波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法、波分復(fù)用傳輸裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供一種放寬應(yīng)滿足的組裝精度，并提高波分復(fù)用光向光纖的耦合效率的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法和波分復(fù)用傳輸裝置。具有：第1工序，其將多個激光元件(28、32、36、40)排成一列而固定在第1基板(18)上；第2工序，其將多個反射板(52、54、56、60、62、64)固定在第2基板(50)上，該多個反射板以將從該多個激光元件射出的激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光的方式配置；以及平行度改善工序，其在該第1工序和該第2工序之后，在該激光路徑上配置準(zhǔn)直透鏡(34、38、42)，在通過調(diào)整該準(zhǔn)直透鏡的位置而使構(gòu)成該波分復(fù)用光的激光平行之后，將該準(zhǔn)直透鏡固定在第1基板上。
【專利說明】波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法、波分復(fù)用傳輸裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種例如搭載在光收發(fā)器中并用在光通信系統(tǒng)中的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法、以及利用該制造方法制造出的波分復(fù)用傳輸裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]為了應(yīng)對近年來通信容量的急劇增大并使光收發(fā)器小型化，對波分復(fù)用傳輸裝置小型化的要求非常強(qiáng)烈。為了響應(yīng)該小型化要求，有時將射出不同波長的激光的多個激光元件以陣列狀排成一列。在該情況下，從該多個激光元件射出大致平行的激光。
[0003]在專利文獻(xiàn)I中，公開了將多個激光元件排成一列的波分復(fù)用傳輸裝置。該波分復(fù)用傳輸裝置通過光合波部，對從多個激光元件射出的激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010 - 211164號公報
[0005]波分復(fù)用光經(jīng)由聚光透鏡向光纖射入。為了提高波分復(fù)用光向光纖的耦合效率，優(yōu)選提高構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的平行度，或者抑制構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的位置偏差。但是，為了提高構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的平行度，或者抑制構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的位置偏差，例如存在需要以高組裝精度對光合波部的部件進(jìn)行組裝的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明就是為了解決上述課題而提出的，其目的在于提供一種放寬應(yīng)滿足的組裝精度，并提高波分復(fù)用光向光纖的耦合效率的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法以及波分復(fù)用傳輸裝置。
[0007]本發(fā)明所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法的特征在于，具有:第I工序，其將多個激光元件排成一列而固定在第I基板上;第2工序，其將多個反射板固定在第2基板上，該多個反射板以將從該多個激光元件射出的激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光的方式配置；以及平行度改善工序，其在該第I工序和該第2工序之后，在該激光的路徑上配置準(zhǔn)直透鏡，在通過調(diào)整該準(zhǔn)直透鏡的位置而使構(gòu)成該波分復(fù)用光的激光平行之后，將該準(zhǔn)直透鏡固定在該第I基板上。
[0008]本發(fā)明所涉及的其他的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法的特征在于，具有:第I工序，其將排成一列的多個激光元件和對從該多個激光元件射出的激光進(jìn)行準(zhǔn)直化的多個準(zhǔn)直透鏡固定在第I基板上；第2工序，其將多個反射板固定在第2基板上，該多個反射板以將該激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光的方式配置；以及位置偏差改善工序，其在該第I工序和該第2工序之后，為了減小構(gòu)成該波分復(fù)用光的激光之間的間隔，調(diào)整該第2基板相對于該第I基板的角度。
