防塵薄膜組件以及安裝該防塵薄膜組件的光掩模的制作方法
【專利摘要】提供一種安裝防塵薄膜組件后的光掩模的變形小，而且防塵薄膜組件的裝卸容易，且可信性高的防塵薄膜組件以及安裝該防塵薄膜組件的光掩模。本發(fā)明的防塵薄膜組件40為，由至少具有4個邊的防塵薄膜組件框架10構成，在防塵薄膜組件框架10的至少4處的角部上，設置從光掩模70側端面向設置防塵薄膜42的端面的陰螺紋11，另外，該防塵薄膜組件40的光掩模70側的端面，設置彈性體層43。然后，此彈性體層43，在該防塵薄膜組件40被用連接部件101安裝在光掩模70上的場合，被壓扁,與光掩模70表面的接觸寬為0.3～1.0mm的范圍，由此,防塵薄膜組件40和光掩模70之間的密封性良好。
【專利說明】防塵薄膜組件以及安裝該防塵薄膜組件的光掩模

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及在半導體設備、1C封裝體、印刷基板、液晶顯示器以及有機EL顯示器 等的制造中作為防塵器使用的防塵薄膜組件以及安裝該防塵薄膜組件的光掩模。

【背景技術】
[0002] 在LSI，超LSI等的半導體或液晶顯示器等的制造中，要向半導體晶片或液晶用玻 璃板進行紫外光照射以進行圖案的作制，此時如果在光掩模上附著灰塵，該灰塵就會將紫 外光遮擋，由于紫外光反射，就會發(fā)生轉印的圖案的變形等，從而發(fā)生品質的損害的問題。
[0003] 為此，這樣的操作為通常無塵室中進行，即使如此，也很難經常保持光掩模的經常 清潔。由此，要在光掩模表面上貼附作為防塵器的防塵薄膜組件后進行曝光。在該場合，異 物不在光掩模的表面上直接附著，而是在防塵薄膜組件上附著，在光刻時只要將焦點對準 光掩模的圖案，防塵薄膜組件上的異物就與轉印無關系了。
[0004] -般，防塵薄膜組件為，將由光良好透過的硝化纖維素，乙酸纖維素或氟樹脂等構 成的透明的防塵薄膜貼附于由鋁，不銹鋼等構成的防塵薄膜組件框架的上端面而成。另外， 防塵薄膜組件框架的下端，具有為了安裝在光掩模上的聚丁烯樹脂，聚乙酸乙烯基樹脂，丙 烯酸樹脂，硅酮樹脂等構成的粘著層以及對粘著層進行保護的離型層（分離物）。
[0005] 近年，伴隨在曝光圖案的細微化，由于防塵薄膜組件的貼附而造成的光掩模的變 形成為問題。如光掩模和薄膜組件框架通過光掩模粘著材進行連接，防塵薄膜組件框架的 形狀就會給光掩模的形狀以影響，光掩模表面描繪的圖案就會發(fā)生變形。
[0006] 由此，以往有多種解決方案。例如，在專利文獻1中，記載了使防塵薄膜組件框架 的向光掩模貼附側的平坦度為30 μ m以下，且該防塵薄膜組件框架的防塵薄膜側的平坦度 為15 μ m以下，從而達到使光掩模的變形小的效果。
[0007] 另外，專利文獻2中，記載了通過將貼附于光掩模的防塵薄膜組件的粘著劑的厚 度和彈性率規(guī)定為所望值，來將防塵薄膜組件框架端面的凹凸用粘著劑層進行吸收，從而 充分保持光掩模面的平滑度。
[0008] 專利文獻3中，記載了通過作為防塵薄膜組件粘著層，使用柔軟的由凝膠組合物 構成之物，來減低防塵薄膜組件貼附于光掩模等的場合的光掩模等的變形。
[0009] 進一步，專利文獻4中，記載了將粘著劑層的粘著力抑制在lN/m至100N/m的范 圍，來抑制由于防塵薄膜組件貼附而造成的光掩模的變形。
