抗蝕劑剝離劑的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種抗蝕劑剝離劑，其原料包括防腐劑、有機(jī)胺化合物、有機(jī)溶劑、去離子水和C2～C15一元醇。該剝離劑能夠提供剝離性優(yōu)異、安全，且不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性優(yōu)異。
【專利說明】抗蝕劑剝離劑

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及光刻【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種抗蝕劑剝離劑，其剝離性能優(yōu)異，安全， 不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性。

【背景技術(shù)】
[0002] 1C、LSI等集成電路，IXD、EL兀件等顯不機(jī)器，打印基板等使用熱刻蝕技術(shù)制造。 在該熱刻蝕工序中，不需要的抗蝕劑使用抗蝕劑剝離劑進(jìn)行除去。
[0003] 在該抗蝕劑剝離工序中，之前使用各種抗蝕劑剝離劑。但是，近年來對應(yīng)液晶顯示 面板或半導(dǎo)體元件的工藝微細(xì)化或短時間處理的能力低，期待進(jìn)一步的性能。目前，含有剝 離性優(yōu)異的胺系化合物的抗蝕劑剝離劑成為主力。
[0004] 該胺系剝離劑可以分為溶劑系和水系。例如，作為溶劑系剝離劑使用二甲基亞砜 (約30重量％ ) +單乙醇胺（約70重量％ )或者單乙醇胺+N-甲基吡咯烷酮等。另一方面， 作為水系剝離劑使用水（約20?30重量％ ) +二甘醇單丁基醚（約20?30重量％ ) +單 乙醇胺（約30?40重量％ )、烷基苯磺酸+功能水（臭氧水）、酸系（硫酸+過氧化氫）+ 功能水（臭氧水）等。
[0005] 近年來，能夠進(jìn)行水淋洗的水系剝離劑的使用有所擴(kuò)大。其理由在于水系剝離劑 的剝離性優(yōu)異、而且沒有可燃性，是不是危險(xiǎn)品。然而，水系剝離劑添加有單乙醇胺。因此， 水系剝離劑具有會引起對配線等導(dǎo)電體的腐蝕的缺點(diǎn)。因而，實(shí)際上有必要考慮剝離性能 和腐蝕性調(diào)整單乙醇胺的含量。而且，以抗蝕劑剝離性能和防止對導(dǎo)電體的破壞（腐蝕） 為目的，開發(fā)了各種抗蝕劑剝離劑。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 現(xiàn)有技術(shù)以提高抗蝕劑剝離性能和導(dǎo)電體（包含銅（Cu)、鋁（A1)等的配線等）的 防腐蝕為目的而開發(fā)。但是這些技術(shù)仍然具有無法完全滿足兩個目的的問題。本發(fā)明鑒于 上述問題而完成，其目的在于提供剝離性優(yōu)異、安全，且不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性優(yōu)異的 抗蝕劑剝離劑。
[0007] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種抗蝕劑剝離劑，其原料包括防腐劑、有機(jī) 胺化合物、有機(jī)溶劑、去離子水和c 2?c15 -元醇。
[0008] 其中，所述抗蝕劑剝離劑中各原料的重量分別為防腐劑2g?4g、有機(jī)胺化合物 8g?12g、有機(jī)溶劑10g?20g、去離子水50g?70g和C2?C15 -元醇3g?6g。
[0009] 其中，所述抗蝕劑剝離劑中各原料的重量分別為防腐劑3g、有機(jī)胺化合物10g、有 機(jī)溶劑15g、去離子水60g和C2?C15 -元醇5g。
[0010] 其中，所述C2?c15-元醇進(jìn)一步優(yōu)選為丁醇、乙醇、異丙醇、丙醇、庚醇、辛醇。
[0011] 其中，所述防腐劑由改性的殼聚糖和苯并咪唑類物質(zhì)按照質(zhì)量比2 : 1的比例混 合獲得。
[0012] 其中，所述改性的殼聚糖具體結(jié)構(gòu)為式1所示：

