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彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法

文檔序號(hào):2712108閱讀:187來源:國知局
彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及液晶顯示【技術(shù)領(lǐng)域】,具體公開了一種彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,包括對于確定的產(chǎn)線特性和光刻膠特性,采用測試掩膜板在平坦的隔墊物基底上制作單層柱狀隔墊物,測量柱狀隔墊物與設(shè)計(jì)值的差異,得到針對曝光機(jī)光線平行度的補(bǔ)正值,通過不同尺寸的隔墊物基底和柱狀隔墊物,建立柱狀隔墊物與設(shè)計(jì)值的偏差模型,得到針對尺寸的偏差值,根據(jù)所述補(bǔ)正值、偏差值以及掩膜板設(shè)計(jì)開口值得到矯正后的柱狀隔墊物形狀。本發(fā)明在柱狀隔墊物制作工藝中,很好的保持上底形貌,解決了柱狀隔墊物形貌因隔墊物基底不平而上底形貌變化很大,無法實(shí)現(xiàn)各方向理想支撐的問題,同時(shí),這種矯正方法也能為柱狀隔墊物位置及尺寸設(shè)計(jì)提供更大的空間選擇。
【專利說明】彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及一種彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示技術(shù)的發(fā)展,高分辨率、大尺寸、高品質(zhì)畫面顯示已成為顯示領(lǐng)域追求的目標(biāo)。彩色濾光片做為邊緣場開關(guān)技術(shù)(FFS, Fringe Field Switching)模式用液晶顯示器件的主要組成部分,得到了廣泛的應(yīng)用。
[0003]彩色濾光片主要包括玻璃基板、背板銦錫氧化物膜(ΙΤ0,Indium Tin Oxides)、黑矩陣(BM層,Black matrix)、彩色膜層(Color層)、保護(hù)膜層(0C層,Overcoat)和柱狀隔墊物(PS,Photo Spacer) 0其中,為提高顯示品質(zhì),柱狀隔墊物膜層一般設(shè)計(jì)為兩種:起主要支撐作用的柱狀隔墊物和起次要支撐作用的柱狀隔墊物,通常情況下,起主要支撐作用的柱狀隔墊物高度和大小與起次要支撐作用的柱狀隔墊物存在一定的差別,一般產(chǎn)品尺寸越大,柱狀隔墊物的尺寸將越大。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中的彩色濾光片的設(shè)計(jì)為:在顯示區(qū)域內(nèi),柱狀隔墊物位于黑矩陣上方,從玻璃基板表面至上依次包括黑矩陣、彩色膜層和保護(hù)膜層,其中彩色膜層成條狀制作于黑矩陣上方,然后進(jìn)行保護(hù)層制作,完成后再在其上制作柱狀隔墊物。
[0005]上述現(xiàn)有技術(shù)的不足主要體現(xiàn)在:彩色濾光片各層均為液體光刻膠(PR,Photoresist)固化后制作而成,由于液體的流動(dòng)性及黑矩陣與其兩側(cè)高度的差異,雖然有保護(hù)層的存在,但隔墊物基底表面并不平整(黑矩陣較窄的方向尤其明顯),另外,對于接近式曝光機(jī),其光線平行度(如圖1所示β)對曝光圖形的均一性有著很大的影響。
[0006]這樣,當(dāng)柱狀隔墊物制作后,其上底形貌發(fā)生變化,各方向尺寸不一致,從而影響對盒時(shí)的柱狀隔墊物的支撐效果,各方向受力不均也將影響顯示效果,降低品質(zhì),而且,隨著分辨率的提高,黑矩陣變窄的需求將越來越明顯,那么平坦性的差異也將增大,柱狀隔墊物形變問題也將越來越突出。
[0007]此外,在當(dāng)前技術(shù)下,為盡量減小柱狀隔墊物的形變,需要將柱狀隔墊物設(shè)計(jì)于黑矩陣的中心區(qū)域且其尺寸不宜過大,這也限制了柱狀隔墊物的位置設(shè)計(jì)空間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008](一 )要解決的技術(shù)問題
[0009]本發(fā)明的目的是提供一種彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,以克服現(xiàn)有技術(shù)中柱狀隔墊物制作后,上底形貌發(fā)生變化,各方向尺寸不一致,柱狀隔墊物尺寸受限等問題。
[0010](二)技術(shù)方案
[0011]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,所述矯正方法包括:[0012]對于確定的產(chǎn)線特性和光刻膠特性,采用測試掩膜板在平坦的隔墊物基底上制作單層柱狀隔墊物,測量柱狀隔墊物從其中心沿各方向到其邊緣的距離與設(shè)計(jì)值的差異,得到針對曝光機(jī)光線平行度的補(bǔ)正值;
[0013]對于上述確定的產(chǎn)線特性和光刻膠特性,通過不同尺寸的隔墊物基底和柱狀隔墊物,建立柱狀隔墊物從其中心沿各方向到其邊緣的距離與設(shè)計(jì)值的偏差模型,得到針對隔墊物基底和柱狀隔墊物尺寸的偏差值;
