較例1-10的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖52是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例1-10的第一多層膜與專利文獻2的實施例中層數(shù)30層的多層膜相當,交替地層疊高折射率層(折射率2.249)和低折射率層(折射率1.903)而構成。折射率2.249的高折射率層由將折射率為1.46的SiO2和折射率為2.330的Nb2O5以10:90的比例混合而成的混合材料構成。另外,折射率1.903的低折射率層由將SiO2和Nb2O5以50:50的比例混合而成的混合材料構成。在第一多層膜中,ΔT=-5.8%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,但0°入射/30°入射的波長偏差(T=50%)是20nm,遠遠超過8nm。因此,不能說在比較例1-10中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。此外,比較例1-10的第一多層膜完全不具有H/L是3以上的截止調整對。另外,Δn×nH=0.78,也不滿足Δn×nH≥1.5。認為這會影響上述的波長偏差(T=50%)?!惭a充〕在第一多層膜(多層膜3)中,在600nm~700nm的波長范圍內透過率為25%的波長與透過率為50%的截止波長(例如650nm)相比處于長波長側(例如參照圖8)。因此,對于圖7的拍攝裝置10的拍攝元件12的靈敏度而言,比650nm長的波長側的一方比短波長側低。由于該情況和比650nm長的波長側的光量本身就較少,所以可以說透過率為25%時的波長偏移的影響比透過率為75%時的波長偏移的影響整體少。因此,即使不滿足上述的條件之一,即,“0°入射和30°入射時的、透過率為25%的波長的差是20nm以內”的條件,也能夠實現(xiàn)低入射角依存的IR截止濾光片1。但是,從可靠地得到該效果的觀點來看,優(yōu)選滿足上述的條件。這一點在基板的一面形成有第一多層膜,在另一面形成有第二多層膜(多層膜6)的情況下,也相同。通過以上,也可以說第一實施方式的IR截止濾光片是以下的結構。即,上述IR截止濾光片是具有基板、形成在上述基板上的多層膜的IR截止濾光片,上述多層膜包含交替地層疊的高折射率層和低折射率層,在上述多層膜中,450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的、透過率為50%的波長的差是8nm以內,0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差是20nm以內。其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm)根據上述的結構,能夠抑制相對于入射角的較大的變化(例如30°的變化)的分光特性的變化,由此,能夠實現(xiàn)也能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的、實現(xiàn)低入射角依存的IR截止濾光片。在上述多層膜中,優(yōu)選在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的、透過率為25%的波長的差是20nm以內。上述多層膜優(yōu)選具有至少4對相鄰的高折射率層與低折射率層的光學膜厚之比是3以上的截止調整對,若將構成上述多層膜的層的折射率中的最大的折射率與最小的折射率的差設為Δn,將最大的折射率設為nH,則滿足Δn×nH≥1.5。上述多層膜的總膜厚也可以是3000nm以上。若將上述多層膜設為第一多層膜,則在上述基板的與形成有上述第一多層膜的面相反的一側的面,形成有第二多層膜,上述第二多層膜優(yōu)選具有在上述基板的一面形成有上述第一多層膜,在另一面形成有上述第二多層膜的狀態(tài)下,波長450nm~600nm的平均透過率是80%以上,并且,波長720nm~1100nm的平均透過率為5%以下的分光特性。上述第二多層膜優(yōu)選具有在上述基板的一面形成有上述第一多層膜,在另一面形成有上述第二多層膜的狀態(tài)下,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的、透過率為50%的波長的差是8nm以內,0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差是20nm以內的分光特性。上述第二多層膜優(yōu)選具有在上述基板的一面形成有上述第一多層膜,在另一面形成有上述第二多層膜的狀態(tài)下,在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的、透過率為25%的波長的差為20nm以內的分光特性。在上述第二多層膜中,優(yōu)選450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,0°入射時的透過率為50%的波長與上述第一多層膜中的、0°入射時透過率為50%的波長相比處于長波長側。此外,上述IR截止濾光片也可以具有吸收膜,該吸收膜在波長600nm~700nm處具有吸收峰值,該點在后述的第四實施方式中進行說明。<第二實施方式>基于附圖對本發(fā)明的第二實施方式進行如下說明。本實施方式的IR截止濾光片1在透明的基板2上具有多層膜3(第一多層膜)的點,與上述的第一實施方式的圖1的結構相同。其中,多層膜3具有以下的特性。(1)450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上。(2)0°入射時透過率為50%的波長在650±25nm的范圍內。以下,也將上述波長稱為截止波長。(3)在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm)。即,|ΔT|表示在0°入射時,在透過率從70%降低到30%的波長區(qū)域,將表示透過率的變化的圖考慮為直線的情況下的該直線的斜率(透過率的變化相對于波長的變化的比例)。以下,也將|ΔT|稱為透過率變化直線的斜率。(4)在600nm~700nm的波長范圍內,將在0°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(0°),將在30°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(30°)時,將n設為整數(shù),滿足[公式1]此外,Tn%λ(0°)以及Tn%λ(30°)的單位都是nm。另外,以下,也有將公式1式中的左邊的式子僅稱為“波長差的總和”來使記載簡單化的情況。通過上述(1)(2),作為多層膜3的分光特性,能夠實現(xiàn)比截止波長短的波長側透過率較高,長的波長側透過率較低的分光特性。由此,能夠實現(xiàn)使比截止波長短的波長側的光主要透過,使比截止波長長的波長側的光(包含波長700nm以上的近紅外光)主要反射的IR截止濾光片1。上述(3)中所示的條件式規(guī)定在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射時的透過率變化直線的斜率的適當?shù)姆秶?。若|ΔT|是條件式的下限以下,則透過率變化直線的斜率變得過小(透過率變化直線過于平躺),所以以截止波長為邊界的透過/反射的分隔變得不清晰。因此,近紅外光的截止特性惡化,作為IR截止濾光片的性能不充分。相反,若|ΔT|是條件式的上限以上,則透過率變化直線的斜率增大,作為IR截止濾光片的特性變得尖銳,但入射角依存性升高。即,若入射角例如從0°變化到30°,則透過率變化直線向短波長側偏移,但此時的偏移量增大。另外,上述(4)的條件式規(guī)定了在600nm~700nm的波長范圍內,透過率從50%到80%每增加1%就計算在0°入射時透過率為n%的波長(Tn%λ(0°))與30°入射時透過率為n%的波長(Tn%λ(30°))的差(絕對值)時,它們的總和是350(nm)以下。這里,圖53分別示有0°入射時和30°入射時的600nm~700nm的波長范圍內的多層膜3的分光特性。如該圖所示,在以橫軸取波長λ(nm),縱軸取透過率T(%)的方式示有多層膜3的分光特性(圖)時,上述的波長差的總和與該圖的斜線部的面積對應。因此,通過將上述的波長差的總和設為規(guī)定值以下,來較小地抑制上述的面積,能夠將相對于入射角30°的變化的透過率變化直線的偏差(偏移量)抑制在允許范圍內。