掩模板、掩模板的制造方法及掩模板的裂紋檢測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于顯示領(lǐng)域，公開(kāi)了一種掩膜板、掩膜板的制造方法及掩膜板的裂紋檢測(cè)裝置，所述掩膜板包括一基板，所述基板的表面形成有至少一個(gè)測(cè)試區(qū)，所述測(cè)試區(qū)內(nèi)布置有與所述基板結(jié)合在一起的電極線，所述電極線的兩端分別引出一個(gè)測(cè)試端子。本發(fā)明的掩模板的表面形成的各個(gè)測(cè)試區(qū)內(nèi)布置有與所述基板結(jié)合在一起的電極線，通過(guò)測(cè)試電極線是否存在斷路，就可以判斷與電極線相結(jié)合的基板是否存在裂紋，從而可以簡(jiǎn)單快速判斷掩模板的完整性，避免因掩模基板存在裂紋而導(dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】掩模板、掩模板的制造方法及掩模板的裂紋檢測(cè)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示領(lǐng)域，特別是涉及一種掩膜板、掩膜板的制造方法及掩膜板的裂紋檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT-1XD面板制造業(yè)中，ODF工藝中滴下液晶和涂布邊框膠是同時(shí)進(jìn)行的，如果不能及時(shí)固化邊框膠，它與液晶材料直接接觸時(shí)，容易造成液晶材料的污染，同時(shí)在短時(shí)間內(nèi)邊框膠沒(méi)有固化也容易發(fā)生液晶穿透邊框膠的現(xiàn)象。紫外線固化設(shè)備的作用就是利用紫外線實(shí)現(xiàn)邊框膠的快速固化，防止發(fā)生液晶材料污染和液晶穿透邊框膠的問(wèn)題發(fā)生。
[0003]鑒于紫外線對(duì)液晶材料有一定影響，可能會(huì)破壞液晶分子結(jié)構(gòu)，影響其特性，因此在紫外線固化設(shè)備中會(huì)用到掩模基板。掩?；宓淖饔镁褪钦趽醍a(chǎn)品的顯示區(qū)域，防止紫外線直接照射到液晶材料上。實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中，ODF紫外線固化設(shè)備用的掩模基板是玻璃材質(zhì)的基板，因此在使用、更換和存放過(guò)程中可能會(huì)形成微裂紋，而這種微裂紋一般很難被發(fā)現(xiàn)。如果在使用掩?；迳a(chǎn)產(chǎn)品的過(guò)程中，其表面的微裂紋發(fā)生擴(kuò)展或破裂，就會(huì)對(duì)產(chǎn)品的品質(zhì)造成影響，造成損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決掩膜板在TFT-LCD生產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)破損而導(dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種掩膜板、掩膜板的制造方法及掩膜板的裂紋檢測(cè)裝置。
[0005]本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種掩膜板，包括一基板，所述基板的表面形成有至少一個(gè)測(cè)試區(qū)，所述測(cè)試區(qū)內(nèi)布置有與所述基板結(jié)合在一起的電極線，所述電極線的兩端分別引出一個(gè)測(cè)試端子。
[0006]本發(fā)明還提供了一種掩模板的制造方法，包括:
[0007]形成一基板；
[0008]在所述基板的表面形成導(dǎo)電膜層；
[0009]加工所述導(dǎo)電膜，形成電極線。
[0010]本發(fā)明還提供了 一種掩模板的裂紋檢測(cè)裝置，包括一用于檢測(cè)所述電極線上兩個(gè)端子之間模擬信號(hào)的檢測(cè)表，所述檢測(cè)表包括兩條與待測(cè)電極線兩個(gè)端子分別進(jìn)行連接的導(dǎo)線。
[0011]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的掩模板的表面形成的各個(gè)測(cè)試區(qū)內(nèi)布置有與所述基板結(jié)合在一起的電極線，通過(guò)測(cè)試電極線是否存在斷路，就可以判斷與電極線相結(jié)合的基板是否存在裂紋，從而可以簡(jiǎn)單快速判斷掩模板的完整性，避免因掩?；迤屏讯鴮?dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本發(fā)明一種實(shí)施例的掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖；[0013]圖2為本發(fā)明第二種實(shí)施例的掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3為本發(fā)明第三種實(shí)施例的掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖4為本發(fā)明一種實(shí)施例的掩膜板的制造方法的流程圖；
