一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法，該噴淋系統(tǒng)包括：具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋，以及在噴淋結(jié)束后控制噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進(jìn)行回收，還包括：清洗液供給系統(tǒng)，用于在清洗階段在控制系統(tǒng)的控制下，對各噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；廢液處理系統(tǒng)，用于在清洗階段結(jié)束后在控制系統(tǒng)的控制下，對清洗后的廢液進(jìn)行排放，相對于現(xiàn)有的噴淋系統(tǒng)，增加了清洗液供給系統(tǒng)和廢液處理系統(tǒng)，這樣可以實現(xiàn)對噴淋系統(tǒng)全自動清洗的功能，有效去除管路及噴頭內(nèi)的異物，提高清洗效率。
【專利說明】一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤指一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，顯影設(shè)備和清洗設(shè)備統(tǒng)稱為噴淋系統(tǒng)?，F(xiàn)有的噴淋系統(tǒng)，如圖1所示，包括:具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件001，(圖1只示出了三個噴淋構(gòu)件，其他噴淋構(gòu)件未示出，噴淋構(gòu)件的總個數(shù)在此不作限定)，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中噴淋液供給系統(tǒng)包括噴淋液供給裝置100，設(shè)置在除首級噴淋構(gòu)件OOla之外的其他噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽002，連通噴淋液供給裝置100和末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭的噴淋液供液管路I，連通噴淋液供給裝置100和各噴淋液循環(huán)槽002之間的噴淋液分支供液管路2，連通本級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽002和和上一級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的噴淋液進(jìn)液管路3，以及動力構(gòu)件，其中各噴淋液循環(huán)槽002的作用是為了收集從本級噴淋構(gòu)件下方流出的噴淋液；噴淋液回收系統(tǒng)包括噴淋液回收裝置200，一端位于首級噴淋構(gòu)件OOla下方另一端和噴淋液回收裝置200相通的噴淋液排液管路4，連通各噴淋液循環(huán)槽002和噴淋液回收裝置200的噴淋液分支排液管路5 ;控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋，以及控制噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進(jìn)行回收。在噴淋系統(tǒng)工作階段，噴淋液供給裝置100通過噴淋液供液管路I提供噴淋液到末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭，然后噴淋液流入到末級噴淋構(gòu)件OOlc下方的噴淋液循環(huán)槽002，再通過動力構(gòu)件作用經(jīng)噴淋液進(jìn)液管路3流入上一級噴淋構(gòu)件的噴頭，進(jìn)行循環(huán)使用，最終流入到首級噴淋構(gòu)件OOla的噴頭，這樣實現(xiàn)對各噴淋構(gòu)件中基板的噴淋，并在噴淋結(jié)束后，噴淋液經(jīng)噴淋液排液管路4和噴淋液分支排液管路5流入噴淋液回收裝置200進(jìn)行噴淋液的排放。
[0003]以噴淋系統(tǒng)中的清洗設(shè)備為例，目前現(xiàn)有的清洗設(shè)備在工作階段由于長期利用去離子水清洗噴淋構(gòu)件中的基板，洗掉的基板表面的顆粒物及少量光刻膠等有機(jī)物在循環(huán)使用的過程中逐漸累積于清洗設(shè)備的管路和噴頭內(nèi)，這些異物嚴(yán)重影響著清洗設(shè)備的清洗能力，會造成基板的品質(zhì)異常，因此去除管路及噴頭內(nèi)的異物對產(chǎn)品良率的提高及設(shè)備的維護(hù)有很大的必要性?，F(xiàn)有的去除噴淋系統(tǒng)的管路和噴頭內(nèi)異物的方法就是采取人工拆卸管路和噴頭，利用清洗液浸泡清洗的方式去除污垢，此種方法雖然可以將污垢去除，但作業(yè)過程繁瑣，任務(wù)量極大，另外長期拆卸管路和噴頭會加劇了設(shè)備的損耗。同樣地，顯影設(shè)備也會存在上述問題。