換句話說,通過滿足上述(3)~(4),在滿足作為IR截止濾光片的性能的范圍內(在能夠進行透過/反射的分隔的范圍內),能夠使透過率變化直線的斜率變緩,并且,將相對于入射角30°的變化的透過率變化直線的偏差抑制在允許范圍內,減少入射角依存性。由此,能夠實現(xiàn)能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的、低入射角依存的IR截止濾光片1。因此,即使在將上述IR截止濾光片1與拍攝透鏡一起設置于薄型的移動終端的照相機的情況下,也能夠抑制拍攝圖像的畫面中心部變紅而在面內的顏色上產生偏差。從進一步較小地抑制相對于入射角30°的變化的透過率變化直線的偏差,進一步減少入射角依存性的觀點來看,優(yōu)選多層膜3滿足以下的公式2式,進一步優(yōu)選滿足公式3式。[公式2][公式3]另外,從在良好地確保近紅外光的截止特性的基礎上,較小地抑制透過率變化直線的斜率,進一步減少入射角依存性的觀點來看,優(yōu)選多層膜3滿足0.5%/nm<|ΔT|<2.5%/nm,進一步滿足0.5%/nm<|ΔT|<1.5%/nm?!碴P于多層膜的光學設計〕接下來,對上述的多層膜3的光學設計進行說明。通常,薄膜設計通過自動設計來進行,但也可以在進行多層膜3的光學設計上,以上述的(1)~(4)的特性為目標條件進行自動設計。根據這樣的自動設計的光學設計可知,多層膜3至少具有4對相鄰的高折射率層4的光學膜厚H與低折射率層5的光學膜厚L的比(H/L)是3以上的截止調整對,若滿足Δn×nH≥1.5,則在滿足上述(3)的條件式的范圍內,能夠容易地實現(xiàn)上述的(1)、(2)、(4)的特性。在這里,Δn是在將構成多層膜3的層的折射率中的最大的折射率設為nH,將最小的折射率設為nL時,nH-nL的值。此外,上述的截止調整對定義為相鄰的高折射率層4與低折射率層5中,接近基板2的高折射率層4和其下一個(層疊在其上的)低折射率層5的對。以下,對該條件的詳細內容進行說明。圖54是示有ΔT、Δn×nH以及性能合格與否的關系的圖。此外,對于性能合格與否,用“●”(OK)表示同時滿足上述的(1)~(4)的全部,用“×”(NG)表示不同時滿足全部。另外,后述的實施例的結果用以實線的圓圈包圍“●”來表示,后述的比較例的結果用以虛線的圓圈包圍“×”來表示。此外,在圖54中,例如“實1”、“實2”、…的表示與后述的實施例2-1、實施例2-2、…對應,“比1”、“比2”…的表示與后述的比較例2-1、比較例2-2、…對應。這一點在圖55中也相同。在這里,為了便于說明,以如下的方式定義圖54中的各區(qū)域1~5。區(qū)域1:|ΔT|≥7%/nm,并且,Δn×nH≥1.5區(qū)域2:|ΔT|≥7%/nm,并且,Δn×nH<1.5區(qū)域3:0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,并且,Δn×nH<1.5區(qū)域4:|ΔT|≤0.5%/nm區(qū)域5:0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,并且,Δn×nH≥1.5在區(qū)域5中,|ΔT|<7%/nm,能夠使透過率變化直線的斜率充分地較小地平躺,所以能夠減少入射角依存性。另外,由于折射率差Δn以及高折射率材料的折射率nH充分大,所以即使在使透過率變化直線平躺的情況下,也能夠保持透過區(qū)域中的透過/反射區(qū)域中的反射的性能。其結果,除了后述的截止調整對的數(shù)量少到3以下的情況(包括比較例2-3、2-9、2-11)以外,能夠同時滿足全部上述的(1)~(4)。在區(qū)域1以及2,|ΔT|≥7%/nm,不能夠使透過率變化直線充分平躺,所以不能減少入射角依存性。另外,在區(qū)域3,由于折射率差Δn以及高折射率材料的折射率nH不是充分大,所以難以使透過率變化直線平躺,并且難以保持透過區(qū)域中的透過/反射區(qū)域中的反射的性能,另外,相對于入射角的變化的截止波長的偏差容易增大(減少入射角依存性的效果較小)。在區(qū)域4,由于透過率變化直線過于平躺(斜率過小),所以透過區(qū)域中的透過/反射區(qū)域中的反射的分隔不清晰,不能充分地發(fā)揮作為IR截止濾光片的功能。另外,圖55示有在滿足區(qū)域5的條件(0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,并且,Δn×nH≥1.5)的情況下,H/L是3以上的截止調整對的個數(shù)、IR截止濾光片的設計方案的數(shù)量(頻度)以及性能合格與否的關系。此外,對于性能合格與否,用涂白的條形圖(OK)表示同時滿足上述的(1)~(4)的全部,用標注剖面線的條形圖(NG)表示不同時滿足全部。此外,后述的實施例以及比較例選擇性地記載了這些設計方案中的代表性的方案。圖55的區(qū)域7是表示至少具有4對H/L是3以上的截止調整對的膜結構的區(qū)域。在該區(qū)域7,在使透過率變化直線平躺的基礎上,能夠較小地抑制相對于入射角的變化的透過率變化直線的偏移量,并能夠同時滿足上述(1)~(4)的全部。另一方面,區(qū)域6是表示H/L是3以上的截止調整對是3對以下的膜結構的區(qū)域。在該區(qū)域6,即使?jié)M足區(qū)域5的條件,也不能夠同時滿足上述(1)~(4)的全部而減少入射角依存性。例如,在上述截止調整對是3對以下的后述的比較例2-3、2-9、2-11中,上述波長差的總和比350大,不能夠滿足上述(4)的條件。通過以上,可以說只要多層膜3是至少具有4對H/L是3以上的截止調整對,并且,滿足Δn×nH≥1.5的膜結構,則作為滿足上述(3)的條件式的條件,能夠容易并且可靠地滿足上述(1)、(2)、(4)。優(yōu)選H/L是3以上的截止調整對的數(shù)量是6個(6對)以上,更為優(yōu)選是13個(13對)以上。在像這樣為至少具有4對H/L是3以上的截止調整對的膜結構時,增加構成多層膜3的層的總數(shù)的一方容易進行光學設計(容易得到較多的設計方案)。若考慮這些,則優(yōu)選多層膜3的總膜厚是3000nm以上,更為優(yōu)選是4000nm以上。〔IR截止濾光片的其他結構〕本實施方式的IR截止濾光片1也可以與第一實施方式相同,如圖4所示,除了圖1的結構以外還可具有多層膜6(第二多層膜)。多層膜6是交替地層疊相對地折射率較高的高折射率層7和相對地折射率較低的低折射率層8而成的光學薄膜,形成在基板2的與形成有多層膜3的面相反的一側的面。此外,也可以代替將多層膜6的最接近基板2側的層作為高折射率層7而作為低折射率層8。多層膜6的膜結構(材料、厚度、層數(shù)等)可以與多層膜3的膜結構相同,也可以不同。此外,在對于多層膜6,也實現(xiàn)與多層膜3相同的低入射角依存的情況下,優(yōu)選多層膜6至少具有4對H/L是3以上的截止調整對。多層膜6根據多層膜3的膜結構來設計,但優(yōu)選截止700~1100nm的IR區(qū)域的光,波長450nm~600nm的平均透過率是90%以上。在該情況下,能夠實現(xiàn)在基板2的兩面被涂覆的狀態(tài)下(在基板2的一面形成有多層膜3,在另一面形成有多層膜6的狀態(tài)下),波長450nm~600nm的平均透過率是80%以上,并且,波長720nm~1100nm的平均透過率是5%以下。換句話說,多層膜6能夠在雙面涂層的狀態(tài)下,不會使450nm~600nm的波長范圍的透過特性顯著降低,并提高720nm~1100nm的近紅外區(qū)域的反射特性。此外,基板2是透明的,相對于IR截止濾光片1整體的分光特性的基板2的透過率的影響幾乎可以忽略。由此,即使只在多層膜3中不能充分地降低近紅外區(qū)域的透過率的情況下,也通過形成多層膜6,從而作為IR截止濾光片1,能夠可靠地截止近紅外區(qū)域的光。另外,對基板2在與多層膜3的形成側相反的一側的面設置多層膜6,從而也能夠通過多層膜6消除由多層膜3所具有的應力引起的形變。另外,優(yōu)選多層膜6具有在基板2的兩面被涂覆的狀態(tài)下,在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,并且,在0°入射時透過率為50%的波長為650±25nm的范圍內的分光特性。換言之,優(yōu)選多層膜6具有不阻礙多層膜3的上述的(2)~(4)的特性的分光特性。在該情況下,通過設置多層膜6,能夠防止多層膜3的入射角依存性的減少效果被損害。另外,作為多層膜6單獨的特性,如上所述,優(yōu)選450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,0°入射時的透過率為50%的波長與多層膜3中的0°入射時透過率為50%的波長相比處于長波長側。