[0014]根據(jù)所述補(bǔ)正值、偏差值以及柱狀隔墊物設(shè)計(jì)值對應(yīng)的掩膜板設(shè)計(jì)開口值得到矯正后的柱狀隔墊物形狀。
[0015]優(yōu)選地,設(shè)柱狀隔墊物從其中心沿任一方向到其邊緣的距離的設(shè)計(jì)值為R,柱狀隔墊物從其中心沿所述方向到隔墊物基底邊緣的距離為1,所述柱狀隔墊物的設(shè)計(jì)值R對應(yīng)的掩膜板設(shè)計(jì)開口值為Rtl,所述補(bǔ)正值為C,所述偏差值為Λ R,矯正后的柱狀隔墊物對應(yīng)的掩模板設(shè)計(jì)開口值為R’ ;
[0016]1-R位于極值B和極值A(chǔ)之間,當(dāng)1-R大于極值B時(shí),柱狀隔墊物滿足正常制作要求,當(dāng)1-R大于A時(shí),柱狀隔墊物的形狀將不再受影響,所以,
[0017]當(dāng)B < 1-R < A 時(shí),
[0018]R,=R0+C+AR
[0019]當(dāng)1-R ≥ A 時(shí),
[0020]R,= R0+C。
[0021 ] 優(yōu)選地,所述偏差模型為,
【權(quán)利要求】
1.一種彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,其特征在于,所述矯正方法包括: 對于確定的產(chǎn)線特性和光刻膠特性,采用測試掩膜板在平坦的隔墊物基底上制作單層柱狀隔墊物,測量柱狀隔墊物從其中心沿各方向到其邊緣的距離與設(shè)計(jì)值的差異,得到針對曝光機(jī)光線平行度的補(bǔ)正值; 對于上述確定的產(chǎn)線特性和光刻膠特性,通過不同尺寸的隔墊物基底和柱狀隔墊物,建立柱狀隔墊物從其中心沿各方向到其邊緣的距離與設(shè)計(jì)值的偏差模型,得到針對隔墊物基底和柱狀隔墊物尺寸的偏差值; 根據(jù)所述補(bǔ)正值、偏差值以及柱狀隔墊物設(shè)計(jì)值對應(yīng)的掩膜板設(shè)計(jì)開口值得到矯正后的柱狀隔墊物形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,其特征在于,設(shè)柱狀隔墊物從其中心沿任一方向到其邊緣的距離的設(shè)計(jì)值為R,柱狀隔墊物從其中心沿所述方向到隔墊物基底邊緣的距離為1,所述柱狀隔墊物的設(shè)計(jì)值R對應(yīng)的掩膜板設(shè)計(jì)開口值為R0,所述補(bǔ)正值為C,所述偏差值為Λ R,矯正后的柱狀隔墊物對應(yīng)的掩模板設(shè)計(jì)開口值為R,; 1-R位于極值B和極值A(chǔ)之間,當(dāng)1-R大于極值B時(shí),柱狀隔墊物滿足正常制作要求,當(dāng)1-R大于A時(shí),柱狀隔墊物的形狀將不再受影響,所以,
當(dāng) B < 1-R < A 時(shí),
R,= R0+C+ Δ R
當(dāng)1-R≥A時(shí),
R,= R0+C。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,其特征在于,所述偏差模型為,
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,其特征在于,所述影響因子k和η的范圍為0〈k〈l,l〈n〈2。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,其特征在于,在相同大小的隔墊物基底上制作不同尺寸的柱狀隔墊物,收集在相同隔墊物基底上不同尺寸的柱狀隔墊物的差異數(shù)據(jù); 通過數(shù)據(jù)對比直接確定極值A(chǔ)和極值B ; 在確定極值A(chǔ)和極值B后,結(jié)合所述偏差模型確定k和η。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,其特征在于,在不同大小的隔墊物基底上制作相同尺寸的柱狀隔墊物,收集在不同隔墊物基底上相同尺寸的柱狀隔墊物的差異數(shù)據(jù); 通過數(shù)據(jù)對比直接確定極值A(chǔ)和極值B ; 在確定極值A(chǔ)和極值B后,結(jié)合所述偏差模型確定k和η。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任何一項(xiàng)所述的彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,其特征在于,所述柱狀隔墊物為圓形。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的彩色濾光片柱狀隔墊物形狀矯正方法,其特征在于,所述隔墊物基板為 矩形。
【文檔編號(hào)】G02F1/1339GK103941483SQ201410163997
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年4月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月23日
【發(fā)明者】黎敏, 楊同華, 肖宇, 姜晶晶, 萬冀豫, 查長軍 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司
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