亞波長矩形單周期光柵結(jié)構的制作方法及偶數(shù)分束器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種亞波長矩形單周期光柵結(jié)構的制作方法，其用于制作可實現(xiàn)偶數(shù)分束的亞波長矩形單周期光柵結(jié)構，其包括如下步驟：S11、確定入射波波長和光柵基底的材料的折射率；S13、根據(jù)目標偶數(shù)分束數(shù)構建評價函數(shù)；S15、利用嚴格耦合波理論和全局優(yōu)化算法，結(jié)合所述評價函數(shù)，優(yōu)化獲得所述亞波長矩形單周期光柵結(jié)構的脊寬、槽寬及深度；S17、根據(jù)所述脊寬、所述槽寬及所述深度，制作所述亞波長矩形單周期光柵結(jié)構。獲得的亞波長矩形單周期光柵結(jié)構可對不同的入射波波長實現(xiàn)較為理想的偶數(shù)分束效果；同時，具有所述亞波長矩形單周期光柵結(jié)構的偶數(shù)分束器可有效地實現(xiàn)偶數(shù)分束，且其為周期性矩形結(jié)構，易于生產(chǎn)復制，實用性強。
【專利說明】亞波長矩形單周期光柵結(jié)構的制作方法及偶數(shù)分束器
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及衍射光學器件，尤其涉及一種可實現(xiàn)偶數(shù)分束的亞波長矩形單周期光柵結(jié)構的制作方法及偶數(shù)分束器。
【背景技術】
[0002]分束器是光學系統(tǒng)中起重要作用的分光元件，在光纖通信、光計算、圖像處理和光盤存儲等眾多【技術領域】中，經(jīng)常需要利用分束器將單一信號變換為多個信號輸出。偶數(shù)分束器是將一束入射電磁波變換為偶數(shù)束輸出，即1x2，1x4,1x6……，其具有對稱分光效果及較高光能利用率的優(yōu)點，使偶數(shù)分束器在搭建光學系統(tǒng)中具有重要意義。
[0003]普通光柵設計理論——標量衍射理論由于其設計局限性，無法產(chǎn)生高衍射效率偶數(shù)等光強分束的效果。
[0004]
【發(fā)明者】徐平, 黃海漩, 楊拓 申請人:深圳大學