即,優(yōu)選多層膜6的0°入射時的截止波長與多層膜3的0°入射時的截止波長相比處于長波長側。在該情況下,例如,若減小多層膜6的截止波長與多層膜3的截止波長的差,使0°入射時的多層膜6的分光特性與多層膜3的分光特性在波長700nm附近重疊,則能夠進一步提高近紅外光的截止特性。相反,若增大多層膜6的截止波長與多層膜3的截止波長的差,則能夠避免在入射角發(fā)生了變化時多層膜6的截止波長跨過多層膜3的截止波長而向短波長側偏移。因此,能夠防止多層膜3的入射角依存的減少效果被多層膜6的分光特性損害。〔實施例〕以下,對本實施方式的IR截止濾光片的具體的實施例進行說明。此外,為了與各實施例的比較,對比較例也一并進行說明。以下,通過光學設計,求得IR截止濾光片的第一多層膜(相當于多層膜3)的膜結構以及第二多層膜(相當于多層膜6)的膜結構,并且求得此時的分光特性。圖56集中示有以下所示的實施例以及比較例的第一多層膜的特性。此外,在該圖中,T是指透過率(%),并與表示透過率變化直線的斜率的ΔT相區(qū)別。另外,Tave是指平均透過率(%),T=50%λ是指透過率為50%時的波長(截止波長,單位nm)。此外,平均透過率以及截止波長為0°入射時的值。以下,對實施例以及比較例的詳細內容進行說明。此外,雙面涂層的IR截止濾光片僅表示代表性的實施例。(實施例2-1)實施例2-1的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性、第二多層膜的膜結構以及分光特性、雙面涂層狀態(tài)下的分光特性與第一實施方式的實施例1-1相同。第一多層膜是具有13對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-1.0%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部以下的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(A)450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上。(B)0°入射時透過率為50%的波長是650±25nm的范圍內。(C)在600nm~700nm的波長范圍內,將在0°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(0°),將在30°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(30°)時,將n設為整數(shù),滿足[公式1](即,波長差的總和是350nm以下)。在第二多層膜中,波長450nm~600nm的平均透過率是94.41%,波長720nm~1100nm的平均透過率是1.09%,0°入射時透過率為50%的截止波長是667nm。圖57示有雙面涂層狀態(tài)下的IR截止濾光片的特性。通過該圖,可以說第二多層膜在雙面涂層的狀態(tài)下,具有如下分光特性:(a)450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是80%以上(b)波長720nm~1100nm的平均透過率是5%以下(c)0°入射時透過率為50%的波長是650±25nm的范圍內(d)0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。另外,也可以說第二多層膜在雙面涂層的狀態(tài)下,具有波長差的總和為350nm以下的特性。在實施例2-1中,與實施例1-1相同,在第一多層膜中只能截止近紅外光的一部分,但通過在基板的相反的面設置第二多層膜,能夠在更寬的波長范圍截止近紅外光,并且整體實現(xiàn)低入射角依存的IR截止濾光片。特別是,由于第二多層膜的截止波長(667nm)與第一多層膜的截止波長(652nm)相比處于長波長側,所以使第二多層膜的分光特性在波長700nm附近與第一多層膜的分光特性重疊,能夠提高近紅外光的截止特性。(實施例2-2)圖58是表示實施例2-2的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖59是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例2-2的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.7)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,與實施例2-1相同例如能夠使用TiO2,作為折射率1.7的低折射率材料,例如能夠使用默克公司制造的物質M2(Al2O3與La2O3的混合物)。第一多層膜是具有14對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.68,ΔT=-4.2%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例2-3)圖60是表示實施例2-3的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖61是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例2-3的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.75)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,例如能夠使用TiO2,作為折射率1.75的低折射率材料,例如能夠使用上述的物質M2(默克公司制造)。此外,即使使用與實施例2-2相同的低折射率材料,通過使成膜條件(成膜溫度、真空度等)不同,能夠形成與實施例2-2折射率不同的低折射率層。第一多層膜是具有16對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.56,ΔT=-2.8%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。實施例2-3的形成于IR截止濾光片的基板的與第一多層膜相反的一側的第二多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的實施例1-3相同。圖62是表示雙面涂層狀態(tài)下的IR截止濾光片的分光特性的圖。此外,構成第二多層膜的高折射率層以及低折射率層的材料與實施例2-1的第一多層膜相同。第二多層膜是具有2對H/L是3以上的截止調整對的結構。在第二多層膜中,波長450nm~600nm的平均透過率是99.39%,波長720nm~1100nm的平均透過率是0.02%,0°入射時透過率為50%的截止波長是684nm。圖63示有雙面涂層狀態(tài)下的IR截止濾光片的特性。通過該圖,可以說第二多層膜在雙面涂層的狀態(tài)下,具有滿足全部上述的4項(a)~(d)的分光特性。另外,也可以說第二多層膜在雙面涂層的狀態(tài)下,具有波長差的總和為350nm以下的特性。由圖62可知,通過進行雙面涂層,在較寬的波長范圍內可靠地截止近紅外光,并且整體能夠實現(xiàn)低入射角依存的IR截止濾光片。特別是,第二多層膜的截止波長(684nm)與第一多層膜的截止波長(654nm)相比處于長波長側,其差大到30nm,所以即使第二多層膜的入射角依存性較大,在入射角發(fā)生了變化時也能夠避免第二多層膜的截止波長跨過第一多層膜的截止波長向短波長側偏移。由此,能夠防止第一多層膜的入射角依存的減少效果被第二多層膜的分光特性(入射角依存性)損害。另外,在實施例2-3中可知,在第二多層膜中,在0°入射時波長710nm的透過率是0.51%,滿足5%以下。因此,可以說通過第二多層膜,能夠充分地確保近紅外光的反射特性。另外,在實施例2-3中可知,TA50%λ(30°)=642nm,TB50%λ(30°)=657nm。在該情況下,TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)=-15nm,滿足8nm以下。因此,可以說不會較大地損害通過第一多層膜得到的低入射角依存性,而能夠通過第二多層膜6,充分地確保近紅外光的反射特性。(實施例2-4)實施例2-4的IR截止濾光片的第一多層膜的膜構成以及分光特性與第一實施方式的實施例1-4相同。