[0004]因此，如何不使用人工拆卸的方法實現(xiàn)對噴淋系統(tǒng)的管路及噴頭的清洗，提高清洗效率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明實施例提供一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法，可以實現(xiàn)對噴淋系統(tǒng)全自動清洗的功能，提高清洗效率。
[0006]因此，本發(fā)明實施例提供了一種噴淋系統(tǒng)，包括具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中所述控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制所述噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋，以及在噴淋系統(tǒng)工作階段結(jié)束后控制所述噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進(jìn)行回收，還包括:
[0007]清洗液供給系統(tǒng)，用于在清洗階段在所述控制系統(tǒng)的控制下，對各所述噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；
[0008]廢液處理系統(tǒng)，用于在清洗階段結(jié)束后在所述控制系統(tǒng)的控制下，對清洗后的廢液進(jìn)行排放。
[0009]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，所述清洗液供給系統(tǒng)包括:清洗液供給裝置、清洗液循環(huán)池、連通所述清洗液供給裝置和所述清洗液循環(huán)池之間的供液管路、連通所述清洗液循環(huán)池和末級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的進(jìn)液管路、一端位于首級噴淋構(gòu)件下方另一端連接所述清洗液循環(huán)池的回液管路、動力構(gòu)件、以及與所述噴淋液供給系統(tǒng)共用的噴淋液循環(huán)槽和噴淋液進(jìn)液管路；其中，
[0010]所述清洗液供給裝置用于:在清洗階段通過所述供液管路輸送清洗液到所述清洗液循環(huán)池；
[0011]所述清洗液循環(huán)池用于:在清洗階段通過所述進(jìn)液管路在動力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到所述末級噴淋構(gòu)件的噴頭，以及接收清洗后的廢液；
[0012]在清洗階段，除首級噴淋構(gòu)件之外的其他噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽還用于:通過連通本級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽和上一級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的噴淋液進(jìn)液管路在動力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到上一級噴淋構(gòu)件的噴頭；
[0013]所述回液管路用于:輸送清洗后的廢液到所述清洗液循環(huán)池。
[0014]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，所述清洗液供給系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述清洗液循環(huán)池中的液位監(jiān)測系統(tǒng):用于監(jiān)測所述清洗液循環(huán)池中清洗液的液位高度。
[0015]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，所述清洗液供給系統(tǒng)還包括:連通所述清洗液供給裝置和所述末級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的直通供液管路，以及連通所述清洗液供給裝置和各所述噴淋液循環(huán)槽之間的分支供液管路；其中，
[0016]在清洗階段，所述清洗液供給裝置還用于:通過所述直通供液管路輸送清洗液到所述末級噴淋構(gòu)件的噴頭；以及通過所述分支供液管路輸送清洗液到各噴淋液循環(huán)槽。
[0017]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，所述廢液處理系統(tǒng)包括:廢液處理裝置，以及連通所述清洗液循環(huán)池和所述廢液處理裝置之間的排液管路；其中，
[0018]所述排液管路用于:在清洗結(jié)束后，輸送清洗后的廢液到所述廢液處理裝置；
[0019]所述廢液處理裝置用于:對廢液進(jìn)行無害化處理。
[0020]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，所述廢液處理系統(tǒng)還包括:一端位于首級噴淋構(gòu)件下方另一端和所述廢液處理裝置相通的直通排液管路，以及連通各噴淋液循環(huán)槽和所述廢液處理裝置的分支排液管路；其中，