[0016]圖5為本發(fā)明第一種實(shí)施例的掩模板的檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖6為本發(fā)明第二種實(shí)施例的掩模板的檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0019]如圖1所不,為本發(fā)明一種實(shí)施例的掩模板的結(jié)構(gòu)不意圖，該掩模板包括:一基板1，所述基板I的表面形成有至少一個(gè)測(cè)試區(qū)，所述測(cè)試區(qū)內(nèi)布置有與所述基板結(jié)合在一起的電極線2，所述電極線2的兩端分別引出一個(gè)測(cè)試端子3。
[0020]本發(fā)明的掩模板的表面形成的各個(gè)測(cè)試區(qū)內(nèi)布置有與所述基板結(jié)合在一起的電極線，通過(guò)測(cè)試電極線是否存在斷路，就可以判斷與電極線相結(jié)合的基板是否存在裂紋，從而可以簡(jiǎn)單快速判斷掩模板的完整性，避免因掩?；迤屏讯鴮?dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題。
[0021]本發(fā)明的電極線與所述基板表面結(jié)合在一起，即所述電極線與基板之間產(chǎn)生結(jié)合力，當(dāng)所述基板存在裂縫時(shí)，對(duì)應(yīng)裂縫處的電極線由于結(jié)合力也會(huì)對(duì)電極線產(chǎn)生作用力，從而導(dǎo)致相應(yīng)位置電極線斷裂。所述電極線可以采取各種適合的方式與所述基板結(jié)合在一起，本實(shí)施例的電極線是由沉積于所述基板表面的導(dǎo)電膜層刻蝕形成。所述透明電極線通過(guò)沉積氧化銦錫(ITO)薄膜，再經(jīng)曝光刻蝕后制得。由于氧化銦錫薄膜不會(huì)受紫外線影響，從而可以應(yīng)用到掩膜板上。
[0022]如圖2-3所示，為本發(fā)明的掩膜板的具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖，本發(fā)明的基板I表面形成多個(gè)測(cè)試區(qū)11，在每個(gè)測(cè)試區(qū)11布置有電極線2，電極線2的兩端分別引出一個(gè)測(cè)試端子，通過(guò)測(cè)試兩個(gè)端子之間的電壓、電阻、電流等模擬信號(hào)，就可以確定該電極線是否存在斷路，從而判斷該電極線所在測(cè)試區(qū)是否存在裂縫。本發(fā)明對(duì)掩模板的表面形成測(cè)試區(qū)可以根據(jù)需要來(lái)設(shè)置，可以是并行的條狀，形成如圖3所示的平行的電極線，還可以是圓形、方形等其他合適的形狀。刻蝕形成的電極線的寬度可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)定，優(yōu)選地為
0.l-5mm。
[0023]本發(fā)明的測(cè)試區(qū)還可以是整個(gè)基板表面，如圖1所示，此時(shí)，在基板的表面形成有一條電極線，該電極線盡可能分布在整個(gè)表面，而且電極線越密集，檢測(cè)的精度越高。本實(shí)施例的電極線分布在整張掩模玻璃基板I的正面，且薄膜導(dǎo)線的首尾兩端設(shè)置在掩模玻璃基板I角部的固定區(qū)域范圍，并制作成面積較大的測(cè)試端子3。此時(shí)，通過(guò)對(duì)兩個(gè)測(cè)試端子之間的模擬信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，就可以判斷該條電極線是否存在斷路，從而可以判斷該條電極線對(duì)應(yīng)的掩膜板是否存在裂紋。
[0024]本發(fā)明掩模板的基板優(yōu)選采用玻璃材質(zhì)形成，當(dāng)然，也可以采用其他透明材質(zhì)形成。掩模板的基板具有第一面和第二面，即正面和反面，其中正面用于形成圖案。本發(fā)明的電極線優(yōu)選地為透明電極線，該電極線可以分布在所述基板的其中一個(gè)面上，當(dāng)然，也可以在兩個(gè)面上都分布有電極線。當(dāng)基板的兩個(gè)表面上都形成有電極線時(shí)，可以對(duì)基板兩個(gè)表面的電極線分別進(jìn)行斷路檢測(cè)，以提高檢測(cè)精度。[0025]如圖4所示，為本發(fā)明一種實(shí)施例的掩膜板的制造方法的流程圖，本實(shí)施例的掩模板的制造方法包括如下步驟:
[0026]步驟SlOl:形成一基板；
[0027]步驟S102:在所述基板的表面形成導(dǎo)電膜層；