第一多層膜是具有6對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-2.1%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例2-5)圖64是表示實施例2-5的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖65是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例2-5的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.7)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.7的低折射率材料,能夠使用與實施例2-2相同的材料。第一多層膜是具有14對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.68,ΔT=-5.7%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例2-6)圖66是表示實施例2-6的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖67是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例2-6的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.6)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料,能夠使用與實施例2-1相同的材料,作為折射率1.6的低折射率材料,例如能夠使用Al2O3。第一多層膜是具有13對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.92,ΔT=-6.3%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例2-7)實施例2-7的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的實施例1-7相同。第一多層膜是具有15對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-4.1%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例2-8)實施例2-8的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的實施例1-8相同。第一多層膜是具有15對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-1.0%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例2-9)實施例2-9的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的實施例1-9相同。第一多層膜是具有4對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-2.0%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(實施例2-10)圖68是表示實施例2-10的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖69是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。實施例2-10的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料,能夠以與實施例2-1相同的方式,使用TiO2以及SiO2。第一多層膜是具有4對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,ΔT=-1.8%/nm。第一多層膜的分光特性滿足全部上述的3項(A)~(C),實現(xiàn)低入射角依存的性能。(比較例2-1)比較例2-1的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-1相同。第一多層膜是具有18對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=2.26,但ΔT=-7.3%/nm,不滿足|ΔT|<7%/nm,另外,上述的波長差的總和是365nm,超過350nm。其結果,不能說在比較例2-1中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-2)比較例2-2的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-2相同。第一多層膜是具有16對H/L是3以上的截止調整對的結構,但Δn×nH=1.38,不滿足Δn×nH≥1.5,另外,ΔT=-7.5%/nm,也不滿足|ΔT|<7%/nm。并且,上述的波長差的總和是531nm,遠遠超過350nm。因此,不能說在比較例2-2中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-3)比較例2-3的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-3相同。在第一多層膜中,Δn×nH=2.26,滿足Δn×nH≥1.5。另外,ΔT=-1.0%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。但是,完全沒有H/L是3以上的截止調整對,上述的波長差的總和是713nm,遠遠超過350nm。因此,不能說在比較例2-3中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-4)比較例2-4的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-4相同。在第一多層膜中,Δn×nH=2.26,滿足Δn×nH≥1.5。但是,完全沒有H/L是3以上的截止調整對,ΔT=-13%/nm,也不滿足|ΔT|<7%/nm。并且,上述的波長差的總和是903nm,遠遠超過350nm。因此,不能說在比較例2-4中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-5)比較例2-5的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-5相同。第一多層膜是具有18對H/L是3以上的截止調整對的結構,ΔT=-2.3%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。但是,Δn×nH=1.44,不滿足Δn×nH≥1.5,上述的波長差的總和是432nm,超過350nm。因此,不能說在比較例2-5中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-6)比較例2-6的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-6相同。第一多層膜是具有16對H/L是3以上的截止調整對的結構,Δn×nH=1.68,滿足Δn×nH≥1.5。但是,ΔT=-7.6%/nm,不滿足|ΔT|<7%/nm,上述的波長差的總和是490nm,超過350nm。因此,不能說在比較例2-6中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-7)比較例2-7的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-7相同。第一多層膜是具有15對H/L是3以上的截止調整對的結構,ΔT=-6.4%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。但是,Δn×nH=1.44,不滿足Δn×nH≥1.5,上述的波長差的總和是476nm,超過350nm。因此,不能說在比較例2-7中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-8)比較例2-8的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-8相同。第一多層膜是具有14對H/L是3以上的截止調整對的結構,ΔT=-4.3%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。