一種厚層光刻膠涂覆裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】厚層光刻膠涂覆裝置，屬于光刻【技術(shù)領(lǐng)域】，為解決現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法進(jìn)行上百微米的厚膠涂覆問(wèn)題，承載平臺(tái)上安裝第一調(diào)節(jié)螺絲組，第一水平檢測(cè)儀放置在承載平臺(tái)上，承載平臺(tái)上安裝直線導(dǎo)軌副，其中兩條導(dǎo)軌平行，直線導(dǎo)軌副上分別安裝導(dǎo)軌滑套，兩個(gè)導(dǎo)軌滑套通過(guò)兩套高低調(diào)節(jié)組件與光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，在光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)整體長(zhǎng)度1/2處垂直安裝第一推拉桿，第一推拉桿的另一側(cè)通過(guò)萬(wàn)向軸承的一側(cè)相連，第一推拉桿與第二推拉桿成一條直線，第二推拉桿與直線電機(jī)動(dòng)子相連，直線電機(jī)定子固定在承載平臺(tái)上；光學(xué)基底承載臺(tái)安裝在直線導(dǎo)軌副中間，其上放置光學(xué)基底，在光學(xué)基底承載臺(tái)上安裝第二調(diào)節(jié)螺絲組，第二水平檢測(cè)儀設(shè)置在光學(xué)基底承載臺(tái)上。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種厚層光刻膠涂覆裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種厚層光刻膠涂覆裝置，屬于光刻【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的微電子加工過(guò)程中所使用光刻膠的厚度通常在2微米以?xún)?nèi)，而厚層光刻膠光刻是一種制作深浮雕結(jié)構(gòu)的技術(shù)，通常制作1213和連續(xù)微光學(xué)結(jié)構(gòu)所用的光刻膠厚度為2微米到上百微米，有的甚至達(dá)到1毫米左右。
[0003]與本發(fā)明最為接近的已有技術(shù)是中國(guó)專(zhuān)利號(hào)為⑶19636718，發(fā)明名稱(chēng)為“光刻膠涂覆設(shè)備及光刻膠涂覆方法”，該發(fā)明公開(kāi)了一種1X0光刻工藝中的光刻膠涂覆設(shè)備，包括:平臺(tái)、光刻膠供給機(jī)構(gòu)、噴嘴和噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中噴嘴由光刻膠噴嘴和壓縮空氣噴嘴組成。且光刻膠噴嘴為多個(gè)，設(shè)置在噴嘴的中間位置或設(shè)置在噴嘴的兩側(cè)，或每個(gè)光刻膠噴嘴的周?chē)鼑鄠€(gè)壓縮空氣噴嘴。該發(fā)明同時(shí)公開(kāi)了利用本發(fā)明的光刻膠涂敷設(shè)備涂敷光刻膠的方法。
[0004]該裝置采用的是噴涂光刻膠的方法對(duì)1X0進(jìn)行涂覆，要求使用粘稠度比較稀的光刻膠，專(zhuān)利原文中提到所涂覆的光刻膠平均厚度為2.2微米，此裝置不適用于粘稠度比較稠的光刻膠涂覆，不能進(jìn)行上百微米的厚膠涂覆。所以在進(jìn)行厚膠涂覆時(shí)，需要提供一種實(shí)用的光刻膠涂覆裝置。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了克服上述已有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明提出一種簡(jiǎn)便可行的適用于微電子加工行業(yè)的一種厚層光刻膠涂覆裝置。
[0006]解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案為:
