顆粒清理裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種顆粒清理裝置，通過驅(qū)動裝置驅(qū)動回收裝置對設(shè)備環(huán)境中的顆粒進(jìn)行吸附回收，有效的對設(shè)備環(huán)境中角落處顆粒的清理，避免了人工手動擦拭需要耗費(fèi)大量的人力物力且潔凈效果不佳的現(xiàn)象，提高了設(shè)備環(huán)境顆粒的潔凈度，進(jìn)而提高了光罩的潔凈度。
【專利說明】顆粒清理裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種顆粒清理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]微影加工過程是半導(dǎo)體加工過程中的關(guān)鍵性步驟之一，特別是在組件尺寸日趨微細(xì)化的集成電路時(shí)代，使微影加工過程越來越受到本領(lǐng)域技術(shù)人員的重視。而已經(jīng)普遍被使用于半導(dǎo)體制造的微影制程中的光罩成為不可忽略的工藝，光罩是將所需要的圖案定義在半導(dǎo)體芯片的光致抗蝕層上，然后半導(dǎo)體芯片再進(jìn)一步利用光致抗蝕層的圖案作為基礎(chǔ)，進(jìn)行后續(xù)的蝕刻或離子布置處理。因此，光罩若出現(xiàn)了問題，即使對后續(xù)的曝光、顯影、蝕刻等加工過程進(jìn)行改善，也無法獲得所要的圖案，從而無法達(dá)到所需求的電路設(shè)計(jì)。
[0003]然而，光罩的潔凈程度往往會是一個(gè)重要的問題，對于高精度的光罩(例如在微影制程中，使用波長等于或短于248nm的光罩)特別容易受影響而產(chǎn)生缺陷。造成光罩的不潔凈的其中一種因素為薄霧污染。薄霧污染形成的主要原因，來自于光罩清洗劑的殘留沉積物、不潔凈的晶圓制造環(huán)境或是暴露于相互影響的設(shè)備環(huán)境中。通常對于制造環(huán)境或者設(shè)備環(huán)境中的顆粒的沉積物，采用人工手動利用異丙醇擦拭的方式進(jìn)行清潔處理。這種方式存在的缺點(diǎn)是，制造環(huán)境或者設(shè)備環(huán)境中由顆粒沉積的沉淀物需要定期的人為清理，并且清理的不是很徹底，有些角落的顆粒不能有效的去除，耗費(fèi)了大量的人力物力。
[0004]綜上，亟需提供一種新的顆粒清理裝置，以解決受制造環(huán)境或者設(shè)備環(huán)境中的顆粒清理潔凈度不高，致使光罩的潔凈度不高，造成光罩后續(xù)的工序出現(xiàn)誤差的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種顆粒清理裝置，以解決使用現(xiàn)有技術(shù)中人工手動擦拭設(shè)備環(huán)境中顆粒，顆粒清潔的效果不夠徹底，致使光罩的潔凈度不高及需要耗費(fèi)大量的人力物力的問題。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種顆粒清理裝置，所述顆粒清理裝置包括:驅(qū)動裝置及與所述驅(qū)動裝置連接的回收裝置。
[0007]可選的，在所述的顆粒清理裝置中，所述驅(qū)動裝置為馬達(dá)。
[0008]可選的，在所述的顆粒清理裝置中，所述回收裝置包括具有吸附性能的風(fēng)扇，用于回收顆粒。
[0009]可選的，在所述的顆粒清理裝置中，所述回收裝置還包括與所述風(fēng)扇連接的顆粒存放部件，用于存放回收的顆粒。
[0010]可選的，在所述的顆粒清理裝置中，所述顆粒存放部件為一可拆卸的金屬盒。
[0011]可選的，所述的顆粒清理裝置還包括固定部件，與所述驅(qū)動裝置連接，用于所述顆粒清理裝置的固定。
[0012]可選的，在所述的顆粒清理裝置中，所述固定部件為一搭扣。
[0013]可選的，在所述的顆粒清理裝置中，所述固定部件的材質(zhì)為金屬[0014]可選的，所述的顆粒清理裝置還包括電源，與所述驅(qū)動裝置連接，用于為所述顆粒
清理裝置提供能量。
[0015]在本發(fā)明所提供的顆粒清理裝置中，通過驅(qū)動裝置驅(qū)動回收裝置對設(shè)備環(huán)境中的顆粒進(jìn)行吸附回收，有效的對設(shè)備環(huán)境中角落處顆粒的清理，避免了人工手動擦拭需要耗費(fèi)大量的人力物力且潔凈效果不佳的現(xiàn)象，提高了設(shè)備環(huán)境顆粒的潔凈度，進(jìn)而提高了光罩的潔凈度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明一實(shí)施例中顆粒清理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明提出的顆粒清理裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0018]請參考圖1，其為本發(fā)明一實(shí)施例中顆粒清理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，所述的適用于光刻機(jī)設(shè)備中的顆粒清理裝置，包括:
[0019]驅(qū)動裝置10及與所述驅(qū)動裝置10連接的回收裝置20。
[0020]優(yōu)選的，所述驅(qū)動裝置10為馬達(dá)。現(xiàn)在人們通常所指的馬達(dá)又稱為電子啟動器。它通過電磁感應(yīng)帶動起動機(jī)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子上的小齒輪帶動發(fā)動機(jī)飛輪旋轉(zhuǎn)，從而帶動曲軸轉(zhuǎn)動而使回收裝置運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0021]優(yōu)選的，所述回收裝置20包括具有吸附性能的風(fēng)扇風(fēng)扇22及與所述風(fēng)扇22連接的顆粒存放部件21 ;其中，所述風(fēng)扇用于回收顆粒，速搜顆粒存放部件21用于存放回收的顆粒。
[0022]具體的，當(dāng)使用顆粒清理裝置時(shí)，將其放置需要清理顆粒的環(huán)境中。由驅(qū)動裝置10驅(qū)動所述回收裝置20中的風(fēng)扇22進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，當(dāng)風(fēng)扇22工作起來以后，室內(nèi)的空氣會流動起來，而空氣中的顆粒會隨之流動，具有吸附性能的風(fēng)扇22的作用下，空氣中的顆粒都會被吸附到顆粒存放部件22中，可以根據(jù)需要定期的清理顆粒存放部件22中所回收的顆粒。
[0023]優(yōu)選的，所述顆粒存放部件21為一可拆卸的金屬盒。
[0024]優(yōu)選的，所述顆粒清理裝置中還包括固定部件，與所述驅(qū)動裝置連接，用于所述顆粒清理裝置的固定。由于顆粒清理裝置為一獨(dú)立的清理顆粒的裝置，因此在應(yīng)用時(shí)，為使顆粒清理裝置具有較好的穩(wěn)固性，設(shè)置固定部件來將顆粒清理裝置固定在具體的環(huán)境中。
[0025]優(yōu)選的，所述固定部件為一搭扣。針對需要清理顆粒時(shí)的設(shè)備環(huán)境中有管路的情況，將固定部件優(yōu)選為搭扣結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)需要設(shè)定顆粒清理裝置。
[0026]優(yōu)選的，所述固定部件的材質(zhì)為金屬。
[0027]優(yōu)選的，所述顆粒清理裝置中還包括電源，與所述驅(qū)動裝置連接，用于為所述顆粒
清理裝置提供能量。
[0028]綜上，在本發(fā)明所提供的顆粒清理裝置中，通過驅(qū)動裝置驅(qū)動回收裝置對設(shè)備環(huán)境中的顆粒進(jìn)行吸附回收，有效的對設(shè)備環(huán)境中角落處顆粒的清理，避免了人工手動擦拭需要耗費(fèi)大量的人力物力且潔凈效果不佳的現(xiàn)象，提高了設(shè)備環(huán)境顆粒的潔凈度，進(jìn)而提高了光罩的潔凈度。
[0029]上述描述僅是對本發(fā)明較佳實(shí)施例的描述，并非對本發(fā)明范圍的任何限定，本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種顆粒清理裝置，適用于光刻機(jī)設(shè)備中，其特征在于，包括:驅(qū)動裝置及與所述驅(qū)動裝置連接的回收裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的顆粒清理裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置為馬達(dá)。
3.如權(quán)利要求1所述的顆粒清理裝置，其特征在于，所述回收裝置包括具有吸附性能的風(fēng)扇，用于回收顆粒。
4.如權(quán)利要求3所述的顆粒清理裝置，其特征在于，所述回收裝置還包括與所述風(fēng)扇連接的顆粒存放部件，用于存放回收的顆粒。
5.如權(quán)利要求4所述的顆粒清理裝置，其特征在于，所述顆粒存放部件為一可拆卸的金屬盒。
6.如權(quán)利要求1所述的顆粒清理裝置，其特征在于，還包括固定部件，與所述驅(qū)動裝置連接，用于所述顆粒清理裝置的固定。
7.如權(quán)利要求6所述的顆粒清理裝置，其特征在于，所述固定部件為一搭扣。
8.如權(quán)利要求6所述的顆粒清理裝置，其特征在于，所述固定部件的材質(zhì)為金屬。
9.如權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的顆粒清理裝置，其特征在于，還包括電源，與所述驅(qū)動裝置連接，用于為所述顆粒清理裝置提供能量。
【文檔編號】G03F1/82GK103926787SQ201410138311
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年4月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月8日
【發(fā)明者】卞榮華, 謝華, 莫少文 申請人:上海華力微電子有限公司