[0010] 但是，這些提案，對于將防塵薄膜組件框架給予光掩模形狀的影響加以減低不充 分，還有很多問題。例如，在將粘著層制成柔軟之物的場合，防塵薄膜組件剝離后，光掩模表 面上粘著劑的殘渣易于殘留，將其除去以及再洗凈會很費事。
[0011] 另外，即使提高粘著劑的平坦度，如不加大的壓力而貼附，粘著層和光掩模之間會 有氣體存留，密著性變差，防塵薄膜組件的內外會通氣，從而可信性有問題。另一方面，為了 解決此問題，要加以強的壓力進行確實貼附，但是，會由于防塵薄膜組件框架的形狀給光掩 模大的影響，從而具有使光掩模圖案的變形變大的問題。
[0012] 從以上可以得知，至今為止的技術，不能提供一種既將由于防塵薄膜組件安裝使 光掩模變形減少的同時，又使防塵薄膜組件的裝卸容易且使用可信性高的防塵薄膜組件。
[0013] 【現(xiàn)有技術文獻】
[0014] 【專利文獻】
[0015] 【專利文獻1】日本特開2008-256925號
[0016] 【專利文獻2】日本特開2008-65258號
[0017] 【專利文獻3】日本特開2011-76042號
[0018] 【專利文獻4】日本特開2012-108277號


【發(fā)明內容】

[0019] 由此，本發(fā)明就是，鑒于上述情況而得到的，本發(fā)明的目的是提供一種安裝后的光 掩模的變形小，且防塵薄膜組件的裝卸容易，且可信性高的防塵薄膜組件以及安裝該防塵 薄膜組件的光掩模。
[0020] 本發(fā)明人，為了達到此目的，著眼于以小的緊縮力就會得到高的密封性的0環(huán)等 的墊片的功能，對該功能是否可以適用于防塵薄膜組件框架進行了深入的研究的結果，得 知即使在防塵薄膜組件框架10上設置彈性體層，對其加壓，光掩模的變形也小，且可以保 持高的密封性，從而完成了本發(fā)明。
[0021] 【
【發(fā)明內容】
】
[0022] 本發(fā)明的防塵薄膜組件，至少4條邊的防塵薄膜組件框架10來構成，其特征在于： 防塵薄膜組件框架的至少4處的角部中，從光掩模側端面向設置防塵薄膜的端面，設置陰 螺紋，并且在該防塵薄膜組件的光掩模側的端面，設置彈性體層。
[0023] 然后，優(yōu)選所述彈性體層，在該防塵薄膜組件被用連接部件安裝在光掩模上的場 合，被壓扁，與光掩模表面的接觸寬為〇. 3?1. 0mm的范圍。
[0024] 在防塵薄膜組件框架的垂直方向上切割彈性體所得到的截面形狀優(yōu)選頂點為正 對防塵薄膜組件框架的光掩模側端面的中心線的大略半圓形狀。另外，彈性體層的硬度， 優(yōu)選杜羅回跳式硬度計硬度A50°以下，作為該材質，優(yōu)選從由硅酮樹脂，氟改性硅酮樹脂， EPM樹脂，EPDM樹脂，SBS樹脂以及SEBS樹脂構成的群中選擇。進一步，彈性體層的表面， 優(yōu)選沒有粘著性。
[0025] 安裝本發(fā)明的防塵薄膜組件的光掩模特征為，對應陰螺紋的位置上有貫通孔。另 夕卜，此貫通孔的形狀，優(yōu)選圖案面的相反側為大直徑的錐體形狀或圖案面的相反側為大直 徑的具有臺階的形狀，此貫通孔中，在先端部，有陽螺紋的連接部件插入，通過陽螺紋和陰 螺紋的連接，防塵薄膜組件被安裝。
[0026] 【發(fā)明的效果】