[0021]所述直通排液管路用于:在清洗階段結(jié)束后，輸送首級噴淋構(gòu)件下方的廢液到所述廢液處理裝置；
[0022]所述分支排液管路用于:在清洗階段結(jié)束后，輸送各噴淋液循環(huán)槽收集的廢液到所述廢液處理裝置。
[0023]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，所述直通排液管路與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液排液管路共用部分管路；和/或
[0024]所述分支排液管路與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液分支排液管路共用部分管路；和/或
[0025]所述回液管路與所述噴淋液循環(huán)槽與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液排液管路共用部分管路；和/或
[0026]所述進(jìn)液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液供液管路共用部分管路；和/或
[0027]所述直通供液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液供液管路共用部分管路；和/或
[0028]所述分支供液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液分支供液管路共用部分管路。
[0029]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，在所述回液管路、所述供液管路、所述排液管路、所述進(jìn)液管路、所述直通供液管路、所述分支供液管路、所述直通排液管路、所述分支排液管路、所述噴淋液進(jìn)液管路、所述噴淋液排液管路、所述噴淋液分支排液管路、所述噴淋液供液管路、所述噴淋液分支供液管路上分別設(shè)置有控制閥。
[0030]本發(fā)明實施例還提供了一種本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)的使用方法，包括:
[0031]在清洗階段控制清洗液供給系統(tǒng)對各噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；
[0032]在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋。
[0033]本發(fā)明實施例的有益效果包括:
[0034]本發(fā)明實施例提供的一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法，該噴淋系統(tǒng)包括:具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋，以及在噴淋結(jié)束后控制噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進(jìn)行回收，還包括:清洗液供給系統(tǒng)，用于在清洗階段在控制系統(tǒng)的控制下，對各噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；廢液處理系統(tǒng)，用于在清洗階段結(jié)束后在控制系統(tǒng)的控制下，對清洗后的廢液進(jìn)行排放，相對于現(xiàn)有的噴淋系統(tǒng)，本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)增加了清洗液供給系統(tǒng)和廢液處理系統(tǒng)，既不影響在噴淋系統(tǒng)工作階段對各噴淋構(gòu)件中的基板進(jìn)行噴淋的功能，又可以實現(xiàn)對噴淋系統(tǒng)全自動清洗的功能，有效去除噴淋系統(tǒng)的管路及噴頭內(nèi)的異物，提高清洗效率，由于未使用人工拆卸的方法而減少噴淋系統(tǒng)的損耗，利用價值高。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0035]圖1為現(xiàn)有技術(shù)噴淋系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖2至圖4分別為本發(fā)明實施例提供的噴淋系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖5為本發(fā)明實施例提供的噴淋系統(tǒng)中液位監(jiān)測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖6為本發(fā)明實施例提供的噴淋系統(tǒng)的使用方法的流程圖。

【具體實施方式】
[0039]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明實施例提供的噴淋系統(tǒng)及其使用方法的【具體實施方式】進(jìn)行詳細(xì)地說明。
[0040]其中，附圖中各部件的大小和形狀不反映噴淋系統(tǒng)的真實比例，目的只是示意說明本