[0009]本發(fā)明所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置，其特征在于，具有--第I基板；多個激光元件，其排成一列而固定在該第I基板上；透鏡部件，其具有準(zhǔn)直透鏡和框體，該準(zhǔn)直透鏡對從該多個激光元件射出的激光進(jìn)行準(zhǔn)直化，該框體具有包圍該準(zhǔn)直透鏡的多邊形外形，該多邊形外形的某一個面固定在該第I基板上;第2基板；以及多個反射板，其固定在該第2基板上，對該激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光，該準(zhǔn)直透鏡的光軸位置與該框體的外形中心偏離。
[0010]發(fā)明的效果
[0011]根據(jù)本發(fā)明，能夠放寬波分復(fù)用傳輸裝置應(yīng)滿足的組裝精度，并能夠提高波分復(fù)用光向光纖的耦合效率

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式I所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的俯視圖。
[0013]圖2是表示濾光器透過特性的圖。
[0014]圖3是表示對準(zhǔn)直透鏡的位置進(jìn)行調(diào)整的俯視圖。
[0015]圖4是表示激光路徑的圖。
[0016]圖5是表示構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的角度偏差的圖。
[0017]圖6是表示角度偏差量Θ和耦合效率的計(jì)算結(jié)果的曲線。
[0018]圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的透鏡部件的主視圖。
[0019]圖8是對比例的透鏡部件的主視圖。
[0020]圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的組件(package)內(nèi)的俯視圖。
[0021]圖10是表示光合波部內(nèi)的激光的圖。
[0022]圖11是表示構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的圖。
[0023]圖12是表示構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的圖。
[0024]圖13是表示構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的位置偏差的圖。
[0025]圖14是表示位置偏差量dp與耦合效率的計(jì)算結(jié)果的曲線。
[0026]圖15是表示本發(fā)明的實(shí)施方式4所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法的流程圖。
[0027]圖16是表示制造過程中的波分復(fù)用傳輸裝置的激光的俯視圖。
[0028]標(biāo)號的說明
[0029]10波分復(fù)用傳輸裝置，12組件，14光傳輸部，16光合波部，18第I基板,20、22、24、26子安裝件，28第I激光元件，30第I準(zhǔn)直透鏡，32第2激光元件，34第2準(zhǔn)直透鏡，36第3激光元件，38第3準(zhǔn)直透鏡，40第4激光元件，42第4準(zhǔn)直透鏡，50第2基板,52第I濾光器，54第2濾光器,56第3濾光器,60第I反射板，62第2反射板,64第3反射板，70聚光透鏡，72光纖，80波分復(fù)用光，100準(zhǔn)直透鏡，102框體，104透鏡部件

【具體實(shí)施方式】
[0030]參照附圖，對本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法和波分復(fù)用傳輸裝置進(jìn)行說明。有時對相同或相對應(yīng)的結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注相同標(biāo)號而省略重復(fù)的說明。
[0031]實(shí)施方式1.
[0032]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式I所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置10的俯視圖。波分復(fù)用傳輸裝置10具有組件12。在組件12內(nèi)，收容有射出激光的光發(fā)送部14以及生成波分復(fù)用光的光合波部16。在組件12內(nèi)的波分復(fù)用光的路徑上設(shè)置有聚光透鏡70。在組件12中安裝有光纖72，該光纖72中射入通過聚光透鏡70進(jìn)行聚光后的光。