[0027] 在本發(fā)明中，防塵薄膜組件和光掩模，通過具有墊片的功能的彈性體層，以螺紋機 構的連接部件來進行連接，光掩模粘著層不需要，所以光掩模表面沒有粘著劑的殘渣存留， 防塵薄膜組件卸下后的光掩模的洗凈極容易。另外，本發(fā)明的彈性體層，沒有氣體滯留的發(fā) 生而容易壓扁，用極弱的按壓力就可以完全密封，由此在由于安裝而給光掩模的變形極小 的同時，用螺紋機構連接，密封的可信性也高，防塵薄膜組件的卸下也容易。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0028] 【圖1】防塵薄膜組件框架的一實施方式的平面圖。
[0029] 【圖2】防塵薄膜組件框架的一實施方式的側面圖。
[0030] 【圖3】圖1的A-A的截面圖。
[0031] 【圖4】本發(fā)明的防塵薄膜組件的一實施方式的斜視圖。
[0032] 【圖5】圖4的B部的截面圖。
[0033] 【圖6】圖4的C部的截面圖。
[0034] 【圖7】光掩?；宓囊粚嵤┓绞降钠矫鎴D。
[0035] 【圖8】圖7的D-D的截面圖。
[0036] 【圖9】D_D截面的另一個實施方式的圖。
[0037] 【圖10】本發(fā)明的防塵薄膜組件被安裝于光掩模基板的實施方式的截面圖。
[0038] 【圖11】圖10的角部的放大截面圖。

【具體實施方式】
[0039] 以下，對本發(fā)明的一個實施方式進行說明，但是本發(fā)明并不限于此。
[0040] 圖1至3為，防塵薄膜組件框架10的一實施方式的圖。圖1為，從光掩模安裝側 看到的平面圖，其外形為矩形，角部中有陰螺紋11設置。此陰螺紋11，從光掩模安裝側向防 塵薄膜側設置，此實施方式優(yōu)選非貫通，但是根據(jù)尺寸以及加工上的需要，也可以貫通。
[0041] 此陰螺紋部11，直接在防塵薄膜組件框架10上設置，也可以將另外加工制作之物 插入防塵薄膜組件框架10從而安裝。也可以進行松馳防止劑的涂布以及從橫方向安裝針， 止動螺紋（未圖示）等的松馳止動的部件。該防塵薄膜組件框架10的材質，可以在鋁合金 之外，可以使用碳鋼，不銹鋼等的鐵系合金，PEEK等的工程塑料，纖維強化塑料等。
[0042] 另外，防塵薄膜組件框架10的平坦度，為了本發(fā)明的目的達成，優(yōu)選至少30 μ m以 下，更優(yōu)選為15 μ m以下。防塵薄膜組件框架10的側面上，也可以設置處理用的夾具孔12 以及通氣孔13。
[0043] 圖4為，為用上述的防塵薄膜組件框架10構成的防塵薄膜組件40的斜視圖，為從 光掩模安裝面觀察的方向。該圖4的實施方式中，陰螺紋11僅在角部配置，但是在防塵薄 膜組件框架10的邊長長的場合，優(yōu)選角部之外也可以適宜地增加配置陰螺紋部。防塵薄膜 組件框架10的外形，不限于矩形，如果考慮陰螺紋11的位置，也可以為圓形以及八角形狀。
[0044] 防塵薄膜組件框架10為，其一個面上設置由丙烯酸接著劑，硅酮接著劑，氟系接 著劑等構成的防塵薄膜接著層41，使防塵薄膜42無折皺地接著。另一方面，在其相反的面 上，設置彈性體層43,該彈性體層43的形狀，如圖5所示，其截面為以防塵薄膜組件框架10 的中線的正上方為頂點的大略半圓形狀。
[0045] 然后，此彈性體層43為，在圖4中，在防塵薄膜組件框架10的寬方向全體設置，但 是僅在寬方向的一部分設置也可以。另外，該彈性體層43,如圖6表示的那樣，在具有防塵 薄膜組件框架10的陰螺紋部11的角部，陰螺紋11的內側配置，而且，在該彈性體層43的 近傍，設置臺階14。該臺階14,在將彈性體層43進行涂布設置時，在將涂布寬進行規(guī)制的 同時，要設置為陰螺紋11內不會有涂布物流入。