【發(fā)明內(nèi)容】
。
[0041]本發(fā)明實施例提供了一種噴淋系統(tǒng)，如圖2所示，包括:具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件001，(圖2只示出了三個噴淋構(gòu)件，其他噴淋構(gòu)件未示出，噴淋構(gòu)件的總個數(shù)在此不作限定)，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋，以及在噴淋系統(tǒng)工作階段結(jié)束后控制噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進(jìn)行回收，還包括:
[0042]清洗液供給系統(tǒng)，用于在清洗階段在控制系統(tǒng)的控制下，對各噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；
[0043]廢液處理系統(tǒng)，用于在清洗階段結(jié)束后在控制系統(tǒng)的控制下，對清洗后的廢液進(jìn)行排放。
[0044]在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)，由于在現(xiàn)有的噴淋系統(tǒng)的基礎(chǔ)上增加了清洗液供給系統(tǒng)和廢液處理系統(tǒng)，相對于現(xiàn)有的噴淋系統(tǒng)，本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)既不影響在噴淋系統(tǒng)工作階段對各噴淋構(gòu)件中的基板進(jìn)行噴淋的功能，又可以實現(xiàn)在自清洗階段對噴淋系統(tǒng)全自動清洗的功能，有效去除噴淋系統(tǒng)的管路及噴頭內(nèi)的異物，提高清洗效率，由于未使用人工拆卸的方法而減少噴淋系統(tǒng)的損耗，利用價值高。
[0045]在具體實施時，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，為了能夠?qū)崿F(xiàn)對噴淋系統(tǒng)的全自動循環(huán)清洗的功能，如圖2所示，清洗液供給系統(tǒng)可以包括:清洗液供給裝置300、清洗液循環(huán)池003、連通清洗液供給裝置300和清洗液循環(huán)池003之間的供液管路6、連通清洗液循環(huán)池003和末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭之間的進(jìn)液管路7、一端位于首級噴淋構(gòu)件OOla下方另一端連接清洗液循環(huán)池003的回液管路8、動力構(gòu)件、以及與噴淋液供給系統(tǒng)共用的噴淋液循環(huán)槽002和噴淋液進(jìn)液管路3 ;其中，
[0046]該清洗液供給裝置用于在清洗階段通過供液管路6輸送清洗液到清洗液循環(huán)池003 ；
[0047]該清洗液循環(huán)池用于在清洗階段通過進(jìn)液管路7在動力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭，以及接收清洗后的廢液；
[0048]在清洗階段，除首級噴淋構(gòu)件OOla之外的其他噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽002還可以用于通過連通本級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽002和上一級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的噴淋液進(jìn)液管路3在動力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到上一級噴淋構(gòu)件的噴頭；
[0049]該回液管路用于輸送清洗后的廢液到清洗液循環(huán)池003。
[0050]具體地，在具體實施時，為了使噴淋液或清洗液在噴淋系統(tǒng)中從下方可以往上流動，在進(jìn)液管路上一般設(shè)置有動力構(gòu)件，這里所指的動力構(gòu)件一般為加壓泵，如圖2所示，在連通本級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽002與上一級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的噴淋液進(jìn)液管路3上可以設(shè)置有加壓泵，這樣保證噴淋液循環(huán)槽002中的噴淋液或清洗液可以從上一級噴淋構(gòu)件的噴頭流出；在連通末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭與清洗液循環(huán)池003之間的進(jìn)液管路7上也可以設(shè)置有加壓泵，這樣保證清洗液循環(huán)池003中的清洗液可以從末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭流出，進(jìn)而流入噴淋液循環(huán)槽002，實現(xiàn)循環(huán)自清洗。