但是,Δn×nH=1.44,不滿足Δn×nH≥1.5,上述的波長差的總和是447nm,超過350nm。因此,不能說在比較例2-8中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-9)比較例2-9的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-9相同。在第一多層膜中,Δn×nH=2.26,滿足Δn×nH≥1.5。另外,ΔT=-1.1%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。但是,完全沒有H/L是3以上的截止調整對,上述的波長差的總和是723nm,遠遠超過350nm。因此,不能說在比較例2-9中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-10)比較例2-10的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構以及分光特性與第一實施方式的比較例1-10相同。在第一多層膜中,ΔT=-5.8%/nm,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。但是,完全沒有H/L是3以上的截止調整對,Δn×nH=0.78,也不滿足Δn×nH≥1.5。并且,上述的波長差的總和是606nm,遠遠超過350nm。因此,不能說在比較例2-10中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。(比較例2-11)圖70是表示比較例2-11的IR截止濾光片的第一多層膜的膜結構的說明圖,圖71是表示上述第一多層膜的分光特性的圖。比較例2-11的第一多層膜交替地層疊高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成。作為折射率2.4的高折射率材料以及折射率1.46的低折射率材料,能夠以與實施例2-1相同的方式,使用TiO2以及SiO2。在第一多層膜中,Δn×nH=2.26,滿足Δn×nH≥1.5。另外,ΔT=-1.7%/nm,也滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。但是,H/L是3以上的截止調整對少到3對,上述的波長差的總和是528nm,遠遠超過350nm。因此,不能說在比較例2-11中,能夠實現(xiàn)低入射角依存。通過以上,可以說第二實施方式的IR截止濾光片也可以是以下的結構。即,上述IR截止濾光片是具有基板、和形成在上述基板上的多層膜的IR截止濾光片,上述多層膜包含交替地層疊的高折射率層和低折射率層,在上述多層膜中,450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm),在600nm~700nm的波長范圍內,將在0°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(0°),將在30°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(30°)時,將n設為整數(shù),滿足[公式1]根據上述的結構,能夠抑制相對于入射角較大的變化(例如30°的變化)的分光特性的變化,因此,能夠實現(xiàn)能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的、低入射角依存的IR截止濾光片。上述多層膜優(yōu)選具有至少4對相鄰的高折射率層與低折射率層的光學膜厚的比是3以上的截止調整對,若將構成上述多層膜的層的折射率中的最大的折射率與最小的折射率的差設為Δn,將最大的折射率設為nH,則滿足Δn×nH≥1.5。上述多層膜的總膜厚也可以是3000nm以上。優(yōu)選若將上述多層膜設為第一多層膜,則在上述基板的與形成有上述第一多層膜的面相反的一側的面,形成有第二多層膜,上述第二多層膜具有在上述基板的一面形成有上述第一多層膜,在另一面形成有上述第二多層膜的狀態(tài)下,波長450nm~600nm的平均透過率是80%以上,并且,波長720nm~1100nm的平均透過率為5%以下的分光特性。優(yōu)選上述第二多層膜具有在上述基板的一面形成有上述第一多層膜,在另一面形成有上述第二多層膜的狀態(tài)下,在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,在0°入射時透過率為50%的波長為650±25nm的范圍內的分光特性。在上述第二多層膜中,優(yōu)選450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,在0°入射時透過率為50%的波長與上述第一多層膜中的、0°入射時透過率為50%的波長相比處于長波長側。此外,上述IR截止濾光片也可以具有吸收膜,該吸收膜在波長600nm~700nm處具有吸收峰值,這一點在后述的第四實施方式中進行說明。第二實施方式的拍攝裝置是具備上述的IR截止濾光片、配置在上述IR截止濾光片的光入射側的拍攝透鏡、以及接受經由上述拍攝透鏡以及上述IR截止濾光片入射的光的拍攝元件的結構。<第三實施方式>基于附圖對本發(fā)明的第三實施方式進行如下說明。本實施方式的IR截止濾光片1在透明的基板2的一面具有多層膜3(第一多層膜),在基板2的另一面具有多層膜6(第二多層膜)的點,與第一實施方式的圖4的結構相同。本實施方式的IR截止濾光片1在基板2的一面(A面)形成有多層膜3,在另一面(B面)形成有多層膜6的狀態(tài)下,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內。以下,也將上述波長稱為截止波長。通過像這樣設定有截止波長,能夠實現(xiàn)使比截止波長靠短波長側的光(例如可見光)主要透過,使比截止波長靠長波長側的光(例如近紅外光)主要反射的IR截止濾光片1。在這里,IR截止濾光片1的多層膜3具有以下的特性。(1)在0°入射時透過率為50%的波長在650±25nm的范圍內。(2)在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm。其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm)。即,|ΔT|表示在0°入射時,透過率從70%降低到30%的波長區(qū)域,將表示透過率的變化的曲線圖考慮為直線的情況下的該直線的斜率(透過率的變化相對于波長的變化的比例)。以下,也將|ΔT|稱為透過率變化直線的斜率。(3)在600nm~700nm的波長范圍內,將在0°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(0°),將在30°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(30°)時,將n設為整數(shù),滿足[公式1]此外,Tn%λ(0°)以及Tn%λ(30°)的單位都是nm。另外,以下,也有將公式1式中的左邊的部分僅稱為“波長差的總和”來使記載簡單化的情況。通過上述(1),作為多層膜3單獨的分光特性,能夠實現(xiàn)在比截止波長靠短波長側透過率較高,在長波長側透過率較低的分光特性。由此,作為IR截止濾光片1整體,能夠實現(xiàn)使比截止波長靠短波長側的光(例如可見光)透過,使比截止波長靠長波長側的光(例如近紅外光)反射的上述的分光特性。優(yōu)選在實現(xiàn)這樣的IR截止濾光片1的分光特性時,多層膜3中的450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上。上述(2)中所示的條件式規(guī)定了0°入射時的透過率變化直線的斜率的適當?shù)姆秶?。若|ΔT|是條件式的下限以下,則透過率變化直線的斜率過小(透過率變化直線過于平躺),所以以截止波長為邊界的透過/反射的分隔變得不清晰。因此,近紅外光的截止特性惡化,作為IR截止濾光片的性能不充分。相反,若|ΔT|是條件式的上限以上,則透過率變化直線的斜率增大,作為IR截止濾光片的特性變得尖銳,但入射角依存性升高。即,若入射角例如從0°變化到30°,則透過率變化直線向短波長側偏移,但此時的偏移量增大。另外,上述(3)的條件式規(guī)定了在透過率從50%到80%每上升1%就計算出在0°入射時透過率為n%的波長(Tn%λ(0°))與在30°入射時透過率為n%的波長(Tn%λ(30°))的差(絕對值)時,它們的總和是350(nm)以下,與在第二實施方式中說明的條件式(4)相同。