[0033]對光發(fā)送部14進(jìn)行說明。光發(fā)送部14具有第I基板18。在第I基板18上固定有第I子安裝件20、第2子安裝件22、第3子安裝件24以及第4子安裝件26。在第I子安裝件20上固定有第I激光元件28和第I準(zhǔn)直透鏡30。在第2子安裝件22上固定有第2激光元件32和第2準(zhǔn)直透鏡34。在第3子安裝件24上固定有第3激光元件36和第3準(zhǔn)直透鏡38。在第4子安裝件26上固定有第4激光元件40和第4準(zhǔn)直透鏡42。
[0034]第I激光元件28、第2激光元件32、第3激光元件36以及第4激光元件40分別射出不同波長的激光。第I準(zhǔn)直透鏡30、第2準(zhǔn)直透鏡34、第3準(zhǔn)直透鏡38以及第4準(zhǔn)直透鏡42分別對從第I激光元件28、第2激光元件32、第3激光元件36以及第4激光元件40射出的激光進(jìn)行準(zhǔn)直化(形成大致平行)。
[0035]對光合波部16進(jìn)行說明。光合波部16具有第2基板50。在第2基板50上固定有第I濾光器52、第2濾光器54以及第3濾光器56。第I 一第3濾光器52、54、56沿虛線LI排列。
[0036]圖2是表不第I 一第3濾光器52、54、56的透過特性的圖。第I濾光器52透過第I激光元件28所射出的波長為λ O的激光，并反射其以外波長的激光。第2濾光器54透過第2激光兀件32所射出的波長為λ I的激光,并反射其以外波長的激光。第3濾光器56透過第3激光元件36所射出的波長為λ 2的激光，并反射其以外波長的激光。
[0037]返回圖1的說明。在第2基板50上固定有第I反射板60、第2反射板62以及第3反射板64。第I 一第3反射板60、62、64沿虛線L2排列。第I 一第3反射板60、62、64反射所有波長的激光。此外，虛線LI與虛線L2平行。
[0038]對實(shí)施方式I所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法進(jìn)行說明。首先，通過將第I 一第4激光元件28、32、36、40(下面，將這些元件統(tǒng)稱為多個激光元件)排成一列而固定在子安裝件上，從而將多個激光元件固定在第I基板18上。將該工序稱為第I工序。
[0039]然后，將第I —第3濾光器52、54、56以及第I —第3反射板60、62、64 (下面,將第I —第3濾光器52、54、56以及第I —第3反射板60、62、64統(tǒng)稱為多個反射板)固定在第2基板50上。多個反射板配置為能夠?qū)亩鄠€激光元件射出的激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光。將該工序稱為第2工序。
[0040]在第I工序和第2工序之后，在激光的路徑上配置準(zhǔn)直透鏡。具體地說，使從多個激光元件射出的激光向光合波部16射入，并以使構(gòu)成波分復(fù)用光的激光平行的方式調(diào)整準(zhǔn)直透鏡的位置。調(diào)整之后，通過將準(zhǔn)直透鏡固定在子安裝件上，從而將準(zhǔn)直透鏡固定在第I基板18上。將該工序稱為平行度改善工序。
[0041]多個反射板以何種位置波動固定在第2基板50上是對應(yīng)于每個光合波部16而不同的，因此，平行度改善工序是使用已有的光合波部16和與該光合波部16組合使用的光發(fā)送部14而進(jìn)行的。此外，平行度改善工序能夠在組件12之外進(jìn)行。
[0042]圖3是表示在平行度改善工序中調(diào)整準(zhǔn)直透鏡位置的俯視圖。理想情況是第I 一第3濾光器52、54、56沿虛線LI無偏差地進(jìn)行配置，第I —第3反射板60、62、64沿虛線L2無偏差地進(jìn)行配置。但是，無法避免一定的偏差(誤差)。圖3的第I反射板60從虛線L2發(fā)生偏差。
[0043]圖4是表示從第I激光元件28射出的激光28a和從第2激光元件32射出的激光的路徑的圖。由點(diǎn)劃線示出的激光28a透過第I濾光器52而形成波分復(fù)用光80的一部分。從第2激光兀件32射出的激光32a (以虛線表不)透過第2濾光器54,在第I反射板60上反射,并在第I濾光器52上反射,從而形成波分復(fù)用光80的一部分。
[0044]第I反射板60從虛線L2以角度β偏移，因此，構(gòu)成波分復(fù)用光80的激光28a與激光32a不平行。向光合波部射入的激光和從光合波部射出的激光所形成的角度成為反射板60的偏移角度β的2倍即2 β。因此，如果反射板存在角度偏差，則即使假設(shè)從第I激光元件28射出并向光合波部射入的激光、與從第2激光元件32射出并向光合波部射入的激光平行，構(gòu)成波分復(fù)用光80的激光也不平行。