[0046] 在本發(fā)明中，不需要將防塵薄膜組件框架10接著于光掩?；?0,該防塵薄膜組 件框架10的彈性體層43的表面，優(yōu)選沒有粘著性。在將防塵薄膜組件40安裝于光掩?；?板70時，如彈性體層43的表面如有微粘著性，防塵薄膜組件框架10與光掩模接觸時就不 容易橫向錯位，從而易于操作，所以也可以具有微粘著性。
[0047] 該彈性體層43,從以上的觀點以及從耐臭氧性，發(fā)氣體，耐光性，硬度，成形性等的 觀點，優(yōu)選從由硅酮樹脂，氟改性硅酮樹脂，EPM樹脂，EPDM樹脂，SBS樹脂以及SEBS樹脂 組成的群進行選擇。即使這些以外的樹脂，如可以在防塵薄膜組件框架10上進行涂布?成 形，也可以作為彈性體層43來使用，但是，使用硫黃的加硫材質，在防塵薄膜組件使用中會 成為煙霧的發(fā)生原因，是不適用的。
[0048] 另外，此彈性體層43的形狀，在安裝在光掩?；?0的場合，優(yōu)選與光掩?；?板70的接觸寬為0. 3?1. 0mm的范圍而形成，從可信性以及安裝時的負荷的觀點，更優(yōu)選 0. 4?0. 6mm的范圍。接觸寬如0. 3mm未滿，安裝時的按壓力弱，密封性不好，另外，如超過 1. 0mm，按壓力過強，彈性體層43的壓扁量多，反發(fā)力變大，會給光掩模基板70的變形變大。 另外，該接觸寬為，從光掩模側通過玻璃進行觀察的場合，為彈性體層與玻璃接觸色調不同 的寬，這可以用顯微鏡等的低倍率的放大鏡進行測定。
[0049] 進一步，彈性體層43的硬度，優(yōu)選由后述的連接部件101按壓使彈性體層43被適 度壓扁，防塵薄膜組件40和光掩?；?0的接觸寬為0. 3?1. 0mm的范圍，杜羅回跳式硬 度計硬度A50°以下。
[0050] 由此，本發(fā)明，優(yōu)選設定彈性體層43的形狀以及硬度，進一步由后述的連接部件 101給予光掩模基板70的按壓量，從而使優(yōu)選彈性體層43和光掩模基板70的接觸寬為 0. 3?1. 0_的范圍。另外，彈性體層43的頂點部分的平坦度，當然越高越好，但是優(yōu)選為 30 μ m以下，更優(yōu)選為10 μ m以下。
[0051] 本發(fā)明的防塵薄膜組件40,如以上那樣構成，可以極度減少由該防塵薄膜組件40 的安裝而產生的光掩模基板70的變形。特別是，在適用于要求細微加工的半導體制造用途 的光掩模基板時，可以發(fā)揮更大的效果，適用的防塵薄膜組件40的大小沒有特別的限制， 可以適用從一邊150_程度的半導體制造用防塵薄膜組件到一邊為超過1000mm的顯示器 制造用。
[0052] 以下，對本發(fā)明的防塵薄膜組件40被安裝的光掩?；?0的實施方式進行說明。 本發(fā)明的光掩?；?0中，設置有與防塵薄膜組件40的螺紋孔11對應的貫通孔71。此貫 通孔71，以圖案面的相反側為大直徑為好，可以為圖8表示的錐體形狀，或圖9表示的臺階 形狀。做成這樣的形狀的目的，如后述那樣，是不使連接部件101從光掩?；?0的表面 突出，由于會對防塵薄膜組件40和光掩?；?0之間的安裝尺寸有影響，此錐體形狀或臺 階的加工深度有要進行精密管理。