[0007]一種厚層光刻膠涂覆裝置，在承載平臺(tái)上安裝有第一調(diào)節(jié)螺絲組用于對(duì)承載平臺(tái)調(diào)平，使用第一水平檢測(cè)儀檢測(cè)承載平臺(tái)的水平度，在承載平臺(tái)上安裝有直線導(dǎo)軌副，直線導(dǎo)軌副的兩條導(dǎo)軌成平行放置，每條直線導(dǎo)軌副上各安裝一個(gè)導(dǎo)軌滑套，兩個(gè)導(dǎo)軌滑套通過(guò)兩套高低調(diào)節(jié)組件與光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連接，在光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)整體長(zhǎng)度二分之一處垂直安裝第一推拉桿，第一推拉桿的另一側(cè)通過(guò)萬(wàn)向軸承的一側(cè)相連接，第一推拉桿與第二推拉桿在萬(wàn)向軸承兩側(cè)成一條直線，第二推拉桿的另一側(cè)與直線電機(jī)動(dòng)子相連接，直線電機(jī)動(dòng)子與直線電機(jī)定子共同組成直線電機(jī)，直線電機(jī)定子通過(guò)螺絲固定在承載平臺(tái)上；光學(xué)基底承載臺(tái)安裝在直線導(dǎo)軌副中間，光學(xué)基底放置在光學(xué)基底承載臺(tái)上，在光學(xué)基底承載臺(tái)上安裝有第二調(diào)節(jié)螺絲組用于對(duì)光學(xué)基底承載臺(tái)調(diào)平，使用第二水平檢測(cè)儀檢測(cè)光學(xué)基底承載臺(tái)的水平度，在光學(xué)基底承載臺(tái)四周配置有固定螺絲組。
[0008]本發(fā)明的積極效果:本發(fā)明采用直線電機(jī)帶動(dòng)光刻膠涂敷機(jī)構(gòu)在氣浮導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)，通過(guò)刮涂的方式可以在光學(xué)基底上得到厚度一致性較高的光刻膠膜層。在光刻【技術(shù)領(lǐng)域】，使用本發(fā)明中所述的厚層光刻膠涂覆裝置進(jìn)行進(jìn)行上百微米的厚層光刻膠涂覆，為厚層光刻膠勻膠工藝提供科學(xué)的理論指導(dǎo)和實(shí)驗(yàn)依據(jù)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的噴涂設(shè)備和工藝示意圖。
[0010]圖2是本發(fā)明一種厚層光刻膠涂覆裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖3是本發(fā)明所述光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作原理示意圖。
[0012]圖中:12、承載平臺(tái)，13、第一調(diào)節(jié)螺絲組，14、第一水平檢測(cè)儀，15、直線導(dǎo)軌副，16、導(dǎo)軌滑套，17、高低調(diào)節(jié)組件，18、光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)，19、第一推拉桿，20、萬(wàn)向軸承，21、第二推拉桿，22、直線電機(jī)定子，23、直線電機(jī)動(dòng)子，24、光學(xué)基底，25、光學(xué)基底承載臺(tái)，26、第二調(diào)節(jié)螺絲組，27、第二水平檢測(cè)儀，28、光學(xué)基底固定螺絲組，29、光刻膠涂覆刀口，30、已涂覆的光刻膠膜層31、未涂覆的光刻膠。

【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖2所示，一種厚膠涂覆裝置結(jié)構(gòu)，其包括承載平臺(tái)12、第一調(diào)節(jié)螺絲組13、第一水平檢測(cè)儀14、直線導(dǎo)軌副15、導(dǎo)軌滑套16、高低調(diào)節(jié)組件17、光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)18、第一推拉桿19、萬(wàn)向軸承20、第二推拉桿21、直線電機(jī)定子22、直線電機(jī)動(dòng)子23、光學(xué)基底24、光學(xué)基底承載臺(tái)25、第二調(diào)節(jié)螺絲組26、第二水平檢測(cè)儀27和光學(xué)基底固定螺絲組28。