[0051]在具體實施時，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，為了在清洗結(jié)束后對清洗后的廢液進(jìn)行排放處理，如圖2所示，廢液處理系統(tǒng)可以包括:廢液處理裝置400，以及連通清洗液循環(huán)池003和廢液處理裝置400之間的排液管路9 ;其中，
[0052]該排液管路9用于在清洗結(jié)束后，輸送清洗后的廢液到廢液處理裝置400 ；
[0053]該廢液處理裝置400用于對廢液進(jìn)行無害化處理。
[0054]一般地，在具體實施時，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，為了在自清洗階段使末級噴淋構(gòu)件的噴頭和各噴淋液循環(huán)槽同時快速具有清洗液供給裝置提供的清洗液，提高自清洗效率，如圖3所示，清洗液供給系統(tǒng)一般還可以包括:連通清洗液供給裝置300和末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭之間的直通供液管路10，這樣保證清洗液供給裝置300可以直接給末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭提供清洗液；以及連通清洗液供給裝置300和各噴淋液循環(huán)槽002之間的分支供液管路10，這樣保證清洗液供給裝置300可以直接給各噴淋液循環(huán)槽002提供清洗液；其中，
[0055]在清洗階段，該清洗液供給裝置300還可以用于通過直通供液管路10輸送清洗液到末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭；以及通過分支供液管路10輸送清洗液到各噴淋液循環(huán)槽002。
[0056]在具體實施時，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，為了在自清洗階段使首級噴淋構(gòu)件下方和各噴淋液循環(huán)槽同時快速將清洗液流入到廢液處理裝置，提高自清洗效率，如圖4所示，廢液處理系統(tǒng)一般還可以包括:一端位于首級噴淋構(gòu)件OOla下方另一端和廢液處理裝置400相通的直通排液管路11，這樣可以保證首級噴淋構(gòu)件OOla下方流出的液體直接流入廢液處理裝置400 ；以及連通各噴淋液循環(huán)槽002和廢液處理裝置400的分支排液管路11，這樣可以保證各噴淋液循環(huán)槽002收集的廢液直接流入廢液處理裝置400 ;其中，
[0057]該直通排液管路11可以用于在清洗階段結(jié)束后，輸送首級噴淋構(gòu)件OOla下方的廢液到廢液處理裝置400 ；
[0058]該分支排液管路11可以用于在清洗階段結(jié)束后，輸送各噴淋液循環(huán)槽002收集的廢液到廢液處理裝置400。
[0059]在具體實施時，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，為了節(jié)省噴淋系統(tǒng)中的管路，如圖4所示，一般可以將連通清洗液循環(huán)池003與首級噴淋構(gòu)件OOla下方之間的回液管路8與連通首級噴淋構(gòu)件OOla下方與噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液回收裝置200之間的噴淋液排液管路4共用部分管路AB ;和/或
[0060]可以將連通首級噴淋構(gòu)件OOla下方與噴淋液回收裝置200之間的噴淋液排液管路4與連通首級噴淋構(gòu)件OOla下方與廢液處理裝置400之間的直通排液管路11共用部分管路AC ；
[0061]可以將連通各噴淋液循環(huán)槽002與噴淋液回收裝置200之間的噴淋液分支排液管路5與連通各噴淋液循環(huán)槽002與廢液處理裝置400之間的分支排液管路11共用部分管路EF ;和/或
[0062]可以將連通末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭與清洗液循環(huán)池003之間的進(jìn)液管路7與連通末級噴淋構(gòu)件OOlC的噴頭與噴淋液供給裝置100之間的噴淋液供液管路I共用部分管路GH ;和/或
[0063]可以將連通末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭與清洗液供給裝置300之間的直通供液管路10與連通末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭與噴淋液供給裝置100之間的噴淋液供液管路I共用部分管路GI ;和/或
[0064]可以將連通各噴淋液循環(huán)槽002與清洗液供給裝置300之間的分支供液管路10與連通各噴淋液循環(huán)槽002與噴淋液供給裝置100之間的噴淋液分支供液管路2共用部分管路U。