[0053] 然后，作為錐體形狀的場合，有連接部件101的插入？連接時灰塵發(fā)生少的優(yōu)點， 另外，在為臺階形狀的場合，具有為了能更正確地進行加工深度的尺寸管理，防塵薄膜組件 40和光掩?；?0之間的安裝尺寸以及彈性體層43的按壓量能進行正確管理的優(yōu)點。
[0054] 以下，對將本發(fā)明的防塵薄膜組件40在光掩模基板70上安裝的實施方式進行說 明，該實施方式為，使用具有圖9所示的臺階形狀的貫通孔71的光掩?；?0的場合。
[0055] 防塵薄膜組件40為，通過從光掩?；?0的圖案面的相反側插入的連接部件101 來緊固的。此連接部件101，如圖11所示的那樣，為先端部和中間部之間具有臺階部112的 圓棒形狀。該先端部，由陽螺紋111構成，中間部，由圓筒部分114構成，另一端，由大直徑 部113構成。另外，此大直徑部113的端面，為了使連接部件101的連接或解除成為可能， 優(yōu)選加工+以及一形狀的溝或四角，六角等的凹陷（未圖示）。
[0056] 本發(fā)明的防塵薄膜組件40的安裝，通過連接部件101進行，在陰螺紋11上將陽螺 紋111擰上時，雖然擔心從螺紋有灰塵發(fā)生，由于光掩?；?0的圖案面，由在防塵薄膜組 件框架10上設置的彈性體層43完全密封，所以不會發(fā)生由灰塵發(fā)生而造成的污染等問題。
[0057] 另外，連接部件101，具有臺階部112,該臺階部112的位置，換言之，圓筒部分114 的長度，對防塵薄膜組件40和光掩模基板70的安裝尺寸以及彈性體層43的壓扁狀況具有 大的影響，如上述那樣，不僅僅對光掩?；?0的貫通孔71的臺階尺寸進行管理，還優(yōu)選 對此圓筒部114的長度也要進行適切的管理，有必要盡可能的對該長度的不均一進行盡可 能的抑制。
[0058] 光掩?；?0的貫通孔71的臺階尺寸，防塵薄膜組件框架的臺階14的尺寸以及 連接部件101的圓筒部114的長度（或臺階部112的位置）為，要依據(jù)安裝防塵薄膜組件 40的光掩?；?0厚度，防塵薄膜組件框架10高度，彈性體層43高度以及曝光裝置要求 的從光掩模圖案面到防塵薄膜的高度）來進行設定，但是優(yōu)選對各設計值的設定要至少使 由于彈性體層43的壓扁狀況（壓扁量）而造成的彈性體層43和光掩?；?0的接觸寬 為0· 3?1. 0mm的范圍內。
[0059] 在進行防塵薄膜組件40安裝的場合，例如，在將此連接部件101進行強的連接的 話，防塵薄膜組件40的固定的確實性增加，一方面，彈性體層43的壓扁量多，反發(fā)力就會變 大，光掩?；?0的變形就會大。因此，要在對連接部件101的圓筒部114的長度進行適 切設定的同時，對彈性體層43的形狀以及硬度以及安裝時的壓扁量進行適切的設定，優(yōu)選 光掩模基板70的平坦度的變化量在10%以下。
[0060] 另外，本發(fā)明的防塵薄膜組件40中，該彈性體層43的頂點為凸型，所以接觸寬會 變狹窄，但是即使這樣狹窄的接觸寬，即使使用極低的力進行的按壓，也可以確實地將內部 進行密封。另外，在本發(fā)明中，不需要有進行接著來對防塵薄膜組件40的自重進行垂直支 持的以往的功能，接觸寬的狹窄沒有任何問題。
[0061] 以下，對將防塵薄膜組件40從光掩?；?0卸下操作進行說明。該防塵薄膜組 件40的卸下操作，僅將連接部件101解除就可以，不需要以往那樣的將粘著劑剝離的夾具 等。另外，光掩?；?0上的粘著劑殘渣的洗浄也不必要，再洗凈極容易，不僅可以大量的 縮短操作時間，還可以防止由于粘著劑殘渣的污染而光掩?；宀荒苁褂玫膯栴}。