[0045]因此，將第2準(zhǔn)直透鏡34的位置向圖3的箭頭所示的方向移動，將圖4的激光32a變更為實(shí)線所示的激光32b。由此，激光32b以與激光32a不同的角度向光合波部射入，能夠使構(gòu)成波分復(fù)用光80的激光28a與激光32b平行。如上所述，對準(zhǔn)直透鏡的位置進(jìn)行調(diào)整的是平行度改善工序。根據(jù)需要，也對第3準(zhǔn)直透鏡38和第4準(zhǔn)直透鏡42的位置進(jìn)行調(diào)整，提高構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的平行度。
[0046]圖5是表示構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的角度偏差的圖。在此使用了焦距為2mm的聚光透鏡70。在圖5中，示出了構(gòu)成波分復(fù)用光的激光具有角度Θ的角度偏差的情況。由于該角度偏差，波分復(fù)用光向光纖的耦合效率降低。
[0047]圖6是表示角度偏差量Θ與耦合效率的計(jì)算結(jié)果的曲線。從圖6中可知，例如為了使由于角度偏差引起的耦合損失小于或等于0.5dB，必須將角度偏差控制為小于或等于0.04度。在這種情況下，必須將由光發(fā)送部和光合波部整體的組裝誤差引起的角度偏差控制為小于或等于0.04度，因此，例如，必須將由光發(fā)送部的組裝誤差引起的角度偏差控制為小于或等于0.02度，并將由光合波部的組裝誤差引起的角度偏差控制為小于或等于
0.02 度。
[0048]并且，如上所述，由于由光合波部的部件(多個反射板中的某一個)的偏差引起的激光的角度偏差是該偏差量的2倍，因此，光合波部內(nèi)的部件的組裝誤差必須控制為小于或等于0.01度。為了滿足這種非常嚴(yán)格的角度精度(組裝精度)，存在制造變得困難，或者對部件自身的精度要求嚴(yán)格，導(dǎo)致成本增加的問題。
[0049]但是，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式I所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法，通過實(shí)施平行度改善工序，從而能夠?qū)Σǚ謴?fù)用光的平行度進(jìn)行改善，并提高向光纖的耦合效率。通過平行度改善工序的實(shí)施，不需要嚴(yán)格地限制在光發(fā)送部以及光合波部內(nèi)發(fā)生的角度偏差，因此，能夠放寬應(yīng)滿足的組裝精度。例如，在使用焦距為0.5mm的準(zhǔn)直透鏡的情況下，準(zhǔn)直透鏡允許的位置偏差量為0.3μπι，通過現(xiàn)有的制造技術(shù)能夠比較容易地實(shí)現(xiàn)。
[0050]本發(fā)明并不限定于對4個波長的激光進(jìn)行波分復(fù)用，可以對多個波長的激光進(jìn)行波分復(fù)用。多個反射板以激光進(jìn)行鋸齒形前進(jìn)的方式進(jìn)行了配置，但是只要能夠生成波分復(fù)用光，反射板的配置并不受此限定。
[0051]實(shí)施方式2.
[0052]本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法和波分復(fù)用傳輸裝置與實(shí)施方式I的共同點(diǎn)較多，因此，以與實(shí)施方式I的不同點(diǎn)作為中心進(jìn)行說明。本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法和波分復(fù)用傳輸裝置的特征在于，準(zhǔn)直透鏡向第I基板的固定方法。
[0053]圖7是表示將本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的準(zhǔn)直透鏡100向第I基板18進(jìn)行固定的方法的圖。準(zhǔn)直透鏡100被框體102包圍。由準(zhǔn)直透鏡100和框體102構(gòu)成透鏡部件104?？蝮w102的外形形成為4邊形。因此，框體102具有第I面102a、第2面102b、第3面102c以及第4面102d。第I面102a經(jīng)由第2子安裝件22而固定在第I基板18上。對于第I面102a與第2子安裝件22進(jìn)行的固定、以及第2子安裝件22與第I基板18進(jìn)行的固定，例如使用焊接或者粘接劑。
[0054]準(zhǔn)直透鏡100的光軸位置P2與框體102的外形中心Pl偏離。因此，在將第I面102a固定在第2子安裝件22上時、將第2面102b固定在第2子安裝件22上時、將第3面102c固定在第2子安裝件22上時以及將第4面102d固定在第2子安裝件22上時，能夠改變準(zhǔn)直透鏡100的光軸位置。此時，不需要改變透鏡部件104與第2子安裝件22的固定位置。