[0014]在承載平臺(tái)12上安裝第一調(diào)節(jié)螺絲組13用于對(duì)承載平臺(tái)12調(diào)平。使用第一水平檢測(cè)儀14檢測(cè)承載平臺(tái)12的水平度。在承載平臺(tái)12上安裝直線導(dǎo)軌副15，直線導(dǎo)軌副15的兩條導(dǎo)軌平行放置。每條直線導(dǎo)軌副15上各安裝一個(gè)導(dǎo)軌滑套16，兩個(gè)導(dǎo)軌滑套16通過(guò)兩套高低調(diào)節(jié)組件17與光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)18相連接。在光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)18整體長(zhǎng)度二分之一處垂直安裝第一推拉桿19，第一推拉桿19的另一側(cè)通過(guò)萬(wàn)向軸承20與第二推拉桿21相連接。第一推拉桿19與第二推拉桿21在萬(wàn)向軸承20兩側(cè)成一條直線，第二推拉桿21的另一側(cè)與直線電機(jī)動(dòng)子23相連接，直線電機(jī)動(dòng)子23與直線電機(jī)定子22共同組成直線電機(jī)，直線電機(jī)定子22通過(guò)螺絲固定在承載平臺(tái)12上；光學(xué)基底承載臺(tái)25安裝在直線導(dǎo)軌副15中間，光學(xué)基底24放置在光學(xué)基底承載臺(tái)25上，在光學(xué)基底承載臺(tái)25上安裝有第二調(diào)節(jié)螺絲組26用于對(duì)光學(xué)基底承載臺(tái)25調(diào)平，使用第二水平檢測(cè)儀27檢測(cè)光學(xué)基底承載臺(tái)25的水平度，在光學(xué)基底承載臺(tái)25四周配置有固定螺絲組28。
[0015]如圖3所示，光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作原理示意圖，首先將未涂覆的光刻膠31滴在光學(xué)基底24上表面，其次通過(guò)光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)18帶動(dòng)光刻膠涂覆刀口 29在光學(xué)基底24上表面運(yùn)動(dòng)，將光刻膠均勻涂敷在光學(xué)基底24表面，形成已涂覆的光刻膠膜層30。
[0016]本發(fā)明中承載平臺(tái)12采用大理石平板，第一水平檢測(cè)儀14采用青島前哨公司生產(chǎn)的水平度測(cè)量?jī)x，直線導(dǎo)軌副15為鑄鐵導(dǎo)軌，導(dǎo)軌滑套16為鑄鐵導(dǎo)軌滑套，高低調(diào)節(jié)組件17為一維平移臺(tái)，直線電機(jī)由美國(guó)？虹匕1~公司生產(chǎn)，光學(xué)基底24采用1(9光學(xué)玻璃經(jīng)過(guò)光學(xué)加工制造而成，光學(xué)基底承載臺(tái)25使用鑄鐵經(jīng)過(guò)機(jī)械加工完成，光學(xué)基底上涂敷的光刻膠為日本產(chǎn)的1805型光刻膠，光刻膠涂覆裝置中各個(gè)機(jī)械結(jié)構(gòu)件均采用鋼材經(jīng)過(guò)機(jī)械加工制作完成。使用這臺(tái)厚膠涂覆裝置已經(jīng)涂覆10-500 4 0的厚層光刻膠涂覆。
[0017]本發(fā)明基于上述裝置實(shí)施的厚層光刻膠涂覆方法，如下:
[0018]步驟一，安裝調(diào)平承載平臺(tái)12，在承載平臺(tái)12上安裝第一調(diào)節(jié)螺絲組13，調(diào)節(jié)第一調(diào)節(jié)螺絲組13對(duì)承載平臺(tái)12調(diào)平，使用第一水平檢測(cè)儀14檢測(cè)承載平臺(tái)12的水平度。
[0019]步驟二，安裝調(diào)平光學(xué)基底承載平臺(tái)25，在承載平臺(tái)12上擺放光學(xué)基底承載臺(tái)25，光學(xué)基底承載臺(tái)25上安裝第二調(diào)節(jié)螺絲組26，用于對(duì)光學(xué)基底承載臺(tái)25調(diào)平，使用第二水平檢測(cè)儀27檢測(cè)光學(xué)基底承載臺(tái)25的水平度。