[0062] 以上那樣，根據(jù)本發(fā)明的防塵薄膜組件40,防塵薄膜組件40的安裝？卸下的交換 操作的場合，有大的優(yōu)點，另外，例如，即使在防塵薄膜組件安裝時的光掩模基板70上出現(xiàn) 問題的場合，也有大的優(yōu)點。即，防塵薄膜組件40的安裝后，即使光掩?；?0的圖案面 有異物的場合，可以立即將連接部件101解除，將防塵薄膜組件40卸下，將光掩?；?0 上的異物除去，然后再將防塵薄膜組件40進行容易地安裝。
[0063] 另外，本發(fā)明的防塵薄膜組件40中，由于不使用粘著劑等，不需要將粘著劑痕跡 除去的濕洗，可以縮短大量的時間，卸下的防塵薄膜組件40可以再利用，所以，沒有使用后 的防塵薄膜組件40廢棄造成的浪費。
[0064] 【實施例】
[0065] 以下，對本發(fā)明的實施例進行說明，在此實施例中，機械加工制作如圖1以及圖2 所示的方式的防塵薄膜組件框架10。此防塵薄膜組件框架10,為外寸115X 149mm，內寸 111 X 145mm，高度3. 5mm的矩形，其平坦度為20 μ m，在其側面中具有處理用的夾具孔12以 及通氣孔13。然后，其材質為，用A7075鋁合金，機械加工后，表面進行黑色防蝕處理。在該 防塵薄膜組件框架10的角部中，設置圖3表示的高度0. 15±0. 01mm的臺階14,其外側，設 置非貫通的M1，間距0. 2的陰螺紋11。
[0066] 然后，將該防塵薄膜組件框架10搬入無塵室內，用表面活性劑和純水進行洗凈， 干燥后，制作圖4所示的防塵薄膜組件40。在沒有陰螺紋11的側的端面中，設置由氟系樹 脂組成的防塵薄膜接著層41，在此，將用旋涂法制造的氟系樹脂（旭硝子株式會社制，商 品名：CYT0P)制的防塵薄膜42進行接著。另外，在另一端面，用氟改性硅酮樹脂（商品名 SIFEL，信越化學工業(yè)（株）制）進行涂布，硬化，得到高度0.55mm，硬度為杜羅回跳式硬度 計硬度A35°的彈性體層43。此彈性體層43的形狀為，為如圖5的截面圖所示的凸形狀， 另外，該彈性體層43的設計，如圖6表示得那樣，要使其位于該角部中陰螺紋11的內側，進 一步，通氣孔13,被由丙烯酸粘著層在框架上貼附得到的PTFE構成的過濾器44所覆蓋。
[0067] 作為光掩?；?0,準備圖7以及圖9所表示的那樣的，152X 152X厚度6. 35mm 的尺寸，其平坦度為〇. 27 μ m的合成石英制光掩模基板。通常，光掩?；?0為，一個面 (圖案面）上，形成Cr以及MoSi等的遮光膜，在本實施例中省略。光掩?；?0的角部近 傍4處，用金剛石刀具進行機械加工，得到具有Φ 3. 2mm，深2. 5±0. 01mm的臺階的Φ 1.5mm 的貫通孔71。
[0068] 以上那樣制作的光掩模基板70的一個面上，將上述那樣制作的防塵薄膜組件40 用連接部件101進行安裝。安裝后的截面如圖10以及圖11所示。使用的連接部件101為， 用SUS304不銹鋼進行機械加工制作，設定為圓筒部114為Φ 1.25mm，長4. 5±0· 01mm。然 后，將這樣的連接部件101的先端的Ml間距0. 2的陽螺紋111在防塵薄膜組件框架10的 陰螺紋11上擰緊，使其與臺階112相碰，由此，將防塵薄膜組件40安裝。此時，彈性體層43 壓扁為約〇. 〇5mm，該接觸寬為約0. 5mm，在其全周上，沒有發(fā)現(xiàn)缺失以及接觸寬的極端的增 減。