[0065]在具體實施時，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，為了控制噴淋液和清洗液在噴淋系統(tǒng)中的流向，一般在回液管路、供液管路、排液管路、進(jìn)液管路、直通供液管路、分支供液管路、直通排液管路、分支排液管路、噴淋液進(jìn)液管路、噴淋液排液管路、噴淋液分支排液管路、噴淋液供液管路、噴淋液分支供液管路可以分別設(shè)置有控制閥，如圖4所示，在連通首級噴淋構(gòu)件OOla下方與噴淋液回收裝置200之間的噴淋液排液管路4設(shè)置有控制閥b，可以控制首級噴淋構(gòu)件OOla下方流出的液體是否進(jìn)入噴淋液回收裝置200。
[0066]在具體實施時，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，為了實現(xiàn)對于清洗液循環(huán)池003中清洗液的液位高度的監(jiān)測，進(jìn)而實現(xiàn)對清洗液的補(bǔ)充或排放，如圖5所示，該噴淋系統(tǒng)還可以包括設(shè)置于清洗液循環(huán)池003中的液位監(jiān)測系統(tǒng):用于監(jiān)測清洗液循環(huán)池003中清洗液的液位高度，當(dāng)清洗液的液位高度低于預(yù)設(shè)高度L時，通過自動開啟連通清洗液循環(huán)池003與清洗液供給裝置300之間的供液管路6上的控制閥進(jìn)行清洗液的補(bǔ)充，當(dāng)清洗液的液位高度高于預(yù)設(shè)高度HH時，通過自動開啟連通清洗液循環(huán)池003與廢液處理裝置400之間的排液管路9上的控制閥進(jìn)行清洗液的排放。
[0067]在具體實施時，在本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)中，噴淋液一般可以為顯影液或去離子水，當(dāng)噴淋系統(tǒng)為顯影設(shè)備時，噴淋液選取顯影液；當(dāng)噴淋系統(tǒng)為清洗設(shè)備時，噴淋液選取去離子水。
[0068]基于同一發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實施例還提供了一種本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)的使用方法，由于該方法解決問題的原理與前述一種噴淋系統(tǒng)相似，因此該方法的實施可以參見噴淋系統(tǒng)的實施，重復(fù)之處不再贅述。
[0069]在具體實施時，本發(fā)明實施例提供的噴淋系統(tǒng)的使用方法，如圖6所示，具體包括以下步驟:
[0070]S601、在清洗階段控制清洗液供給系統(tǒng)對各噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；
[0071]在具體實施時，在清洗階段，首先通過控制系統(tǒng)控制清洗液供給系統(tǒng)提供清洗液到清洗液循環(huán)池，清洗液循環(huán)池中的清洗液通過動力構(gòu)件的作用，經(jīng)過進(jìn)液管路流入末級噴淋構(gòu)件的噴頭，然后流入到末級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽，再通過動力構(gòu)件的作用，經(jīng)過噴淋液進(jìn)液管路流入上一級噴淋構(gòu)件的噴頭，進(jìn)行循環(huán)使用，最終流入到首級噴淋構(gòu)件的噴頭，這樣實現(xiàn)對各噴淋構(gòu)件的噴頭進(jìn)行清洗，清洗液經(jīng)過回液管路回流到清洗液循環(huán)池，重復(fù)前述步驟，這樣實現(xiàn)對各噴淋構(gòu)件的噴頭進(jìn)行閉合的全自動循環(huán)清洗，并在清洗結(jié)束后，通過控制系統(tǒng)控制廢液流入廢液處理裝置進(jìn)行廢液的排放。
[0072]S602、在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋；
[0073]在具體實施時，在噴淋系統(tǒng)工作階段，首先通過控制系統(tǒng)控制噴淋液供給系統(tǒng)直接提供噴淋液到末級噴淋構(gòu)件的噴頭，然后流入到末級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽，再通過動力構(gòu)件的作用，經(jīng)過噴淋液進(jìn)液管路流入上一級噴淋構(gòu)件的噴頭，進(jìn)行循環(huán)使用，最終流入到首級噴淋構(gòu)件的噴頭，這樣實現(xiàn)對各噴淋構(gòu)件中基板的噴淋，并在噴淋結(jié)束后，通過控制系統(tǒng)控制噴淋液流入噴淋液回收裝置進(jìn)行噴淋液的排放。
[0074]下面以一個具體的實例詳細(xì)的說明本發(fā)明實施例提供的噴淋系統(tǒng)的使用方法，其使用方法可以分為兩種模式，具體模式如下:
[0075]1、自清洗模式，在具體實施時，如圖4所示，首先通過控制系統(tǒng)控制清洗液供給裝置300通過供液管路6提供清洗液到清洗液循環(huán)池003，清洗液循環(huán)池003中的清洗液在加壓泵P作用下通過進(jìn)液管路7流入末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭，然后流入到末級噴淋構(gòu)件OOlc下方的噴淋液循環(huán)槽002，在加壓泵P作用下經(jīng)噴淋液進(jìn)液管路3流入上一級噴淋構(gòu)件的噴頭，進(jìn)行循環(huán)使用，最終流入到首級噴淋構(gòu)件OOla的噴頭，這樣實現(xiàn)對各噴淋構(gòu)件的噴頭進(jìn)行清洗，清洗液通過回液管路8再次流入清洗液循環(huán)池003，這樣實現(xiàn)對各噴淋構(gòu)件的噴頭進(jìn)行閉合的全自動循環(huán)清洗，并在清洗結(jié)束后，通過控制系統(tǒng)控制廢液經(jīng)排液管路9流入廢液處理裝置400進(jìn)行廢液的排放；
[0076]經(jīng)過具體實例提供的上述步驟完成本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)的全自動清洗過程；
[0077]2、噴淋系統(tǒng)工作模式，在具體實施時，如圖4所示，首先通過控制系統(tǒng)控制噴淋液供給裝置100通過噴淋液供液管路I直接提供噴淋液到末級噴淋構(gòu)件OOlc的噴頭，然后流入到末級噴淋構(gòu)件OOlc下方的噴淋液循環(huán)槽002，再在加壓泵P作用下經(jīng)過經(jīng)噴淋液進(jìn)液管路3流入上一級噴淋構(gòu)件的噴頭，進(jìn)行循環(huán)使用，最終流入到首級噴淋構(gòu)件OOla的噴頭，這樣實現(xiàn)對各噴淋構(gòu)件中基板的噴淋，并在噴淋結(jié)束后，通過控制系統(tǒng)控制噴淋液經(jīng)噴淋液排液管路4和噴淋液分支排液管路5流入噴淋液回收裝置200進(jìn)行噴淋液的排放；
[0078]經(jīng)過具體實例提供的上述步驟完成本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)的使用過程。
[0079]本發(fā)明實施例提供的一種噴淋系統(tǒng)及其使用方法，該噴淋系統(tǒng)包括:具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋，以及在噴淋結(jié)束后控制噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進(jìn)行回收，還包括:清洗液供給系統(tǒng)，用于在清洗階段在控制系統(tǒng)的控制下，對各噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗；廢液處理系統(tǒng)，用于在清洗階段結(jié)束后在控制系統(tǒng)的控制下，對清洗后的廢液進(jìn)行排放，相對于現(xiàn)有的噴淋系統(tǒng)，本發(fā)明實施例提供的上述噴淋系統(tǒng)增加了清洗液供給系統(tǒng)和廢液處理系統(tǒng)，既不影響在噴淋系統(tǒng)工作階段對各噴淋構(gòu)件中的基板進(jìn)行噴淋的功能，又可以實現(xiàn)對噴淋系統(tǒng)全自動清洗的功能，有效去除噴淋系統(tǒng)的管路及噴頭內(nèi)的異物，提高清洗效率，由于未使用人工拆卸的方法而減少噴淋系統(tǒng)的損耗，利用價值高。
[0080]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種噴淋系統(tǒng)，包括具有多個噴頭的多個級聯(lián)設(shè)置的噴淋構(gòu)件，噴淋液供給系統(tǒng)，噴淋液回收系統(tǒng)，以及控制系統(tǒng)，其中所述控制系統(tǒng)用于在噴淋系統(tǒng)工作階段控制所述噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋，以及在噴淋系統(tǒng)工作階段結(jié)束后控制所述噴淋液回收系統(tǒng)對噴淋液進(jìn)行回收，其特征在于，還包括: 清洗液供給系統(tǒng)，用于在清洗階段在所述控制系統(tǒng)的控制下，對各所述噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗； 廢液處理系統(tǒng)，用于在清洗階段結(jié)束后在所述控制系統(tǒng)的控制下，對清洗后的廢液進(jìn)行排放。
2.如權(quán)利要求1所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗液供給系統(tǒng)包括:清洗液供給裝置、清洗液循環(huán)池、連通所述清洗液供給裝置和所述清洗液循環(huán)池之間的供液管路、連通所述清洗液循環(huán)池和末級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的進(jìn)液管路、一端位于首級噴淋構(gòu)件下方另一端連接所述清洗液循環(huán)池的回液管路、動力構(gòu)件、以及與所述噴淋液供給系統(tǒng)共用的噴淋液循環(huán)槽和噴淋液進(jìn)液管路；其中， 所述清洗液供給裝置用于:在清洗階段通過所述供液管路輸送清洗液到所述清洗液循環(huán)池； 所述清洗液循環(huán)池用于:在清洗階段通過所述進(jìn)液管路在動力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到所述末級噴淋構(gòu)件的噴頭，以及接收清洗后的廢液； 在清洗階段，除首級噴淋構(gòu)件之外的其他噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽還用于:通過連通本級噴淋構(gòu)件下方的噴淋液循環(huán)槽和上一級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的噴淋液進(jìn)液管路在動力構(gòu)件的作用下輸送清洗液到上一級噴淋構(gòu)件的噴頭； 所述回液管路用于:輸送清洗后的廢液到所述清洗液循環(huán)池。