如第二實施方式的圖53中所示的那樣,在橫軸取波長λ(nm),在縱軸取透過率T(%)來表示多層膜3的分光特性(圖)時,上述的波長差的總和對應于該圖的斜線部的面積。因此,通過將上述的波長差的總和設為規(guī)定值以下,能夠較小地抑制上述的面積,將相對于入射角30°的變化的透過率變化直線的偏差(偏移量)抑制在允許范圍內。換句話說,通過滿足上述(2)~(3),能夠在滿足作為IR截止濾光片的性能的范圍內(在能夠進行透過/反射的分隔的范圍內),使透過率變化直線的斜率平緩,并且,將相對于入射角30°的變化的透過率變化直線的偏差抑制在允許范圍內,減少入射角依存性。由此,能夠實現(xiàn)也能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的、低入射角依存的IR截止濾光片1。因此,即使在將上述IR截止濾光片1與拍攝透鏡一起設置于薄型的移動終端的照相機的情況下,也能夠抑制拍攝圖像的畫面中心部變紅而在面內的顏色中產生偏差。從進一步較小地抑制相對于入射角30°的變化的透過率變化直線的偏差,進一步減少入射角依存性的觀點來考慮,優(yōu)選多層膜3滿足以下的公式2式,進一步優(yōu)選滿足公式3式。[公式2][公式3]接下來,對多層膜6的詳細內容進行說明。多層膜6是交替地層疊相對地折射率較高的高折射率層7和相對地折射率較低的低折射率層8而成的光學薄膜,在基板2中,形成在與形成有多層膜3的A面相反的一側的B面。此外,在圖4中,將多層膜6的最接近基板2側的層作為高折射率層7,但也可以將該層作為低折射率層8。上述的多層膜6具有以下的特性。(a)在0°入射時波長710nm的透過率是5%以下。(b)滿足TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)≤8nm。其中,TA50%λ(30°):在多層膜3中,在30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)TB50%λ(30°):在多層膜6中,在30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)。通過上述(a),能夠充分地確保比截止波長靠長波長側的光,特別是波長700nm~710nm附近的近紅外光的反射特性。由此,即使在只有在多層膜3中不能夠充分地降低近紅外區(qū)域的透過率的情況下,通過形成多層膜6,作為IR截止濾光片1,也能夠可靠地截止近紅外區(qū)域的光。另外,在基板2的與多層膜3的形成側的A面相反的一側的B面設置多層膜6,從而也能夠通過多層膜6消除由多層膜3所具有的應力引起的形變。上述(b)規(guī)定了多層膜3的30°入射時的截止波長與多層膜6的30°入射時的截止波長的差(以下,也稱為30°截止波長差)的適當?shù)姆秶?。這里,圖72分別示意性地示有在600nm~700nm的波長范圍內30°入射時的多層膜3以及多層膜6的分光特性。在作為IR截止濾光片1整體的截止波長處于650±25nm的范圍內,多層膜3單獨的截止波長也處于650±25nm的范圍內的結構中,在A面?zhèn)鹊亩鄬幽?如上述那樣具有低入射角依存性,B面?zhèn)鹊亩鄬幽?具有上述(a)的特性(波長710nm的透過率為5%以下)的情況下,對于600nm~700nm的波長范圍內的透過率變化直線的斜率而言,B面?zhèn)鹊亩鄬幽?的斜率比A面?zhèn)鹊亩鄬幽?的斜率大。在這種情況下,若30°截止波長差超過8nm(多層膜6的30°入射時的截止波長與多層膜3的30°入射時的截止波長相比在短波長側過短),則通過A面的多層膜3的分光特性較小地抑制的角度依存性,通過B面的多層膜6的分光特性較大地破壞,低入射角依存性被較大地損害。因此,通過滿足上述(b)的條件式,不會較大地損害通過A面的多層膜3得到的低入射角依存性,通過B面的多層膜6,能夠充分地確保近紅外光的反射特性。為了可靠地抑制通過A面的多層膜3得到的低入射角依存性被損害,并且可靠地確保波長700nm附近的近紅外光的反射特性,優(yōu)選多層膜6具有如下特性:在0°入射時波長700nm的透過率是2%以下,滿足TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)≤2nm。〔實施例〕以下,對本實施方式的IR截止濾光片的具體的實施例進行說明。此外,為了與各實施例的比較,對比較例也一并進行說明。在這里,通過光學設計,求得IR截止濾光片的A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约癇面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構,進一步分別求得各多層膜以及IR截止濾光片整體的特性。此外,通常,薄膜設計能夠通過自動設計來進行,但也可以在進行各多層膜的光學設計上,以上述的特性為目標條件來進行自動設計。圖73以及圖74在基于上述的膜設計制成的10種(1~10號)的IR截止濾光片中,集中示有IR截止濾光片整體、A面?zhèn)鹊亩鄬幽?、B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ母髯缘奶匦?、和投影性能。此外,在圖中,T50%λ(0°)以及T50%λ(30°)是IR截止濾光片整體的特性(將第一多層膜以及第二多層膜分別形成在基板的兩面的狀態(tài)下的特性),且分別是指在0°入射以及30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)。另外,T(700nm)(0°)以及T(710nm)(0°)是IR截止濾光片整體的特性,且分別是指0°入射時的波長700nm以及波長710nm的透過率(%)。另外,在不是對IR截止濾光片整體,而是對A面?zhèn)鹊亩鄬幽为?、或者B面?zhèn)鹊亩鄬幽为毐硎旧鲜龅母髦禃r,對T標注A或者B的下標,記載成TA50%λ(0°)、TB50%λ(0°)。另外,ΔT表示600nm~700nm的波長范圍內的透過率變化直線的斜率,Σ是指在600nm~700nm的波長范圍內,在透過率從50%到80%的區(qū)間透過率每上升1%就計算在0°入射時透過率為n%的波長、與在30°入射時透過率為n%的波長的差時的總和(nm)。在這里,對于1~4號的IR截止濾光片,B面?zhèn)鹊亩鄬幽橄嗤哪そY構,A面?zhèn)鹊亩鄬幽橄嗷ゲ煌哪そY構。因此,如圖74所示,B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ腡B50%λ(0°)、TB50%λ(30°)、TB(700nm)(0°)、TB(710nm)(0°)的各值相同,如圖73所示,A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ腡A50%λ(0°)、TA50%λ(30°)、TA(700nm)(0°)、TA(710nm)(0°)的各值不同。另外,對于5~10號的IR截止濾光片,B面?zhèn)鹊亩鄬幽橄嗷ゲ煌哪そY構,A面?zhèn)鹊亩鄬幽橄嗤哪そY構。因此,如圖74所示,B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ腡B50%λ(0°)、TB50%λ(30°)、TB(700nm)(0°)、TB(710nm)(0°)的至少任意一個的值不同,如圖73所示,A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ腡A50%λ(0°)、TA50%λ(30°)、TA(700nm)(0°)、TA(710nm)(0°)的各值相同。通過圖73,對于A面?zhèn)鹊亩鄬幽?,?~10號的全部的IR截止濾光片中,TA50%λ(0°)處于650±25nm的范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,Σ的值是350nm以下。因此,可以說在10種全部的IR截止濾光片中,通過A面?zhèn)鹊亩鄬幽崿F(xiàn)低入射角依存。10種IR截止濾光片與實施例以及比較例的對應關系如圖73以及圖74所示。將各實施例以及各比較例中的A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约癇面?zhèn)鹊亩鄬幽さ哪そY構、各多層膜的分光特性以及IR截止濾光片整體的分光特性示于圖75~圖114。各實施例以及各比較例中的A面?zhèn)鹊亩鄬幽ひ约癇面?zhèn)鹊亩鄬幽そ惶娴貙盈B高折射率層(折射率2.4)和低折射率層(折射率1.46)而構成,但作為折射率2.4的高折射率材料,例如能夠使用TiO2,作為折射率1.46的低折射率材料,例如能夠使用SiO2。