[0055]在平行度改善工序中，為了波分復(fù)用光的平行度改善，通過適當(dāng)?shù)剡x擇將框體102外形上的哪個面經(jīng)由子安裝件而固定在第I基板18上，從而能夠容易地改善波分復(fù)用光的平行度。并且，該選擇僅通過使透鏡部件104沿框體102的外形旋轉(zhuǎn)即可實(shí)現(xiàn)。
[0056]如果將框體102的外形中心Pl的坐標(biāo)設(shè)為(0，0)，則將第I面102a固定在子安裝件22上時的光軸位置P2為(XI，- Yl)，將第2面102b固定在子安裝件22上時的光軸位置P2為(一 XI，一 Yl)，將第3面102c固定在子安裝件22上時的光軸位置P2為(一 XI，Yl)，將第4面102d固定在子安裝件22上時的光軸位置P2為(X1，Y1)。因此，能夠?qū)廨S位置Ρ2進(jìn)行4個等級的位置調(diào)整。
[0057]這里，對對比例進(jìn)行說明。圖8是對比例中的透鏡部件的主視圖。準(zhǔn)直透鏡110被具有上部凸起部112a的框體112包圍。上部凸起部112a由鑷子等進(jìn)行保持，經(jīng)由凹狀的托架114而對上下左右的位置進(jìn)行調(diào)整。然后，通過激光焊接等方法，將框體112與托架114、以及托架114與子安裝件22進(jìn)行固定。通過焊接例如形成有焊接部116、118、120、122。
[0058]在對比例的情況下，需要準(zhǔn)直透鏡110、框體112以及托架114，因此，使透鏡部件的橫向?qū)挾茸兇?。如果排列多個橫向?qū)挾容^大的透鏡部件，則存在使波分復(fù)用傳輸裝置大型化的問題。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的透鏡部件104直接將框體102固定在子安裝件22上，因此，不需要對比例中的托架114。由此，能夠避免波分復(fù)用傳輸裝置的大型化。
[0059]框體102的外形為多邊形即可，并不限定于4邊形。如果是該外形為N邊形的透鏡部件，則能夠?qū)廨S位置進(jìn)行N個等級的位置調(diào)整。另外，該透鏡部件104也可以利用在其他實(shí)施方式所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法和波分復(fù)用傳輸裝置中。
[0060]實(shí)施方式3.
[0061]本發(fā)明的實(shí)施方式3所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法和波分復(fù)用傳輸裝置與實(shí)施方式I的共同點(diǎn)較多，因此，將與實(shí)施方式I的不同點(diǎn)作為中心進(jìn)行說明。本發(fā)明的實(shí)施方式3所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法和波分復(fù)用傳輸裝置，對構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的位置偏差進(jìn)行改善。
[0062]圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的組件內(nèi)的俯視圖。點(diǎn)劃線L3與L4平行。光合波部16 (第2基板50)相對于光發(fā)送部14 (第I基板18)以角度Y傾斜。
[0063]對本發(fā)明的實(shí)施方式3所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法進(jìn)行說明。首先，將排成一列的多個激光元件和對從多個激光元件射出的激光進(jìn)行準(zhǔn)直化的準(zhǔn)直透鏡固定在第I基板18上。將該工序稱為第I工序。然后，將多個反射板固定在第2基板50上，該多個反射板以對激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光的方式配置。將該工序稱為第2工序。
[0064]由于光發(fā)送部14的部件(多個激光元件、準(zhǔn)直透鏡)，或者光合成部16的部件(多個反射板)從理想的固定位置稍微發(fā)生偏差，因此構(gòu)成波分復(fù)用光的激光具有一定的間隔(位置偏差)。因此，在第I工序和第2工序之后，為了減小構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的間隔，對第2基板50相對于第I基板18的角度進(jìn)行調(diào)整。將該工序稱為位置偏差改善工序。由此，完成了圖9的波分復(fù)用傳輸裝置。
[0065]圖10是表示激光向光合波部射入的位置與從光合波部射出的波分復(fù)用光200的位置之間距離的圖。虛線LI與虛線L2平行。將虛線LI與虛線L2之間的距離設(shè)為d。將向光合波部射入的激光相對于虛線LI的法線所形成的角度設(shè)為α。
[0066]Dl是從第2激光元件32射出的激光32a向光合波部射入的位置與從光合波部射出的位置之間的距離，通過以下公式進(jìn)行表示。