[0020]步驟三，調(diào)節(jié)光刻膠涂覆刀口 29與光學(xué)基底24的間距，在光學(xué)基底承載臺(tái)25上放置光學(xué)基底24，在承載平臺(tái)12上安裝直線導(dǎo)軌副15，直線導(dǎo)軌副15的兩條導(dǎo)軌平行放置，每條直線導(dǎo)軌副15上各安裝一個(gè)導(dǎo)軌滑套16和高低調(diào)節(jié)組件17，通過(guò)高低調(diào)節(jié)組件17可以調(diào)節(jié)光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)18上的光刻膠涂覆刀口 29與光學(xué)基底24的間距。
[0021]步驟四，安裝直線電機(jī)，在承載平臺(tái)12上安裝直線電機(jī)定子22，直線電機(jī)動(dòng)子23與第二推拉桿21、萬(wàn)向軸承20、第一推拉桿19相連接，第一推拉桿19與光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)18垂直連接，通過(guò)直線電機(jī)動(dòng)子23運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)推拉桿運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)18運(yùn)動(dòng)。
[0022]步驟五，光刻膠涂覆，在光學(xué)基底24的表面上滴未涂覆的光刻膠31，通過(guò)光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)18帶動(dòng)光刻膠涂覆刀口 29運(yùn)動(dòng)，在光學(xué)基底24表面涂覆，形成已涂覆的光刻膠膜層30。
【權(quán)利要求】
1.一種厚層光刻膠涂覆裝置，其特征是， 在承載平臺(tái)(12)上安裝有第一調(diào)節(jié)螺絲組(13)用于對(duì)承載平臺(tái)(12)調(diào)平，使用第一水平檢測(cè)儀(14)檢測(cè)承載平臺(tái)(12)的水平度； 在承載平臺(tái)(12)上安裝有直線導(dǎo)軌副(15),直線導(dǎo)軌副(15)的兩條導(dǎo)軌成平行放置，每條直線導(dǎo)軌副(15)上各安裝一個(gè)導(dǎo)軌滑套(16),兩個(gè)導(dǎo)軌滑套(16)通過(guò)兩套高低調(diào)節(jié)組件(17)與光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)(18)相連接； 在光刻膠涂覆移動(dòng)機(jī)構(gòu)(18)整體長(zhǎng)度二分之一處垂直安裝第一推拉桿(19),第一推拉桿(19)的另一側(cè)通過(guò)萬(wàn)向軸承(20)與第二推拉桿(21)相連接，第一推拉桿(19)與第二推拉桿(21)在萬(wàn)向軸承(20)兩側(cè)成一條直線，第二推拉桿(21)的另一側(cè)與直線電機(jī)動(dòng)子(23)相連接； 直線電機(jī)動(dòng)子(23)與直線電機(jī)定子(22)共同組成直線電機(jī)，直線電機(jī)定子(22)固定在承載平臺(tái)(12)上； 光學(xué)基底承載臺(tái)(25)安裝在兩條直線導(dǎo)軌副(15)之間，光學(xué)基底(24)放置在光學(xué)基底承載臺(tái)(25)上，在光學(xué)基底承載臺(tái)(25)上安裝有第二調(diào)節(jié)螺絲組(26)用于對(duì)光學(xué)基底承載臺(tái)(25)調(diào)平，使用第二水平檢測(cè)儀(27)檢測(cè)光學(xué)基底承載臺(tái)(25)的水平度，在光學(xué)基底承載臺(tái)(25)四周配置有固定螺絲組(281
【文檔編號(hào)】G03F7/16GK104503209SQ201410798319
【公開(kāi)日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月19日
【發(fā)明者】李文昊, 楊碩, 巴音賀希格, 齊向東, 趙旭龍, 姜巖秀, 焦慶斌 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所