另外,作為各實施例以及各比較例的IR截止濾光片的投影性能,將評價面內的顏色偏差和IR截止性能的結果一并示于圖74。對于面內的顏色偏差,利用拍攝元件經由IR截止濾光片接受來自光源(例如D50光源)的光,通過目視觀察判斷是否拍攝圖像的畫面中心部比周邊部變紅而在顏色上產生偏差,并基于以下的基準評價了顏色偏差?!穑簬缀跷创_認出顏色的偏差,作為性能沒有問題。△:確認出顏色的偏差,但在允許范圍內?!粒呵宄卮_認出顏色的偏差,作為性能有問題。另外,IR截止性能參照IR截止濾光片整體的波長710nm的透過率(T(710nm)(0°)),基于以下的基準進行了評價?!穑翰ㄩL710nm的透過率是1%以下?!鳎翰ㄩL710nm的透過率是5%以下?!粒翰ㄩL710nm的透過率比5%大。在實施例3-1~3-7的IR截止濾光片中,作為面內的顏色偏差的評價得到○或者△的良好的結果。認為這是因為實施例3-1~3-7的TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)的值小到5nm以下,所以30°入射時的B面?zhèn)鹊亩鄬幽さ姆止馓匦圆粫^于覆蓋A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ姆止馓匦?,即使在B面?zhèn)刃纬啥鄬幽?,也不會較大地破壞通過A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ玫降牡腿肷浣且来嫘浴A硗?,在實施?-1~3-7中,IR截止特性的評價也得到○或者△這樣的良好的結果。認為這是因為在實施例3-1~3-7中,由于TB(710nm)λ(0°)的值是2.4%以下,所以作為IR截止濾光片整體,T(710nm)(0°)的值為2%以下,通過形成B面?zhèn)鹊亩鄬幽こ浞值卮_保近紅外光的反射特性。與此相對,對于比較例3-1,TB(710nm)λ(0°)的值是81.5%,作為IR截止濾光片整體,T(710nm)(0°)的值大到8.8%,所以不能夠說IR截止性能良好。另外,認為在比較例3-2以及3-3中,TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)的值是10nm以上,TB50%λ(30°)與TA50%λ(30°)相比在短波長側過短,所以通過A面?zhèn)鹊亩鄬幽さ玫降牡腿肷浣且来嫘员籅面?zhèn)鹊亩鄬幽ぽ^大地損害,作為其結果,清晰地產生面內的顏色偏差。在這里,根據面內的顏色偏差的評價結果,認為若TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)的值是評價結果為△的實施例3-5以及3-7的5nm、和評價結果為×的比較例3-3的12nm之間的8nm以下,則能夠抑制面內的顏色偏差。另外,認為若是評價結果為△的實施例3-5以及3-7的5nm與評價結果為○的實施例3-3的-2nm之間的2nm以下,則能夠進一步抑制面內的顏色偏差,若是0nm以下則能夠進一步提高其效果。因此,可以說在抑制面內的顏色偏差時,TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)的值的適當?shù)姆秶?nm以下,優(yōu)選是5nm以下,更為優(yōu)選是2nm以下,進一步優(yōu)選是0nm以下。另外,在實施例3-6中,TB(710nm)(0°)的值是2.4%,IR截止特性的評價為△,在比較例3-1中,TB(710nm)(0°)的值是81.5%,IR截止特性的評價為×。為了充分地確保近紅外光的反射特性,認為作為TB(710nm)(0°)的值,盡可能在2.4%與81.5%之間優(yōu)選接近2.4%。因此,可以說TB(710nm)(0°)的值的適當?shù)姆秶?%以下,優(yōu)選是3%以下,更為優(yōu)選是2.4%以下,進一步優(yōu)選是1%以下。另外,在實施例3-6中,TB(700nm)(0°)的值是37.5%,IR截止特性的評價為△,在實施例3-2中,TB(700nm)(0°)的值是5.0%,IR截止特性的評價為○。為了充分地確保波長700nm附近的近紅外光的反射特性,認為作為TB(700nm)(0°)的值,盡可能在5.0%與37.5%之間優(yōu)選接近5.0%。因此,可以說TB(700nm)(0°)的值的適當?shù)姆秶?0%以下,優(yōu)選是5%以下。并且,根據實施例3-1、3-3、3-7等的結果,可以說TB(700nm)(0°)的值的適當?shù)姆秶?.0%以下,優(yōu)選是1.0%以下。通過以上,可以說第三實施方式的IR截止濾光片也可以是以下的結構。即,上述IR截止濾光片是使可見光透過,使近紅外光反射的IR截止濾光片,具有基板、形成在上述基板的一面的第一多層膜以及形成在上述基板的另一面的第二多層膜,在上述基板的兩面各自形成有上述第一多層膜以及上述第二多層膜的狀態(tài)下,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,在上述第一多層膜中,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且是70%T30%:透過率的值且是30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm),在600nm~700nm的波長范圍內,將在0°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(0°),將在30°入射時透過率為n%的波長設為Tn%λ(30°)時,將n設為整數(shù),滿足[公式1]在上述第二多層膜中,在0°入射時波長710nm的透過率是5%以下,滿足TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)≤8nm。其中,TA50%λ(30°):在第一多層膜中,在30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)TB50%λ(30°):在第二多層膜中,在30°入射時在600nm~700nm的波長范圍內透過率為50%的波長(nm)。根據上述的結構,通過形成在基板的一面的第一多層膜實現(xiàn)低入射角依存性,并且通過形成在基板的另一面的第二多層膜,不會較大地損害上述的低入射角依存性,能夠充分地確保近紅外光的反射特性。優(yōu)選在上述第二多層膜中,在0°入射時波長700nm的透過率是2%以下,滿足TA50%λ(30°)-TB50%λ(30°)≤2nm。此外,上述IR截止濾光片也可以具有吸收膜,該吸收膜在波長600nm~700nm處具有吸收峰值,這一點在后述的第四實施方式中進行說明。第三實施方式的拍攝裝置是具備上述的IR截止濾光片、配置在上述IR截止濾光片的光入射側的拍攝透鏡、以及接受經由上述拍攝透鏡以及上述IR截止濾光片入射的光的拍攝元件的結構。<第四實施方式>基于附圖對本發(fā)明的第四實施方式進行如下說明。圖115是示意性地表示本發(fā)明的實施的一方式的IR截止濾光片1的結構的剖視圖。本實施方式的IR截止濾光片1在透明的基板2的一面具有多層膜3(第一多層膜)、在基板2的另一面具有多層膜6(第二多層膜)的第一~第三實施方式的結構中,在多層膜3以及多層膜6的至少任意一個膜上,涂覆在波長600nm~700nm處具有吸收峰值的吸收膜9(包含吸收材料的樹脂層)而構成。此外,在該圖中,吸收膜9僅被涂覆在多層膜3上,但也可以僅涂覆在多層膜6上,也可以涂覆在多層膜3以及多層膜6兩方。另外,在僅在一方的多層膜上涂覆吸收膜9的情況下,優(yōu)選吸收膜9針對上述多層膜涂覆在光的入射側。另外,優(yōu)選在吸收膜9上形成防反射膜。在本實施方式中,IR截止濾光片1中的吸收膜9以外的膜(多層膜3、多層膜6)的特性與第一~第三實施方式的IR截止濾光片1相同,所以省略其詳細的說明。以下,對吸收膜9的詳細內容進行說明。吸收膜9的涂覆通過將在有機溶劑中混合有丙烯酸系的透明樹脂和吸收劑的材料,通過鑄造法、旋涂法等涂層來進行。上述透明樹脂只要是透過可見光的樹脂即可,作為這樣的樹脂,例如能夠使用丙烯酸系、聚酯系、聚醚系、聚碳酸酯系、環(huán)烯烴系、聚酰亞胺系、聚萘二甲酸系的樹脂。吸收膜9的吸收劑只要是可見光的吸收較少的吸收劑即可。作為這樣的吸收劑,例如,列舉花青系染料、酞菁系染料、銨系染料、亞胺系色素、偶氮系色素、蒽醌系色素、二亞系色素、方酸系色素以及卟啉系色素。