[0067]Dl = 2dsin α
[0068]D2是從第3激光元件36射出的激光36a向光合波部射入的位置與從光合波部射出的位置之間的距離，通過以下公式進(jìn)行表示。
[0069]D2 = 4dsin α
[0070]D3是從第4激光元件40射出的激光40a向光合波部射入的位置與從光合波部射出的位置之間的距離，通過以下公式進(jìn)行表示。
[0071]D3 = 6dsin α
[0072]如果將第2基板50相對于第I基板18進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而使Y的值變化，則虛線L1、虛線L2也進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此α的值變化。根據(jù)該變化，D2以Dl的2倍變化，D3以Dl的3倍變化。利用該性質(zhì)，使構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的間隔(位置偏差)變小。從第I激光元件28射出的激光28a在光合波部16中一次都沒有被反射，因此激光28a的位置不依賴于Y。因此，為了降低相對于激光28a的位置偏差，可以使從其他激光元件射出的激光的位置變化。
[0073]圖11是表示構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的圖。在圖11中，示出了向圖10的X、Y平面射入的4個激光。如果使光合波部相對于X軸發(fā)生傾斜，則激光32a、36a、40a能夠向X方向進(jìn)行移動。并且，對于Y方向，需要減小構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的間隔(位置偏差)。因此，如果將光合波部相對于Y軸進(jìn)行傾斜，則激光32a、36a、40a能夠向Y方向進(jìn)行移動。
[0074]然后，例如，考慮構(gòu)成波分復(fù)用光的激光在圖12中實(shí)線所示的位置上進(jìn)行分布的情況。將激光28a所在的位置設(shè)為原點(diǎn)。激光40a距離原點(diǎn)最遠(yuǎn),該距離大致為85 μ m。為了減小構(gòu)成波分復(fù)用光的激光之間的間隔(位置偏差)，必須使激光40a向激光28a側(cè)進(jìn)行移動。
[0075]因此，將光合波部相對于X軸以及Y軸進(jìn)行傾斜。由此，激光32a向X方向移動+8 μ m，向Y方向移動一 10 μ m，移動之后的激光32a’位于(一 12，一 30)。激光36a以激光32a的變化的2倍進(jìn)行變化，因此激光36a向X方向移動+16 μ m，向Y方向移動一 20 μ m。移動之后的激光36a’位于(36,0)。
[0076]激光40a以激光32a的變化的3倍進(jìn)行變化，因此激光40a向X方向移動+24 μ m,向Y方向移動一 30μπι。移動之后的激光38a’位于(一 36，30)。由此，能夠?qū)⒓す?0a’距離原點(diǎn)的距離降低至大約47 μ m。
[0077]圖13是表示構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的位置偏差的圖。在這里，使用了焦距為2mm的聚光透鏡70。將激光之間的位置偏差量設(shè)為dp。圖14是表示位置偏差量dp和向光纖的耦合效率的計(jì)算結(jié)果的曲線。為了將由向聚光透鏡70的位置偏差所引起的耦合損失控制為小于或等于0.5dB,必須將位置偏差量控制為小于或等于60 μ m。雖然實(shí)施方式I進(jìn)行了提及，但是如果提高光發(fā)送部和光合波部的組裝精度而將位置偏差量控制為小于或等于60 μ m,則會產(chǎn)生制造困難以及成本高的問題。
[0078]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式3所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法，通過實(shí)施位置偏差改善工序，從而減小構(gòu)成波分復(fù)用光的激光的間隔(位置偏差)。由此，能夠放寬應(yīng)滿足的組裝精度，并提高波分復(fù)用光向光纖的耦合效率。
[0079]在圖12示出的例子中，能夠?qū)⒓す?0a距離原點(diǎn)的距離(位置偏差量dp)從大致85 μ m降低至47 μ m，因此，將耦合效率從一 IdB改善為一 0.3dB。并且，不需要消除光發(fā)送部和光合波部的部件從理想固定位置稍微發(fā)生偏差的問題，因此，不需要嚴(yán)格的組裝精度，反而與當(dāng)前相比能夠放寬組裝精度。此外，如果使Y進(jìn)行I度的變化，則例如，激光32a大約移動105 μ m,激光36a大約移動209 μ m,激光40a大約移動314 μ m。
[0080]實(shí)施方式4.