[0028]步驟S103:加工所述導(dǎo)電膜，形成電極線。
[0029]步驟SlOl中形成的基板可以是塑料、樹(shù)脂等透明基板，優(yōu)選地為玻璃基板。
[0030]步驟S102中形成的導(dǎo)電膜可以是具有導(dǎo)電物質(zhì)形成的膜層，從而與基板表面結(jié)合在一起，本實(shí)施例優(yōu)選地為氧化銦錫(ITO)薄膜。
[0031]步驟S103中形成的電極線是利用曝光工藝，刻蝕形成電極線，對(duì)導(dǎo)電膜層根據(jù)預(yù)設(shè)圖案進(jìn)行曝光，刻蝕形成電極線。
[0032]如圖5所示，為本發(fā)明第一種實(shí)施例的掩模板的裂紋檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該實(shí)施例的檢測(cè)裝置用于對(duì)上述的掩膜板進(jìn)行檢測(cè)，包括一用于檢測(cè)所述電極線上兩個(gè)端子之間模擬信號(hào)的檢測(cè)表8，所述檢測(cè)表包括兩條與待測(cè)電極線的兩個(gè)測(cè)試端子分別進(jìn)行連接的導(dǎo)線7。本實(shí)施例的檢測(cè)表可以是電流表、電壓表、電阻表等模擬信號(hào)檢測(cè)表，當(dāng)檢測(cè)到電極線兩個(gè)端子之間的模擬信號(hào)發(fā)生較大改變時(shí)，可以判斷電極線存在斷裂，從而可以判斷對(duì)應(yīng)測(cè)試區(qū)域的基板是否存在斷裂。本實(shí)施例的檢測(cè)表具體是歐姆表，用于檢測(cè)測(cè)試區(qū)中電極線的電阻變化，當(dāng)電極線斷路時(shí)，電阻會(huì)陡然增大，從而判斷出電極線存在斷路。本實(shí)施例的檢測(cè)裝置可以針對(duì)各個(gè)測(cè)試區(qū)的電極線進(jìn)行逐一檢測(cè)，從而可以對(duì)各個(gè)測(cè)試區(qū)的基板是否存在裂縫進(jìn)行判斷。
[0033]再次參閱圖5，所述檢測(cè)裝置還包括一安裝臺(tái)4，所述安裝臺(tái)4的表面形成有用于吸附掩模板的真空槽，當(dāng)進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，將掩膜板吸附在真空槽中，從而為檢測(cè)提供了便利。所述安裝臺(tái)4在與真空槽相對(duì)區(qū)域形成有與所述凹槽相通的導(dǎo)線孔5，所述導(dǎo)線孔用于為檢測(cè)表的引出線提供與掩模板上的電極線相連接的通道。本實(shí)施方式是在原有安裝臺(tái)4的兩個(gè)角各開(kāi)鑿一個(gè)導(dǎo)線孔5，頂針6置于導(dǎo)線孔5中固定在安裝臺(tái)上，上端與檢測(cè)表的導(dǎo)線7連接。兩個(gè)角的頂針6通過(guò)導(dǎo)線7分別與歐姆計(jì)連接?；錓是隨紫外線固化設(shè)備的基臺(tái)9上升到接近安裝臺(tái)4時(shí)被真空吸附固定在其下表面的。當(dāng)基板I安裝到安裝臺(tái)4上時(shí)，兩個(gè)頂針6分別與基板I背面的透明電極線2兩端接觸面接觸，這樣歐姆計(jì)就與掩模玻璃基板I背面的透明電極線2接通，從而可以判斷電極線是否存在斷路。
[0034]如圖6所示，為本發(fā)明第一種實(shí)施例的掩模板的檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該實(shí)施例的檢測(cè)裝置與第一種基本相同，區(qū)別是:還包括一導(dǎo)電壓片10，用于在所述電極線設(shè)置在所述基板遠(yuǎn)離真空槽的表面時(shí)，連接所述檢測(cè)表的引出線和電極線。
[0035]本實(shí)施例的導(dǎo)電壓片10用于連接電極線和頂針，并且與所述安裝臺(tái)4旋轉(zhuǎn)連接，可以沿安裝臺(tái)上的連接點(diǎn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。導(dǎo)電壓片10設(shè)置安裝在導(dǎo)線孔5下端，且與頂針6連接，導(dǎo)電壓片10可水平轉(zhuǎn)動(dòng)，安裝或卸載掩膜玻璃基板I前，導(dǎo)電壓片10應(yīng)旋轉(zhuǎn)到安裝臺(tái)4邊緣。當(dāng)掩膜玻璃基板I安裝到安裝臺(tái)4上后，再將導(dǎo)電壓片旋轉(zhuǎn)壓到掩面基板接觸面3位置，這樣檢測(cè)表8就與掩模玻璃基板I正面的透明電極線2接通。
[0036]本實(shí)施例的檢測(cè)裝置用于對(duì)電極線設(shè)置于基板正面進(jìn)行檢測(cè)，即電極線設(shè)置于基板的正面。掩膜板是利用沉積曝光工藝形成掩膜圖案，電極線設(shè)置在正面，可以便于利用相同的工藝形成電極線，制作工藝更簡(jiǎn)單，但安裝掩膜板時(shí)需要制作導(dǎo)電壓片10。而如果電極線設(shè)置在背面，在沉積曝光工藝形成電極線前，需要將掩膜板翻轉(zhuǎn)，工藝相對(duì)復(fù)雜，但安裝掩膜板時(shí)不需要制作導(dǎo)電壓片10，頂針6就可以實(shí)現(xiàn)與背面電極線接觸導(dǎo)通。