更具體而言,例如能夠列舉LumogenIR765、LumogenIR788(BASF制);ABS643、ABS654、ABS667、ABS670T、IRA693N、IRA735(Exciton制);SDA3598、SDA6075、SDA8030、SDA8303、SDA8470、SDA3039、SDA3040、SDA3922、SDA7257(H.W.SANDS制);TAP-15、IR-706(山田化學工業(yè)制)。通過涂覆吸收膜9,能夠利用吸收膜9吸收被多層膜3或者多層膜6反射的紅色~近紅外區(qū)域的光,能夠減少由反射光引起的重影。另外,在減少重影時,無需部分改變吸收膜9的厚度,所以即使在涂覆吸收膜9的基體材料是像基板2那樣的平行平板,在與基板2平行的面內吸收特性也不會不同。另外,在本實施方式中,若在多層膜3的600nm~750nm的波長范圍中的0°入射時的反射率與30°入射時的反射率中,將各個入射角中的反射率為10%的波長中更短波長側的波長設為λ10%,將各個入射角中的反射率為90%的波長中更長波長側的波長設為λ90%,則吸收膜9具有吸收在從λ10%到λ90%的整個波長范圍內累計多層膜3的0°入射時的反射率和30°入射時的反射率中更高的一方的反射率所得到的面積的40%以上90%以下的特性。在這里,圖116分別示有0°入射時和30°入射時的600nm~750nm的波長范圍內的多層膜3的分光特性的一個例子。此外,圖116的縱軸表示透過率,但在考慮反射率的情況下,也可以為100-透過率(%)。在具有這樣的分光特性的多層膜3上設置有吸收膜9的情況下,在多層膜3的分光特性中,在從λ10%到λ90%的整個波長范圍內按照每個波長累計0°入射時的反射率和30°入射時的反射率中更高的一方的反射率所得的值,與該圖的斜線部的面積,即被多層膜3反射的光的量對應。因此,能夠通過吸收膜9,吸收上述面積(反射光量)的40%以上,減少由通過多層膜3的反射光引起的重影,并且將通過吸收膜9的吸收量抑制在上述面積的90%以下,從而抑制可見光的透過率的減少。其結果,在420~600nm的可見光的波長范圍內,能夠實現(xiàn)較高的平均透過率(例如平均透過率為88.5%以上)。此時,優(yōu)選吸收膜9具有吸收上述面積的40%以上85%以下的特性。在該情況下,能夠進一步抑制由通過吸收膜9的吸收引起的可見光的透過率的減少。其結果,能夠在420~600nm的可見光的波長范圍內,實現(xiàn)更高的平均透過率(例如平均透過率為89.5%以上)。并且,優(yōu)選吸收膜9具有吸收上述面積的40%以上78%以下的特性。在該情況下,能夠進一步抑制由通過吸收膜9的吸收引起的可見光的透過率的減少,在上述可見光的波長范圍內實現(xiàn)進一步較高的平均透過率(例如平均透過率為90%以上)?!矊嵤├辰酉聛?,對具備吸收紅外線的吸收膜的IR截止濾光片的實施例進行說明。在這里,在上述的第一實施方式的實施例1-1的IR截止濾光片(其中沒有第二多層膜)中,在第一多層膜的光入射側形成有吸收膜。作為吸收膜,使用了向丙烯酸系樹脂中添加了吸收劑(ABS670T(Exciton公司))而成的材料。而且,使吸收劑的添加量在0.0009wt%~0.12wt%的范圍內變化,按照各添加量計算吸收劑的吸收量,并對此時的重影以及平均透過率進行了評價。此外,對于吸收量,在第一多層膜的分光特性中,通過相對于在從λ10%到λ90%的整個波長范圍內按照每個波長1nm累計0°入射時的反射率與30°入射時的反射率中更高的一方的反射率所得到的面積(圖116的斜線部的面積)的吸收量的比例(面積比)來表示。對于重影,將上述IR截止濾光片設置于拍攝裝置(參照圖5),通過目視觀察判斷在利用拍攝元件得到的圖像上是否存在由重影引起的畫質降低,并基于以下的基準進行了評價?!穑何创_認出由重影引起的畫質降低,或即使確認出但在實際使用上也沒有問題的等級?!粒捍_認出由重影引起的畫質降低,在實際使用上存在問題的等級。對于可視透光率,計算上述IR截止濾光片的420~600nm的波長范圍內的可見光的平均透過率,基于以下的基準進行了評價?!颍浩骄高^率是90%以上。○:平均透過率是89.5%以上且小于90%?!鳎浩骄高^率是88.5%以上且小于89.5%?!粒浩骄高^率小于88.5%。圖117示有吸收劑的每個添加量的吸收量、重影以及平均透過率的評價的結果。另外,圖118~圖121對0°入射以及30°入射的各個情況示有吸收劑的吸收量以面積比表示為78%、90%、85%、40%的情況下的IR截止濾光片的分光特性。通過圖117,可以說若吸收劑的吸收量以面積比表示為是40%以上90%以下,則是重影的影響在實際使用上沒有問題的等級,并且,可見光的透過率的降低也被抑制。另外,若吸收劑的吸收量以面積比表示為是85%以下,則可見光的透過率的降低被進一步抑制,若上述吸收量以面積比表示為是78%以下,則可見光的透過率的降低被更進一步抑制。此外,以上,具體地示出在基板的一面形成有第一多層膜(在基板的另一面未形成有第二多層膜)IR截止濾光片中應用了吸收膜的例子,但在基板的另一面還形成有第二多層膜的結構中,由于第二多層膜近紅外光的反射特性增大(近紅外光的反射光量增大),所以為了減少重影并且確??梢姽獾耐高^率,如上述那樣規(guī)定吸收劑的吸收量更為有效。通過以上,可以說第四實施方式的IR截止濾光片也可以是以下的結構。即,上述IR截止濾光片是具有基板、形成在上述基板上的多層膜、以及吸收被上述多層膜反射的光的樹脂層的IR截止濾光片,上述多層膜包含交替地層疊的高折射率層和低折射率層,在上述多層膜中,450nm~600nm的波長范圍內的平均透過率是90%以上,在0°入射時透過率為50%的波長處于650±25nm的范圍內,在600nm~700nm的波長范圍內,滿足0.5%/nm<|ΔT|<7%/nm,其中,|ΔT|:0°入射時的|(T70%-T30%)/(λ70%-λ30%)|的值(%/nm)T70%:透過率的值且為70%T30%:透過率的值且為30%λ70%:透過率為70%的波長(nm)λ30%:透過率為30%的波長(nm),在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的、透過率為50%的波長的差是8nm以內,0°入射和30°入射時的、透過率為75%的波長的差是20nm以內,若在上述多層膜的600nm~750nm的波長范圍中的0°入射時的反射率和30°入射時的反射率中,將各個入射角中的反射率為10%的波長中更短波長側的波長設為λ10%,將各個入射角中的反射率為90%的波長中更長波長側的波長設為λ90%,則上述樹脂層具有吸收在從λ10%到λ90%的整個波長范圍內累計上述多層膜的0°入射時的反射率與30°入射時的反射率中更高的一方的反射率所得的面積的40%以上90%以下的特性。根據上述的結構,能夠抑制相對于入射角的較大的變化(例如30°的變化)的分光特性的變化,因此,能夠實現(xiàn)也能夠充分應對拍攝透鏡的低背化的低入射角依存的IR截止濾光片。另外,能夠抑制吸收紅外線的樹脂層的對可見光的吸收,并且不用改變樹脂層的厚度就能夠減少由多層膜的反射光引起的重影。優(yōu)選上述樹脂層具有吸收上述面積的40%以上85%以下的特性。優(yōu)選上述樹脂層具有吸收上述面積的40%以上78%以下的特性。優(yōu)選在上述多層膜中,在600nm~700nm的波長范圍內,0°入射和30°入射時的、透過率為25%的波長的差是20nm以內。優(yōu)選上述多層膜具有至少4對相鄰的高折射率層與低折射率層的光學膜厚的比是3以上的截止調整對,若將構成上述多層膜的層的折射率中的最大的折射率與最小的折射率的差設為Δn,將最大的折射率設為nH,則滿足Δn×nH≥1.5。優(yōu)選上述多層膜的總膜厚是3000nm以上。第四實施方式的拍攝裝置是具備上述的IR截止濾光片、配置在上述IR截止濾光片的光入射側的拍攝透鏡、以及接受經由上述拍攝透鏡以及上述IR截止濾光片入射的光的拍攝元件的結構。<補充>IR截止濾光片具有吸收型、反射型、混合動力型3種。吸收型的IR截止濾光片在基板中包含吸收材料。反射型的IR截止濾光片是在透明的基板上,形成有使可見光透過并使近紅外光反射的光學薄膜(多層膜)而成的部件?;旌蟿恿π偷腎R截止濾光片具備包含吸收材料的基板(層)、以及使可見光透過并使近紅外光反射的光學薄膜。在第一~第三實施方式中所示的IR截止濾光片是反射型,在第四實施方式中所示的IR截止濾光片是混合動力型。本發(fā)明的IR截止濾光片能夠利用于例如移動電話機、數(shù)碼相機、顯微鏡、內視鏡等具備固體拍攝元件的電子設備、光學設備。符號說明1…IR截止濾光片;2…基板;3…多層膜(第一多層膜);4…高折射率層;5…低折射率層;6…多層膜(第二多層膜);9…吸收膜(樹脂層)。
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