3.如權(quán)利要求2所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗液供給系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述清洗液循環(huán)池中的液位監(jiān)測系統(tǒng):用于監(jiān)測所述清洗液循環(huán)池中清洗液的液位高度。
4.如權(quán)利要求2所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗液供給系統(tǒng)還包括:連通所述清洗液供給裝置和所述末級噴淋構(gòu)件的噴頭之間的直通供液管路，以及連通所述清洗液供給裝置和各所述噴淋液循環(huán)槽之間的分支供液管路；其中， 在清洗階段，所述清洗液供給裝置還用于:通過所述直通供液管路輸送清洗液到所述末級噴淋構(gòu)件的噴頭；以及通過所述分支供液管路輸送清洗液到各噴淋液循環(huán)槽。
5.如權(quán)利要求4所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述廢液處理系統(tǒng)包括:廢液處理裝置，以及連通所述清洗液循環(huán)池和所述廢液處理裝置之間的排液管路；其中， 所述排液管路用于:在清洗結(jié)束后，輸送清洗后的廢液到所述廢液處理裝置； 所述廢液處理裝置用于:對廢液進(jìn)行無害化處理。
6.如權(quán)利要求5所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述廢液處理系統(tǒng)還包括:一端位于首級噴淋構(gòu)件下方另一端和所述廢液處理裝置相通的直通排液管路，以及連通各噴淋液循環(huán)槽和所述廢液處理裝置的分支排液管路；其中， 所述直通排液管路用于:在清洗階段結(jié)束后，輸送首級噴淋構(gòu)件下方的廢液到所述廢液處理裝置； 所述分支排液管路用于:在清洗階段結(jié)束后，輸送各噴淋液循環(huán)槽收集的廢液到所述廢液處理裝置。
7.如權(quán)利要求6所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述直通排液管路與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液排液管路共用部分管路；和/或 所述分支排液管路與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液分支排液管路共用部分管路；和/或 所述回液管路與所述噴淋液回收系統(tǒng)中噴淋液排液管路共用部分管路；和/或 所述進(jìn)液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液供液管路共用部分管路；和/或 所述直通供液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液供液管路共用部分管路；和/或 所述分支供液管路與所述噴淋液供給系統(tǒng)中噴淋液分支供液管路共用部分管路。
8.如權(quán)利要求7所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，在所述回液管路、所述供液管路、所述排液管路、所述進(jìn)液管路、所述直通供液管路、所述分支供液管路、所述直通排液管路、所述分支排液管路、所述噴淋液進(jìn)液管路、所述噴淋液排液管路、所述噴淋液分支排液管路、所述噴淋液供液管路以及所述噴淋液分支供液管路上分別設(shè)置有控制閥。
9.一種如權(quán)利要求1-8任一項所述噴淋系統(tǒng)的使用方法，其特征在于，包括: 在清洗階段控制清洗液供給系統(tǒng)對各噴淋構(gòu)件的噴頭提供清洗液進(jìn)行清洗； 在噴淋系統(tǒng)工作階段控制噴淋液供給系統(tǒng)對被噴淋的基板提供噴淋液進(jìn)行噴淋。
【文檔編號】G03F7/26GK104391433SQ201410735183
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年12月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月5日
【發(fā)明者】周偉, 趙永冬, 徐立銘, 謝金濤, 黃林, 姚亮 申請人:合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司