[0037]本實(shí)施例的基臺(tái)可以自由升降，所述基臺(tái)上連接有用于升降所述基臺(tái)的調(diào)節(jié)器，從而方便了升降基板。
[0038]本實(shí)施例的檢測(cè)裝置還包括一控制器，所述控制器與所述檢測(cè)表相連接，在所述檢測(cè)表檢測(cè)到電極線斷路時(shí)進(jìn)行報(bào)警。該控制器可以是計(jì)算機(jī)或者PLC，控制器與檢測(cè)表相連接，用于接收檢測(cè)表發(fā)送來(lái)的檢測(cè)信號(hào)，當(dāng)接收到檢測(cè)表的示數(shù)超出某一設(shè)定值時(shí)，即發(fā)生掩模玻璃基板I破損的報(bào)警提示。本實(shí)施例的控制器還與基臺(tái)的調(diào)節(jié)器相連接，用于控制基臺(tái)的升降。
[0039]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種掩模板，其特征在于，包括一基板，所述基板的表面形成有至少一個(gè)測(cè)試區(qū)，所述測(cè)試區(qū)內(nèi)布置有與所述基板結(jié)合在一起的電極線，所述電極線的兩端分別引出一個(gè)測(cè)試端子。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，多個(gè)測(cè)試區(qū)的電極線至少部分串聯(lián)在一起。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述電極線形成在所述基板的一面或者兩面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任何一項(xiàng)所述的掩模板，其特征在于，所述電極線由沉積于所述基板表面的導(dǎo)電膜層刻蝕形成。
5.一種掩模板的制造方法，其特征在于，包括: 形成一基板； 在所述基板的表面形成導(dǎo)電膜層； 加工所述導(dǎo)電膜，形成電極線。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述加工所述導(dǎo)電膜，形成電極線的步驟進(jìn)一步包括:利用曝光工藝，刻蝕形成電極線。
7.一種掩模板的裂紋檢測(cè)裝置，檢測(cè)如權(quán)利要求1-4任何一項(xiàng)所述的掩模板，其特征在于，包括一用于檢測(cè)所述電極線上兩個(gè)端子之間模擬信號(hào)的檢測(cè)表，所述檢測(cè)表包括兩條與待測(cè)電極線的兩個(gè)端子分別進(jìn)行連接的導(dǎo)線。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)裝置還包括一安裝臺(tái)，所述安裝臺(tái)的表面形成有用于吸附掩模板的真空槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述安裝臺(tái)在與真空槽相對(duì)區(qū)域形成有與所述凹槽相通的導(dǎo)線孔，所述導(dǎo)線孔用于為檢測(cè)表的引出線提供與掩模板上的電極線相連接的通道。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括一導(dǎo)電壓片，用于在所述電極線設(shè)置在所述基板遠(yuǎn)離真空槽的表面時(shí)，連接所述檢測(cè)表的引出線和電極線。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括一與所述安裝臺(tái)相對(duì)設(shè)置的用于放置待檢測(cè)掩模板的基臺(tái)，所述基臺(tái)上連接有用于升降所述基臺(tái)的調(diào)節(jié)器。
12.根據(jù)權(quán)利要求7-11任何一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括一控制器，所述控制器與所述檢測(cè)表相連接，在所述檢測(cè)表檢測(cè)到電極線斷路時(shí)進(jìn)行報(bào)警。
【文檔編號(hào)】G03F1/80GK103984201SQ201410187101
【公開(kāi)日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2014年5月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月5日
【發(fā)明者】趙德友, 王永茂 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 成都京東方光電科技有限公司