[0081]圖15是表示本發(fā)明的實(shí)施方式4所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法的流程圖。在本發(fā)明的實(shí)施方式4所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法中，首先，對實(shí)施方式I所涉及的第I工序和第2工序進(jìn)行實(shí)施(步驟SI)。然后，對實(shí)施方式I所說明的平行度改善工序進(jìn)行實(shí)施(步驟S2)。此外，在平行度改善工序中，使光合波部16的狀態(tài)為不固定在第2基板50上，而是臨時放置在第2基板50上。
[0082]圖16是表示在步驟S2結(jié)束之后的激光的俯視圖。激光28a與激光32a平行，但在兩者之間發(fā)生了位置偏差(間隙G1)。從第3激光元件36射出的激光和從第4激光元件40射出的激光也相對于激光28a發(fā)生了位置偏差。特別是，從第4激光元件40射出的激光在最多塊反射板上進(jìn)行了反射，因此，受到的反射板的安裝位置誤差的影響最大。因此，位置偏差最大。該位置偏差與向光纖的耦合效率的降低有關(guān)，因此必須進(jìn)行改善。
[0083]因此，在本發(fā)明的實(shí)施方式4所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法中，在平行度改善工序之后，對實(shí)施方式3所說明的位置偏差改善工序進(jìn)行實(shí)施(步驟S3)。由此，在本發(fā)明的實(shí)施方式4所涉及的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法中，通過位置偏差改善工序?qū)ζ叫卸雀纳乒ば蛑蟮奈恢闷钸M(jìn)行改善，從而平行度變高，并且能夠得到位置偏差較少的波分復(fù)用光。并且，為了得到該效果，不需要提高組裝精度，反而能夠?qū)M裝精度進(jìn)行放寬。
【權(quán)利要求】
1.一種波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法，其特征在于，具有: 第1工序，其將多個激光元件排成一列而固定在第1基板上； 第2工序，其將多個反射板固定在第2基板上，所述多個反射板以將從所述多個激光元件射出的激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光的方式配置；以及 平行度改善工序，其在所述第1工序和所述第2工序之后，在所述激光的路徑上配置準(zhǔn)直透鏡，在通過調(diào)整所述準(zhǔn)直透鏡的位置而使構(gòu)成所述波分復(fù)用光的激光平行之后，將所述準(zhǔn)直透鏡固定在所述第1基板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法，其特征在于， 所述準(zhǔn)直透鏡被框體包圍， 所述框體的外形為多邊形， 所述準(zhǔn)直透鏡的光軸位置與所述框體的外形中心偏離， 在所述平行度改善工序中，將所述框體的外形的某一個面固定在所述第1基板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法，其特征在于， 具有位置偏差改善工序，其在所述平行度改善工序之后，為了減小構(gòu)成所述波分復(fù)用光的激光之間的間隔，調(diào)整所述第2基板相對于所述第1基板的角度。
4.一種波分復(fù)用傳輸裝置的制造方法，其特征在于，具有: 第1工序，其將排成一列的多個激光元件和對從所述多個激光元件射出的激光進(jìn)行準(zhǔn)直化的多個準(zhǔn)直透鏡固定在第1基板上； 第2工序，其將多個反射板固定在第2基板上，所述多個反射板以將所述激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光的方式配置；以及 位置偏差改善工序，其在所述第1工序和所述第2工序之后，為了減小構(gòu)成所述波分復(fù)用光的激光之間的間隔，調(diào)整所述第2基板相對于所述第1基板的角度。
5.一種波分復(fù)用傳輸裝置，其特征在于，具有: 第1基板； 多個激光元件，其排成一列而固定在所述第1基板上； 透鏡部件，其具有準(zhǔn)直透鏡和框體，所述準(zhǔn)直透鏡對從所述多個激光元件射出的激光進(jìn)行準(zhǔn)直化，所述框體具有包圍所述準(zhǔn)直透鏡的多邊形外形，所述多邊形外形的某一個面固定在所述第1基板上； 第2基板；以及 多個反射板，其固定在所述第2基板上，對所述激光進(jìn)行合波而生成波分復(fù)用光， 所述準(zhǔn)直透鏡的光軸位置與所述框體的外形中心偏離。
【文檔編號】G02B6/42GK104345409SQ201410376876
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月1日
【發(fā)明者】金子進(jìn)一 申請人:三菱電機(jī)株式會社