抗蝕劑剝離劑的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種抗蝕劑剝離劑，其原料包括防腐蝕劑、胺化合物預(yù)混物、有機(jī)溶劑、去離子水和C2～C15一元醇。本發(fā)明提供的提供剝離性優(yōu)異、安全，且不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性優(yōu)異的抗蝕劑剝離劑，其剝離性效果較本發(fā)明之前提供的抗蝕劑剝離劑的效果更好，且防腐蝕性效果更好，由于防腐蝕劑在抗蝕劑剝離劑中的使用量更低，降低企業(yè)生產(chǎn)成本。
【專利說明】抗蝕劑剝離劑

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明設(shè)及光刻【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其設(shè)及一種抗蝕劑剝離劑，其剝離性能優(yōu)異，安全， 不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性。

【背景技術(shù)】
[000引 1C、LSI等集成電路，LCD、化元件等顯示機(jī)器，打印基板等使用熱刻蝕技術(shù)制造。 在該熱刻蝕工序中，不需要的抗蝕劑使用抗蝕劑剝離劑進(jìn)行除去。
[0003] 在該抗蝕劑剝離工序中，之前使用各種抗蝕劑剝離劑。但是，近年來對應(yīng)液晶顯示 面板或半導(dǎo)體元件的工藝微細(xì)化或短時間處理的能力低，期待進(jìn)一步的性能。目前，含有剝 離性優(yōu)異的胺系化合物的抗蝕劑剝離劑成為主力。
[0004] 該胺系剝離劑可W分為溶劑系和水系。例如，作為溶劑系剝離劑使用二甲基亞諷 (約30重量％) +單己醇胺（約70重量％)或者單己醇胺+N-甲基化咯燒酬等。另一方面， 作為水系剝離劑使用水（約20?30重量％ )+二甘醇單了基離（約20?30重量％ ) +單 己醇胺（約30?40重量％ )、燒基苯橫酸+功能水（臭氧水）、酸系（硫酸+過氧化氨）+ 功能水（臭氧水）等。
[0005] 近年來，能夠進(jìn)行水淋洗的水系剝離劑的使用有所擴(kuò)大。其理由在于水系剝離劑 的剝離性優(yōu)異、而且沒有可燃性，是不是危險品。然而，水系剝離劑添加有單己醇胺。因此， 水系剝離劑具有會引起對配線等導(dǎo)電體的腐蝕的缺點(diǎn)。因而，實際上有必要考慮剝離性能 和腐蝕性調(diào)整單己醇胺的含量。而且，W抗蝕劑剝離性能和防止對導(dǎo)電體的破壞（腐蝕） 為目的，開發(fā)了各種抗蝕劑剝離劑。
[0006] 本發(fā)明的發(fā)明人已經(jīng)研制出一種剝離性優(yōu)異、安全，且不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕 性優(yōu)異的抗蝕劑剝離劑，其采用防腐蝕劑、有機(jī)胺化合物、有機(jī)溶劑、去離子水和C,?C U- 元醇制備而成，所采用的防腐蝕劑由改性的殼聚糖和苯并咪挫類物質(zhì)按照質(zhì)量比2 : 1的 比例混合獲得。
[0007] 本發(fā)明在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步研究，提供一種新型的抗蝕劑剝離劑，在剝離性方面效 果更好，且防腐蝕性效果更好，由于防腐蝕劑在在抗蝕劑剝離劑中的使用量更低，降低企業(yè) 生產(chǎn)成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[000引現(xiàn)有技術(shù)W提高抗蝕劑剝離性能和導(dǎo)電體（包含銅（Cu)、侶（A1)等的配線等）的 防腐蝕為目的而開發(fā)。但是該些技術(shù)仍然具有無法完全滿足兩個目的的問題。本發(fā)明鑒于 上述問題而完成，其目的在于提供剝離性優(yōu)異、安全，且不會腐蝕導(dǎo)電體的防腐蝕性優(yōu)異的 抗蝕劑剝離劑，其剝離性效果較本發(fā)明之前提供的抗蝕劑剝離劑的效果更好，且防腐蝕性 效果更好，由于防腐蝕劑在在抗蝕劑剝離劑中的使用量更低，降低企業(yè)生產(chǎn)成本。
[0009] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種抗蝕劑剝離劑，其原料包括防腐蝕劑哲 己基-油酸咪挫咐、胺化合物預(yù)混物、有機(jī)溶劑、去離子水和C2?C 15 -元醇；
[0010] 所述抗蝕劑剝離劑中各原料的重量分別為防腐蝕劑Ig?2g、胺化合物預(yù)混物 5g?7g、有機(jī)溶劑lOg?20g、去離子水50g?70g和C2?C 15-元醇3g?6g。
[0011] 其中，所述抗蝕劑剝離劑中各原料的重量分別為防腐蝕劑1. 5g、胺化合物預(yù)混物 6g、有機(jī)溶劑15g、去離子水60g和〔2?C 15-元醇5g。
[0012] 其中，所述C2?Cu-元醇進(jìn)一步優(yōu)選為了醇、己醇、異丙醇、丙醇、庚醇、辛醇。
[0013] 其中，所述防腐蝕劑哲己基-油酸咪挫咐，其結(jié)構(gòu)式如下：
[0014]