[0069] 另外，對光掩?；?0的平坦度進行確認，得知為0. 28 μ m，與防塵薄膜組件40的 安裝前的平坦度〇. 27 μ m相比，僅為0. 01 μ m程度的小的變形。
[0070] 最后，連接部件101的解除，將防塵薄膜組件40從光掩模基板70卸下，將光掩模 基板70的彈性體層43接觸的部位在暗室內用集光燈進行觀察，雖然可以發(fā)現(xiàn)線狀的極薄 的接觸痕跡，但是沒有觀察到異物以及粘著性的殘渣，確認到保持了清潔的狀態(tài)。
[0071] 【符號的說明】
[0072] 10 防塵薄膜組件框架
[0073] 11 陰螺紋
[0074] 12 夾具孔
[0075] 13 通氣孔
[0076] 14 臺階
[0077] 40 防塵薄膜組件
[0078] 41 防塵薄膜接著層
[0079] 42 防塵薄膜
[0080] 43 彈性體層
[0081] 44 過濾器
[0082] 70 光掩?；?br> [0083] 71 貫通孔
[0084] 101連接部件
[0085] 111陽螺紋
[0086] 112臺階部
[0087] 113大直徑部
[0088] 114 圓筒部
【權利要求】
1. 一種防塵薄膜組件，其為用具有至少4個邊的防塵薄膜組件框架構成，其特征在于： 所述防塵薄膜組件框架的至少4處的角部上，設置有從光掩模側的端面到設置有防塵薄膜 的端面的陰螺紋，在光掩模側的所述端面上，設置有彈性體層。
2. 根據(jù)權利要求1所述的防塵薄膜組件，所述彈性體層為，在所述防塵薄膜組件安裝 于光掩模的場合，與該光掩模表面的接觸寬為〇. 3?1. Omm的范圍。
3. 根據(jù)權利要求1或2的防塵薄膜組件，其特征在于：在防塵薄膜組件框架的垂直方 向上切割所述彈性體所得到的截面形狀為頂點正對防塵薄膜組件框架的光掩模側端面的 中心線的大略半圓形狀。
4. 根據(jù)權利要求1?3的任一項的防塵薄膜組件，其特征在于：所述彈性體層的杜羅 回跳式硬度計硬度A為50°以下。
5. 根據(jù)權利要求1?4的任一項的防塵薄膜組件，其特征在于：所述彈性體層為從有 硅酮樹脂、氟改性硅酮樹脂、EPM樹脂、EPDM樹脂、SBS樹脂以及SEBS樹脂組成的群中選擇。
6. 根據(jù)權利要求1?5的任一項所述的防塵薄膜組件，其特征在于：所述彈性體層為， 其表面沒有粘著性。
7. -種安裝有根據(jù)權利要求1?6的任一項所述的防塵薄膜組件的光掩模，其特征在 于：在與所述陰螺紋對應的位置上設置貫通孔。
8. 根據(jù)權利要求7的光掩模，其特征在于：所述貫通孔為，圖案面的相反側為大直徑的 錐體形狀或臺階形狀。
9. 根據(jù)權利要求7或8所述的光掩模，其特征在于：向所述貫通孔中插入先端部具有 陽螺紋的連接部件，所述陽螺紋與所述陰螺紋連接，從而將所述防塵薄膜組件安裝。
【文檔編號】G03F1/64GK104111582SQ201410163552
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年4月22日 優(yōu)先權日:2013年4月22日
【發(fā)明者】関原一敏 申請人:信越化學工業(yè)株式會社