【權(quán)利要求】
1. 一種抗蝕劑剝離劑，其特征在于：原料包括防腐劑、有機(jī)胺化合物、有機(jī)溶劑、去離 子水和c2?c15 -兀醇。
2. 如權(quán)利要求1所述的剝離劑，其特征在于：各原料的重量分別為防腐劑2g?4g、有 機(jī)胺化合物8g?12g、有機(jī)溶劑10g?20g、去離子水50g?70g和C 2?C15 -元醇3g? 6g。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的剝離劑，其特征在于：各原料的重量分別為防腐劑3g、有機(jī) 胺化合物l〇g、有機(jī)溶劑15g、去離子水60g和C 2?C15 -元醇5g。
4. 如權(quán)利要求1至3所述的剝離劑，其特征在于：所述C2?C15 -元醇為丁醇、乙醇、異 丙醇、丙醇、庚醇、辛醇。
5. 如權(quán)利要求1至4所述的剝離劑，其特征在于：所述防腐劑由改性的殼聚糖和苯并 咪唑類物質(zhì)按照質(zhì)量比2:1的比例混合獲得。
6. 如權(quán)利要求1至5所述的剝離劑，其特征在于：所述改性的殼聚糖的制備方法具體 為， 第一步，稱取2. Og殼聚糖于40mL蒸餾水中，攪拌溶脹過夜，用稀乙酸溶液調(diào)節(jié)體系pH 值至4?5,加入0. 60g的4-咪唑甲醛，95°C反應(yīng)10h。用稀NaOH溶液調(diào)節(jié)pH值至中性， 用NaBH4還原，產(chǎn)物在丙酮溶液中析出，過濾后用90%乙醇洗至中性，再用無水乙醇索氏提 取48h，45°C真空干燥得，得中間產(chǎn)物； 第二步，稱取1. 〇g的中間產(chǎn)物加入40mL的NMP溶液中，攪拌溶脹過夜。加入2. 4g Nal 和6mL15% NaOH溶液，60°C攪拌20min后加入6mLCH3I，反應(yīng)2h。再加入3mL15% NaOH溶 液和3mLCH3I，繼續(xù)反應(yīng)2h。倒入乙醇/乙醚（體積比為=1 : 1)中，過濾，乙醚洗滌。分 別用NaCl溶液和蒸餾水透析（截留分子量8000?14000) 3天，離心后上清液冷凍干燥得 到產(chǎn)物，即為季胺化的殼聚糖。
7. 如權(quán)利要求1至6所述的剝離劑，其特征在于：所述苯并咪唑類物質(zhì)具體為2-巰 基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑，所述2-巰基-5-二氟甲氧基-1H-苯并咪唑的制備 方法具體為向2-硝基-4-二氟甲氧基苯胺（4g，0.02mol)的95 %乙醇（50ml)溶液中 加入水合肼（2. 52g質(zhì)量分?jǐn)?shù)為80%的溶液，0. 04mol)、Raney-Ni (0. 2g)，60°C保溫2h， 補(bǔ)加 Raney-Ni (0. 2g)，然后回流4h，濾去催化劑，向?yàn)V液中加入乙氧基磺原酸鉀（4. 2g， 0. 026mol)，在80°C下加熱回流4h.靜置冷卻，將反應(yīng)液倒入200ml水中，出現(xiàn)大量黃色沉 淀，加稀鹽酸調(diào)節(jié)至pH 3，轉(zhuǎn)變?yōu)榘咨腆w，過濾，水洗至濾液呈中性，濾餅溶于適量氫氧化 鈉溶液中，活性炭脫色，再重復(fù)上述操作，得白色粉末。
8. 如權(quán)利要求1至7所述的剝離劑，其特征在于：所述有機(jī)溶劑包括一種或多種選自 以下的物質(zhì)：N-甲基吡咯烷酮（NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮（DMI)、二甲基亞砜（DMS0)、 二甲基乙酰胺（DMAc)、二甲基甲酰胺（DMF)、N-甲基甲酰胺（NMF)、環(huán)丁砜、丁基二乙二醇 (BDG)、乙基二乙二醇（EDG)、甲基二乙二醇（MDG)、三乙二醇（TEG)、二乙二醇單乙醚（DEM)、 二乙二醇單丁醚、及其混合物。
9. 如權(quán)利要求1至8所述的剝離劑，其特征在于：所述有機(jī)胺由羥乙基哌嗪和哌嗪羥 酰氯按照質(zhì)量比1:1混合而成。
10. 如權(quán)利要求1至9所述的剝離劑，其特征在于：所述哌嗪羥酰氯為4-乙基-2， 3-雙氧哌嗪基-1-羰酰氯，所述哌嗪羥酰氯的制備方法具體為：在配有電動攪拌、溫度計(jì)和 滴液漏斗的500mL干燥三頸瓶中，加入N-乙基-2, 3-雙氧哌嗪（28. 8g，0. 2mol)和三氯甲 烷（300mL)，攪拌，使之溶解，室溫下加入三甲基氯硅烷（23g，0. 2mol)，攪拌lOmin后冷卻 至卜1 〇°C，滴加三乙胺（24g，0. 23mo 1)，在滴加過程中有白色三乙胺鹽酸鹽固體析出，在此 溫度下反應(yīng)lh，冷卻到_30°C，滴加氯甲酸三氯甲酯（23.8g，0. 12mol)，在20min內(nèi)加完，反 應(yīng)液變紅而褐，升溫到_20°C反應(yīng)lh，過濾，除去不溶物。濾液計(jì)量（280mL)并在-10°C時滴 加正己烷（140mL)，加入約1/3的正己烷時即有結(jié)晶析出，放慢滴加速度并繼續(xù)保持-10°C， 此時大量結(jié)晶析出，繼續(xù)加完剩余的正己烷。在_15°C攪拌0.5h，過濾，濾餅用小量冷正己 烷洗滌，在40°C?50°C真空干燥3h，得淡黃色針狀結(jié)晶。
【文檔編號】G03F7/42GK104049477SQ201410240633
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月30日
【發(fā)明者】不公告發(fā)明人 申請人:青島華仁技術(shù)孵化器有限公司