【權(quán)利要求】
1. 一種抗蝕劑剝離劑，其特征在于，包括：防腐蝕劑羥乙基-油酸咪唑啉、胺化合物預(yù) 混物、有機(jī)溶劑、去離子水和C2?C15-元醇； 所述抗蝕劑剝離劑中各原料的重量分別為防腐蝕劑Ig?2g、胺化合物預(yù)混物5g? 7g、有機(jī)溶劑IOg?20g、去離子水50g?70g和C2?C15-元醇3g?6g。
2. 如權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離劑，其特征在于：所述抗蝕劑剝離劑中各原料的重 量分別為防腐蝕劑I. 5g、胺化合物預(yù)混物6g、有機(jī)溶劑15g、去離子水60g和C2?C15-元 醇5g。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的抗蝕劑剝離劑，其特征在于：所述C2?C15-元醇進(jìn)一步優(yōu) 選為丁醇、乙醇、異丙醇、丙醇、庚醇、辛醇。
4. 如權(quán)利要求1至3所述的抗蝕劑剝離劑，其特征在于：所述防腐蝕劑中的咪唑啉類 物質(zhì)具體為羥乙基-油酸咪唑啉，其結(jié)構(gòu)式如下：
5. 如權(quán)利要求1至4所述的抗蝕劑剝離劑，其特征在于：所述羥乙基-油酸咪唑啉的 制備方法具體為： 將油酸1L，羥乙基乙二胺400mL加入到2. 5L反應(yīng)容器中，反應(yīng)容器接有分水器和冷凝 管，隨后在反應(yīng)容器中加入450ml二甲苯作為攜水劑，開動攪拌機(jī)，升溫至150度開始回流， 有水生成，回流2小時后升溫至230度，反應(yīng)6小時，反應(yīng)結(jié)束，減壓蒸出多余的溶劑，再將 產(chǎn)物在干燥箱中干燥完全，得到產(chǎn)物。
6. 如權(quán)利要求1至5所述的抗蝕劑剝離劑，其特征在于：所述胺化合物預(yù)混物由下式1 表示的咪唑啉酮甲酰胺、三乙醇胺和2-噁唑烷酮按照質(zhì)量比I:I: 1的比例制備而成
7. 如權(quán)利要求1至6所述的抗蝕劑剝離劑，其特征在于：所述咪唑啉酮甲酰胺化合物 的制備方法包括， 第一步，將50g4-氯苯乙酮和20ml冰醋酸依次投入到300ml的反應(yīng)容器中，室溫機(jī)械 攪拌下滴加45g溴液，保持lml/min，加畢，繼續(xù)反應(yīng)1小時，反應(yīng)液倒入飽和碳酸鈉溶液中， 調(diào)節(jié)PH值至中性，用含有冰塊的二氯甲烷萃取，萃取液用飽和碳酸鈉洗滌兩次，水洗滌依 次，有機(jī)層用無水硫酸鈉干燥，減壓除去二氯甲烷，固體用石油醚洗滌，抽濾，得到7. 5g固 體，即為4-氯-a-溴代苯乙酮； 第二步，在IL反應(yīng)容器中依次加入6g4-氯-a-溴代苯乙酮和50ml溶劑三氯甲烷， 攪拌溶解，加入5g烏洛托品，室溫反應(yīng)2小時，過濾，水洗去除過量的烏洛托品，濾餅用少量 丙酮洗絳，干燥后得到白色固體9g，將9g白色固體、25ml無水乙醇依次加入50ml反應(yīng)容器 中，攪拌成懸混液，緩慢滴加12ml鹽酸，滴加完畢，室溫反應(yīng)過夜，冰浴冷卻，過濾，濾餅用 少量乙醇洗滌，干燥后獲得白色固體5g，即為氯代氨基苯乙酮鹽酸鹽； 第三步，在250ml的反應(yīng)容器中加入50g固體光氣和IOOml無水甲苯，氮?dú)獗Ｗo(hù)條件下 攪拌溶解，冰鹽浴冷卻，緩慢滴加由15ml苯胺和30ml無水甲苯配成的混合溶液，保持內(nèi)溫 在〇度以下，約1小時后滴加完畢，繼續(xù)室溫反應(yīng)1小時，改為油浴加熱，慢慢升溫至回流， 越3小時后，反應(yīng)澄清，停止反應(yīng)，常壓蒸去甲苯，殘留液經(jīng)減壓蒸餾得產(chǎn)物15g，即為苯基 異氰酸酯； 第四步，于250ml反應(yīng)容器中依次加入9. 5g氯代氨基苯乙酮鹽酸鹽和170ml無水甲 苯，攪拌均勻混懸，隨后加入5g苯基異氰酸酯，在氮?dú)獗Ｗo(hù)的條件下加熱回流過夜，隨后， 停止反應(yīng)，冷卻，抽濾除去過量的氯代氨基苯乙酮鹽酸鹽，采用氯仿50mLX3洗滌，合并濾 液，依次用飽和碳酸氫鈉，飽和氯化鈉溶液洗滌，有機(jī)層通過無水硫酸鈉干燥，減壓回收 溶劑后，得到固體，通過硅膠柱純化，洗脫液為乙酸乙酯：石油醚=2 : 1，得到純化固體 6. 8g〇
8. 如權(quán)利要求1至7所述的抗蝕劑剝離劑，其特征在于：所述2-噁唑烷酮的制備方法 具體為在攪拌回流反應(yīng)裝置中加入50g乙醇胺，75g碳酸二甲酯和2. 5g的醋酸鋅，升溫到 80度回流反應(yīng)4小時，隨后脫溶劑，用無水乙醇重結(jié)晶，得到50g產(chǎn)物2-噁唑烷酮。
9. 權(quán)利要求1至8所述剝離劑的制備方法，其特征在于：將所述各原料按重量混合，室 溫攪拌2小時，并使用0.Iym的過濾器將其過濾，以制備剝離劑溶液。
【文檔編號】G03F7/42GK104503211SQ201410616709
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月5日
【發(fā)明者】不公告發(fā)明人 申請人:青島華仁技術(shù)孵化器有限公司